JPH0396696A - 真空ポンプ - Google Patents

真空ポンプ

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JPH0396696A
JPH0396696A JP2222682A JP22268290A JPH0396696A JP H0396696 A JPH0396696 A JP H0396696A JP 2222682 A JP2222682 A JP 2222682A JP 22268290 A JP22268290 A JP 22268290A JP H0396696 A JPH0396696 A JP H0396696A
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ハンス―ペーター・カベリツツ
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ハラルト・レースイヒ
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は真空ポンプ、特にターボ分子真空ポンプであっ
て、マグネット軸受けを介して真空ポンプのケーシング
内で支持されたロー夕と、２つの非常回転軸受けとを備
えている形式のものに関する。
従来の技術 非常回転軸受けは、障害を生ぜしめる目標位置からのロ
ータの変位を阻止するのに役立つ。
半径方向の変位の原因は通常ポンプに対する側方からの
衝撃又は揺動にある。目標位置からの軸方向変位は例え
ば、ロータ範囲内で又は閉じられた排気部内で空気混入
が生じたぱあいに、起こる。能動的なマグネット軸受け
のぱあい目標位置からのロータの変位は、調整装置が故
障したぱあいに起こる。
分子ポンプ又はターボ分子ポンプ用の非常回転軸受けは
通常乾式に回転する軸受けである。
それというのもグリース又はオイル潤滑がポンプによっ
て生ぜしめられる真空の質を損なわせるからである。こ
れによってマグネット軸受けの利点、即ち、絶対的な潤
滑剤ひいては炭化水素自由度が失われ、乾式に回転する
軸受けの耐用寿命が制限される。それ故、ロー夕は目標
位置からの変位後（変位が生じたぱあいに非常回転軸受
けが使用される）できるだけ迅速に再び目標位置を占め
ねばならない。これによって非常回転軸受けの過剰な負
荷が回避される。しかしながらテストを試みたばあい常
に、ポンプに対して側方からの衝撃が生じた後でロー夕
が非常回転軸受けに膠着するということを、確認した。
発明が解決しようとする問題点 本発明の課題は、冒頭に述べた形式の真空ポンプにおい
て、不必要な負荷が回避されるように非常回転軸受けを
配置することにある。
問題点を解決するための手段 前記課題は本発明によれば、非常回転軸受けの間に回転
するシステムの重心が位置するように、非常回転軸受け
の位置が遺ばれていて、かつロー夕の重心からの非常回
転軸受けのそれぞれの間隔がほぼ同じであることによっ
て、解決された。
発明の作用効果 これによって特に、回転するシステムの重心に対して非
常回転軸受けをこのように配置したばあい非常回転軸受
けにロータが膠着しないようになった。非常回転軸受け
から軸を解離するのに必要な力は本発明のぱあい極めて
わずかである。
特に有利には、重心範囲にロータの両マグネット軸受け
の一方が設けられている。これによって回転するシステ
ムは揺動後極めて迅速に再び目標位置をとる。
実施例 第１図で図示のターボ分子真空ボンプ１はケーシング部
分２、３、４を有している。ケーシング部分２は同時に
ステータを成しかつステータ羽根５を支持している。ス
テータ羽根５およびロータ６に固定されたロータ羽根７
は列を成して交互に配置されていてかつ管状のガス搬送
通路８を成している。ガス搬送通路８は接続フランジ１
１によって形成されたポンプの流入部９を、通常予備真
空ポンプが接続される流出部１２に接続している。
ロータ６は軸１３に固定されていて、この軸自体はマグ
ネット軸受け１４、１５を介してボンプ１のケーシング
内に支持されている。両マグネット軸受け１４、１５の
間には駆動モータ１６が設けられていて、この駆動モー
タはコイル１７、および軸１３と共に回転する可動子１
８によって形成されている。駆動モータ１６はスロット
管モータとして構成されている。コイル１７と可動子１
８との間に配置されたスロツト管は符号１９で示されて
いる。コイル１７はスロット管およびケーシング部分３
によって形威された室２１内に設けられていて、この室
はポンプ１によって搬送されるガスに触れることはない
。
上側のマグネット軸受け１４は受動的なマグネット軸受
けとして構成されている。このマグネット軸受けは軸１
３上に固定された回転するリングディスク２２とスリー
ブ２４によって取り囲まれた定置のリングディスク２３
とから形成されている。
別のマグネット軸受け１５は部分的に能動的に（軸方向
で）かつ部分的に受動的に（半径方向で）形成されてい
る。このことを達成するために、軸１３には、それぞれ
ボスリング２６と永久磁石リング２７と補強リング２８
とから成るリングディスク２５が固定されている。この
補強リングは、高い遠心力に基づく永久磁石リングの破
壊を阻止するのに役立つ。
回転する永久磁石リング２７には定置のコイル２９が配
属されている。このコイルは、コイルを介して流れる電
流によって変えられる磁界を形成する。コイル電流の変
化はアキシアルセンサ（図示せず）に関連して行われる
。軸と共に回転するリングディスク２５の間のギャップ
内には導電性の良い磁化不能な材料から成る定置のリン
グディスク３１が設けられている。この材料は渦電流を
効果的に抑えて支承安定性をもたらす。マグネット軸受
けに相応する軸受けはヨーロッパ特許明細書第１５５６
２４号で開示されている。
回転するシステムの重心は符号３０で図示されている。
符号３２、３３によって非常回転軸受けが図示されてい
る。上側の非常回転軸受け３３は中央の支持体３４に固
定されていて、この支持体はポンプ１の流入部範囲に設
けられていてかつ支持部材３５を介してケーシング部分
２に支持されている。非常回転軸受け３３にはロータ６
においてスリーブ３６が配属されている。スリーブの内
壁と非常回転軸受け３３の外レースとの間にはギャップ
が設けられているので、これら構成部材は、ロータが目
標位置を占めているばいには互いに接触しない。大きな
揺動によってロータ回転軸線が適当に大きく半径方向に
変位したぱあいには、スリーブ３６の内壁と非常回転軸
受け３３の外レースとの接触が生ぜしめられる。非常回
転軸受け３３とスリーブ３６との間のギャップは、半径
方向変位が許容値に制限されるように、設計されている
。
所望の機能にとって特に有利には、非常回転軸受け３３
を外部から取り囲むスリーブ３６がロー夕に設けられる
。このばあい非常回転軸受け３３は定置部分に又は回転
するスリーブに固定される。
軸１３と共に回転する下側の非常回転軸受け３２は付加
的に、目標位置からのロータ６の不都合な軸方向の変位
を阻止するのに役立つ。このためにケーシング部分３、
４の間の中間フランジ３７内に半径方向の段部を有する
円筒状の切り欠き３８が設けられている。前記段部上に
はロータが過剰に軸方向で移動したばあい（例えばポン
プの流入部範囲において空気混入が生じたばあい）非常
回転軸受け３２の外レースが接触する。有利には下側の
非常回転軸受けは２つの肩付き軸受けを有していて、こ
の肩付き軸受けは、軸受け外レースの肩が隣接するよう
にもしくは、軸受けの接触平面に関連して、内側に位置
するように、対で設けられている。このような形式の肩
付き軸受けは高い軸方向力を受け止めかつわずかな軸方
向遊びを有する。このことは特にマグネット軸受けされ
たターボ分子真空ポンプのぱあいに所望される。
非常回転軸受け３２、３３は、重心３０からの間隔が同
じであるように配置されていて、この重心範囲において
は特に強力なマグネット軸受けが設けられている。この
措置は、回転するシステムが揺動後（揺動が生じたばあ
い非常回転軸受けが使用される）極めて短時間で再び目
標位置を占めるという作用を生せしめる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の真空ポンプ、特にターボ分子真空ポンプ
の１実施例を示した図である。 １　ターボ分子真空ポンプ、２、３、４・・・ケーシン
グ部分、５・・・ステータ羽根、６・・・ロータ、７・
・・ロータ羽根、８・・・ガス搬送通路、９・・・流入
部、１１，・・・接続フランジ、１２・・・流出部、１
３・・・軸、１４、１５・・・マグネット軸受け、１６
・・・駆動モータ、１７・・・コイル、１８・・・可動
子、１９・・・スロット管、２１・・・室、２２、２３
、２５３１・・・リングディスク、２４、３６・・・ス
リーブ、２６・・・ボスリング、２７・・・永久磁石リ
ング２８・・・補強リング、２９・・・コイル、３２、
３３・・・非常回転軸受け、３４・・・支持体、３７・
・・中間フランジ、３８・・・切り欠き

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、真空ポンプ、（１）であって、マグネット軸受け（
    １４、１５）を介して真空ポンプのケーシング内で支持
    されたロータ（６）と、２つの非常回転軸受け（３２、
    ３３）とを備えている形式のものにおいて、非常回転軸
    受け（３２、３３）の間に回転するシステムの重心（３
    ０）が位置するように、非常回転軸受け（３２、３３）
    の位置が選ばれていて、かつ重心からの非常回転軸受け
    の間隔がほぼ同じであること特徴とする、真空ポンプ。 ２、重心（３０）の範囲にマグネット軸受け（１４）が
    設けられている、請求項１記載の真空ポンプ。 ３、ポンプ（１）が垂直に配置されているばあい上側の
    非常回転軸受け（３３）がロータ（６）の上側にかつ下
    側の非常回転軸受け（３２）が駆動モータ（１６）の下
    側に設けられている、請求項１又は２記載の真空ポンプ
    。 ４、ロータ（６）にスリーブ（３６）が配置されていて
    、このスリーブが内壁で上側の非常回転軸受けを取り囲
    んでいる、請求項１から３までのいずれか１項記載の真
    空ポンプ。 ５、ポンプの正常運転時に上側の非常回転軸受け（３３
    ）が停止している、請求項４記載の真空ポンプ。 ６、下側の非常回転軸受け（３２）が回転するシステム
    の軸（１３）上に配置されていて、かつ非常回転軸受け
    の外レースにポンプ（１）のケーシング内で半径方向の
    段部が配属されている、請求項１から５までのいずれか
    １項記載の真空ポンプ。 ７、下側の非常回転軸受け（３２）が２つの肩付き軸受
    けを有している、請求項６記載の真空ポンプ。 ８、肩付き軸受けが、軸受け外レースが隣接するように
    、対で設けられている、請求項７記載の真空ポンプ。 ９、ターボ分子真空ポンプにおいて、２つのマグネット
    軸受け（１４、１５）を介して真空ポンプのケーシング
    内で支持されたロータ（６）と、２つの乾式に回転する
    非常回転軸受け（３２、３３）とを備えていて、非常回
    転軸受け（３２、３３）の間に回転するシステムの重心
    （３０）が位置するように非常回転軸受けの位置が選ら
    ばれていて、重心からの非常回転軸受けの間隔がほぼ同
    じであり、重心の範囲に永久磁石軸受け（１４）が配置
    されていて、回転するシステムの軸（１３）上に配置さ
    れた駆動モータの可動子（１８）が重心と一方の非常回
    転軸受け（３２）との間に設けられていて、部分的に能
    動的でかつ部分的に受動的に構成された第２のマグネッ
    ト軸受け（１５）がターボ分子ポンプのロータ（６）と
    は反対側の軸の端部に、非常回転軸受け（３２）が駆動
    モータとマグネット軸受け（１５）との間を占めるよう
    に、配置されている請求項１から８までのいずれか１項
    記載の真空ポンプ。 １０、駆動モータ（１７、１８）がスロット管モータと
    して構成されている、請求項１から９までのいずれか１
    項記載の真空ポンプ。
JP2222682A 1989-08-25 1990-08-27 真空ポンプ Expired - Lifetime JP2870604B2 (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3928047 1989-08-25
DE3931661.0 1989-09-22
DE3931661A DE3931661A1 (de) 1989-08-25 1989-09-22 Magnetgelagerte vakuumpumpe
DE3928047.0 1989-09-22

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EP (1) EP0414127B1 (ja)
JP (1) JP2870604B2 (ja)
DE (2) DE3931661A1 (ja)

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