JPH04102206A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH04102206A JPH04102206A JP21692190A JP21692190A JPH04102206A JP H04102206 A JPH04102206 A JP H04102206A JP 21692190 A JP21692190 A JP 21692190A JP 21692190 A JP21692190 A JP 21692190A JP H04102206 A JPH04102206 A JP H04102206A
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- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- magnetic head
- head
- metal
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気ヘッド特に磁気コアの磁気ギャップ形成
面に高飽和磁束密度の軟磁性金属膜が被着形成されて成
るいわゆるＭ Ｉ Ｇ（Ｍｅｔａｌ ｉｎ Ｇａｐ）型
磁気ヘッドに係わる。
面に高飽和磁束密度の軟磁性金属膜が被着形成されて成
るいわゆるＭ Ｉ Ｇ（Ｍｅｔａｌ ｉｎ Ｇａｐ）型
磁気ヘッドに係わる。
口発明の概要〕
本発明は磁気ギャップ形成面に、高飽和磁束密度の軟磁
性金属磁性膜が被着形成されて成る磁気ヘッドにおいて
、金属磁性膜にトラック幅方向に磁化容易軸を誘導して
記録及び再生出力特性の向上をはかる。
性金属磁性膜が被着形成されて成る磁気ヘッドにおいて
、金属磁性膜にトラック幅方向に磁化容易軸を誘導して
記録及び再生出力特性の向上をはかる。
磁気ヘッドに用いられる磁性材には、高透磁率を有する
ことが要求される。そして、この高透磁率はＭＨｚ帯以
上の高周波において、磁化困難軸方向に磁路を形成する
ことによって得られることができることが知られている
。
ことが要求される。そして、この高透磁率はＭＨｚ帯以
上の高周波において、磁化困難軸方向に磁路を形成する
ことによって得られることができることが知られている
。
したがって、この磁性材の磁気異方性の大きさや、方向
を制御することで磁気ヘッドの電磁変換特性が大きく左
右される。
を制御することで磁気ヘッドの電磁変換特性が大きく左
右される。
例えば、特開昭６２−１３９１１４号公開公報（資料１
）には、基板上に磁気抵抗効果（ＭＲ）型磁気ヘッドと
誘導型磁気ヘッドとが積層されたすなわち薄膜型の磁気
ヘッドにおいて両ヘッドのトラック幅方向、すなわち、
誘導型磁気ヘッドの薄膜ヨークについてもその膜面方向
に一軸異方性が発生するようにしてこれとほぼ直交する
膜面方向の磁束が通る方向を磁化困難軸方向として、高
周波帯域で高い透磁率を示すようにしてヘッドの記録効
率の向上をはかるものである。
）には、基板上に磁気抵抗効果（ＭＲ）型磁気ヘッドと
誘導型磁気ヘッドとが積層されたすなわち薄膜型の磁気
ヘッドにおいて両ヘッドのトラック幅方向、すなわち、
誘導型磁気ヘッドの薄膜ヨークについてもその膜面方向
に一軸異方性が発生するようにしてこれとほぼ直交する
膜面方向の磁束が通る方向を磁化困難軸方向として、高
周波帯域で高い透磁率を示すようにしてヘッドの記録効
率の向上をはかるものである。
更に、特開昭６３−３０４４１４号公報（資料２）には
、強磁性薄膜と絶縁薄膜とを交互に積層した多層膜構造
のへラドコアによる磁気ヘッドにおいて、ヘッドコアの
磁化容易軸の方向をトラック幅方向と平行にして特性の
向上をはかるに、形状による反磁界係数が大なることに
よるトラック幅方向を磁化容易軸とすることの困難性を
、多層膜の積層面をテープ摺動面に対してトラック幅方
向に傾斜させることによって補償することの記載がある
。
、強磁性薄膜と絶縁薄膜とを交互に積層した多層膜構造
のへラドコアによる磁気ヘッドにおいて、ヘッドコアの
磁化容易軸の方向をトラック幅方向と平行にして特性の
向上をはかるに、形状による反磁界係数が大なることに
よるトラック幅方向を磁化容易軸とすることの困難性を
、多層膜の積層面をテープ摺動面に対してトラック幅方
向に傾斜させることによって補償することの記載がある
。
しかしながら第２図に示すように、例えば高周波特性に
すぐれた磁性フェライト等より成る対の磁気コア（ＩＡ
）及び（ＩＢ）を互いに対向させ、これらの前方端面間
に形成される磁気ギャップｇの形成面すなわちその前方
対向端面に高飽和磁束密度Ｂｓを有する軟磁性金属磁性
膜（２）が形成されてなる磁気ヘッドいわゆるＭＩＧ磁
気ヘッドにおいては、その軟磁性金属磁性膜（２）に対
する磁路の方向が、前述した資料１及び２における薄膜
の磁気コアとは異なる態様を採ることから、例えば特開
平１−１５８６０６号公開公報（資料３）に示されるよ
うに、ギャップデプス方向に一軸異方性を誘導すること
で少くともその軟磁性金属磁性膜（２）に対して垂直方
向の透磁率の向上をはかるようにしたＭＩＧ型の磁気ヘ
ッドの提案がなされている。
すぐれた磁性フェライト等より成る対の磁気コア（ＩＡ
）及び（ＩＢ）を互いに対向させ、これらの前方端面間
に形成される磁気ギャップｇの形成面すなわちその前方
対向端面に高飽和磁束密度Ｂｓを有する軟磁性金属磁性
膜（２）が形成されてなる磁気ヘッドいわゆるＭＩＧ磁
気ヘッドにおいては、その軟磁性金属磁性膜（２）に対
する磁路の方向が、前述した資料１及び２における薄膜
の磁気コアとは異なる態様を採ることから、例えば特開
平１−１５８６０６号公開公報（資料３）に示されるよ
うに、ギャップデプス方向に一軸異方性を誘導すること
で少くともその軟磁性金属磁性膜（２）に対して垂直方
向の透磁率の向上をはかるようにしたＭＩＧ型の磁気ヘ
ッドの提案がなされている。
しかしながら、この種磁気ヘッドにおいて必ずしも充分
その記録及び再生特性において周波数特性の改善がはか
るれなし）ことが究明された。
その記録及び再生特性において周波数特性の改善がはか
るれなし）ことが究明された。
二発明が解決しようとする課題〕
本発明においては、上述したＭＩＧ型磁気ヘッドにおい
てその記録及び再生特性が安定して低域及び高域におい
て優れた特性を有するようにした磁気ヘッドを提供する
。
てその記録及び再生特性が安定して低域及び高域におい
て優れた特性を有するようにした磁気ヘッドを提供する
。
二課題を解決するための手段：
本発明においては、第１図にその路線的拡大斜視図を示
すように、磁気コア（１人）及び（ＩＢ）の磁気ギャッ
プｇの形成面に高飽和磁束密度Ｂｓを有する軟磁性金属
磁性膜（２）が被着形成されてなる磁気ヘッドにおいて
、その金属磁性膜（２）にトラック輻Ｔｗ方向に磁化容
易軸を誘導する。
すように、磁気コア（１人）及び（ＩＢ）の磁気ギャッ
プｇの形成面に高飽和磁束密度Ｂｓを有する軟磁性金属
磁性膜（２）が被着形成されてなる磁気ヘッドにおいて
、その金属磁性膜（２）にトラック輻Ｔｗ方向に磁化容
易軸を誘導する。
上述の本発明構成によれば、低域及び高域において優れ
た記録及び再生特性が得られることが確認された。
た記録及び再生特性が得られることが確認された。
さらに、第１図を参照して本発明による磁気ヘッドの一
例を詳細に説明する。
例を詳細に説明する。
実施例１
例えば周波数特性の高いＭｎ２ｎフェライトよりなり主
たる磁気コア（ＩＡ）及び（ＩＢ）の磁気ギャップｇの
形成面に高飽和磁束密度Ｂｓを有する例えばＣｏ２ｒ系
アモルファスのスパッタ膜による軟磁性金属磁性膜が被
着された構成を有する。このようにして磁気コア（ＩＡ
）及び（ＩＢ）が対向合体されて形成された磁気へラド
チップに対してこれを所要の磁界例えば４ ｋＯｅ中で
そのギャップ長方向く磁気コア（ＩＡ）及び（ＩＢ）の
ギャップ形成面と直交する方向）に沿うチップの中央部
の第１図鎖線ａで示す軸を中心として３５０℃の加熱下
で１０分間回転させる方法による回転磁界中加熱アニー
ルいわゆるＲＦＡによってまず磁気異方性を排除する。
たる磁気コア（ＩＡ）及び（ＩＢ）の磁気ギャップｇの
形成面に高飽和磁束密度Ｂｓを有する例えばＣｏ２ｒ系
アモルファスのスパッタ膜による軟磁性金属磁性膜が被
着された構成を有する。このようにして磁気コア（ＩＡ
）及び（ＩＢ）が対向合体されて形成された磁気へラド
チップに対してこれを所要の磁界例えば４ ｋＯｅ中で
そのギャップ長方向く磁気コア（ＩＡ）及び（ＩＢ）の
ギャップ形成面と直交する方向）に沿うチップの中央部
の第１図鎖線ａで示す軸を中心として３５０℃の加熱下
で１０分間回転させる方法による回転磁界中加熱アニー
ルいわゆるＲＦＡによってまず磁気異方性を排除する。
その後、トラック幅Ｔｒ方向に外部磁界を一致させた状
態で停止した静止磁界加熱アニールいわゆるＳＦＡを２
１０℃で３０分間行ってトラック幅方向Ｔｉｖ に磁化
容易軸を誘導する。
態で停止した静止磁界加熱アニールいわゆるＳＦＡを２
１０℃で３０分間行ってトラック幅方向Ｔｉｖ に磁化
容易軸を誘導する。
このヘッドチップの両磁気コア（ＩＡ）及び（ＩＢ）に
はヘッド巻線（３）を巻装する。
はヘッド巻線（３）を巻装する。
比較例１
実施例１と同様にＲＦＡ及びＳＦＡによるものの、ギャ
ップデプス方向にＳＦＡを行ってギャップデプス方向に
磁化容易軸を誘導した磁気ヘッドを構成した。
ップデプス方向にＳＦＡを行ってギャップデプス方向に
磁化容易軸を誘導した磁気ヘッドを構成した。
上述の実施例１及び比較例１による各ヘッドの記録及び
再生の出力特性を測定した。この場合、各磁気ヘッドは
、その磁気コア（ＩＡ）及び（ＩＢ）の高さすなわちヘ
ッドチップの高さｌをｌ、 ９ｍｍとし、幅Ｗを２．０
ｍｍとし、厚さｔを２００μｍとし、トラック幅Ｔｗを
８５μｍとし、ギャップ長を０．２５７μｍとし、ギャ
ップデプスを２０μｍとし、軟磁性金属磁性膜（２）の
厚さ（ギャップ長方向の厚さ）を８μｍとした。そして
、これら磁気ヘッドを、金属薄膜型磁気テープを走行速
度６．９ｍ／ｓｅｃをもって各実施例１及び比較例１の
ヘッドについてその記録及び再生出力特性の各周波数に
対して行った測定結果を表１に示す。この場合、アニー
ル処理をＲＦＡのみを行ったものについての特性をＯ［
］Ｂとした。
再生の出力特性を測定した。この場合、各磁気ヘッドは
、その磁気コア（ＩＡ）及び（ＩＢ）の高さすなわちヘ
ッドチップの高さｌをｌ、 ９ｍｍとし、幅Ｗを２．０
ｍｍとし、厚さｔを２００μｍとし、トラック幅Ｔｗを
８５μｍとし、ギャップ長を０．２５７μｍとし、ギャ
ップデプスを２０μｍとし、軟磁性金属磁性膜（２）の
厚さ（ギャップ長方向の厚さ）を８μｍとした。そして
、これら磁気ヘッドを、金属薄膜型磁気テープを走行速
度６．９ｍ／ｓｅｃをもって各実施例１及び比較例１の
ヘッドについてその記録及び再生出力特性の各周波数に
対して行った測定結果を表１に示す。この場合、アニー
ル処理をＲＦＡのみを行ったものについての特性をＯ［
］Ｂとした。
これより明らかなように、ギャップデプス方向に磁化容
易軸を誘導した比較例１の磁気ヘッドに比し本発明によ
る磁気ヘッドは、その周波数特性が低域及び高域におい
て改善されていることがわかる。
易軸を誘導した比較例１の磁気ヘッドに比し本発明によ
る磁気ヘッドは、その周波数特性が低域及び高域におい
て改善されていることがわかる。
本発明による磁気ヘッドは、複数個のへラドチップの磁
気コア（ＩＡ）及び（ＩＢ）を形成する対の例えばフェ
ライトよりなる磁性ブロックを設け、これらを互いに対
向合体し、この合体ブロックから複数のヘッドチップを
切り出して形成し得る。
気コア（ＩＡ）及び（ＩＢ）を形成する対の例えばフェ
ライトよりなる磁性ブロックを設け、これらを互いに対
向合体し、この合体ブロックから複数のヘッドチップを
切り出して形成し得る。
各磁性ブロックの互いの対向面には予め各巻線溝（４）
を掘り込み更にその互し）の対向面にそれぞれ高飽和磁
束密度Ｂｓの軟磁性金属磁性膜（２）例えばＣｏＸｒ系
アモルファスを例えばスパッタによって被着形成しおく
。
を掘り込み更にその互し）の対向面にそれぞれ高飽和磁
束密度Ｂｓの軟磁性金属磁性膜（２）例えばＣｏＸｒ系
アモルファスを例えばスパッタによって被着形成しおく
。
各磁性膜（２）は、これらを各ブロックに被着した状態
で前述したＲＦＡ及びＳ Ｆ Ａを行うか、あるいは両
ブロックを合体して合体ブロックを形成して後に上述の
ＲＦＡ及びＳＦＡを行うか、更にまたはこの合体ブロッ
ク切断して各磁気へラドチップを形成して後に上述した
ＲＦＡ及びＳＦＡを行うか、いずれかの方法をも採り得
る。
で前述したＲＦＡ及びＳ Ｆ Ａを行うか、あるいは両
ブロックを合体して合体ブロックを形成して後に上述の
ＲＦＡ及びＳＦＡを行うか、更にまたはこの合体ブロッ
ク切断して各磁気へラドチップを形成して後に上述した
ＲＦＡ及びＳＦＡを行うか、いずれかの方法をも採り得
る。
また第１図に示した例では、磁気記録媒体との対向面の
中央部にトラック幅Ｔｗ を規制する凸部を形成するよ
うにその創外側に切込み（２１）を形成したものである
が、このような形状に限らず、種々の構成によることが
できる。
中央部にトラック幅Ｔｗ を規制する凸部を形成するよ
うにその創外側に切込み（２１）を形成したものである
が、このような形状に限らず、種々の構成によることが
できる。
上述したように本発明によれば、ＭＩＧ型磁気ヘッドに
おいて、その高飽和磁束密度Ｂｓを有する軟磁性金属磁
性膜（２）の特にトラック幅方向に磁化容易軸を誘導す
るようにしたことによって低域及び高域に対して再生記
録特性の向上がはかられる。
おいて、その高飽和磁束密度Ｂｓを有する軟磁性金属磁
性膜（２）の特にトラック幅方向に磁化容易軸を誘導す
るようにしたことによって低域及び高域に対して再生記
録特性の向上がはかられる。
第１図は本発明による磁気ヘッドの一例の路線的拡大斜
視図、第２図は従来の磁気ヘッドの説明に供する斜視図
である。 （ＩＡ）及び（ＩＢ）は磁気コア、（２）は軟磁性金属
磁性膜、（３）はヘッド巻線、ｇは磁気ギャップである
。 石蘇１了 ４着４鬼ｊＪｋ木発８
月１＝よる石鼓叡ヘットの−Ｒりの梁叫ネ見ロ第１図 代 理 人 松 隈 秀 盛第２図
視図、第２図は従来の磁気ヘッドの説明に供する斜視図
である。 （ＩＡ）及び（ＩＢ）は磁気コア、（２）は軟磁性金属
磁性膜、（３）はヘッド巻線、ｇは磁気ギャップである
。 石蘇１了 ４着４鬼ｊＪｋ木発８
月１＝よる石鼓叡ヘットの−Ｒりの梁叫ネ見ロ第１図 代 理 人 松 隈 秀 盛第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 磁気コアの磁気ギャップ形成面に高飽和磁束密度の軟
磁性金属磁性膜が被着形成されて成る磁気ヘッドにおい
て、 上記金属磁性膜に、トラック幅方向に磁化容易軸を誘導
して成ることを特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2216921A JP3036020B2 (ja) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2216921A JP3036020B2 (ja) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04102206A true JPH04102206A (ja) | 1992-04-03 |
| JP3036020B2 JP3036020B2 (ja) | 2000-04-24 |
Family
ID=16696016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2216921A Expired - Fee Related JP3036020B2 (ja) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3036020B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112048704A (zh) * | 2020-08-13 | 2020-12-08 | 北京航空航天大学合肥创新研究院 | 一种超薄多层膜的集成式加工设备及应用方法 |
-
1990
- 1990-08-17 JP JP2216921A patent/JP3036020B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112048704A (zh) * | 2020-08-13 | 2020-12-08 | 北京航空航天大学合肥创新研究院 | 一种超薄多层膜的集成式加工设备及应用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3036020B2 (ja) | 2000-04-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |