JPH0399433U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0399433U JPH0399433U JP1990007907U JP790790U JPH0399433U JP H0399433 U JPH0399433 U JP H0399433U JP 1990007907 U JP1990007907 U JP 1990007907U JP 790790 U JP790790 U JP 790790U JP H0399433 U JPH0399433 U JP H0399433U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- box
- exhaust
- scavenger
- gas introduction
- gas
- Prior art date
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- Granted
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Description
第１図Ａ，Ｂは本考案のスカベンジヤー装置の
実施例１の縦断面図及びノズル部の横断面図、第
２図Ａ，Ｂは本考案の実施例２を示す縦断面図及
びノズル部の横断面図、第３図Ａ，Ｂは従来のス
カベンジヤー装置の断面図及び見取図である。 １，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ…箱部、２…排気
部、３…炉芯管、４…ヒータ、５ａ，５ｂ，５ｃ
…絞り弁、６ａ，６ｂ，６ｃ…ノズル、７…ボー
ト、８…ダンパー、９…仕切り板、１０…クリア
ランス、１１…デイフユーザ板、１２…排気口。
実施例１の縦断面図及びノズル部の横断面図、第
２図Ａ，Ｂは本考案の実施例２を示す縦断面図及
びノズル部の横断面図、第３図Ａ，Ｂは従来のス
カベンジヤー装置の断面図及び見取図である。 １，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ…箱部、２…排気
部、３…炉芯管、４…ヒータ、５ａ，５ｂ，５ｃ
…絞り弁、６ａ，６ｂ，６ｃ…ノズル、７…ボー
ト、８…ダンパー、９…仕切り板、１０…クリア
ランス、１１…デイフユーザ板、１２…排気口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 半導体ウエハーの熱処理炉の炉口に設置する
スカベンジヤー装置において、半導体ウエハーを
載置したボートが通り抜け可能な穴を設けた箱部
をボート通り抜け方向に複数段重ねて配置し、こ
の箱部のそれぞれに不活性ガスを導入する部分と
排気ガスを排出する部分とを有し、且つこのガス
導入部及び排気部にガス流量を調節する流量調節
弁を有することを特徴とするスカベンジヤー装置
。 ２ 複数段に重ねられた箱部全体がガス導入部と
排気部とが交互になるように構成されている請求
項１記載のスカベンジヤー装置。 ３ 各箱部内にガス導入ノズルと排気口とを相対
向する位置に配置し、且つこの対向配置した組合
せを同一箱部内に複数有する請求項１記載のスカ
ベンジヤー装置。 ４ 炉口に接続する最上段の箱部が排気機能のみ
である請求項１又は２記載のスカベンジヤー装置
。 ５ 各箱部内のガス導入ノズル又は排気口の近傍
に、１枚もしくは複数枚のデイフユーザ板を設け
た請求項１、又は３記載のスカベンジヤー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990007907U JP2539785Y2 (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | スカベンジャー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990007907U JP2539785Y2 (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | スカベンジャー装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0399433U true JPH0399433U (ja) | 1991-10-17 |
| JP2539785Y2 JP2539785Y2 (ja) | 1997-06-25 |
Family
ID=31511556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990007907U Expired - Lifetime JP2539785Y2 (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | スカベンジャー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2539785Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61190929A (ja) * | 1985-02-20 | 1986-08-25 | Hitachi Ltd | 処理装置 |
| JPS62290126A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-12-17 | Deisuko Haitetsuku:Kk | 縦型半導体熱処理装置への半導体基板の搬入出方法および外気混入防止装置 |
-
1990
- 1990-01-29 JP JP1990007907U patent/JP2539785Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61190929A (ja) * | 1985-02-20 | 1986-08-25 | Hitachi Ltd | 処理装置 |
| JPS62290126A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-12-17 | Deisuko Haitetsuku:Kk | 縦型半導体熱処理装置への半導体基板の搬入出方法および外気混入防止装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2539785Y2 (ja) | 1997-06-25 |
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