JPH04102279A - 磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPH04102279A JPH04102279A JP21768590A JP21768590A JPH04102279A JP H04102279 A JPH04102279 A JP H04102279A JP 21768590 A JP21768590 A JP 21768590A JP 21768590 A JP21768590 A JP 21768590A JP H04102279 A JPH04102279 A JP H04102279A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid lubricant
- magnetic head
- lubricant layer
- magnetic disk
- disk medium
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、情報処理システムの外部記憶装置として使
用される固定磁気ディスク装置等に用いられる磁気ヘッ
ドおよびその製造方法に関する。
用される固定磁気ディスク装置等に用いられる磁気ヘッ
ドおよびその製造方法に関する。
近年、情報処理ンステムで処理する情報量の増加に伴い
、情報蓄積の手段として固定磁気ディスク装置が脚光を
浴びてきている。この固定磁気ディスク装置の必要とす
る主要な特性に信号品質の耐久性および信頼性があるが
、これらは装置に用いられている磁気ディスク媒体の表
面品質に左右されることが一般に知られている。
、情報蓄積の手段として固定磁気ディスク装置が脚光を
浴びてきている。この固定磁気ディスク装置の必要とす
る主要な特性に信号品質の耐久性および信頼性があるが
、これらは装置に用いられている磁気ディスク媒体の表
面品質に左右されることが一般に知られている。
この表面品質特性はＣＳ Ｓ （Ｃｏｎｔａｃｔ ５ｔ
ａｒｔＳｔｏｐ ）特性と呼ばれている。固定磁気ディ
スク装置においては、磁気ヘッドが装置休止時には静止
している磁気ディスク媒体表面に接触して停止してお゛
す、装置稼動時、すなわち情報のＷｒｉｔｅ／Ｒｅａｄ
時には回転する磁気ディスク媒体表面上を浮上走行して
おり、Ｗｒｉｔｅ／Ｒｅａｄ開始時には回転を始める磁
気ディスク媒体表面上を摺動して浮上走行状態に移行し
、Ｗｒｉｔｅ／Ｒｅａｄ中止時には回転を中止する磁気
ディスク媒体表面に接触摺動して停止状態に移行する。
ａｒｔＳｔｏｐ ）特性と呼ばれている。固定磁気ディ
スク装置においては、磁気ヘッドが装置休止時には静止
している磁気ディスク媒体表面に接触して停止してお゛
す、装置稼動時、すなわち情報のＷｒｉｔｅ／Ｒｅａｄ
時には回転する磁気ディスク媒体表面上を浮上走行して
おり、Ｗｒｉｔｅ／Ｒｅａｄ開始時には回転を始める磁
気ディスク媒体表面上を摺動して浮上走行状態に移行し
、Ｗｒｉｔｅ／Ｒｅａｄ中止時には回転を中止する磁気
ディスク媒体表面に接触摺動して停止状態に移行する。
いわゆるＣ Ｓ Ｓ （Ｃｏｎｔａｃｔ ５ｔａｒｔＳ
ｔｏｐ ）方式が採られ、Ｃ８Ｓ特性はこのような磁気
ディスク媒体表面での磁気ヘッドの摺動が円滑に長期に
わたって安定して行われるかどうかを示すものであるが
、その代表的な特性値としての摩擦係数でＣ８Ｓ特性が
規格化されつつある。
ｔｏｐ ）方式が採られ、Ｃ８Ｓ特性はこのような磁気
ディスク媒体表面での磁気ヘッドの摺動が円滑に長期に
わたって安定して行われるかどうかを示すものであるが
、その代表的な特性値としての摩擦係数でＣ８Ｓ特性が
規格化されつつある。
磁気ディスク媒体は、通常、非磁性基板上に非磁性金属
下地層、 Ｃｏ合金磁性層、アモルファスカーボン保護
層を順次スパッタ成膜し、その上にフロロカーボン系の
液体潤滑剤層を塗布形成したものであり、従来はこの液
体潤滑剤層により磁気ディスク媒体表面の摩擦係数を低
減し所要の表面品質を得ることが図られてきた。
下地層、 Ｃｏ合金磁性層、アモルファスカーボン保護
層を順次スパッタ成膜し、その上にフロロカーボン系の
液体潤滑剤層を塗布形成したものであり、従来はこの液
体潤滑剤層により磁気ディスク媒体表面の摩擦係数を低
減し所要の表面品質を得ることが図られてきた。
上述のように、磁気ディスク媒体のアモルファスカーボ
ン保護膜上に液体潤滑剤層を設けることにより摩擦係数
を低減しＣ５Ｓ特性を向上させることができるが、液体
潤滑剤層の膜厚が厚くなると磁気ヘッドの吸着という問
題が発生してくる。
ン保護膜上に液体潤滑剤層を設けることにより摩擦係数
を低減しＣ５Ｓ特性を向上させることができるが、液体
潤滑剤層の膜厚が厚くなると磁気ヘッドの吸着という問
題が発生してくる。
従って、液体潤滑剤層の膜厚は保護層全面を均一に安定
に被覆し得る厚さで、しかも、磁気ヘッドの吸着を起こ
さない範囲の厚さが要求されるが、そのためには膜厚を
数人のオーダーで均一に制御する必要があり技術的に極
めて困難な問題となる。
に被覆し得る厚さで、しかも、磁気ヘッドの吸着を起こ
さない範囲の厚さが要求されるが、そのためには膜厚を
数人のオーダーで均一に制御する必要があり技術的に極
めて困難な問題となる。
この発明は、上述の点に鐸みてなされたものであって、
磁気ヘッドの磁気ディスク媒体表面と接触するエア・ベ
アリンク・スライダ一部を改良するこ止により、液体潤
滑剤層を形成されてし１ない磁気ディスク媒体表面との
間の摩擦係数が、液体潤滑剤層の形成されている磁気デ
ィスク媒体における場合と同等であり、しかも吸着が起
きない磁気へノドおよびその製造方法を提供することを
解決しようとする課題とする。
磁気ヘッドの磁気ディスク媒体表面と接触するエア・ベ
アリンク・スライダ一部を改良するこ止により、液体潤
滑剤層を形成されてし１ない磁気ディスク媒体表面との
間の摩擦係数が、液体潤滑剤層の形成されている磁気デ
ィスク媒体における場合と同等であり、しかも吸着が起
きない磁気へノドおよびその製造方法を提供することを
解決しようとする課題とする。
上記の課題は、この発明によれば、エア・ベアリング・
スライダー部表面に好ましくは膜厚５Å以上１５Å以下
の液体潤滑剤層が形成されている磁気ヘッドとすること
によって解決される。
スライダー部表面に好ましくは膜厚５Å以上１５Å以下
の液体潤滑剤層が形成されている磁気ヘッドとすること
によって解決される。
磁気ヘッドのエア・ベアリング・スライダー部表面への
液体潤滑剤層の形成には、表面に好ましくは膜厚２０人
程度の液体潤滑剤層を形成した好ましくは磁気ディスク
媒体表面で磁気ヘッドを好ましくは数十分間摺動させ液
体潤滑剤を磁気ディスク媒体表面などから磁気ヘッドの
エア・ベアリンク・スライダ一部表面へ転写させる方法
を採ると、適切な膜厚の液体潤滑剤層を密着性良く形成
、することができ好適である。
液体潤滑剤層の形成には、表面に好ましくは膜厚２０人
程度の液体潤滑剤層を形成した好ましくは磁気ディスク
媒体表面で磁気ヘッドを好ましくは数十分間摺動させ液
体潤滑剤を磁気ディスク媒体表面などから磁気ヘッドの
エア・ベアリンク・スライダ一部表面へ転写させる方法
を採ると、適切な膜厚の液体潤滑剤層を密着性良く形成
、することができ好適である。
上述のような、磁気ディスク媒体表面と接触するエア・
ベアリング・スライダー部表面に液体潤滑剤層を形成し
た磁気ヘッドを表面に液体潤滑剤層を有しない磁気ディ
スク媒体と組み合わせて用いると、両者の接触部に適量
の液体潤滑剤が介在することになり、Ｃ５Ｓ動作時の摩
擦係数を液体潤滑剤層を有する磁気ディスク媒体の場合
と同等に良好に保ちながら磁気ヘッドの吸着を避けるこ
とが可能となる。
ベアリング・スライダー部表面に液体潤滑剤層を形成し
た磁気ヘッドを表面に液体潤滑剤層を有しない磁気ディ
スク媒体と組み合わせて用いると、両者の接触部に適量
の液体潤滑剤が介在することになり、Ｃ５Ｓ動作時の摩
擦係数を液体潤滑剤層を有する磁気ディスク媒体の場合
と同等に良好に保ちながら磁気ヘッドの吸着を避けるこ
とが可能となる。
ディスク状非磁性基板上にＣｒ下地層、 Ｃｏ合金磁性
層、アモルファスカーボン保護層を順次スパッタ成膜し
、この保護層表面にファイナル・テープ・ポリッシユを
施し表面微小突起を除去し、温度１５０℃、１時間の前
加熱を行った後、デイツプ法でフロロカーボン系の液体
潤滑剤を塗布し、続いて温度１２０℃、１時間の後加熱
を実施して膜厚１５人〜２５人の液体潤滑剤層を形成し
磁気ディスク媒体とする。
層、アモルファスカーボン保護層を順次スパッタ成膜し
、この保護層表面にファイナル・テープ・ポリッシユを
施し表面微小突起を除去し、温度１５０℃、１時間の前
加熱を行った後、デイツプ法でフロロカーボン系の液体
潤滑剤を塗布し、続いて温度１２０℃、１時間の後加熱
を実施して膜厚１５人〜２５人の液体潤滑剤層を形成し
磁気ディスク媒体とする。
このようにして得られた磁気ディスク媒体を、その表面
で磁気ヘッドを種々の条件で接触摺動させることのでき
る摺動装置２例えば第４図の原理図に示すような摺動摩
擦磨耗測定装置に取り付け、磁気ディスク媒体表面で磁
気ヘッドを摺動させることにより液体潤滑剤の磁気ディ
スク媒体表面より磁気ヘッドのエア・ベアリング・スラ
イダー部への転写を行う。第４図において、磁気ディス
ク媒体１は媒体回転機構２に回転可能に取り付けられ、
液体潤滑剤の転写されるべき磁気へノド３は磁気ヘッド
保持機構４に装着される。磁気ヘッド保持機構４は双方
向矢印ＡおよびＢの方向にそれぞれ移動可能で、これら
矢印の方向に移動させることにより磁気へノド３のエア
・ベアリング・スライダー部を磁気ディスク媒体１の表
面の任意の位置に所要の圧力で接触させることが可能で
ある。
で磁気ヘッドを種々の条件で接触摺動させることのでき
る摺動装置２例えば第４図の原理図に示すような摺動摩
擦磨耗測定装置に取り付け、磁気ディスク媒体表面で磁
気ヘッドを摺動させることにより液体潤滑剤の磁気ディ
スク媒体表面より磁気ヘッドのエア・ベアリング・スラ
イダー部への転写を行う。第４図において、磁気ディス
ク媒体１は媒体回転機構２に回転可能に取り付けられ、
液体潤滑剤の転写されるべき磁気へノド３は磁気ヘッド
保持機構４に装着される。磁気ヘッド保持機構４は双方
向矢印ＡおよびＢの方向にそれぞれ移動可能で、これら
矢印の方向に移動させることにより磁気へノド３のエア
・ベアリング・スライダー部を磁気ディスク媒体１の表
面の任意の位置に所要の圧力で接触させることが可能で
ある。
このような摺動装置を用いて、磁気ディスク媒体表面で
ウィンチエスタ−タイプＭｎ−Ｚｎフェライトヘッド
、 ワトラスタイプＭｎ Ｚｎ［：ａＴ＋０３ヘッドを
それぞれ押付は圧１０ｇ−で摺動させて液体潤滑剤を転
写させて、エア・ベアリング・スライダー部に強固に密
着した液体潤滑剤層を有する磁気ヘッドを作製した。
ウィンチエスタ−タイプＭｎ−Ｚｎフェライトヘッド
、 ワトラスタイプＭｎ Ｚｎ［：ａＴ＋０３ヘッドを
それぞれ押付は圧１０ｇ−で摺動させて液体潤滑剤を転
写させて、エア・ベアリング・スライダー部に強固に密
着した液体潤滑剤層を有する磁気ヘッドを作製した。
このようにして得られた磁気ヘッドを用いた場合のＣ８
Ｓ特性として磁気ディスク媒体表面との摩擦係数μを評
価した。摩擦係数μの値はＣ８Ｓ動作を行って測定すべ
きであるが、市場で要求されるＣ３Ｓ２万回を実施する
には約２週間かかるため、これに代わる加速試験として
摺動摩擦磨耗測定装置を用いてスライディング・コンタ
クト試験で摩擦係数μの測定を行った。評価に際しては
、磁気ディスク媒体はアモルファスカーボン保護膜まで
成膜しその上に液体潤滑剤層（膜厚１５人〜２５人）を
設けたものと設けないものとの２種類を用い、磁気ヘッ
ドはウィンチエスタ−タイプＭｎ−Ｚｎフェライトヘッ
ド（へヘッドとする）で液体潤滑剤層（膜厚５人〜１０
人）を有するものと有さないもの、ワトラスタイプＭｎ
−２ｎＣａＴ＋０３ヘッド（Ｂタイプとする）で液体潤
滑剤層（膜厚１０人〜１５人）を有するものと有さない
ものとの４種類を用い、第１表に示すように組み合せた
ときの摩擦係数μをそれぞれ測定した。
Ｓ特性として磁気ディスク媒体表面との摩擦係数μを評
価した。摩擦係数μの値はＣ８Ｓ動作を行って測定すべ
きであるが、市場で要求されるＣ３Ｓ２万回を実施する
には約２週間かかるため、これに代わる加速試験として
摺動摩擦磨耗測定装置を用いてスライディング・コンタ
クト試験で摩擦係数μの測定を行った。評価に際しては
、磁気ディスク媒体はアモルファスカーボン保護膜まで
成膜しその上に液体潤滑剤層（膜厚１５人〜２５人）を
設けたものと設けないものとの２種類を用い、磁気ヘッ
ドはウィンチエスタ−タイプＭｎ−Ｚｎフェライトヘッ
ド（へヘッドとする）で液体潤滑剤層（膜厚５人〜１０
人）を有するものと有さないもの、ワトラスタイプＭｎ
−２ｎＣａＴ＋０３ヘッド（Ｂタイプとする）で液体潤
滑剤層（膜厚１０人〜１５人）を有するものと有さない
ものとの４種類を用い、第１表に示すように組み合せた
ときの摩擦係数μをそれぞれ測定した。
測定結果をＡヘッドについてのものを第１図に、Ｂヘッ
ドについてのものを第２図にそれぞれ示す。
ドについてのものを第２図にそれぞれ示す。
第１図および第２図より、実施例１と比較例２゜実施例
２と比較例４とでは、スライディングコンタクト試験で
摺動時間６０分の摩擦係数μはほぼ同等であり、磁気デ
ィスク媒体表面に液体潤滑剤層を設けるかわりに磁気ヘ
ッドのエア・ベアリング・スライダー部に液体潤滑剤層
を設けても摩擦係数の面では同等の効果を有することが
判る。さらに、磁気ディスク媒体表面への磁気ヘッドの
吸着性を調べたところ、温度８０℃、相対湿度８０％の
雰囲気中に１００時間放置すると、比較例２および比較
例４では磁気ヘッドの吸着が起きたが、実施例１および
実施例２では磁気ヘッドの吸着は起きなかった。以上の
結果より、この発明によるエア・ベアリング・スライダ
ー部に液体潤滑剤層を形成した磁気ヘッドの優位性は明
らかである。
２と比較例４とでは、スライディングコンタクト試験で
摺動時間６０分の摩擦係数μはほぼ同等であり、磁気デ
ィスク媒体表面に液体潤滑剤層を設けるかわりに磁気ヘ
ッドのエア・ベアリング・スライダー部に液体潤滑剤層
を設けても摩擦係数の面では同等の効果を有することが
判る。さらに、磁気ディスク媒体表面への磁気ヘッドの
吸着性を調べたところ、温度８０℃、相対湿度８０％の
雰囲気中に１００時間放置すると、比較例２および比較
例４では磁気ヘッドの吸着が起きたが、実施例１および
実施例２では磁気ヘッドの吸着は起きなかった。以上の
結果より、この発明によるエア・ベアリング・スライダ
ー部に液体潤滑剤層を形成した磁気ヘッドの優位性は明
らかである。
なお、第３図はそれぞれ液体潤滑剤層を形成したウィン
チエスタ−タイプＭｎ−Ｚｎフェライトヘッドおよびワ
トラスタイプＭｎ−ＺｎＣａＴｉＯ３ヘッドについて、
液体潤滑剤層を有しない磁気ディスク媒体とそれぞれ組
み合わせた場合の液体潤滑剤層の膜厚とスライディング
コンタクト試験での摺動６０分後の摩擦係数μ６ｏとの
関係を示す線図であるが、この図よりどちらのタイプの
磁気ヘッドにおいても液体潤滑剤層を設けることは有効
であるが磁気ヘッドの材質、タイプなどにより効果に若
干の差があることが判る。
チエスタ−タイプＭｎ−Ｚｎフェライトヘッドおよびワ
トラスタイプＭｎ−ＺｎＣａＴｉＯ３ヘッドについて、
液体潤滑剤層を有しない磁気ディスク媒体とそれぞれ組
み合わせた場合の液体潤滑剤層の膜厚とスライディング
コンタクト試験での摺動６０分後の摩擦係数μ６ｏとの
関係を示す線図であるが、この図よりどちらのタイプの
磁気ヘッドにおいても液体潤滑剤層を設けることは有効
であるが磁気ヘッドの材質、タイプなどにより効果に若
干の差があることが判る。
この発明によれば、磁気ヘッドのエア・ベアリング・ス
ライダー部表面に好ましくは膜厚５Å以上１５Å以下の
範囲内の液体潤滑剤層を形成する。
ライダー部表面に好ましくは膜厚５Å以上１５Å以下の
範囲内の液体潤滑剤層を形成する。
このような磁気ヘッドを用いると、液体潤滑剤層を形成
されていない磁気ディスク媒体と組み合わせて使用した
場合でも液体潤滑剤層を形成されている磁気ディスク媒
体の場合と同等の低い摩擦係数を示し、しかも磁気ヘッ
ドの吸着は起こらず、優れたＣ８Ｓ特性を実現すること
ができる。
されていない磁気ディスク媒体と組み合わせて使用した
場合でも液体潤滑剤層を形成されている磁気ディスク媒
体の場合と同等の低い摩擦係数を示し、しかも磁気ヘッ
ドの吸着は起こらず、優れたＣ８Ｓ特性を実現すること
ができる。
第１図および第２図は磁気ヘッドの液体潤滑剤層の効果
を評価するスライディングコンタクト試験の摺動時間と
摩擦係数の関係を示す線図で第１図はウィンチエスタ−
タイプＭｎ−Ｚｎフェライトヘッドについての線図、第
２図はワトラスタイブＭｎ−ＺｎＣａＴｉＯ３ヘッドに
ついての線図、第３図は磁気ヘッドに形成された液体潤
滑剤層の膜厚とスライディングコンタクト試験における
摺動６０分後の摩擦係数μ６ｏとの関係を示す線図、 第４図は磁気 ヘッドに液体潤滑剤層を形成する一例の方法に用磁気ヘ
ノド：Ａヘッド 第 図
を評価するスライディングコンタクト試験の摺動時間と
摩擦係数の関係を示す線図で第１図はウィンチエスタ−
タイプＭｎ−Ｚｎフェライトヘッドについての線図、第
２図はワトラスタイブＭｎ−ＺｎＣａＴｉＯ３ヘッドに
ついての線図、第３図は磁気ヘッドに形成された液体潤
滑剤層の膜厚とスライディングコンタクト試験における
摺動６０分後の摩擦係数μ６ｏとの関係を示す線図、 第４図は磁気 ヘッドに液体潤滑剤層を形成する一例の方法に用磁気ヘ
ノド：Ａヘッド 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）エア・ベアリング・スライダー部表面に液体潤滑剤
層が形成されていることを特徴とする磁気ヘッド。 ２）前記液体潤滑剤層の厚さが５Å以上１５Å以下であ
ることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。 ３）表面に液体潤滑剤層の形成された基板上を摺動させ
ることにより前記液体潤滑剤層を形成することを特徴と
する請求項１又は２記載の磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21768590A JPH04102279A (ja) | 1990-08-18 | 1990-08-18 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21768590A JPH04102279A (ja) | 1990-08-18 | 1990-08-18 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04102279A true JPH04102279A (ja) | 1992-04-03 |
Family
ID=16708119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21768590A Pending JPH04102279A (ja) | 1990-08-18 | 1990-08-18 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04102279A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5879578A (en) * | 1997-03-12 | 1999-03-09 | International Business Machines Corporation | Etched/lubricated swage balls for use in DASD suspension-arm attachment |
| KR100698428B1 (ko) * | 2004-05-26 | 2007-03-26 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 헤드 슬라이더 및 자기 기록 장치 |
-
1990
- 1990-08-18 JP JP21768590A patent/JPH04102279A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5879578A (en) * | 1997-03-12 | 1999-03-09 | International Business Machines Corporation | Etched/lubricated swage balls for use in DASD suspension-arm attachment |
| US6035681A (en) * | 1997-03-12 | 2000-03-14 | International Business Machines Corporation | Etched/lubricated swage balls for use in DASD suspension-arm |
| KR100698428B1 (ko) * | 2004-05-26 | 2007-03-26 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 헤드 슬라이더 및 자기 기록 장치 |
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