JPH05282619A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
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- JPH05282619A JPH05282619A JP10383992A JP10383992A JPH05282619A JP H05282619 A JPH05282619 A JP H05282619A JP 10383992 A JP10383992 A JP 10383992A JP 10383992 A JP10383992 A JP 10383992A JP H05282619 A JPH05282619 A JP H05282619A
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- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成で高周波特性を向上させる。
【構成】 ＭＩＧ型磁気ヘッドのコイル窓２に磁路Φと
直交する方向の筋３を複数形成し、その上に金属薄膜を
形成するようにし、誘導磁気異方性により金属磁性膜を
スパッタリングなどで成膜する際に磁化容易軸がコイル
窓２内の筋３によって誘導形成されるようにしている。
直交する方向の筋３を複数形成し、その上に金属薄膜を
形成するようにし、誘導磁気異方性により金属磁性膜を
スパッタリングなどで成膜する際に磁化容易軸がコイル
窓２内の筋３によって誘導形成されるようにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドに関する。更
に詳述すると、本発明は、少なくとも一方の磁気コア半
体が酸化物磁性材料の基板と金属磁性薄膜により構成さ
れる一対の磁気コア半体を突合せてなる所謂メタル・イ
ン・ギャップ（ＭＩＧ）型磁気ヘッドの改良に関する。
に詳述すると、本発明は、少なくとも一方の磁気コア半
体が酸化物磁性材料の基板と金属磁性薄膜により構成さ
れる一対の磁気コア半体を突合せてなる所謂メタル・イ
ン・ギャップ（ＭＩＧ）型磁気ヘッドの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、磁気記録密度の高密度化が進んで
おり、より高い抗磁力と残留磁束密度を有する磁気テー
プなどのメディアが使用されている。これに伴なって磁
気ヘッドにも高い飽和磁束密度と透磁率を有する磁気ヘ
ッドが要望されている。
おり、より高い抗磁力と残留磁束密度を有する磁気テー
プなどのメディアが使用されている。これに伴なって磁
気ヘッドにも高い飽和磁束密度と透磁率を有する磁気ヘ
ッドが要望されている。
【０００３】このような磁気ヘッドとしては、例えば特
開平1-100714号に示すように、コアの大部分をフェライ
トなどの酸化物磁性材料の基板で構成し、ギャップ対向
面にのみセンダスト等の高飽和磁束密度材料の薄膜を使
用したＭＩＧヘッドが知られている。このＭＩＧヘッド
は、少なくとも一方の磁気コア半体が酸化物磁性材料の
基板と金属磁性薄膜により構成される一対の磁気コア半
体をＳｉＯ2 等のギャップ材の層を介在させて突合せ、
ＳｉＯ2 等のギャップ材の層を介在させて突合せられる
一方の磁気コア半体の金属磁性薄膜と、これに対向する
他方の磁気コア半体の金属磁性薄膜あるいは酸化物磁性
材との間で磁気ギャップを形成するようにしている。
開平1-100714号に示すように、コアの大部分をフェライ
トなどの酸化物磁性材料の基板で構成し、ギャップ対向
面にのみセンダスト等の高飽和磁束密度材料の薄膜を使
用したＭＩＧヘッドが知られている。このＭＩＧヘッド
は、少なくとも一方の磁気コア半体が酸化物磁性材料の
基板と金属磁性薄膜により構成される一対の磁気コア半
体をＳｉＯ2 等のギャップ材の層を介在させて突合せ、
ＳｉＯ2 等のギャップ材の層を介在させて突合せられる
一方の磁気コア半体の金属磁性薄膜と、これに対向する
他方の磁気コア半体の金属磁性薄膜あるいは酸化物磁性
材との間で磁気ギャップを形成するようにしている。
【０００４】金属磁性薄膜は、酸化物磁性材のギャップ
対向面（本明細書では突合せたとき対向する面をいう）
にスパッタリングなどの真空薄膜形成技術によって膜付
けされる。このとき、センダスト等の結晶磁性膜は一般
に磁気異方性が等方的であると考えられていたことか
ら、金属磁性膜を形成するギャップ対向面には何らの特
別の処置を施すこともなく平滑なギャップ対向面に正対
する方向からスパッタリングを行っている。
対向面（本明細書では突合せたとき対向する面をいう）
にスパッタリングなどの真空薄膜形成技術によって膜付
けされる。このとき、センダスト等の結晶磁性膜は一般
に磁気異方性が等方的であると考えられていたことか
ら、金属磁性膜を形成するギャップ対向面には何らの特
別の処置を施すこともなく平滑なギャップ対向面に正対
する方向からスパッタリングを行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、センダ
スト等の結晶磁性膜には実際には顕著な磁気異方性が表
われることが実験結果から検証されている。このため、
センダスト等の結晶磁性膜の磁気異方性を考慮していな
い従来の磁気ヘッドは、これら金属磁性膜の特性を十分
に発揮し切れないものであった。即ち、従来の磁気ヘッ
ドは、高周波帯域（ほぼ２０ＭＨｚ〜３０ＭＨｚまで）
における透磁率に改善の余地があるものであった。
スト等の結晶磁性膜には実際には顕著な磁気異方性が表
われることが実験結果から検証されている。このため、
センダスト等の結晶磁性膜の磁気異方性を考慮していな
い従来の磁気ヘッドは、これら金属磁性膜の特性を十分
に発揮し切れないものであった。即ち、従来の磁気ヘッ
ドは、高周波帯域（ほぼ２０ＭＨｚ〜３０ＭＨｚまで）
における透磁率に改善の余地があるものであった。
【０００６】本発明は、簡単な構成で高周波特性を向上
させ得る磁気ヘッドを提供することを目的とする。
させ得る磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明は、トラック幅のギャップ対向面に強磁性金
属の薄膜を膜付けしたコア半体を対向させて前記薄膜の
間でギャップを形成すると共に、前記薄膜間にコイル窓
を形成し該コイル窓を利用して巻線をする磁気ヘッドに
おいて、前記コイル窓に磁路と直交する方向の筋を複数
形成し、その上に前記金属薄膜を形成するようにしてい
る。
め、本発明は、トラック幅のギャップ対向面に強磁性金
属の薄膜を膜付けしたコア半体を対向させて前記薄膜の
間でギャップを形成すると共に、前記薄膜間にコイル窓
を形成し該コイル窓を利用して巻線をする磁気ヘッドに
おいて、前記コイル窓に磁路と直交する方向の筋を複数
形成し、その上に前記金属薄膜を形成するようにしてい
る。
【０００８】
【作用】フェライト等の基板のギャップ対向面にセンダ
スト等の強磁性金属をスパッタリング等によって膜付け
する時、誘導磁気異方性により磁化容易軸が基板表面の
筋によって誘導形成される。したがって、センダストな
どの金属磁性材膜を流れる磁束と直交する方向に形成さ
れたコイル窓の筋に沿って金属磁性材膜の磁気容易軸が
形成され、高周波特性を向上させる。
スト等の強磁性金属をスパッタリング等によって膜付け
する時、誘導磁気異方性により磁化容易軸が基板表面の
筋によって誘導形成される。したがって、センダストな
どの金属磁性材膜を流れる磁束と直交する方向に形成さ
れたコイル窓の筋に沿って金属磁性材膜の磁気容易軸が
形成され、高周波特性を向上させる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の構成を図面に示す実施例に基
づいて詳細に説明する。
づいて詳細に説明する。
【００１０】図１に本発明の磁気ヘッドを構成する一方
の磁気コア半体の基板部分のみを示す。この磁気コア半
体の基板１は、例えばフェライトなどの酸化物磁性材で
構成されている。基板１は、必要に応じてトラック幅の
ギャップ対向面を形成するため、ギャップ対向面４の少
なくとも磁気ギャップを形成する部分にトラック規制溝
が設けられて所定トラック幅に規制されている。
の磁気コア半体の基板部分のみを示す。この磁気コア半
体の基板１は、例えばフェライトなどの酸化物磁性材で
構成されている。基板１は、必要に応じてトラック幅の
ギャップ対向面を形成するため、ギャップ対向面４の少
なくとも磁気ギャップを形成する部分にトラック規制溝
が設けられて所定トラック幅に規制されている。
【００１１】一対の磁気コア半体の少なくとも一方の基
板１のギャップ対向面４にはコイルを巻回するためのコ
イル窓２が設けられている。このコイル窓２には磁化容
易軸を形成したい方向に複数本の筋３が形成されてい
る。本実施例のリング型磁気ヘッドの場合、磁路に直交
する方向に磁化容易軸を配置することが高周波帯域にお
ける金属磁性膜５の透磁率を高めるという知見に基づい
て、磁束方向と直交する方向に複数本の筋３が形成され
ている。この筋３は、その形状や本数、ピッチなどには
特に限定されるものではないが、好ましくは数μｍ〜数
十μｍの例えば溝あるいは突条などから成る凹凸で構成
される。
板１のギャップ対向面４にはコイルを巻回するためのコ
イル窓２が設けられている。このコイル窓２には磁化容
易軸を形成したい方向に複数本の筋３が形成されてい
る。本実施例のリング型磁気ヘッドの場合、磁路に直交
する方向に磁化容易軸を配置することが高周波帯域にお
ける金属磁性膜５の透磁率を高めるという知見に基づい
て、磁束方向と直交する方向に複数本の筋３が形成され
ている。この筋３は、その形状や本数、ピッチなどには
特に限定されるものではないが、好ましくは数μｍ〜数
十μｍの例えば溝あるいは突条などから成る凹凸で構成
される。
【００１２】以上のように構成される基板１のギャップ
対向面４およびコイル窓２に強磁性金属の薄膜５を膜付
けした一対のコア半体を図２に示すように対向させて低
融点ガラス７を用いたガラスボンディングなどで接合す
ることによって、金属薄膜５，５の間でトラック幅の磁
気ギャップｇを形成する磁気ヘッドを構成する。尚、基
板１のギャップ対向面２上にはセンダスト合金等の金属
磁性薄膜３の他、１ないし２以上の極めて薄い保護膜が
必要に応じて形成されている。符号６はギャップ材であ
る。
対向面４およびコイル窓２に強磁性金属の薄膜５を膜付
けした一対のコア半体を図２に示すように対向させて低
融点ガラス７を用いたガラスボンディングなどで接合す
ることによって、金属薄膜５，５の間でトラック幅の磁
気ギャップｇを形成する磁気ヘッドを構成する。尚、基
板１のギャップ対向面２上にはセンダスト合金等の金属
磁性薄膜３の他、１ないし２以上の極めて薄い保護膜が
必要に応じて形成されている。符号６はギャップ材であ
る。
【００１３】以上のように構成される磁気ヘッドは例え
ば次のようにして製造される。
ば次のようにして製造される。
【００１４】まず、各磁気コア半体の基板となるフェラ
イト基板１，１を用意し、これらのギャップ対向面にコ
イル窓２及び必要であればトラック幅を規制するための
トラック規制溝を研削によって構成する。そして、コイ
ル窓２部分に磁化容易軸を形成したい方向即ちギャップ
対向面４に形成される金属磁性膜５を流れる磁束Φに直
交する方向に複数本の筋３が形成される。この筋３は例
えば適当な荒さの砥石などで加工される。
イト基板１，１を用意し、これらのギャップ対向面にコ
イル窓２及び必要であればトラック幅を規制するための
トラック規制溝を研削によって構成する。そして、コイ
ル窓２部分に磁化容易軸を形成したい方向即ちギャップ
対向面４に形成される金属磁性膜５を流れる磁束Φに直
交する方向に複数本の筋３が形成される。この筋３は例
えば適当な荒さの砥石などで加工される。
【００１５】次に、これらフェライト基板１，１を洗浄
し、各ギャップ対向面４及びコイル窓２に必要に応じて
反応防止層を形成した後、スパッタリング等の薄膜形成
技術を用いて金属磁性薄膜５となるセンダスト合金等を
成膜する。このとき、センダスト等の磁性膜は誘導磁気
異方性により磁気容易軸が筋３に沿って誘導形成され
る。即ち、コイル窓２の表面を流れる磁束に対し直交す
る方向に磁化容易軸が形成される。
し、各ギャップ対向面４及びコイル窓２に必要に応じて
反応防止層を形成した後、スパッタリング等の薄膜形成
技術を用いて金属磁性薄膜５となるセンダスト合金等を
成膜する。このとき、センダスト等の磁性膜は誘導磁気
異方性により磁気容易軸が筋３に沿って誘導形成され
る。即ち、コイル窓２の表面を流れる磁束に対し直交す
る方向に磁化容易軸が形成される。
【００１６】その後、センダストの膜３の上から同様に
スパッタリングによってセンダスト側へのガラス成分の
拡散防止のための保護膜を必要に応じて形成した後、そ
の上にギャップ材６としてのＳｉＯ2 の膜などを所定厚
さで形成する。
スパッタリングによってセンダスト側へのガラス成分の
拡散防止のための保護膜を必要に応じて形成した後、そ
の上にギャップ材６としてのＳｉＯ2 の膜などを所定厚
さで形成する。
【００１７】このようにして形成された一対の磁気コア
半体を突合せて例えば低融点ガラスで接合し、所定のト
ラック幅の磁気ギャップｇを形成した磁気ヘッドのブロ
ックを得る。尚、低融点ガラスは突合せられた磁気コア
半体のポールピース部の両側のトラック規制溝内あるい
はコイル窓２などに充填される。
半体を突合せて例えば低融点ガラスで接合し、所定のト
ラック幅の磁気ギャップｇを形成した磁気ヘッドのブロ
ックを得る。尚、低融点ガラスは突合せられた磁気コア
半体のポールピース部の両側のトラック規制溝内あるい
はコイル窓２などに充填される。
【００１８】その後、この磁気ヘッドのブロックに対し
て必要な研削やラップ仕上げが施されてから、スライス
されて多数の磁気ヘッドチップとして切り出される。
て必要な研削やラップ仕上げが施されてから、スライス
されて多数の磁気ヘッドチップとして切り出される。
【００１９】尚、上述の実施例は本発明の好適な実施の
一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の
要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能であ
る。例えば、好ましくは従来公知のギャップ幅を狭くす
ること及びディプスを浅くすること等を併せて実施する
ことで更に高周波特性の向上を図り得る。また、本実施
例では両方の磁気コア半体にコイル窓２及び金属磁性薄
膜５がそれぞれ形成された複合磁気ヘッドについて説明
したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例え
ば片方の磁気コア半体のみにコイル窓２及び金属磁性薄
膜５が形成された複合磁気ヘッドにも応用できることは
言うまでもない。この場合にはギャップ材の層を介在さ
せて突合せられる一方の磁気コア半体の金属磁性薄膜
と、これに対向する他方の磁気コア半体の酸化物磁性材
との間でギャップｇが構成される。
一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の
要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能であ
る。例えば、好ましくは従来公知のギャップ幅を狭くす
ること及びディプスを浅くすること等を併せて実施する
ことで更に高周波特性の向上を図り得る。また、本実施
例では両方の磁気コア半体にコイル窓２及び金属磁性薄
膜５がそれぞれ形成された複合磁気ヘッドについて説明
したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例え
ば片方の磁気コア半体のみにコイル窓２及び金属磁性薄
膜５が形成された複合磁気ヘッドにも応用できることは
言うまでもない。この場合にはギャップ材の層を介在さ
せて突合せられる一方の磁気コア半体の金属磁性薄膜
と、これに対向する他方の磁気コア半体の酸化物磁性材
との間でギャップｇが構成される。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
の磁気ヘッドは、コイル窓に磁路と直交する方向の筋を
複数形成し、その上に前記金属薄膜を形成するようにし
たので、誘導磁気異方性により金属磁性膜をスパッタリ
ングなどで成膜する際に磁化容易軸がコイル窓内の筋に
よって誘導形成される。
の磁気ヘッドは、コイル窓に磁路と直交する方向の筋を
複数形成し、その上に前記金属薄膜を形成するようにし
たので、誘導磁気異方性により金属磁性膜をスパッタリ
ングなどで成膜する際に磁化容易軸がコイル窓内の筋に
よって誘導形成される。
【００２１】したがって、本発明の磁気ヘッドは、金属
磁性材膜の磁気容易軸が当該金属磁性膜を流れる磁束と
直交する方向に形成され、高周波特性を向上させる。し
かも、この磁気ヘッドはコイル巻線窓に筋を複数形成す
るだけの簡単な構成で従来よりも高周波特性向上を達成
できる。
磁性材膜の磁気容易軸が当該金属磁性膜を流れる磁束と
直交する方向に形成され、高周波特性を向上させる。し
かも、この磁気ヘッドはコイル巻線窓に筋を複数形成す
るだけの簡単な構成で従来よりも高周波特性向上を達成
できる。
【図１】本発明の磁気ヘッドを構成する磁気コア半体の
一実施例を基板のみで示す斜視図である。
一実施例を基板のみで示す斜視図である。
【図２】本発明の磁気ヘッドの一実施例を示す斜視図で
ある。
ある。
１ 磁気コア半体を構成する基板 ２ コイル窓 ３ 筋 ５ 磁気コア半体を構成する強磁性金属の薄膜 ｇ 磁気ギャップ
Claims (1)
- 【請求項１】 トラック幅のギャップ対向面に強磁性金
属の薄膜を膜付けしたコア半体を対向させて前記金属薄
膜の間でギャップを形成すると共に、前記金属薄膜間に
コイル窓を形成し該コイル窓を利用して巻線をする磁気
ヘッドにおいて、前記コイル窓に磁路と直交する方向の
筋を複数形成し、その上に前記金属薄膜を形成したこと
を特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10383992A JPH05282619A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10383992A JPH05282619A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05282619A true JPH05282619A (ja) | 1993-10-29 |
Family
ID=14364600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10383992A Pending JPH05282619A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05282619A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11225428B2 (en) | 2017-09-13 | 2022-01-18 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Glass article manufacturing method |
| US11462349B2 (en) * | 2017-04-21 | 2022-10-04 | Vacon Oy | Resonance damping element and power converter with the same |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01269211A (ja) * | 1988-04-20 | 1989-10-26 | Hitachi Ltd | 磁気ヘツド |
| JP3124311B2 (ja) * | 1991-04-26 | 2001-01-15 | 株式会社日本コンラックス | 情報記録再生装置 |
-
1992
- 1992-03-31 JP JP10383992A patent/JPH05282619A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01269211A (ja) * | 1988-04-20 | 1989-10-26 | Hitachi Ltd | 磁気ヘツド |
| JP3124311B2 (ja) * | 1991-04-26 | 2001-01-15 | 株式会社日本コンラックス | 情報記録再生装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11462349B2 (en) * | 2017-04-21 | 2022-10-04 | Vacon Oy | Resonance damping element and power converter with the same |
| US11225428B2 (en) | 2017-09-13 | 2022-01-18 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Glass article manufacturing method |
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