JPH041016Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案はウエハ処理に用いるキヤリア搬送装
置（以下キヤリアライナ）に関するもので、更に
述べるとキヤリアライナのキヤリアクランプ装置
に関するものである。

従来の技術 ウエハは、種々の処理工程を経て、半導体製品
に加工されるが、この処理工程について簡単に説
明する。まずキヤリアにウエハを収納した後ウエ
ハの収納枚数を確認するウエハカウント及びウエ
ハのオリエンテーシヨンフラツトを整列させるオ
リフラ合せ、を行なう。この工程終了後、該キヤ
リアは、キヤリアライナに載置され、移し替え部
に搬送され、そこでキヤリア内のウエハはウエハ
ボードに移し替えられる。その後、該ウエハボー
ドを熱処理炉に収納し、ウエハの熱処理を行な
う。

一方、キヤリアライナ上の空になつたキヤリア
は、該ライナから降ろされてストツカ部に保管さ
れる。

前記熱処理終了後、ウエハボードを熱処理炉か
ら取り出し、移し替え部に移動させる。そして、
前記キヤリアライナ上にストツカ部の空のキヤリ
アを載置した後、前記ウエハボード内のウエハを
該キヤリアに移し替えるとともに、該キヤリアラ
イナを駆動してキヤリアを移動させ、熱処理され
たウエハを所定場所に運ぶ。従来のキヤリアライ
ナは台車と複数組の位置決め板とクランプ板を設
け、エアーシリンダー等のアクチユエータにより
クランプ板を移動せしめ、キヤリアをクランプし
たり、開放したりしている。

考案が解決しようとする問題点 しかし、従来例では、キヤリアライナは長いス
トロークで動くので、これに伴いアクチユエータ
のセンサー、配線、配管などを引きずる事にな
り、トラブルの原因となる。

問題点を解決するための手段 この考案は、台車の搬送路内にキヤリアの積み
降し部を設け、該台車に、一対の位置決め板とク
ランプ板とを複数組設け、該クランプ板の１側を
クランプバーに固定し、該クランプバーをバー支
持具に遊嵌合し、該支持具とクランプバーのスプ
リングストツパとの間にスプリングを挿入すると
共に前記キヤリアの積み降し部に該クランプバー
を開方向に摺動せしめる抵抗体を設けることによ
り、上記問題点を解決せんとするものである。

作 用 スプリングの作用により、クランプ板は、常時
位置決め板の方向に押されるので、キヤリアは位
置決め板に押し付けられて、台車に固定される。
この固定状態においてキヤリアライナが搬送路上
を移動し、該ライナがキヤリアの積み降し部に到
達すると、抵抗体によりスプリングの反力に抗し
ながら台車の進行方向と逆方向に移動し、クラン
プ板を同方向に移動させるため、各キヤリアのク
ランプは同時に開放されるので、該キヤリアを前
記ライナから降ろす。又ストツク部にあるキヤリ
アを前記ライナのクランプ板と位置決め板との間
に配置した後、該ライナを元の位置方向に移動す
ると、抵抗体による規制が解除されるとともに、
スプリングの作用により、クランプ板が位置決め
板の方向に移動し、キヤリアを固定する。

実施例 本考案の実施例を添付図面により説明する。

図において、１はキヤリアライナで、台車２に
は精度良く等ピツチに複数の位置決め板３，４，
５が固定されている。

６，７，８は、位置決め板３，４，５に対向
し、かつ摺動自在に設けたクランプ板で、その中
央部にキヤリア９，１０，１１を押さえるスプリ
ング１２，１３，１４が設けられている。１５，
１６は、前記位置決め板３，４，５およびクラン
プ板６，７，８に遊嵌合した案内ロツドで、その
一端１５ａ，１６ａは位置決め板３に固定されて
いる。

クランプ板６，７，８の一側にクランプバー１
７を固定し、該クランプバー１７の一端を、バー
支持具１８に遊嵌合し、該バー支持具１８を位置
決め板３に固定すると共に、バー支持具１８とク
ランプバーのスプリングストツパ１７ａとの間に
スプリング１９を挿入せしめる。２０は抵抗体、
例えば、ストツパであり、台車２の搬送路３０内
のキヤリアの積み降し部３１に配設され、スプリ
ングのストツパ部１７ａと対向している。

次に、本実施例の作動につき説明する。

搬送路３０内の図示しない載置場所で、キヤリ
アライナ１の位置決め板３〜５とクランプ板６〜
８との間にウエハの入つたキヤリア９〜１１を配
設する。そうすると、スプリング１９の弾力によ
りクランプバー１７が、矢印Ａ１７方向に移動
し、キヤリア９，１０，１１は、クランプ板６，
７，８のスプリング１２，１３，１４に押されな
がら位置決め板３，４，５に固定される。

この固定状態で、キヤリアライナ１が搬送路３
０上を矢印Ａ１７方向に移動し、キヤリアの積み
降し部３１に到達したら、キヤリア内のウエハを
ウエハボードに移し替える。ウエハの移し替え終
了後キヤリアライナ１を更に同方向に移動する
と、クランプバーのスプリングストツパ１７ａ
が、キヤリアの積み降し部３１に設けたストツパ
２０に当接する。更に該ライナ１を同方向に進行
させると、クランプバー１７は、スプリング１９
を圧縮しながら開方向、即ち、クランプ板が位置
決め板から離れる方向に移動してクランプ板６，
７，８を矢印Ａ１７と逆方向に移動させる。その
ためキヤリア９，１０，１１は同時に開放される
ので、キヤリア９〜１１をキヤリアライナ１から
降ろし、ストツク部に保管するとともに、該スト
ツク部に保管していた空のキヤリアを前記ライナ
１のクランプ板と位置決め板との間に配設する。
その後キヤリアライナ１を矢印Ａ１７方向と逆方
向に移動せしめると、クランプバーのスプリング
ストツパ１７ａはストツパ２０から次第に離れ
る。そうするとスプリング１９の弾力によりクラ
ンプバー１７が閉方向、即ち、クランプ板が位置
決め板に近接する方向に移動し、キヤリアは固定
される。この状態において、熱処理の終了したウ
エハを該キヤリアに移し替えた後、キヤリアライ
ナを駆動して保管場所までキヤリアを搬送する。

他の実施例 本考案は、上記実施例に限定されるものではな
く、例えばスプリングストツパを、クランプバー
の頭部に設ける代わりにその中央部又は、後部に
設け、該スプリングストツパとバー支持具との間
にスプリングを挿入してもよい。

又、抵抗体をストツパの代わりに、平面カムと
し、第３図の様にしてもよい。即ちピン２２ａで
回動自在に支承した連結アーム２３の一端のコロ
２４を、搬送路３０の床面に設けた平面カム２１
ａに当接させると共に、他端をクランプバー１７
に回動自在に連結する。

この場合、平面カム２１ａは、搬送路３０の床
面上に設けられているので、コロ２４は、その位
置（高さ）が変化し、この変化に伴いクランプバ
ー１７が軸方向に移動し、クランプ板を開閉させ
る。

考案の効果 この考案は、以上の様に構成したのでキヤリア
ライナは複数個のキヤリアを同時にクランプして
搬送路中を移動すると共に、キヤリアの積み降し
部でこれを同時に開放することができる。又、キ
ヤリアの積み出し部にクランプバーを開方向に摺
動せしめる抵抗体を設けたので、従来例の様に配
線や配管などを設ける必要がない。そのため、従
来例の様なトラブルが発生しない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例の平面図、第２図は第
１図の正面図、第３図は、他の実施例を示す平面
図である。 ２……台車、３，４，５……位置決め板、６，
７，８……クランプ板、１７……クランプバー、
１７ａ……スプリングストツパ、１８……バー支
持具、１９……スプリング、２０……ストツパ、
３０……搬送路、３１……キヤリアの積み降し
部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 台車の搬送路内にキヤリアの積み降し部を設
   け、該台車に、一対の位置決め板とクランプ板と
   を複数組設け、該クランプ板の１側をクランプバ
   ーに固定し、該クランプバーをバー支持具に遊嵌
   合し、該支持具とクランプバーのスプリングスト
   ツパとの間にスプリングを挿入すると共に、前記
   キヤリアの積み降し部に該クランプバーを開方向
   に摺動せしめる抵抗体を設けたことを特徴とする
   キヤリアライナのクランプ装置。