JPH0410966B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、対向した面に設けられた穴の淵に
接する２つの部品の間隔を測定する方法に関す
る。より詳しくは、例えばカラー受像管の電子銃
の対向する電極面に設けられた対向した小穴の淵
部の２面幅を測定する方法に関する。

〔従来の技術〕

電子銃の電極部は、例えば第３図に示すように
構成されている。図において、１は陰極、２は陰
極保持部、３は陰極保持部２を支持している陰極
サポート、４〜８はそれぞれ第１〜第５電極で、
絶縁支持体９で一体に保持されている。陰極１、
第一電極４、第２電極５は一般に３極部と称され
る。又電極には第４図に示す様に、それぞれ３個
の電子ビームの通過孔１０，１１，１２が１列で
一定間隔をもつて設けられており、特に、３極部
の陰極１と第１電極４、第１電極４と第２電極５
の間隔、特に３つの通過孔位置での各電極間の間
隔のばらつきは電子銃の性能に大きく影響する。
一般に陰極１は、陰極サポート３及び各電極４〜
８を絶縁支持体９に組み付けた後に陰極保持部２
内に挿入して固定し組立を行なう。第１電極４と
第２電極５の間隔は、組立誤差や電極の変形等の
為に各々の通過孔位置でばらついており、性能を
確保するには上記間隔を測定し陰極１の位置決め
を行うことが必要である。

従来、上記の電極間隔ｓの測定は第５図に示す
様に板状のスキマゲージ１３を用い人手によつて
行われていた。これは、既知の厚みのスキマゲー
ジ１３を第１電極４と第２電極５の間に挿入し、
手の感触により判断して測定するものである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の電極間隔の測定方法は、以上の様に行わ
れているので精度よく測定することができず、ま
た各通過孔位置での間隔を別々に測定するのは不
可能であり、さらに電極面に接触する為に、キズ
の発生や電極の位置ずれなどの問題があつた。

この発明は、上記のような問題点を解消するた
めになされたもので、高精度で非接触に電極間隔
Ｓを測定できる間隔測定方法を得ることを目的と
している。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る間隔測定方法は、対向する部品
の対向する２面間の間隔を、この２面上に対向さ
せて設けたパターンの位置にて測定する方法にお
いて、上記２面に斜めに入射し反射してこの２面
の間を通過する光束を設けるとともに、この光束
を受ける撮像装置を備え、この撮像装置に投影さ
れた上記パターンの斜視像の間隔を撮像素子を構
成するビツト数から測定して上記２面間の間隔を
求める方法である。

［作用］ この発明においては、パターンをそれぞれ設け
た２面間の間隔を、対向する１組のパターンの位
置において計測する。パターンは、対向する２面
にそれぞれ形成した指標マークや開口である。撮
像装置は、対向する２面に斜めに入謝して反射す
る光束を受けて、対向する１組のパターンの斜視
像を撮像素子上に投影する。撮像素子には間隔測
定の１ビツトを構成する素子が多数、規則的に平
面配列されており、例えば、斜視像の最大径部に
おける対向する１組の斜視像の間隔が、この間隔
に相当する素子の個数（ビツト数）に置換えられ
て計測される。

撮像装置の前後方向において２面に複数組の対
向するパターンが形成されている場合、撮像装置
のピントを移動させて複数組のパターンを順番に
撮像装置に捕えて、次々にパターン斜視像の間隔
を計測する。

〔実施例〕

第１図ａ，ｂはこの発明の一実施例を示すもの
で、ａはその構成を示す断面図、ｂはそのパター
ンの投影図である。

図において、１は陰極、２はこの陰極保持部、
３は陰極サポート、４と５は第１電極と第２電極
であつてこの被測定部Ｐにおける電極間隔Ｓを測
定する。６は第３電極、７と８は第４電極と第５
電極であつて、この間隔も測定の対象となる。９
は上記１〜８までの部品を支持している絶縁支持
体（第３図参照）、１０〜１２はそれぞれ電子ビ
ーム通過孔であつて上記４〜８の電極には各々３
ヶずつ開孔されている。１４は被測定部Ｐの電極
間隔Ｓの間を通過してテレビカメラ本体１５に設
けた撮像素子１７に光Ｌを送る光源、１６はこの
光Ｌの中から被写体である被測定部Ｐを結像させ
るレンズ、１７ａは撮像素子１７の結像を拡大し
たモニター面の画像、Saは画像１７ａ示された
被測定部Ｐにおけるパターンの間隔である。

次に動作について説明する。光源１４から放射
された光Ｌは第１電極４及び第２電極５の間を通
過すると共に被測定部Ｐの２面で反射され、テレ
ビカメラ本体１５のレンズ１６で集光され、撮像
素子１７上に投射する。この時被測定部Ｐの穴か
らは光が反射しないので、撮像素子１７上では、
ｂ図に示す様に扁平になつた穴の像ができる。
又、レンズ１６の焦点は被測定部Ｐに合わせてい
るので、他の２つの穴１０，１１に相当の像はボ
ケてしまい、中心をＸ−X′軸に合わせた穴の像
だけがはつきりと写る。従つて、撮像素子上の像
すなわち明暗のパターンから穴の中心を認識し、
この中心間隔Saの素子を構成するビツト数から
電極間隔Ｓが求められる。

なお上記実施例で、放射状の光Ｌを発光する光
源１４を使用した時に、はつきりした電極面の穴
の像が得られない場合には、光源１４と被測定部
Ｐとの間に中央部を遮へいした凸レンズを設けた
り、それぞれの電極面に斜めに入射する２つの平
行光線を使用すれば、より鮮明な像が得られる。
又電極間隔が狭くなり、回析現象の為に２つの穴
の像を同時に得るのが困難な場合には、第２図に
示すように、一方の側から先端が第１電極４ある
いは第２電極５の電子通過孔より小さな径のノズ
ル１８を挿入し、段付き部を第２電極５の反対側
の面に当接させる。第１電極４の穴の像とノズル
１８のノズル像１８ａは容易に得られるので、穴
の中心とノズル先端の距離Baを計測し、間接的
に電極間隔を求めるようにしてもよい。

さらに上記実施例では、第１電極４と第２電極
５の間隔測定について示したが、他の電極間隔の
測定あるいは、同様な穴を有するする２つの平行
面間の間隔測定に使用できることは言うまでもな
い。又、電極面の穴の像の中心位置を自動で認識
し間隔を求める方法を示したが、穴の像をモニタ
テレビ上に表示すると同時に２つのボリユームに
よりそれぞれ移動できる罫線を表示し、作業者が
ボリユームを操作して罫線を穴の中心合わせ、罫
線間の距離を計測して間隔を求めても、安価で高
精度な測定ができる効果がある。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明した通り、被測定物の対向
する２面より反射した光をテレビカメラ等の撮像
装置によつて受像し、このテレビカメラ内に設け
た撮像素子が感ずる明暗のビツト数から被測定物
の寸法を算出するようにしたので狭小な部分の二
面内にある複数のパターンの間隔を比較的簡単
に、精度良く測定出来るばかりでなく手動・自動
測定装置への応用が容易である。

なおこの測定方法は対向する２面内のパターン
の寸法測定のみならず、その他の寸法測定に応用
しても効果がある。

更に自動測定に応用すれば生産性の向上に寄与
出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂはこの発明の一実施例による間隔
測定方法を示すもので、ａは断面図、ｂはパター
ン図、第２図はこの発明の応用動作の説明図、第
３図及び第４図はこの発明に係る被写体の電子銃
組立体の構成図、第５図は従来の間隔測定方法を
示す断面図である。 図おいて、４は第１電極、５は第２電極、１０
〜１２は電子ビーム通過孔、１４は光源、１５は
テレビカメラ本体、１６はレンズ、１７は撮像素
子、Saはパターン像の距離、Ｐは被測定部、Ｓ
は電極間隔である。なお、各図中同一符号は同一
または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 対向する部品の対向する２面間の間隔を、こ
   の２面上に対向させて設けたパターンの位置にて
   測定する方法において、上記２面に斜めに入射し
   反射してこの２面の間を通過する光束を設けると
   ともに、この光束を受ける撮像装置を備え、この
   撮像装置に投影された上記パターンの斜視像の間
   隔を撮像素子を構成するビツト数から測定して上
   記２面間の間隔を求めることを特徴とする間隔測
   定方法。