JPH04111765A - 水晶片の研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は、水晶片の端部を斜めに切除するベバル加工を
行う水晶片の研磨装置に関する。

（発明の技術的背景とその問題点） たとえば水晶振動子の製造工程では、人工水晶の結晶か
ら短冊状の水晶ウェハーを切り出し、この水晶ウェハー
から個々の水晶振動子に相当するブランクを得るように
している。

従来、水晶ウェハーからブランクを得る加工方法では、
まず水晶ウェハーの段階で所望の共振周波数の厚みに研
磨する。この水晶ウェハーｌは、たとえは第３図に示す
ような長さ３０ｍｍ、幅１０■、厚さ０．　５ｍｍ程度
の大きさの板片である。

そして、水晶ウェハー１の端部の厚みを薄く成形するベ
バル加工を行う。このベバル加工では第４図に示すよう
に板面を鋸歯状に成形した治具２の傾斜面２ａにそれぞ
れ水晶ウェハー１の主面１ａをパラフィン等を用いて接
着する。

そして、たとえは第５図に示すように水晶ウェハー１を
接着した治具２を回転砥石３に接離させて水晶ウェハー
１の主面と側面の交わる部分、すなわち稜１ｂを研磨し
て除去する、いわゆるベバル加工を行う。なお同様の作
業を４回繰り返して、第６図に示すように水晶ウェハー
ｌの幅方向の各種２ｂを研磨し角度５°程度のナイフェ
ツジ状ｌＣに成形する。

そして幅方向の端部をナイフェツツヂ状に成形した水晶
ウェハー１の主面１ａを接着して順次に積み重ね数十枚
を貼り合わせる。そし・て多数のブレードを切断幅に対
応した間隔て並行に張設したマルチブレード切断機を用
いて、上述のようここ貼り合わせた水晶ウェハー２を主
面に直角方向に所定の幅、たとえは２ｍｍの幅に同時に
切断する。

改心こ水晶ウェハー２を個々の水晶片、すなわちブラン
クに分離し、研磨剤とともに円筒容器に収納して、該円
筒容器を回転駆動してその全周を研磨する。

そして稜角を研磨して除去したフランクの主面に励振電
極を形成するようにしている。

このようにすれはベバル加工によってブランクの端部の
厚みを薄く成形するようにしているので振動を板面の中
央部分に閉じこめて良好な振動特性を得ることができる
。

しかしなが２ら、このようなものでは特に水晶ウェハー
の幅方向の稜を研磨して除去するヘバル加工の作業がめ
んどうで生産性を著しく低下させろ。

すなわち、厚ざ０−５ｎ＋ｍ程度の板状の水晶ウェハー
の幅方向の稜を角度５°程度のナイフエッチ状に研磨し
・で成形しなけれはならない。しかしながら、このよう
な加工工程では厚みの薄い水晶ウェハーの端部を斜めに
研磨しなけれはならないので割れ、欠は等の損傷を発生
し易い。またこのような作業はほとんど手作業に頼るた
めに熟練を必要とし生産上のネックになり易い問題かあ
った。

（発明の目的） 本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、水晶片
の加工工程におけるベバル加工を合理化し・、製造時の
不良の発生も少なく、生産性を高めることができる水晶
片の研磨装置を提供することを目的とするものである。

（発明の概要） 本発明は、円筒形のドラムの外周の接線方向に対して水
晶片の主面を傾けてを保持して回転駆動し上記ドラムの
外周に接離自在に設けた研磨板に摺接させてベバル研磨
を行うことを特徴とするものである。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図に示す斜視図を参照し
て詳細に説明する。

図中１１は、円筒形のドラムで外周に多数の吸引孔を穿
設して内部を吸引チューブ１２を介して図示しない吸引
機構に連通させている。

そして、このドラム１１の外周には等間隔に多数の板状
の水晶ウェハー１３を保持する。なお水晶ウェハー１３
は第２図に示すようにドラム１１の外周の接線りに対し
て主面を傾けて保持するようにドラム１１の外周を変形
多角形に成形している。また水晶ウェハー１３の位置決
めを容易に行え、かつ研磨作業時のずれを起き難くする
ためにドラム１】の各角にウェハー１３の厚みよりも低
い桟１４を設けるようにしている。そして水晶ウェハー
１３をドラム１１の外周の各面に吸引機構によって吸引
して保持する。

そしてドラム１１の軸を回転自在に架台１５に保持する
とともここ架台１５に設けたモーター１６との間にベル
ト１７を張設して回転駆動するようにしている。また架
台１５は中心部を軸１８で回動自在に軸支し、一端に上
記ドラム１１を保持し他端にカウンタウェイ）１９を設
けている。

そして２０は平板状の砥石、すなわち研磨板でこの板面
に上記ドラム１１の外周に保持した水晶ウェハー１３の
主面と側面の接する陵を摺接させつつ研磨液を滴下して
ペバル研磨を行う。なお研磨板１９は局部的な摩耗を防
止するために、たとえばエアーシリンダ２１によって進
退駆動させることにより水晶ウェハー１３との接触部位
を移動させるようにしている。

このようにすれは、たとえは第４図に示すような波板状
の治具等を用いてベバル研磨を行うものに比して短時間
に大量の水晶ウェハー１３のベバル研磨を行え著しく作
業性を向上することができる。そして架台１５は軸１８
を中心にして回動可能に設けているので水晶ウェハー１
３の研磨板２０に対する接触圧力を任意に調節すること
ができ、それによって水晶ウェハー１３の割れ、欠は等
の発生も少なくできる利点がある。また上記実施例では
水晶ウェハー１３をエアーの負圧力で吸着して保持する
ようにしているので空気圧力の操作のみてドラム１１の
外周への水晶ウェハー１３の着脱を行え作業性を著しく
改善することができる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
たとえは水晶ウェハーをドラムに吸着しただけでは確実
に保持できない場合はパラフィン系の接着剤等を併用し
ても良い。このような場合でも予め水晶ウェハーを吸着
して位置決めを行い適当な接合面に溶融したパラフィン
を滴下するだけでよいので作業性は極めて良好である。

（発明の効果） 以上詳述したように、本発明によれは加工工程の合理化
を図ることができ、生産性を高め得、不良の発生も少な
くできる水晶片の研磨装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は上記
実施例のドラムの一部を拡大して示す側面図、 第３図は水晶ウェハーを示す斜視図、 第４図は従来のへハル加工の治具を示す側面図、第５図
は従来のへハル加工を示す斜視図、第６図は従来のヘハ
ル加工によって得られた水晶ウェハーの斜視図である。 ・トラム ・水晶ウェハー 、加ム 不Ｏ ・研磨板 第１図 第３１ Ｍ２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 円筒形のドラムと、 このドラムを周方向に回転駆動する回転駆動機構と、 上記ドラムの外周の接線方向に対して主面を傾けて保持
   した水晶片と、 上記ドラムの外周に接離自在に配設した研磨板と、 を具備することを特徴とする水晶片の研磨装置。