JPH0397308A - 圧電共振部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 星果上史剋亘公里 本発明は、発振子、フィルタ等に使用される圧電共振部
品の製造方法に関する。

魚里曵宜遣 例えば、圧電共振部品としては、第６図に示すものが知
られている。このフィルタは１枚の圧電体基板に２個の
フィルタ部Ｆ１．Ｆ２を備えたチップ型フィルタ１９で
ある． フィルタ部Ｆ１は圧電体基板２０の左側上面に形成され
ている二つの入出力振動電極２３ａ．　２３ｂとこれら
に対置して基板２０の下面に形成されている一つの共通
振動電極２４から構成されている．同様に、フィルタ部
Ｆ２は基板２０の右側上面の二つの入出力振動電極２５
ａ，　２５ｂとこれらに対置する一つの共通振動電極２
６から構成されている。

フィルタ部Ｆ１とＦ２の間には溝孔２９が形成され、フ
ィルタ部Ｆ１とＦ２の電気的結合を防止している。

さらに、フィルタ部Ｆ１．Ｆ２は振動電極２３ｂと２５
ａとが導体線路２８によって電気的に接続され、振動電
極２４と２６とが共通引出し電極２７によって電気的に
接続されている。

保護基板３０．　３１は、その内向き表面に振動空間形
或用凹部３　０ａｅ　３１　ａが形成されている（第８
図参照）。

圧電体基板２０と板厚方向に重ねられた保護基板３０．
　３１とは接着剤３２によって固着され、密閉された振
動空間を形成している。

第７図にフィルタ１９の外観を示す．フィルタ１９の手
前側の左右の端部及び中央部にそれぞれ外部入出力端子
（Ａ），（Ｂ）並びに外部共通端子（Ｃ）が形成されて
いる。入出力端子（Ａ）には入出力引出し電極２１が接
続され、他方の入出力端子（Ｂ）には入出力引出し電極
２２が接続されている。さらに、共通端子（Ｃ）には共
通引出し電極２７が接続されている。

第８図に第７図のｘ−ｘ’の垂直断面図を示す。

ところで、圧電体基板２０はＰｂ（ＺｒＴｉ）Ｏｎ　，
　ＢａＴｉＯｓの圧電セラミックス基板等が使用される
が、これらの材料は機械的強度が比較的低く、例えばＢ
ａＴｉＯｍの場合、曲げ強度は１０００ｋｇ／ｃｍ２以
下である。従って、製造加工時の機械的ストレスによっ
て圧電体基板が破損するおそれがある。このため、圧電
体基板の溝孔２９加工や振動電極２３ａ．　２３ｂ等を
形成するための加工の際には、特別な配慮をした製造方
法で作製する必要がある。

発明の課題 そこで、本発明の課題は、圧電体基板が機械的ストレス
によって破損することなく加工でき、かつ、量産に適し
た圧電共振部品の製造方法を提供することにある。

課題を解決するための手段 以上の課題を解決するため、本発明に係る圧電共振部品
の製造方法は、機械的強度の低い圧電体基板と機械的強
度の高い補強基板とを貼り合わせる工程と、前記補強基
板を支持して加工を行なう工程と、を備え、前記補強基
板が圧電共振部品の構成部材を成すことを特徴とする。

なお、一般には、圧電体基板は曲げ強度が１０００ｋｇ
／　ｃｍ２以下であり、補強基板は曲げ強度が３０００
ｋｇ／ｃｍ２以上のものを使用することが好ましいが、
本発明はこのような数値の組み合わせに限定されるもの
ではない。

作用 以上の構成において、圧電体基板は補強基板によってそ
の機械的強度を補強されるので、製造加工時の機械的ス
トレスによって圧電体基板が破損する心配がない。

また、補強基板はそのまま圧電共振部品の保護基板や端
子部材等の構成部材として利用される。

衷莫勿 以下、本発明に係る圧電共振部品の製造方法の一実施例
を説明する。本実施例では２個の多重モード・フィルタ
部Ｆｌ　．　Ｆ２を備えている圧電共振部品について説
明する。

まず、第１図に示すように、圧電体基板１の下面に共通
振動電極２ａ．２ｂ及び共通引出し電極３が形成される
。基板１はＰｂ（ＺｒＴｉ）Ｏｘ　．　ＢａＴｉＯ．（
７）圧電セラミックス基板等が使用される。圧電体基板
１は比較的機械的強度が低く、例えば、Ｂａｒｉｎｇの
場合、曲げ強度で１０００ｋｇ／　ａｍ２以下である。

なお、圧電体基板１は、実際の量産工程では補強基板４
及び後述の保護基板１１と共に広面積のものを用い、接
着後に所定寸法にカットする。

第２図及び第５図に示すように、この圧電体基板１に補
強基板４を接着剤１２によって振動電極２ａ．２ｂが直
接補強基板４に接触しないように距離を保って固着する
。補強基板４の内向き表面には振動空間形成用凹部４ａ
＋　４ａが設けられていて、密閉された振動空間を形成
する。補強基板４は、高強度で耐熱性のある絶縁基板、
誘電体基板、磁性体基板等が使用される。，絶縁基板と
しては、アルミナセラミックス、ガラス、樹脂基板、絶
縁膜を塗布した金属板等の機械的強度が高い材料が望ま
しく、例えば３０００ｋｇ／　ｃｍ２以上の材料が望ま
しい。

次に、第３図に示すように、補強基板４によって、その
機械的強度が補強された圧電体基板１は、補強基板４を
ベースにして種々の製造加工が行なわれる。即ち、溝５
加工が行なわれ、２個の多重モード・フィルタ部Ｆｌ，
Ｆ２の振動電８ｉｉ６ａ，　６ｂ．　７ａ，７ｂ、入出
力引出し電極９，１ｏ並びに接続導体路８がスバッタあ
るい仕蒸着の方法によって行なわれる。その他、圧電体
基板１へのカット、スクライビング、研磨、ラッピング
、ポリッシング、エッチング等の加工、あるいは、導電
体、抵抗体、誘電体等の塗布及びそれらのめっき、エッ
チング、マスキング、熱処理、分極処理等の加工を行な
う場合もある。特に、ラッピング加工で厚さ１００μｍ
以下の高周波用圧電体基板に仕上げることができる。

なお、２個の多重モード・フィルタ部Ｆｌ　．　Ｆ２の
振動電極６ａ，　６ｂ，　７ａ，　７ｂ及び入出力引出
し電極９．１０は、共通振動電極２ａ．　２ｂ及び共通
引出し電極３が形成される際に形成してもよい。

この後、第４図及び第５図に示すように、圧電体基板１
の上側に保護基板１１を接着剤１２によって振動電極６
ａ．　６ｂ，　７ａ，　７ｂが直接保護基板１１に接触
しないように距離を保って固着する。保護基板１１の内
向き表面には振動空間形成用凹部１１ａ．　ｌｌａが設
けられていて、密閉された振動空間を形成する。

得られた圧電共振部品１５は、その手前側の左右の端部
及び中央部にそれぞれ外部入出力端子（Ａ），（Ｂ）並
びに外部共通端子（Ｃ）が形或される。入出力端子（Ａ
）には入出力引出し電極９が接続され、他方の入出力端
子（Ｂ）には入出力引出し電極１０が接続されている。

さらに、共通端子（Ｃ）には共通引出し電極３が接続さ
れている。

こうして、補強基板４はそのまま、保護基板として圧電
共振部品１５の構成部材となる。

なお、本発明に係る圧電共振部品の製造方法は前記実施
例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に
変形することができる。

圧電体基板は生産性、歩留からすると１枚で構成するの
が好ましいが、場合によっては多層にしてもよい。

また、前記実施例では、圧電体基板と補強基板との固着
を接着剤によって行なうものを示したが、鑞付け、融着
等の方法によって固着してもよい。

さらに、溝５は前記実施例のように圧電体基板１の中央
部にのみ形成されたものに限定されず、溝５を圧電体基
板１の縁部まで延長し、圧電体基板１を２分割してフィ
ルタ部Ｆ１とＦ２の電気的結合を完全に防止するもので
あってもよく、溝５を縁部まで延長した方が溝加工上好
ましい。

発明の効果 圧電体基板と補強基板とを貼り合わせる工程後、圧電体
基板は補強基板によりその機械的強度が補強されるので
、機械的ストレスによる圧電体基板の破損を心配するこ
となく機械的加工をすることができる。また、補強基板
はそのまま、圧電共振部品の構成部材として使用される
。従って、生産性が高く、かつ歩留も高い圧電共振部品
が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図、第４図は、本発明の一実施例
である圧電共振部品の製造方法を説明するための斜視図
、第５図は第４図のｘ−ｘ’の垂直断面図である。第６
図、第７図は本発明に先行する技術を示し、第６図は圧
電共振部品の分解斜視図、第７図はその外観を示す斜視
図、第８図は第７図のｘ−ｘ’の垂直断面図である。 １・・・圧電体基板、４・・・補強基板、１５・・・圧
電共振部品。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １．機械的強度の低い圧電体基板と機械的強度の高い補
   強基板とを貼り合わせる工程と、前記補強基板を支持し
   て加工を行なう工程と、を備え、前記補強基板が圧電共
   振部品の構成部材を成すことを特徴とする圧電共振部品
   の製造方法。