JPH0399764U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0399764U JPH0399764U JP839290U JP839290U JPH0399764U JP H0399764 U JPH0399764 U JP H0399764U JP 839290 U JP839290 U JP 839290U JP 839290 U JP839290 U JP 839290U JP H0399764 U JPH0399764 U JP H0399764U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation
- substrate
- metal material
- plate
- cover plate
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 11
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 5
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、本考案による真空蒸着装置の要部で
ある蒸発源の分解斜視図、第２図ａとｂは前記蒸
発源を備えた真空蒸着装置の側面と上面図、第３
図は前記蒸発源の断面図、第４図は、前記真空蒸
着装置と従来の真空蒸着装置とにより成膜された
金属膜の材料使用量と金属膜の反射率との関係を
示すグラフ、第５図ａとｂは従来技術による真空
蒸着装置の概要を説明するための側面と上面図、
第６図は従来例である蒸発ボートの構造を示す斜
視図である。 １０……蒸発源、１１……凹部、１２……蒸発
ボート板、１３……覆板、１６……開口部、１７
……金属材料。
ある蒸発源の分解斜視図、第２図ａとｂは前記蒸
発源を備えた真空蒸着装置の側面と上面図、第３
図は前記蒸発源の断面図、第４図は、前記真空蒸
着装置と従来の真空蒸着装置とにより成膜された
金属膜の材料使用量と金属膜の反射率との関係を
示すグラフ、第５図ａとｂは従来技術による真空
蒸着装置の概要を説明するための側面と上面図、
第６図は従来例である蒸発ボートの構造を示す斜
視図である。 １０……蒸発源、１１……凹部、１２……蒸発
ボート板、１３……覆板、１６……開口部、１７
……金属材料。
Claims (1)
- 金属材料を加熱蒸発させる蒸発源に向けて基板
を配置し、前記金属材料を蒸発させ、その蒸気を
前記基板上に凝着させて金属膜を形成する真空蒸
着装置において、前記蒸発源が、中央部に金属材
料を収納する凹部を形成した蒸発ボート板と、該
蒸発ボート板と間隔をおいてその上部に被せられ
た覆板とからなり、蒸発ボート板と覆板とは通電
により発熱する材料からなり、これら蒸発ボート
板と覆板との間の空間部がそれらの少なくとも一
端に開口され、該開口した端部が向いた方向に基
板を配置したことを特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP839290U JPH0399764U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP839290U JPH0399764U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0399764U true JPH0399764U (ja) | 1991-10-18 |
Family
ID=31512023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP839290U Pending JPH0399764U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0399764U (ja) |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP839290U patent/JPH0399764U/ja active Pending