JPH04106014A - クリーンルーム用コンベヤ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、クリーンルーム内で荷を搬送するのに採用さ
れるコンベヤ装置に関するものである。

従来の技術 従来、この種のコンベヤ装置としては、たとえば実開昭
６３−６７５０５号公報に見られるクリーンルーム内の
荷取扱い設備が提供されている。この従来形式では、高
クリーンルーム内に順送り式の荷捌き場が設けられ、こ
の荷捌き場は、矩形箱状の本体枠に搬入装置と搬出装置
とを並行して配設している。また搬入装置や搬出装置は
、搬送方向に沿って移動自在な押し引き体と、この押し
引き体上の所定ピッチ置きで三箇所に設けたシリンダと
、これらシリンダの上向きピストンロッドに取付けられ
、かつ本体枠の天板に形成した切欠き溝を通って出退自
在な支持台と、前記切欠き溝の両側に設けた受は部など
から構成される。

そして、この従来形式によると、シリンダξこより支持
台を上昇させて受は部上の荷を持ち上げ、そして押し引
き体の押し引き動で荷を１ピツチ分だけ移動させ、次い
で支持台を下降させて荷を受は部上に卸したのち、押し
引き体を引き動させろことで、荷を１ピツチづつ順送り
し得る。

発明が解決しようとする課題 上記の従来形式によると、押し引き体を押し引き動させ
る駆動部や、押し引き体の押し引きガイド部などで塵埃
が発生し、この塵埃は本体枠内から切欠き溝を通って上
方に漏出することになる。

そして切欠き溝の上方で取扱われるウェハや半導体など
の荷に塵埃が付着することになる。

本発明の目的とするところは、フレーム内で発生した塵
埃を、荷側に移行させることなく迅速に除去し得るクリ
ーンルーム用コンベヤ装置を提供する点にある。

課題を解決するための手段 上記目的を達成すべ（本発明のクリーンルーム用コンベ
ヤ装置は、矩形箱状のフレーム内に、このフレームに設
けたレールに支持案内されて一定経路上を移動自在な可
動台と、この可動台に連動する往復動装置とを設けると
ともに、前記可動台に、昇降自在な荷受は台と、この荷
受は台に連動する昇降動装置とを設け、前記フレームの
天板部に、荷受は部を所定ピッチ置きに設けるとともに
、前記荷受は台の昇降用スリット部を形成し、前記フレ
ームの底板に下方への吸引装置を設けている。

作用 かかる本発明の構成によると、昇降動装置により荷受は
台を上昇させて荷受は部上の荷を持ち上げ、そして往復
動装置により可動台を往動させて荷を１ピツチ分だけ移
動させ、次いで荷受は台を下降させて荷を荷受は部上に
卸したのち、可動台を復動させることで、荷を１ピツチ
づつ順送りし得る。そして往復動や昇降動により作動部
で発生した塵埃は、吸引装置によってフレーム外の下方
へ除去し得、さらに昇降用スリット部に下方への流れが
発生することで、荷付近で浮遊している塵埃をフレーム
内に移行させ得る。

実施例 以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図〜第３図はコンベヤ装置１を示し、矩形箱状のコ
ンベヤ用フレーム１０と搬送用の可動台４０などから構
成される。前記コンベヤ用フレーム１０の本体１１は、
底板１１Ａと左右一対の側板１１Ｂとからなり、アルミ
ニウムの引き抜き形状などにより−に成形される。その
際に底板１１Ａの上面には、レール（後述する）の取付
は部１２が蟻溝状でかつ本体１１の長さ方向に形成され
る。また底板１１Ａや両側板１１Ｂの内外面には、他物
を取付けたり連結したりするための板ナツト挿入部１３
が蟻溝状でかつ本体１１の長さ方向に形成される。前記
側板１１Ｂの上端には、コンベヤ長さ方向で短尺寸法の
上部側板体１４が長さ方向に所定ピッチ置きで多数配設
され、これは挿入部１３内に位置させた板ナツトとビス
（またはボルト）とからなる固定具１５によって、それ
ぞれ着脱自在に設けられる。これら上部側板体１４の上
面には、その側面１４ａが、左右方向において上位はど
内側となるように傾斜した凹溝１４Ａがコンベヤ長さ方
向に形成され、また上部の外面は同方向に傾斜した受は
面１４Ｂに形成される。

さらに上位側板体１４の下端には、外方でかつ上方に向
く係止部１４Ｃが形成されている。なお側板１１Ｂの下
端には、上述と同様の係止部１６Ａを有するブラケット
１６が固定具１７によって着脱自在に、かつ長さ方向に
所定ピッチ置きで多数設けられる。

前記上部側板１４の上端には、それぞれ嵌合形式により
コンベヤ用フレーム１０の天板部となるカバー体１８が
取付けられる。すなわちカバ一体１８は、前記凹溝１４
Ａに対して斜め上方から嵌合自在な凸条１８Ａを下面に
全長に有し、この凸条１８Ａの外側面１８ａは前記凹溝
１４Ａの側面１４ａと同方向に傾斜して、この側面１４
ａに書状で当接自在となる。また外端の内面は、前記受
は面１４Ｂに密に当接自在な当て面１８Ｂに形成される
。さらにカバ一体１８の上部には荷受は部１９が所定ピ
ッチ装置きに設けられる。この荷受は部１９は、左右一
対でかつ前後一対の四個を−グループとして、所定ピッ
チ装置きに複数箇所（実施例では三箇所）設けられる。

前記カバ一体１８の外端外面と内端内面には挿入部２０
が形成され、外端側には在荷センサ２１用のブラケット
２２が固定具２３によって着脱自在に取付けられ、また
内端側にはスリットカバー２４が固定具２５によって着
脱自在に取付けられる。そして両スリットカバー２４間
にスリット２６を形成するとともに、両スリットカバー
２４の上方で両カバ一体１８間に昇降用スリット部２７
を形成する。前記側板１１Ｂと上部側板体１４の外側方
間に亘ってはカバー２８が配設され、これらカバー２８
の内面には、前記係止部１４Ｃ１１６Ａに対して上方か
ら保合自在な被係止部２８Ａが形成される。そしてカバ
ー２８の内方に配線用空間２９を形成している。前記コ
ンベヤ用フレーム１０の長さ方向の中間部において、前
記底板１１Ａには丸孔状の開口５が形成され、この開口
５に連通するダクト６が底板１１Ａ側から垂設されてい
る。そしてダクト６内の上部には、ファン７と駆動部８
とからなる下方への吸引装置ｉ９が設けられる。

このように構成されたコンベヤ用フレーム１ｏの一端は
、着地部材を兼ねる制御ユニット部３０にて閉塞され、
また他端は閉塞板３１にて閉塞される。

モして他端近くにおいては、前記上部側板体１４＃こ代
えて取付は台３２が両側板１１Ｂ間に取付けられ、この
取付は台３２に支持されて縦軸心３３の周りに回転目ｔ
’ｃ”、かつ一箇所を欠除部３４としたリング状の荷受
は体３５と、この荷受は体３５に連動する回転駆動装置
３６とが設けられる。

前記可動台４０は、コンベヤ用フレーム１０内に形成し
た搬送用空間４１に配設され、フレーム長さ方向の一定
経路４２上で往復移動自在となる。すなわち底板１１Ａ
上には、取付は部１２を介して固定具４３によりレール
４４が取付けられ、このレール４４に摺動体４５を介し
て前記可動台４０が支持案内される。

この可動台４０に連動する往復動装置４６は、前記底板
１１Ａの一端下面側に取付けた正逆駆動自在なモータ４
７と、その出力軸に取付けた駆動銀輪４８と、側板１１
Ｂに固定具４９とブラケット５０とを介して取付けた複
数個の従動銀輪５１と、これら銀輪４８，５１間に掛張
したチェノ５２などから構成され、モしてチェノ５２の
一箇所を連結具５３により前記可動台４０に連結してい
る。前記可動台４０には、昇降により前記荷受は部１９
に対して出退自在な荷受は台５４と、この荷受は台５４
に連動する昇降動装置５５とが設けられる。すなわち可
動台４０からはガイド筒５６が立設され、このガイド筒
５６に案内される昇降ロッド５７を前記スリット２６に
挿過するとともに、その上端に、前記昇降用スリット部
２７内に位置する荷受は台５４を連結している。前記昇
降動装置５５は昇降自在な作動杆５８を有し、この作動
杆５８の上端は前記スリット２６を通って荷受は台５４
に連結している。

５９はケーブルベア、６０は往復動装置４６のカバ一体
を示す。３は荷で、製品を収納自在なケース形状であっ
て、両側面には被係止突条３ａが設けられている。

上記構成のコンベヤ装置１は、たとえば第４図に示すよ
うに、クリーンルーム７０内に設置した密閉式の荷保管
装置７１に対する荷３の搬入用や搬出用に使用される。

すなわち荷保管装置７１における箱状の本体外板７２内
には、上下方向に複数の収納空間７３を区画形成した荷
収納部（棚）７４が、前面を通路７５に対向させて左右
一対に設けられる。これら荷収納部７４は、通路７５偶
に向いた前面と反対側の後面とが開放され、そして後面
を覆うようにしてフィルタ７６を配設するとともに、こ
のフィルタ７６の後方で本体外板７２との間に千７供給
路７７を形成している。またエア供給路７７などの下方
にはエア供給用ユニット（図示せず）が配設されている
。前記通路７５内に配設される搬入用装置７８は、画荷
収納部７４の前面に沿った一定の走行経路７９上を走行
自在な台車８０と、この台車８０上から立設した支持枠
８１と、この支持枠８１内に配設したガイド体に案内さ
れる昇降台８２と、この昇降台８２上に横方向移動自在
に設けた受は渡し装置８３とから構成される。片側の荷
収納部７４の下部には、本体外板７２の一部を切欠いて
貫通路８４が形成され、この貫通路８４を通して前記コ
ンベヤ装置ｌの他端、すなわち旋回自在な荷受は部３５
が位置される。

上記実施例においてコンベヤ用フレーム１０は、高さ寸
法の異なる上部側板体１４のうち最適なものを使用する
ことで、目的とする高さのものが得られる。また幅寸法
の異なるカバ一体１８のうち最適なものを使用すること
で、取扱う荷３の種類に応じた荷受は部１９を有し、か
つ荷３に好適な荷受は台５４の昇降を許す昇降用スリッ
ト部２７を確保し得る。その際にカバ一体１８の上部側
板体１４に対する着脱は、側面１４ａと外側面１８ａと
の嵌合傾斜面に沿って、第１図の矢印Ａ方向薔こカバ一
体１８を移動させることで行える。さらに着装時におい
てカバ一体１８は、前述した嵌合傾斜面の傾斜した密当
接によって、カバ一体１８が内端側から脱落するような
こともなく、その結合は強（行える。そして受は面１４
Ｂに当て面１８Ｂを摺接させることで、凹溝１４Ａに対
して凸条１８Ａを嵌合させる際のガイドを行える。

次に上記コンベヤ装置１において荷３の搬送作業を説明
する。たとえば自走車により搬送されてきた荷３は一端
側の荷受は部１９上に卸される。第１図実線で示すよう
に、荷受は台５４を下降させて昇降用スリット部２７内
に位置させてなる可動台４０は、往復動装置４６の作動
によって一端側に移動され、その荷受は台５４を荷３の
真下に位置させている。この状態で昇降動装置５５を上
昇作動させ、作動杆５８を介して荷受は台５４を上昇さ
せ、以って第１図仮想線で示すように荷３を持ち上げる
。次いで往復動装置４６の前述とは逆作動により、可動
台４０を一定経路４２上で他端側に移動させる。そして
荷３を別の荷受は部１９に対向させたのち、昇降動装置
５５を下降作動させることで、この荷受は部１９に荷３
を卸せ得る。これにより所定ピッチｐＨきの順送り搬送
が行える。このような順送りを行っている間に前記吸引
装置９が作動されている。すなわちファン７の回転によ
りダクト６内に下吹き流が発生し、これにより昇降用ス
リット部２７からスリット２６、コンベヤ用フレーム１
０内を介してダクト６に達する流れが発生する。したが
ってチェノ５２による駆動部、レール４４に対する摺動
体４５の摺接部などで発生した塵埃は前述した流れに乗
ってダクト６に除去され、そして多孔式の床下へ排出さ
れる。またスリット２６に下向きの流れが発生すること
で、荷３、荷受は部１９、荷受は台５４の周りで浮遊し
ている塵埃をコンベヤ用フレームｌＯ内に引き込み、そ
してダクト６側へと流動させ得る。

前述のような順送りの際に、最終部の荷受は部１９上の
荷３や、たとえば最初部の荷受は部１９上の荷３で中間
の荷受は部１９が空のとき、荷３は可動台４０によって
荷受は部３５にまで搬送される。すなわち欠除部３４を
昇降用スリット部２７に接続した状態で可動台４０を移
動させることで、荷受は台５４を荷受は部３５に衝突さ
せることな（、この荷受は部３５の中心に位置させ得る
。したがって荷受は台５４を下降させることで荷３を荷
受は部３５上に載置し得、その後に可動台４０１！一端
側に退出される。これにより第４図に示すように、荷保
管装置７１内に荷３を位置させる。次いで回転駆動装置
３６により荷受は部３５を縦軸心３３の周りに旋回させ
ることで、荷３の向きを受は渡し装置８３が作用し得る
状態とする。そして搬入出装置７８における台車８０の
走行動と、昇降台８２の昇降動と、受は渡し装置８３の
受は渡し動との組み合せ動作によって、荷３は目的とす
る収納空間７３に納められる。また逆作動によって、目
的とする収納空間７３の荷３を出庫側のコンベヤ装置１
における荷受は部３５上に渡せ得る。

その後、コンベヤ装置１の上述とは逆作動によって荷３
を一端（外端）側へ搬送し得る。

発明の効果 上記構成の本発明によると、フレーム内で発生した塵埃
を、荷側に移行させることなく迅速に除去することがで
きるとともに、荷付近で浮遊している塵埃も昇降用スリ
ット部を通してフレーム内に除去でき、以ってウェハや
半導体などの荷に塵埃が付着することを防止できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、ＩＩＩ図はコンベヤ装
置の縦断正面図、第２図は同側面図、第３図は同平面図
、第４図は一使用例を示す平面図である。 １・・・コンベヤ装置、３・・・荷、３ａ−・被係止突
条、５・・・開口、６・・−ダクト、７・・−ファン、
８・・・駆動部、９・・・ａ引装置１．１ｏ−・コンベ
ヤ用フレーム、１１・・・本体、ＩＩＡ・・・底板、Ｉ
ＩＢ・・・側板、１２−・−取付は部、１４−上部側板
体、１４Ａ・・・凹溝、１４ａ・・・側面、１４Ｂ・−
受は面、１８・・・カバ一体（天板部）、１８Ａ・・−
凸条、１８Ｂ−・当て面、１９・・・荷受は部、２４・
・・スリットカバー、２７−°°昇降用スリット部、２
８・・・カバー、２９・・・配線用空間、３５・−・荷
受は部、４ｏ・・−可動台、４１・・・搬送用空間、４
２・・・一定経路、４４・−・レール、４６−往復動装
置、５４・・・荷受は台、５５・・・昇降動装置、７１
−・・荷保管装置、７８・・・搬入出装置、８３・・・
受（す渡し装置、Ｐ・・・所定ピッチ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、矩形箱状のフレーム内に、このフレームに設けたレ
   ールに支持案内されて一定経路上を移動自在な可動台と
   、この可動台に連動する往復動装置とを設けるとともに
   、前記可動台に、昇降自在な荷受け台と、この荷受け台
   に連動する昇降動装置とを設け、前記フレームの天板部
   に、荷受け部を所定ピッチ置きに設けるとともに、前記
   荷受け台の昇降用スリット部を形成し、前記フレームの
   底板に下方への吸引装置を設けたことを特徴とするクリ
   ーンルーム用コンベヤ装置。