JPH04112787U - マスタ・スレーブ ロボツト - Google Patents

マスタ・スレーブ ロボツト

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Publication number
JPH04112787U
JPH04112787U JP2283191U JP2283191U JPH04112787U JP H04112787 U JPH04112787 U JP H04112787U JP 2283191 U JP2283191 U JP 2283191U JP 2283191 U JP2283191 U JP 2283191U JP H04112787 U JPH04112787 U JP H04112787U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
master
slave
wafer
dust
seal cover
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Pending
Application number
JP2283191U
Other languages
English (en)
Inventor
義昭 久保田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
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Priority to JP3349291U priority patent/JPH0671087U/ja
Publication of JPH04112787U publication Critical patent/JPH04112787U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウェハ製造ラインのレイアウト変更に柔軟に
対応し、ウェハカセットのラインへの装着を確実にす
る。 【構成】 ウェハ製造ライン等のクリーンルーム内で用
いるマスタ・スレーブロボットを作業者がウェハカセッ
トの装着状態を直接監視しながら、スレーブロボットを
操縦するため、マスター部とスレーブ部を透明なダスト
シールカバーを介し、移動台車上に一体構成する。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案はクリーンルーム内、例えば半導体工場において、ウェハカセットを搬 送するマスタ・スレーブ ロボットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
クリーンルーム内、例えば半導体工場内では塵埃は大敵であり、空気中の塵埃 数がある一定レベル以下になるよう調整されている。特に半導体ウェハを処理す る装置内ではさらに厳しい条件が要求されるため、ウェハの入ったカセットを装 置に運び入れる過程は自動化する必要がある。しかし、自動化のためのウェハカ セットを搬送する自動搬送ロボットはあるものの、半導体工場では製造プロセス の変更に伴い装置のレイアウト変更が頻繁に行われるため従来の自動搬送ロボッ トではそのレイアウト変更に即座に対応することが難しく、結局人間の手で行っ ていた。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
上記のとおり、半導体工場では製造プロセスの変更に伴い装置のレイアウト変 更が頻繁に行われるため、従来の完全に自動化された搬送ロボットではレイアウ トの変更に即座に対応することは難しい。そのため人間が直接操作できるマニピ ュレータが必要となるが、人間は多量の塵埃を発生するため、その塵埃が製品に 悪影響を与えないようにする対策が必要である。よって本考案は人間がウェハカ セット搬送ロボットを直接操作することを可能にし、また、人間から発生する塵 埃が製品に悪影響を与えないようにすることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、マスター部とスレーブ部を透明なダストシールカバ ーをはさんで移動台車上に一体に構成し、ダストシールカバーの内側で作業者が マスターを操作し、スレーブを操縦する。
【０００５】
【作用】
上記手段により、ダストシールカバーの内側より作業者が移動台車を押すこと で移動台車を自在に移動させることが可能となる。また透明なダストシールカバ ーを通してワークの位置を確認しながら、操作盤上にあるマスターを操作するこ とによりマニピュレータを自在に動かすことができる。作業者から発生する塵埃 はダストシールカバーにより、前方（ウェハカセットのある方向）へ流れ出るこ とを防ぐことができる。
【０００６】
【実施例】
以下、本考案の具体的実施例を第１図に示して説明する。まず、第１図に示す とおり、移動台車１は、ロボットの駆動機構と制御装置を内装するフレーム３の 上面にはスレーブ４を搭載した下面にはキャスタ２が装着されており、背後より 作業者が押すことにより床面を自由に移動することができる。フレーム３は床面 とわずかな隙間をもってキャスタ２や駆動機構や制御装置を覆い、キャスタ２と 床面との摩擦等により生じる塵埃が周囲に飛び散ることを防いでいる。多関節形 ロボットアームを有するスレーブ４の先端にはウェハやウェハカセットを把持す るグリッパ５を装着している。またクリーンルーム内には、空気中に浮遊する塵 埃を流し去るために天井から床へ向かう空気の流れダウンフローがあるので、ス レーブ４の断面形状はそのダウンフローを乱さないよう雨滴や流線形断面として ある。フレーム３の背面には透明なダストシールカバー８をはさんで、作業者が 操縦指令するジョイスティック等のマスター７を取り付けた操作盤６が配置され ている。移動台車１と作業者との間にはダストシールカバー８が配置されており 作業者から発生する塵埃がウェハカセットの方向に流れるのを防いでいる。ダス トシールカバー８もスレーブ４と同様にダウンフローを乱さないよう上下方向は 直線とし両側面を弓状にし作業者を覆っている。
【０００７】
【考案の効果】
以上の説明のとおり本考案により、移動式のマスタ・スレーブ ロボットを作 業者が作業状態を確認しながら直接ロボットを操作することができるため、各種 装置のレイアウト変更や作業内容の変更などにも柔軟に対応することができる。 またダストシールカバーを採用することにより作業者から発生した塵埃が装置内 に侵入することを防ぐことができ、製品の歩留まりを向上させることができる。
【０００８】
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の具体的実施例
【符号の説明】
１ 移動台車 ２ キャスタ ３ フレーム ４ スレーブ ５ グリッパ ６ 操作盤 ７ マスタ ８ ダストシールカバー ９ ウェハカセット

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 作業者が操縦指令を行うマスターと、操
    縦指令を受けて作業を行うスレーブよりなるマスタ・ス
    レーブ ロボットにおいて、マスター部とスレーブ部を
    移動自在な移動台車に一体構成したことを特徴とするマ
    スタ・スレーブ ロボット。
  2. 【請求項２】 マスタとスレーブとの間に透明なダスト
    シールカバーを配置したことを特徴とする請求項１記載
    のマスタ・スレーブ ロボット。
JP2283191U 1991-03-14 1991-03-14 マスタ・スレーブ ロボツト Pending JPH04112787U (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2283191U JPH04112787U (ja) 1991-03-14 1991-03-14 マスタ・スレーブ ロボツト
JP3349291U JPH0671087U (ja) 1991-03-14 1991-04-12 マスタ・スレーブ ロボット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2283191U JPH04112787U (ja) 1991-03-14 1991-03-14 マスタ・スレーブ ロボツト

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04112787U true JPH04112787U (ja) 1992-09-30

Family

ID=31908239

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2283191U Pending JPH04112787U (ja) 1991-03-14 1991-03-14 マスタ・スレーブ ロボツト

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JP (1) JPH04112787U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012073765A1 (ja) * 2010-11-29 2012-06-07 株式会社日立国際電気 半導体製造装置
JP2017057027A (ja) * 2015-09-14 2017-03-23 株式会社椿本チエイン ワーク搬送装置

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