JPH0917839A - 処理方法及び処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被処理体を収容する容器のセット状態の監視
及び容器内の被処理体を選出し取り出す搬送手段の動作
の監視を行うことにより、処理能率の向上及び歩留りの
向上を図る。 【構成】 複数の被処理体例えば半導体ウエハＷを収容
する容器６と、この容器６から選出された所定の半導体
ウエハＷを搬出入する搬送機構４と、半導体ウエハＷに
適宜処理を施す処理部３とを具備する処理装置におい
て、容器６の有無を検出するカセットセンサ７と、この
カセットセンサ７からの信号に基づいて駆動するＣＰＵ
８を設ける。容器６が無い場合に、その状態をアラーム
９にて表示し、アラーム表示に基づいて容器６を所定位
置にセットした後、セットされた容器６内の半導体ウエ
ハＷをマッピングセンサ１８にて選出すると共に、搬送
機構４の異常動作を検出し、その検出信号をＣＰＵ８に
伝達する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体ウエハ
あるいはＬＣＤ基板等の被処理体を適宜処理する処理方
法及び処理装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体デバイスの製造工程にお
いて、例えば半導体ウエハやＬＣＤ基板等の被処理体の
表面にフォトリソグラフィー技術を用いて回路パターン
を縮小してフォトレジストに転写し、これを現像処理す
る塗布・現像処理システムが使用されている。

【０００３】上記塗布・現像処理システムは、複数例え
ば２５枚の半導体ウエハを収容する容器をセットする搬
入・搬出部と、半導体ウエハを例えば洗浄処理、冷却・
加熱等の熱処理、レジスト塗布処理、現像処理等の種々
の処理を施す処理ユニットが配設された処理部と、これ
ら搬入・搬出部と処理部との間に配置されて両者間で半
導体ウエハを受け渡す搬送手段としてのピンセットを具
備する受渡し部とで主要部が構成されている。

【０００４】このように構成される塗布・現像処理シス
テムにおいて、上記搬入・搬出部にセットされた容器内
の例えば半導体ウエハを１枚ずつ選出した後、ピンセッ
トで取り出して処理部に搬送し、処理部で適宜処理を施
した後、空の容器内に半導体ウエハを搬入して処理が完
了する。また、ＬＣＤ基板の処理においては、半導体ウ
エハに対してＬＣＤ基板は寸法及び重量が大きいため、
容器を搬入・搬出部の載置台上に固定保持した後、同様
にピンセットにてＬＣＤ基板を取り出して処理部に搬送
して、適宜処理を連続的に行っている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、未処理
の半導体ウエハやＬＣＤ基板等の被処理体が収容された
容器が搬入・搬出部に正確にセットされない場合、ある
いは処理途中で上記容器が移動したり、容器の保持が不
十分になった場合、被処理体の位置が変化し搬送に支障
が生じて処理の続行が不可能になったり、被処理体に損
傷をきたすという問題があり、処理能率の低下及び歩留
まりの低下が生じるという問題があった。

【０００６】この発明は上記事情に鑑みなされたもの
で、被処理体を収容する容器のセット状態の監視及び容
器内の被処理体を選出し取り出す搬送手段の動作の監視
を行い、その選出された被処理体を適宜処理を施すこと
により、処理能率の向上及び製品歩留りの向上を図れる
ようにした処理方法及び処理装置を提供することを目的
とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の処理方法は、複数の被処理体を収容
する容器から選出された被処理体を搬出して適宜処理を
施す処理方法を前提とし、上記容器の有無を検出する工
程と、上記容器が無い場合に、その状態を表示する工程
と、上記表示に基づいて上記容器を所定位置にセットす
る工程と、セットされた上記容器内の上記被処理体を選
出する工程と、を有することを特徴とする。

【０００８】請求項２記載の処理方法は、上記処理方法
と同様に、複数の被処理体を収容する容器から選出され
た被処理体を搬出して適宜処理を施す処理方法を前提と
し、上記容器の有無を検出する手段が誤動作した場合
に、その状態を表示する工程と、上記表示に基づいて上
記容器を所定位置にセットする工程と、セットされた上
記容器内の上記被処理体を選出する工程と、を有するこ
とを特徴とする。

【０００９】請求項３記載の処理方法は、上記処理方法
と同様に、複数の被処理体を収容する容器から選出され
た被処理体を搬出して適宜処理を施す処理方法を前提と
し、上記被処理体の搬送手段が動作停止した場合に、搬
送手段を初期位置へ戻す工程と、上記容器内の被処理体
の状態を検出する工程と、上記容器内の被処理体の状態
が上記搬送手段の停止前と異なる場合に、その状態を表
示する工程と、上記表示に基づいて上記容器を所定位置
にセットする工程と、セットされた上記容器内の被処理
体を選出する工程と、を有することを特徴とする。

【００１０】請求項４記載の処理方法は、上記請求項３
記載の処理方法において、上記容器内の被処理体の状態
を検出する際に、被処理体の種類の検出を同時に行うこ
とを特徴とする。

【００１１】請求項５記載の処理方法は、上記処理方法
と同様に、複数の被処理体を収容する容器から選出され
た所定の被処理体を搬出して適宜処理を施す処理方法を
前提とし、所定位置に設置された上記容器の保持の有無
を検出する工程と、上記容器の保持が所定通り行われて
いない場合に、その状態を表示する工程と、上記表示に
基づいて上記容器を所定位置に設置し保持する工程と、
所定位置に設置・保持された上記容器内の上記被処理体
を選出する工程と、を有することを特徴とする。

【００１２】請求項６記載の処理装置は、複数の被処理
体を収容する容器と、この容器から選出された所定の被
処理体を搬出入する搬送手段と、上記被処理体に適宜処
理を施す処理部とを具備する処理装置を前提とし、上記
容器の有無を検出する容器有無検出手段と、上記容器が
無い場合に、その状態を表示する表示手段と、上記表示
に基づいて上記容器を所定位置にセットする容器搬送手
段と、セットされた上記容器内の上記被処理体を選出す
る検出手段と、上記容器有無検出手段からの信号に基づ
いて上記表示手段及び容器搬送手段に信号を伝達する制
御手段と、を具備することを特徴とする。

【００１３】請求項７記載の処理装置は、上記処理装置
と同様に、複数の被処理体を収容する容器と、この容器
から選出された所定の被処理体を搬出入する搬送手段
と、上記被処理体に適宜処理を施す処理部とを具備する
処理装置を前提とし、上記容器の有無を検出する容器有
無検出手段と、上記容器有無検出手段の動作状態を検出
する動作検出手段と、上記容器有無検出手段が誤動作し
た場合に、その状態を表示する表示手段と、上記表示に
基づいて上記容器を所定位置にセットする容器搬送手段
と、セットされた上記容器内の上記被処理体を選出する
検出手段と、上記動作検出手段からの信号に基づいて上
記表示手段及び容器搬送手段に信号を伝達する制御手段
と、を具備することを特徴とする。

【００１４】請求項８記載の処理装置は、上記処理装置
と同様に、複数の被処理体を収容する容器と、この容器
から選出された所定の被処理体を搬出入する搬送手段
と、上記被処理体に適宜処理を施す処理部とを具備する
処理装置を前提とし、上記容器内の被処理体の状態を検
出する被処理体検出手段と、上記容器内の被処理体の異
常状態を表示する表示手段と、上記表示に基づいて上記
容器を所定位置にセットする容器搬送手段と、セットさ
れた上記容器内の被処理体を選出する検出手段と、上記
被処理体検出手段からの信号に基づいて上記表示手段及
び容器搬送手段に信号を伝達する制御手段と、を有する
ことを特徴とする。

【００１５】請求項９記載の処理装置は、上記請求項８
記載の処理装置において、上記被処理体検出手段と被処
理体を選出する検出手段とを一体に設けると共に、被処
理体の種類の検出機能を具備することを特徴とする。

【００１６】請求項１０記載の処理装置は、上記処理装
置と同様に、複数の被処理体を収容する容器と、この容
器から選出された所定の被処理体を搬出入する搬送手段
と、上記被処理体に適宜処理を施す処理部とを具備する
処理装置を前提とし、上記容器を所定位置に設置し保持
する容器保持手段と、上記容器の保持の有無を検出する
容器保持検出手段と、上記容器の保持が所定通り行われ
ていない場合に、その状態を表示する表示手段と、所定
位置に設置・保持された上記容器内の上記被処理体を選
出する検出手段と、上記容器保持検出手段からの信号に
基いて上記容器保持手段及び表示手段に信号を伝達する
制御手段と、を有することを特徴とする。

【００１７】

【作用】請求項１及び６記載の発明によれば、複数の被
処理体を収容する容器の有無を検出し、容器が無い場合
に、その状態を表示して作業者等に知らせることがで
き、また、この表示に基づいて容器を所定位置にセット
した後に、セットされた容器内の被処理体を選出して処
理を施すことができる。

【００１８】請求項２及び７記載の発明によれば、上記
容器の有無を検出する手段が、例えば継続して検出し続
ける状態のような誤動作が生じた場合に、その状態を表
示して作業者等に知られることができ、また、この表示
に基づいて容器を所定位置にセットした後に、セットさ
れた容器内の被処理体を選出して処理を施すことができ
る。

【００１９】請求項３及び８記載の発明によれば、複数
の被処理体を収容する容器から被処理体を取り出す被処
理体の搬送手段が動作停止した場合に、搬送手段を初期
位置へ戻した後、容器内の被処理体の状態を検出し、容
器内の被処理体が搬送手段の停止前と異なる場合に、そ
の状態を表示して作業者等に知らせることができ、ま
た、この表示に基づいて容器を所定位置にセットした後
に、セットされた容器内の被処理体を選出して処理を施
すことができる。この場合、被処理体の状態を検出する
被処理体検出手段と被処理体を選出する検出手段とを一
体に設けることにより、構成部材の削減が図れ、更に、
上記容器内の被処理体の状態を検出する際に、被処理体
の種類の検出を同時に行うことにより、非対象の被処理
体の処理を防止し、初期の被処理体を続行して処理する
ことができる（請求項４，９）。

【００２０】請求項５及び１０記載の発明によれば、所
定位置に設置された上記容器の保持の有無を検出し、容
器の保持が所定通り行われていない場合に、その状態を
表示して作業者等に知らせることができ、また、この表
示に基づいて容器を所定位置に設置し保持した後に、所
定位置に設置・保持された容器内の被処理体を選出して
処理を施すことができる。

【００２１】

【実施例】以下にこの発明の実施例を図面に基いて詳細
に説明する。

【００２２】◎第一実施例 図１はこの発明の処理装置の第一実施例の概略平面図、
図２はその要部の概略側面図である。ここでは、この発
明に係る処理装置を半導体ウエハの塗布・現像処理シス
テムに適用した場合について説明する。

【００２３】上記半導体ウエハの塗布・現像処理システ
ム１は、その一端側に被処理体として例えば多数枚の半
導体ウエハＷ（以下にウエハという）を収容する複数の
容器６（カセット）を載置可能に構成した搬入・搬出部
２と、ウエハＷに適宜処理を施す複数の処理ユニットを
具備する処理部３と、これら搬入・搬出部２と処理部３
との間に位置してウエハＷの受け渡しを行う搬送手段と
しての搬送機構４を具備する受渡し部５とで主要部が構
成されている。

【００２４】上記搬入・搬出部２の容器６の載置部には
容器６の有無を検出するためのカセットセンサ７（容器
有無検出手段）が配設されている。このカセットセンサ
７は例えば発光素子と受光素子を具備するフォトセンサ
や、静電容量型センサ、マイクロスイッチなどにて形成
されており、その検出信号が、予め記憶された情報と比
較演算される後述する制御手段としての中央演算処理装
置８（以下にＣＰＵという）に伝達されるようになって
いる。

【００２５】上記搬送機構４は、図１ないし図３に示す
ように、搬入・搬出部２と処理部３との間に配設された
搬送路１１に沿って水平のＹ方向に摺動自在に配設さ
れ、図示しないボールねじ機構等によって移動される搬
送台１２と、この搬送台１２の上面に立設され搬送台１
２内に内蔵されるボールねじ機構、ステッピングータ等
によって昇降（Ｚ方向）及び水平回転（θ）可能な軸１
３と、この軸１３の上部に装着される駆動部１４によっ
て水平のＸ方向に進退移動する受渡し手段としてのピン
セット１５及びアーム１６とで構成されている。この場
合、ピンセット１５は、容器６内に挿入可能な幅を有す
る矩形板状に形成されると共に、図示しない真空ポンプ
に接続されてウエハＷを吸着載置し、容器６との間で未
処理及び処理済みのウエハＷの受け渡しを行うように構
成されている。一方、アーム１６は、先端が開口する略
馬蹄形状に形成され、内周面に適宜間隔をおいて突出す
る図示しない爪部によってウエハＷの縁部下面を保持し
得るように構成されており、処理部３との間でウエハＷ
の受け渡しを行うように構成されている。

【００２６】また、ピンセット１５の基部には例えば光
電タイプのウエハＷの位置合せ確認用センサ１７が設け
られている。また、駆動部１４の先端側には容器６内の
ウエハＷの有無及びウエハＷの種類の確認等を検出する
マッピングセンサ１８が取り付けられている。このマッ
ピングセンサ１８は、発光部１８ａと受光部１８ｂとか
らなるフォトセンサにて形成されており、容器６と対向
した後、容器６内に進入して容器６内のウエハＷの有無
の確認の他ウエハＷの位置や種類例えば６インチウエハ
か８インチウエハの判別、更にはこのマッピングセンサ
１８自体の誤動作等を検出し得るように構成されてい
る。この位置合せ確認用センサ１７とマッピングセンサ
１８は、それぞれその検出信号をＣＰＵ８に伝達するよ
うに構成されている。

【００２７】上記ＣＰＵ８は、上記カセットセンサ７、
位置合せ用センサ１７及びマッピングセンサ１８からの
検出信号を予め記憶された情報と比較演算して、その出
力信号を表示手段例えばアラーム９と容器搬送装置２０
及び搬送機構４に伝達し得るように構成されている。こ
こで、アラーム９は、例えばブザーやベル等の警報器、
ランプによる表示あるいはモニターによる画面表示等を
含む表示を意味する。例えば、搬入・搬出部２の所定の
載置位置に容器６が載置されておらず、カセット無しと
カセットセンサ７によって検知されると、その検出信号
に基づくＣＰＵ８からの出力信号によりアラーム９が作
動して、作業者等にその状態を知らせる。また、カセッ
トセンサ７に、このカセットセンサ自体の動作状態を検
出する動作検出手段例えばタイマ機能を具備することに
より、例えばカセットセンサ７が実際の状態と異なる状
態をタイマー設定時間以上に継続して検出し続けるよう
な誤動作が生じた場合もその検出信号に基づくＣＰＵ８
からの出力信号によりアラーム９が作動して、作業者等
にその状態を知らせる。具体例として、ＡＧＶ等の搬送
ロボットが、自動的にカセットを載置又は搬出し、その
時を受け渡し完了として完了信号を発生した後、一定時
間カセット有り又は無しと誤動作し続けるような場合の
監視が可能となる。更に、カセット無しの検出信号に基
づいて容器搬送装置２０を駆動することにより、載置し
直して容器６が所定位置に搬送されセットされる。そし
て、容器６が所定位置にセットされた後、再び搬送機構
４が駆動して容器６内のウエハＷの有無や位置の検出
（マッピング）が行われる。一方、マッピングセンサ１
８が予めプログラミングされた情報と異なる情報を検知
したり、異なる種類のウエハＷの存在を検知した場合に
は、その検出信号に基づくＣＰＵ８からの出力信号によ
りアラーム９が作動して、作業者等にその状態を知らせ
る。また、その検知信号に基づいて搬送機構４が駆動し
てピンセット１５が容器６から後退して一旦初期位置に
戻る。また、検出信号に基づいてカセット搬送装置２０
が駆動して容器６を所定位置に搬送しセットする。そし
て、容器６が所定位置にセットされた後、再び搬送機構
４が駆動して容器６内のウエハＷの検出（マッピング）
が行われる。

【００２８】一方、上記処理部３は中継部３０を介して
連設される第１処理部３１と第２処理部３２とで構成さ
れている。この場合、第１処理部３１は、中央部の長手
方向に沿って搬送路３３が設けられ、この搬送路３３に
関して一方の側にウエハＷをブラシ洗浄するブラシ洗浄
装置３４、ウエハＷを高圧ジェット水で洗浄するジェッ
ト水洗浄装置３５、ウエハＷの表面を疎水化処理するア
ドヒージョン処理装置３６及びこのアドヒージョン処理
装置３６の下部に配置されてウエハＷを所定温度に冷却
する冷却装置（図示せず）が配設され、搬送路３３に関
して反対側にはレジスト塗布装置３７と塗布膜除去装置
３７ａが配設されている。そして搬送路３３にに沿って
移動自在に設けられたウエハ搬送アーム１０によって各
装置３４〜３７ａとの間でウエハＷの受け渡しが行われ
るように構成されている。また、第２処理部３２は、第
１処理部３１と同様に中央部の長手方向に沿って搬送路
３３が設けられ、この搬送路３３に関して一方の側に、
複数の熱板を上下方向に積層配置した３基の加熱装置３
８を並列に配設し、搬送路３３に関して反対側には２基
の現像装置３９が並列に配設されている。そして搬送路
３３に沿って移動自在に設けられたウエハ搬送アーム１
０ａによって各装置３８，３９との間でウエハＷの受け
渡しが行われるように構成されている。なお、第２処理
部３２は中継部３０ａを介して露光装置４０に連設され
ている。

【００２９】次に、この発明の処理方法について、図４
に示すフローチャートを参照して説明する。まず、搬入
・搬出部２の載置台上に未処理のウエハＷを収容する容
器６がセットされているか否かをカセットセンサ７にて
検出する（ステップＡ）。カセットセンサ７にて容器６
が無いと検知された場合あるいは一旦、容器６が有りと
検知しながら、その後無しとタイマー設定時間以上に継
続して検出し続けるような誤動作が生じた場合、その信
号がＣＰＵ８に伝達され、ＣＰＵ８にて予め記憶された
情報と比較演算され、その出力信号が表示手段例えばア
ラーム９に伝達されてアラーム表示されて、作業者等に
知らせる（ステップＢ）。また、この出力信号に基づい
てカセット搬送装置２０が駆動して容器６が搬入・搬出
部２の載置台上に自動的にセットされ、あるいは、セッ
トし直される（ステップＣ）。なおこの場合、容器搬送
装置２０によらず作業者が手動で容器６をセットしても
よい。

【００３０】上記のようにして、搬入・搬出部２の載置
台上に容器６がセットされた後、次に、マッピングセン
サ１８によってウエハＷの位置を検出し容器６のセット
状態が正常か否かが検出される（ステップＤ）。容器６
のセットが正常でない場合例えば容器６の設置位置がず
れている場合、上記と同様にその検出信号がＣＰＵ８に
伝達され、ＣＰＵ８にて予め記憶された情報例えば、正
常な時のウエハＷの位置情報と比較演算され、その出力
信号が表示手段例えばアラーム９に伝達されてアラーム
表示されて、作業者等に異常を知らせる（ステップ
Ｅ）。また、この出力信号に基づいてカセット搬送装置
２０又は作業者の手動によって容器６を所定位置に再セ
ットする（ステップＦ）。

【００３１】上記のようにして所定位置に容器６が正常
にセットされると、次にマッピングセンサ１８によって
ウエハＷ全部のマッピングが行われ、次に、ピンセット
１５が受け取るウエハＷの選出が行われる（ステップ
Ｇ）、このマッピングの際にピンセット１５の動作に異
常例えばピンセット１５が容器６に接触して容器６が振
動して浮き上がったり位置ずれが発生しカセット無しの
状態となったり、ピンセット１５の動作が何らかのトラ
ブルにより途中で停止した場合（ステップＨ）、その異
常信号がＣＰＵ８に伝達され、上述と同様にＣＰＵ８に
て予め記憶された情報と比較演算され、その出力信号が
表示手段例えばアラーム９に伝達されてアラーム表示さ
れて、作業者等に知らせる（ステップＩ）。また、この
出力信号に基づいてピンセット１５が容器６から後退し
て初期位置へ戻る（ステップＪ）。その後、容器６内の
ウエハＷの位置が異常発生前と相違していないか否かが
マッピングセンサ１８によって再び検知され（ステップ
Ｋ）、異常が無い場合はピンセット１５によって所定の
ウエハＷが選出され取り出されて処理部３へ搬送される
（ステップＬ）。また、異常がある場合は、上記ステッ
プＢの工程以降のアラーム表示、容器セット、…等の手
順で容器６のセット、ピンセット１５の動作状況が適正
かどうか監視される。なお、上記再検知動作は、故意に
容器６を持ち上げて外し、再び載置した場合にも適用さ
れる。

【００３２】上記のように、未処理のウエハＷを収容す
る容器６のセット状態の監視、容器６からウエハＷを取
り出すピンセット１５の動作の監視を自動的に行うこと
により、ウエハＷの搬送ミスを防止することができ、予
めプログラミングされた手順でウエハＷを連続的に搬送
して、所定の処理を施すことができる。

【００３３】なお、処理部３に搬送されたウエハＷは、
ウエハ搬送アーム１０，１０ａに受け取られて順に、洗
浄、アドヒージョン処理、冷却され、レジスト塗布後、
ウエハＷ周縁部のレジスト膜が除去された後、プリベー
ク、露光装置４０による露光後に、現像処理、ポストベ
ークが行われる。そして搬入・搬出部２に搬送されて処
理済ウエハ収納用の容器６内に収納される。

【００３４】◎第二実施例 図５はこの発明の処理装置の第二実施例の概略平面図、
図６はその要部の斜視図である。第二実施例は、この発
明に係る処理装置をＬＣＤ基板の塗布・現像処理システ
ムに適用した場合である。

【００３５】上記ＬＣＤ基板の塗布・現像処理システム
１Ａは、上記半導体ウエハの塗布・現像処理システムと
同様に、その一端側に被処理体として例えば多数枚のＬ
ＣＤ基板Ｇ（以下に基板という）を収容する複数の容器
６Ａ（カセット）を載置可能に構成した搬入・搬出部２
Ａと、基板Ｇに適宜処理を施す複数の処理ユニットを具
備する処理部３Ａと、これら搬入・搬出部２Ａと処理部
３Ａとの間に位置して基板Ｇの受け渡しを行う搬送手段
としての搬送機構４Ａを具備する受渡し部５Ａとで主要
部が構成されている。このＬＣＤ基板の塗布・現像処理
システム１Ａにおいて、処理部３Ａは、搬送手段である
基板搬送アーム１０Ａ，１０Ｂの形状が異なる以外は上
記半導体ウエハの塗布・現像処理システム１と同じであ
るので、同一部分には同一符号を付して、その説明は省
略する。

【００３６】上記搬入・搬出部２Ａの容器６Ａの載置部
には容器６Ａを設置し固定するための保持手段例えばロ
ック機構５０が設けられており、このロック機構５０に
よって容器６Ａが搬入・搬出部２Ａの載置台の所定位置
に設置固定されるようになっている。このロック機構５
０は、例えば搬入・搬出部２Ａの載置台２ａにおける容
器６Ａの隣接部に配設されて容器６Ａのフランジ部６ａ
をロックし得るようになっている。このロック機構５０
は、図７に示すように、容器６Ａの設置部の近接位置に
固定して配置されるケース５１と、このケース５１内か
ら容器６Ａのフランジ部６ａ側に向って出没可能で磁石
体にて形成されるロック片５２と、このロック片５２を
常時ケース５１内側方向に押圧するばね５３と、励磁に
よってばね５３の弾発力に抗してロック片５２をロック
方向（図の左方向）に押圧する電磁式ソレノイド５４と
で構成されている。

【００３７】このように構成されるロック機構５０にお
いて、ソレノイド５４を通電して励磁させると、ばね５
３の弾発力に抗してロック片５２が容器６Ａのフランジ
部６ａの上方に突出してフランジ部６ａを載置台２ａに
僅かに押圧することにより容器６Ａを載置台２ａに固定
保持することができる（図７（ａ）参照）。また、ソレ
ノイド５４の通電を停止することにより、ばね５３の弾
発力によってロック片５２がケース５１内に引っ込んで
容器６Ａの保持が解除される（図７（ｂ）参照）。

【００３８】また、上記のように構成されるロック機構
５０が適切に動作しているか否かを検出するための保持
検出用センサ６０（容器保持検出手段）が配設されてい
る。この保持検出用センサ６０は例えば発光素子と受光
素子を具備するフォトセンサにて形成されており、その
検出信号が、予め記憶された情報と比較演算される制御
手段としての中央演算処理装置８（以下にＣＰＵとい
う）に伝達されるようになっている。

【００３９】搬送機構４Ａは、上記第一実施例の半導体
ウエハの塗布・現像処理システム１の搬送機構４と同様
に、搬入・搬出部２Ａと処理部３Ａとの間に配設された
搬送路７１に沿ってＹ方向に摺動自在に配設され、図示
しないボールねじ機構等によって移動される搬送台７２
と、この搬送台７２の上面に立設され搬送台７２内に内
蔵されるボールねじ機構、ステッピングータ等によって
昇降（Ｚ方向）及び水平回転（θ）可能な軸７３と、こ
の軸７３の上部に装着される駆動部７４によって水平方
向（Ｘ方向）に進退移動する受渡し手段としてのピンセ
ット７５とを具備している。この場合、ピンセット７５
は、容器６Ａ内に挿入可能な幅を有する矩形板状に形成
されており、その上面には基板Ｇを吸着保持するために
図示しない真空ポンプに接続する吸引溝７５ａが設けら
れると共に、この吸引溝７５ａの周囲の３箇所には基板
Ｇを支持するナイロン樹脂製の支持突起７５ｂが起立さ
れている。このように支持突起７５ｂをナイロン樹脂製
部材にて形成することにより、基板Ｇの材質であるガラ
スの電荷とナイロンの電荷が正負逆帯電となって打ち消
し合い静電気の発生を防止することができる。

【００４０】また、搬送機構４Ａには、容器６Ａ内に収
容された基板Ｇの有無、位置、枚数を検出するマッピン
グセンサ１８Ａと、容器６Ａ内に収容された基板Ｇを容
器中央位置へ移動修正して位置決めする中央位置決めア
ーム８０が具備されている。この場合、マッピングセン
サ１８Ａは、図６に示すように、可動体７６に設けられ
たガイドバー７７に沿って移動する反射型フォトセンサ
にて形成されている。なおこの場合、マッピングセンサ
１８Ａは、容器６Ａに向って配設される発光部１８ｃと
受光部１８ｄとで構成されており、発光部１８ｃの発光
軸と受光部１８ｄの受光軸との間に若干傾斜角をもたせ
ることによって発光部１８ｃから照射され反射されてき
た光ビームを受光部１８ｄにて確実に受光できるように
構成されている。このマッピングセンサ１８Ａは、その
検出信号をＣＰＵ８に伝達するように構成されている。
また、中央位置決めアーム８０は、可動体７６の上部に
搭載される図示しない往復移動機構に連結されて互いに
進退方向に移動する一対のアーム体８１と、各アーム体
８１の先端側対向面に装着されるナイロン樹脂製の基板
押圧部材８２とで構成されている。ここで基板押圧部材
８２をナイロン樹脂製部材にて形成した理由は、上記支
持突起７５ｂの場合と同様、基板Ｇの材質であるガラス
の電荷と正負逆帯電の電荷を有するナイロンによって静
電気の発生を防止するためである。

【００４１】上記ＣＰＵ８は、上記保持検出用センサ６
０及びマッピングセンサ１８Ａからの検出信号を予め記
憶された情報と比較演算して、その出力信号を表示手段
例えばアラーム９とロック機構５０及び搬送機構４Ａに
伝達し得るように構成されている。例えば、保持検出用
センサ６０によって搬入・搬出部２の所定の載置位置に
容器６Ａがロック機構５０によって適切に保持されてい
ないことが保持検出用センサ６０によって検知される
と、その検出信号に基づくＣＰＵ８からの出力信号によ
りアラーム９が作動して、作業者等にその状態を知らせ
る。また、検出信号に基づいてロック機構５０が自動的
に再駆動することにより、容器６Ａが所定位置に設置さ
れ固定保持される。そして、容器６Ａが所定位置に設置
固定された後、再び搬送機構４Ａが駆動して容器６Ａ内
の基板Ｇの検出（マッピング）が行われる。一方、マッ
ピングセンサ１８Ａが予めプログラミングされた情報と
異なる情報を検知したり、異なる種類の基板Ｇの存在を
検知した場合には、その検出信号に基づくＣＰＵ８から
の出力信号によりアラーム９が作動して、作業者等にそ
の状態を知らせる。また、その検知信号に基づいて搬送
機構４Ａが駆動してピンセット７５が容器６Ａから後退
して一旦初期位置に戻る。そして、容器６Ａが所定位置
に設置固定された後、再び搬送機構４Ａが駆動して容器
６Ａ内の基板Ｇの検出（マッピング）が行われる。

【００４２】次に、第二実施例の処理方法について、図
８に示すフローチャートを参照して説明する。まず、搬
入・搬出部２Ａの載置台上に未処理の基板Ｇを収容する
容器６Ａが所定位置に固定保持されているか否かを保持
検出用センサ６０にて検出する（ステップＡ）。保持検
出用センサ６０にて容器６Ａが正確に固定保持されてい
ないと検知された場合、その信号がＣＰＵ８に伝達さ
れ、ＣＰＵ８にて予め記憶された情報と比較演算され、
その出力信号が表示手段例えばアラーム９に伝達されて
アラーム表示されて、作業者等に知らせる（ステップ
Ｂ）。また、この出力信号に基づいてロック機構５０が
駆動して容器６Ａが搬入・搬出部２Ａの載置台上に固定
保持される（ステップＣ）。なおこの場合、作業者が手
動で容器６Ａを固定保持してもよい。

【００４３】上記のようにして、搬入・搬出部２Ａの載
置台上に容器６Ａが固定保持された後、次に、マッピン
グセンサ１８Ａによってマッピングが行われると共に、
ピンセット７５が受け取る基板Ｇの選出が行われる（ス
テップＤ）、このマッピングの際にピンセット７５の動
作に異常例えばピンセット７５が容器６Ａに接触した
り、ピンセット７５の動作が停止した場合（ステップ
Ｅ）、その信号がＣＰＵ８に伝達され、上述と同様にＣ
ＰＵ８にて予め記憶された情報と比較演算され、その出
力信号が表示手段例えばアラーム９に伝達されてアラー
ム表示されて、作業者等に知らせる（ステップＦ）。ま
た、この出力信号に基づいてピンセット７５が容器６Ａ
から後退して初期位置へ戻る（ステップＧ）。その後、
容器６Ａ内の基板Ｇは異常前と相違していないか否かが
マッピングセンサ１８Ａによって検知され（ステップ
Ｈ）、異常が無い場合はピンセット７５によって所定の
基板Ｇが取り出されて処理部３Ａへ搬送される（ステッ
プＩ）。また、異常がある場合は、上記ステップＢの工
程以降のアラーム表示、容器セット、…等の手順で容器
６Ａのセット、ピンセット７５の動作状況が適正かどう
か監視される。

【００４４】上記のように、未処理の基板Ｇを収容する
容器６Ａのセット状態の監視、容器６Ａから基板Ｇを取
り出すピンセット７５の動作の監視を行うことにより、
基板Ｇの搬送ミスを防止することができ、予めプログラ
ミングされた手順で基板Ｇを連続的に搬送して、所定の
処理を施すことができる。

【００４５】なお、処理部３に搬送された基板Ｇは、上
記半導体ウエハの場合と同様、基板搬送アーム１０Ａ，
１０Ｂに受け取られて順に、洗浄、アドヒージョン処
理、冷却され、レジスト塗布後、基板Ｇ周縁部のレジス
ト膜が除去された後、プリベーク、露光装置４０による
露光後に、現像処理、ポストベークが行われる。そして
搬入・搬出部２に搬送されて空の容器６Ａ内に収納され
る。

【００４６】なお、上記実施例では、この発明に係る処
理装置を半導体ウエハの塗布・現像処理システムとＬＣ
Ｄ基板の塗布・現像処理システムに適用した場合につい
て説明したが、必ずしも塗布・現像処理である必要はな
く、例えばエッチング処理等にも適用でき、また半導体
ウエハやＬＣＤ基板以外のＣＤ等の被処理体の処理にも
適用できることは勿論である。

【００４７】

【発明の効果】以上に説明したように、この発明によれ
ば、被処理体を収容する容器の所定位置へのセット状態
の監視及び容器内の選出された所定の被処理体の搬出手
段の動作の監視を行うことにより、被処理体の搬送ミス
を防止すると共に、被処理体の損傷を防止することがで
きるので、処理能率の向上及び歩留まりの向上を図るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第一実施例の処理装置を適用した半
導体ウエハの塗布・現像処理システムの概略平面図であ
る。

【図２】図１の半導体ウエハの塗布・現像処理システム
の要部の概略側面図である。

【図３】第一実施例における搬送機構を示す斜視図であ
る。

【図４】第一実施例の動作手順を示すフローチャートで
ある。

【図５】この発明の第二実施例の処理装置を適用したＬ
ＣＤ基板の塗布・現像処理システムの概略平面図であ
る。

【図６】第二実施例における搬送機構を示す斜視図であ
る。

【図７】第二実施例におけるロック機構のロック状態を
示す概略側面図（ａ）及びロック解除状態を示す概略側
面図（ｂ）である。

【図８】第二実施例の動作手順を示すフローチャートで
ある。

【符号の説明】

２，２Ａ 搬入・搬出部 ３，３Ａ 処理部 ４，４Ａ 搬送機構（搬送手段） ６，６Ａ 容器 ７ カセットセンサ（容器有無検出手段） ８ ＣＰＵ（制御手段） ９ アラーム（表示手段） １５ ，７５ ピンセット １８，１８Ａ マッピングセンサ（検出手段，被処理体
検出手段） ２０ 容器搬送装置（容器搬送手段） ５０ ロック機構（容器保持手段） ６０ 保持検出用センサ（容器保持検出手段） Ｗ 半導体ウエハ（被処理体） Ｇ ＬＣＤ基板（被処理体）

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の被処理体を収容する容器から選出
   された被処理体を搬出して適宜処理を施す処理方法にお
   いて、 上記容器の有無を検出する工程と、 上記容器が無い場合に、その状態を表示する工程と、 上記表示に基づいて上記容器を所定位置にセットする工
   程と、 セットされた上記容器内の上記被処理体を選出する工程
   と、を有することを特徴とする処理方法。
2. 【請求項２】 複数の被処理体を収容する容器から選出
   された被処理体を搬出して適宜処理を施す処理方法にお
   いて、 上記容器の有無を検出する手段が誤動作した場合に、そ
   の状態を表示する工程と、 上記表示に基づいて上記容器を所定位置にセットする工
   程と、 セットされた上記容器内の上記被処理体を選出する工程
   と、を有することを特徴とする処理方法。
3. 【請求項３】 複数の被処理体を収容する容器から選出
   された被処理体を搬出して適宜処理を施す処理方法にお
   いて、 上記被処理体の搬送手段が動作停止した場合に、搬送手
   段を初期位置へ戻す工程と、 上記容器内の被処理体の状態を検出する工程と、 上記容器内の被処理体の状態が上記搬送手段の停止前と
   異なる場合に、その状態を表示する工程と、 上記表示に基づいて上記容器を所定位置にセットする工
   程と、 セットされた上記容器内の被処理体を選出する工程と、
   を有することを特徴とする処理方法。
4. 【請求項４】 請求項３記載の処理方法において、 上記容器内の被処理体の状態を検出する際に、被処理体
   の種類の検出を同時に行うことを特徴とする処理方法。
5. 【請求項５】 複数の被処理体を収容する容器から選出
   された所定の被処理体を搬出して適宜処理を施す処理方
   法において、 所定位置に設置された上記容器の保持の有無を検出する
   工程と、 上記容器の保持が所定通り行われていない場合に、その
   状態を表示する工程と、 上記表示に基づいて上記容器を所定位置に設置し保持す
   る工程と、 所定位置に設置・保持された上記容器内の上記被処理体
   を選出する工程と、を有することを特徴とする処理方
   法。
6. 【請求項６】 複数の被処理体を収容する容器と、この
   容器から選出された所定の被処理体を搬出入する搬送手
   段と、上記被処理体に適宜処理を施す処理部とを具備す
   る処理装置において、 上記容器の有無を検出する容器有無検出手段と、 上記容器が無い場合に、その状態を表示する表示手段
   と、 上記表示に基づいて上記容器を所定位置にセットする容
   器搬送手段と、 セットされた上記容器内の上記被処理体を選出する検出
   手段と、 上記容器有無検出手段からの信号に基づいて上記表示手
   段及び容器搬送手段に信号を伝達する制御手段と、を具
   備することを特徴とする処理装置。
7. 【請求項７】 複数の被処理体を収容する容器と、この
   容器から選出された所定の被処理体を搬出入する搬送手
   段と、上記被処理体に適宜処理を施す処理部とを具備す
   る処理装置において、 上記容器の有無を検出する容器有無検出手段と、 上記容器有無検出手段の動作状態を検出する動作検出手
   段と、 上記容器有無検出手段が誤動作した場合に、その状態を
   表示する表示手段と、 上記表示に基づいて上記容器を所定位置にセットする容
   器搬送手段と、 セットされた上記容器内の上記被処理体を選出する検出
   手段と、 上記動作検出手段からの信号に基づいて上記表示手段及
   び容器搬送手段に信号を伝達する制御手段と、を具備す
   ることを特徴とする処理装置。
8. 【請求項８】 複数の被処理体を収容する容器と、この
   容器から選出された所定の被処理体を搬出入する搬送手
   段と、上記被処理体に適宜処理を施す処理部とを具備す
   る処理装置において、 上記容器内の被処理体の状態を検出する被処理体検出手
   段と、 上記容器内の被処理体の異常状態を表示する表示手段
   と、 上記表示に基づいて上記容器を所定位置にセットする容
   器搬送手段と、 セットされた上記容器内の被処理体を選出する検出手段
   と、 上記被処理体検出手段からの信号に基づいて上記表示手
   段及び容器搬送手段に信号を伝達する制御手段と、を有
   することを特徴とする処理装置。
9. 【請求項９】 請求項８記載の処理装置において、 上記被処理体検出手段と被処理体を選出する検出手段と
   を一体に設けると共に、被処理体の種類の検出機能を具
   備することを特徴とする処理装置。
10. 【請求項１０】 複数の被処理体を収容する容器と、こ
    の容器から選出された所定の被処理体を搬出入する搬送
    手段と、上記被処理体に適宜処理を施す処理部とを具備
    する処理装置において、 上記容器を所定位置に設置し保持する容器保持手段と、 上記容器の保持の有無を検出する容器保持検出手段と、 上記容器の保持が所定通り行われていない場合に、その
    状態を表示する表示手段と、 所定位置に設置・保持された上記容器内の上記被処理体
    を選出する検出手段と、 上記容器保持検出手段からの信号に基いて上記容器保持
    手段及び表示手段に信号を伝達する制御手段と、を有す
    ることを特徴とする処理装置。