JPH04106462A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPH04106462A JPH04106462A JP22435090A JP22435090A JPH04106462A JP H04106462 A JPH04106462 A JP H04106462A JP 22435090 A JP22435090 A JP 22435090A JP 22435090 A JP22435090 A JP 22435090A JP H04106462 A JPH04106462 A JP H04106462A
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- JP
- Japan
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- inspected
- defect
- edge
- edges
- video signal
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- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
〈産業上の利用分野〉
この発明は、例えば鋼板やアルミニウム板などの帯状体
を幅方向に光電的に走査して欠陥を検出する欠陥検査装
置に関する。
を幅方向に光電的に走査して欠陥を検出する欠陥検査装
置に関する。
（従来の技術）
この種の欠陥検査装置の代表的な構成を第５図に示して
いる。長手方法に送給される不透明な帯状の被検査物１
に対し、ビーム光源２からのビム光３が回転ミラー４に
よって被検査Ｔｈｌの幅方向に振られ、被検査物１の側
端部をまたぐ範囲にわたってビーム光３が照射される。
いる。長手方法に送給される不透明な帯状の被検査物１
に対し、ビーム光源２からのビム光３が回転ミラー４に
よって被検査Ｔｈｌの幅方向に振られ、被検査物１の側
端部をまたぐ範囲にわたってビーム光３が照射される。
また、被検査物１の反射側に光学レンズ６と光電変換器
７が置かれ、被検査物１の透過光５および側端部（エツ
ジ）を外れた光が光電変換器７に受光される４光電変換
器７からのビデオ信号９は第５図に例示するように（図
の波形は２値化したものである）、被検査物１の一方の
エツジで立下がり、反対側のエツジで再び立上がる。エ
ツジ検出器８ａはこの信号の変化を検出するもので、被
検査物１のエツジからエツジまでの間に小穴などの欠陥
があると、その欠陥に対応したパルス信号が生じ、図示
していない後段の信号処理回路でこの欠陥信号（パルス
信号）を検出する。
７が置かれ、被検査物１の透過光５および側端部（エツ
ジ）を外れた光が光電変換器７に受光される４光電変換
器７からのビデオ信号９は第５図に例示するように（図
の波形は２値化したものである）、被検査物１の一方の
エツジで立下がり、反対側のエツジで再び立上がる。エ
ツジ検出器８ａはこの信号の変化を検出するもので、被
検査物１のエツジからエツジまでの間に小穴などの欠陥
があると、その欠陥に対応したパルス信号が生じ、図示
していない後段の信号処理回路でこの欠陥信号（パルス
信号）を検出する。
（発明が解決しようとする課題）
走査ライン上の被検査物１のエツジの位置は一定ではな
く、被検査物１が送給されるのに伴って１猫方向に変動
する。また、被検査物１のエツジにカケ、フレ等の欠陥
がある場合もある。従来の装置では、被検査物１のエツ
ジにカケ、フレ等の欠陥かあっても、その欠陥部分での
ビデオ信号の変化点をエツジと認識するのでエツジにそ
んざいっする欠陥を検出することができなかった。
く、被検査物１が送給されるのに伴って１猫方向に変動
する。また、被検査物１のエツジにカケ、フレ等の欠陥
がある場合もある。従来の装置では、被検査物１のエツ
ジにカケ、フレ等の欠陥かあっても、その欠陥部分での
ビデオ信号の変化点をエツジと認識するのでエツジにそ
んざいっする欠陥を検出することができなかった。
この発明は前述した従来の問題点に鑑みなされたもので
、その目的は、被検査物エツジとエツジに存在する欠陥
とを区別することができるようにした欠陥検査装置を提
供することにある。
、その目的は、被検査物エツジとエツジに存在する欠陥
とを区別することができるようにした欠陥検査装置を提
供することにある。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
そこでこの発明は、前記走査手段のビデオ信号から被検
査物の側端部（エツジ）を弁別するとともに、その側端
部の位置の幅方向の変動を追従的に検出して前記欠陥と
区別する信号処理手段を設けた。
査物の側端部（エツジ）を弁別するとともに、その側端
部の位置の幅方向の変動を追従的に検出して前記欠陥と
区別する信号処理手段を設けた。
（作 用）
前期信号処理手段で被検査物の側端部の位置を追従的に
検出することで、側端部に欠陥が存在する場合に、欠陥
を含まない本来のｒｐＪ端部と、そこに含まれている欠
陥とを区別することかできる。
検出することで、側端部に欠陥が存在する場合に、欠陥
を含まない本来のｒｐＪ端部と、そこに含まれている欠
陥とを区別することかできる。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例による欠陥検査装置の概略構
成を示すもので、長手方向に送給される帯状の不透明な
被検査物１をそのｒｐＪ端部をまたぐ範囲にわたって幅
方向に光電的に走査するし手段（ビーム光源２、ビーム
光３、回転ミラー４、光学レンズ６、光電変換器７）の
構成は第５図の従来のものと同じである。光電変換器７
からのビデオ信号を処理する部分に本発明の特徴がある
。
成を示すもので、長手方向に送給される帯状の不透明な
被検査物１をそのｒｐＪ端部をまたぐ範囲にわたって幅
方向に光電的に走査するし手段（ビーム光源２、ビーム
光３、回転ミラー４、光学レンズ６、光電変換器７）の
構成は第５図の従来のものと同じである。光電変換器７
からのビデオ信号を処理する部分に本発明の特徴がある
。
光電変換器７からのビデオ信号は２値化回路８で２値化
された後、本発明の信号処理手段の要部であるつながり
処理フィルタ９に入力される。
された後、本発明の信号処理手段の要部であるつながり
処理フィルタ９に入力される。
つながり処理フィルタ９は例えば第２図（ａ）に示すよ
うな基準フィルタでディジタル化されたビデオ信号を処
理する。第２図（ｂ）はビデオ信号の例を示すもので、
被検査物１のエツジ２３にある基点２１．２２を基準と
して、前期基準フィルタによってつながり処理を施して
いく、そしてつながり処理でフィルタ外にある孤立点２
４は取り除く。また被検査物１のエツジが細くギザギザ
になっている場合等に対応するために、第３図に示すよ
うにしきい値ｎをつながり処理回路９に設定し、それ以
下の部分を取り除くことによって本来あるべきエツジ点
を求める。
うな基準フィルタでディジタル化されたビデオ信号を処
理する。第２図（ｂ）はビデオ信号の例を示すもので、
被検査物１のエツジ２３にある基点２１．２２を基準と
して、前期基準フィルタによってつながり処理を施して
いく、そしてつながり処理でフィルタ外にある孤立点２
４は取り除く。また被検査物１のエツジが細くギザギザ
になっている場合等に対応するために、第３図に示すよ
うにしきい値ｎをつながり処理回路９に設定し、それ以
下の部分を取り除くことによって本来あるべきエツジ点
を求める。
そして、フィルタ９でつながり処理を施されたビデオ信
号は特徴抽出回路１０に供給され、そこで欠陥の長さ、
幅、面積等の特微量を求める。例えば、エツジのカケや
フレ等の欠陥については、第４図に示すように長さ１１
幅Ｗ、面積Ｓを定義して求める。
号は特徴抽出回路１０に供給され、そこで欠陥の長さ、
幅、面積等の特微量を求める。例えば、エツジのカケや
フレ等の欠陥については、第４図に示すように長さ１１
幅Ｗ、面積Ｓを定義して求める。
さらに、前記のように抽出された特微量は判定回路１１
に供給され、そこで欠陥の種類やグレードを判定する。
に供給され、そこで欠陥の種類やグレードを判定する。
例えばエツジのカケやフレ等の欠陥の場合、第４図のよ
うにしきい値りを設定し、Ｄ＞Ｗならカケ欠陥、Ｄ＜Ｗ
ならフレ欠陥とし、そのグレードは各特微量の大きさに
より決定する。
うにしきい値りを設定し、Ｄ＞Ｗならカケ欠陥、Ｄ＜Ｗ
ならフレ欠陥とし、そのグレードは各特微量の大きさに
より決定する。
以上のようにして被検出物１のエツジに存在する欠陥を
確実に検出することができる。
確実に検出することができる。
なお本発明は前記実施例に限定されるものではない。例
えば、前記実施例においては光源２からのビーム光３を
回転ミラ〜４により移動させて被検査物１のエツジを含
む範囲を走査しているが、光源として棒状光源等の固定
電源を採用し受光側にＣＯＤイメージセンサなどにより
電子的に走査しても良い。このほか本発明の要旨を逸脱
しない範囲で様々な態様で実施することができる。
えば、前記実施例においては光源２からのビーム光３を
回転ミラ〜４により移動させて被検査物１のエツジを含
む範囲を走査しているが、光源として棒状光源等の固定
電源を採用し受光側にＣＯＤイメージセンサなどにより
電子的に走査しても良い。このほか本発明の要旨を逸脱
しない範囲で様々な態様で実施することができる。
［発明の効果］
以上の詳細に説明したように、この発明によれば、被検
査物のエツジに欠陥があっても、その欠陥を含まない本
来あるべきエツジの位置を認識することができるので、
本来のエツジとそこに存在する欠陥とを区別して検出す
ることが可能である。
査物のエツジに欠陥があっても、その欠陥を含まない本
来あるべきエツジの位置を認識することができるので、
本来のエツジとそこに存在する欠陥とを区別して検出す
ることが可能である。
第１図は本発明の一実施例による欠陥検査装置の概略構
成図、第２図は同装置におけるつながり処理フィルタと
その処理例を示す概念図、第３図は同装置における本来
あるべきエツジの検出処理の概念図、第４図は同装置に
おけるカケ、クレ欠陥の特徴量と弁別処理の概念図、第
５図は従来の欠陥検査装置の概略構成図である。 １・・・被検査物、 ２・・・ビーム光源 ３・・・ビーム光 ４・・・回転ミラー ６・・・光学レンズ。
成図、第２図は同装置におけるつながり処理フィルタと
その処理例を示す概念図、第３図は同装置における本来
あるべきエツジの検出処理の概念図、第４図は同装置に
おけるカケ、クレ欠陥の特徴量と弁別処理の概念図、第
５図は従来の欠陥検査装置の概略構成図である。 １・・・被検査物、 ２・・・ビーム光源 ３・・・ビーム光 ４・・・回転ミラー ６・・・光学レンズ。
Claims (1)
- 長手方向に送給される帯状の被検査物をその側端部をま
たぐ範囲にわたって幅方向に光電的に走査し、その走査
手段のビデオ信号から被検査物の欠陥を弁別する装置お
いて、前記ビデオ信号から被検査物の側端部を弁別する
とともに、その側端部の位置の幅方向の変動を追従的に
検出して前記欠陥と区別する信号処理手段を設けたこと
を特徴とする欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22435090A JPH04106462A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22435090A JPH04106462A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04106462A true JPH04106462A (ja) | 1992-04-08 |
Family
ID=16812394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22435090A Pending JPH04106462A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04106462A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008082949A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Olympus Corp | 欠陥監視システム |
-
1990
- 1990-08-28 JP JP22435090A patent/JPH04106462A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008082949A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Olympus Corp | 欠陥監視システム |
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