JPS63304640A - クリ−ンル−ム内搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体製品の製造工場でウェハーカセット
を搬送する場合などに用いるクリーンルーム内搬送装置
に関するものである。

〔従来の技術〕

第５図は例えば特開昭６２−６８００５号公報に示され
た従来のクリーンルーム内搬送装置の概略側面図である
。

第５図において、１は断面はぼ角筒状の走行レール、２
は走行レール１の長手方向に沿って走行するキャリアー
、３ａ、３ｂは走行レール１の両端部に近接して配設し
たロボット、４はウェハーカセット、５ば走行レール１
をクリーンルーム６の床面上方に固定する支柱である。

そして、上記走行レール１の上端部には長手方向に沿う
スリ２１〜部１ａが設けられ、走行レール内上部１ｂに
はレール面１ｃが設けられ、キャリアー２の台車２ａが
走行レール内上部１ｂに収容され、台車２ａに設けた車
輪２ｂがレール面１ｃに転動自在に支持され、キャリア
ー２の走行レール１外に位置する載置部２ｃが上記スリ
ット部１ａに挿通された連結部２ｄｌとよって上記台車
２ａと一体に構成されている。また走行レール１内下部
にはほぼ全長にわたって両端を閉じたエア通＠Ｉｄが形
成され、エア通ｌＲ１１１ｄは支柱５内を経てクリーン
ルーム６内に延びる排気ダクト７に接続されていると共
に、走行レール内上部１ｂにも接続されており、排気ダ
クト７内には送風機８が設置されている。

次に、上記のように構成された従来のクリーンルーム内
搬送装置の動作について説明する。

一方のロボット３ａのハンドリングによってキャリアー
２の載置部２ｃにウェハーカセット４を積み、キャリア
ー２の台車２ａを適宜の手段で駆動させ、車輪２ｂを走
行レール１のレール面１ｃを転動させつつ、走行レール
１の長手方向に沿ってその一端部から他端部までキャリ
アー２を走行させて停止させ、他方のロボッ１−３ｂの
ハンドリングニよって載置部２ｃがらウェハーカセット
４を降ろす。その後、キャリアー２を走行させて、走行
レール１の一端部に戻し、上述した動作を繰り返す。こ
の動作中に送風機８を駆動させてスリット部１ａ−走行
レール内上部１ｂ−エア通路１ｄ−排ｆｉダクト７の経
路で空気を流し、キャリアー２の車輪２ｂがレール面１
ｃを転動することなどで発生した塵を、クリーンルーム
６外に空気と共に排出し、走行レール内上部１ｂからス
リッ１一部１ａを経てクリーンルーム６内に塵が放出さ
れるのを防いでいる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のクリーンルーム内搬送装置は、以上のように構成
され、送風機８が排気ダグ１−フ内に設置されているた
め、第５図の矢印に示すように送風機８から遠い走行レ
ール１中央付近では、スリット部１ａからの流入風速が
不足する。そして、流入風速が不足すると、キャリアー
２が走行する際に、レール部内部上部１ｂの塵を含んだ
空気が巻き上げられて、クリーンルーム６内に逆流する
恐れがあり、これを防止するには送風機８の出力を大き
くしなければならないという問題点があった。

この発明は、上記のような問題点を解決するためになさ
れたもので、送風機の出力を大きくしなくても走行レー
ル内上部の塵を含んだ空気がクリーンルーム内に逆流す
ることがないクリーンルーム内搬送装置を得ることを目
的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明は、上記のようなりリーンルーム内搬送装置に
おいて、走行レール内上部と、走行レール内下部に長手
方向に沿って形成したエア通路とを仕切る仕切りに、送
風機に近い位置では小さく、遠い位置では大きい通気孔
を設け、走行レール長手方向の各部からエア通路への＠
、気量を均一化したものである。

〔作用〕

この発明におけるクリーンルーム内搬送装ｆｉば、走行
レールのエア通路を仕切る仕切りに設けた通気孔の大き
さを走行レールの長手方向での位置によって変え、この
長手方向の各部からエア通路への吸気量を均一化したの
で、走行レールのスリント部から走行レール内への空気
の流入風速も均一化し、出力が小さい送風機でもスリッ
ト部からの流入風速が不足せず、このためキャリアーの
走行時に発生した塵を確実にクリーンルーム外に排出す
ることができ、塵をスリット部からクリーンルーム６内
に放出することがなく、クリーンルーム６を塵などで汚
さないことになる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を第１図ないし第４図につい
て説明する。

第１図ないし第４図において、第５図と同一符号は相当
部分を示し、９ば走行レール内上部１ｂとエア通＠ｌｄ
とを仕切る仕切りであり、仕切り９には走行レール１両
端部では小さく、走行レール１の長手方向中央部で大き
い通気孔９ａが形成され、走行レール１長手方向の各部
からエア通路１ｄに均一な空気量で吸気させるようにし
である。

１０ばキャリアー２の台車２ａに設けられて車輪２ｂを
回動させる電動機、１１ａは台車２ａに設けた集電子、
ｌｌｂは走行レール内上部１ｂに長平方向に沿って固定
された給電線であり、給電線１１ｂに摺動可能に集電子
１１ａが接触している。

なお、第２図に示すように、排気ダクト７は支柱５内に
設けた垂直部７ａの下部に連通した水平部７ｂが室壁６
ａを貫通してクリーンルーム６外の部分１２に開口され
ている。

この実施例のクリーンルーム内搬送装置は、給電線１１
ｂから集電子１１ａによって電動機１０に給電し、これ
を正逆回転させて車輪２ｂをレール面ＩＣ上で回転させ
ることにより、キャリアー２を走行レール１の長手方向
に往復動させる。また−１送風機８の駆動によって、ス
リット１ａ−走行レール向上部１ｂ−通気孔９ａ−エア
通路１ｄ−排気ダクｌ−７の経路で空気が流れ、キャリ
アー２の車輪２ｂがレール面］Ｃを転動することなどで
走行レール内上部１ｂで発生した塵をクリーンルーム６
外の部分１２に空気と共に排出する。

そして、この実施例では仕切り９の通気孔９ａの大きさ
が、送風機８に近い支柱５付近では直径ｄ、走行レール
１の中央部付近では直径りの丸孔によって形成され、ｄ
＜Ｄの関係にしである。このため、支柱５近くのエア通
路１ｄを流れる空気は通気孔９ａの径が小さいために絞
られ、走行レール１の中央部近くのエア通路１ｄを流れ
る空気は通気孔９ａの径が大きいために抵抗が少ないこ
とにより、スリット部１ａからの流入風速■は、支柱５
に近い部分で減少し、走行レール１の中央部近くでは増
大し、長手方向の全体にわたって平均化する。したがっ
て、送風機８の出力を大きくしなくても、走行レール内
上部１ｂの塵を含んだ空気が、スリット部１ａからクリ
ーンルーム６内に、キャリアー２の走行によって巻き上
げられることがなくなる。

なお、この実施例の上述した以外の構成および動作は、
第５図に示す従来のものと同様である。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明によれば、走行レール内
上部とエア通路とを仕切る仕切りに、送風機に近い位置
では小さく、遠い位置では大きし１通気孔を設け、走行
レール長手方向各部からエア通路への吸気量を均一化し
たので、クリーンルームの空気がスリット部から走行レ
ール内上部に流入する風速を走行レールの長手方向の全
体にわたって均一化することができ、送風機の出力を太
き（しないで、走行レール内上部から塵を含んだ空気が
クリーンルーム内に逆流しなくなり、クリーンルームを
汚すことがないという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係るクリーンルーム内搬
送装置の概略側面図、第２図、第３図は第１図の■−■
線、　Ｉ−１［線拡大断面図、第４図は同要部の拡大縦
断側面図、第５図は従来のクリーンルーム内搬送装置の
概略側面図である。 １　走行レール、１ａ　スリット部）１ｂ　走行レール
内上部、ＩＣレールｉ、ｌｄ　　エア通路、２　キャリ
アー、２８　台車、２ｂ　車輪、２ｃ　載置部、２ｄ　
連結部、５　支柱、６　クリーンルーム、７　排気ダク
１−１８　　送風機、９・仕切り、９ａ　通気孔。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. クリーンルーム内に設けられた走行レールに長手方向に
   沿うスリット部を設け、上記走行レール内上部にレール
   面を設け、走行レールの長手方向に走行するキャリアー
   の走行レール内上部に収容された台車の車輪を上記レー
   ル面に転動自在に支持させ、上記キャリアーの走行レー
   ル外に位置する載置部を上記スリット部に挿通した連結
   部によって上記台車と一体に構成したクリーンルーム内
   搬送装置おいて、上記走行レール内下部に長手方向に沿
   って形成したエア通路をクリーンルーム外へ延びる排気
   ダクトに接続し、排気ダクト内に送風機を設置すると共
   に、上記エア通路と走行レール内上部とを仕切る仕切り
   に、送風機に近い位置では小さく、遠い位置では大きい
   通気孔を設け、走行レール長手方向の各部からエア通路
   への吸気量を均一化したことを特徴とするクリーンルー
   ム内搬送装置。