JPH04113446U - カセツトストレ−ジ装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、カセットストレージ装置に関す
る。

特に、貯蔵されたウェハカセットを順々に
送り出すことの出来るウェハカセットのスト
レージ装置に関するものである。

（従来の技術） 従来、半導体集積回路を製造する際に使う
ウェハは、生産効率を高めるために、製造段
階においては専用のウェハカセットに複数枚
収納される。

このように、ウェハは、カセット単位で、 半導体集積回路の製造工程に供給されるよう
になっている。

（考案が解決しようとする課題） 上述した従来の半導体集積回路の製造工程
には、次のような問題点があった。

すなわち、ウェハの製造工程あるいはウェ
ハカセットの供給ラインの一つにトラブルが
発生したときには、次の製造工程へウェハカ
セットが供給されず、生産効率が著しく低下
するという問題があった。

また、一つの供給ラインから複数の製造ラ
において、複数の製造ライン間に生産効率の
差があるようなときには、ある製造ラインに
供給するウェハカセットが余っても、そのウ
ェハカセットを一時的に貯蔵等することがで
きず、ライン全体の生産効率を高めることが
できないという問題があった。

本考案の目的は、以上のような従来の問題
点を解決し、製造工程にトラブルが発生した
場合でも、生産効率が著しく低下するのを防
止することができ、また、製造ラインに生産
効率の差があるような場合でも、ライン全体
の生産効率を高めることができるカセットス
トレージ装置を提供することにある。

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために本考案は、ウェ
ハカセットを多数貯蔵するストレージ装置で
あって、ストレージ装置本体と、このスト
レージ装置本体上部に多数配置され、ウェハ
カセットを支持する支持部と、進退動および
昇降動を伴なって前記支持部に支持されたウ
ェハカセットをピッチ送りするピッチ送り手
段とを具備した構成としてある。

（作用効果） 本考案は上記の構成としたので、次のよう
な作用効果を奏する。

すなわち、ウェハカセットは、ストレージ
装置本体の支持部に多数支持されて貯蔵され
る。そして、ストレージ装置本体にはピッチ
送り手段が設けてあるので、貯蔵されたウェ
ハカセットは、ストレージ装置本体上をピッ
チ送りされて移動する。

したがって、本考案のカセットストレージ
装置によれば、ある製造工程でトラブル等が
発生しても、ストレージ装置本体にウェハカ
セットをあらかじめ貯蔵しておけば、貯蔵し
てある分だけのウェハカセットを次の工程に
供給することができ、トラブルが発生した工
程以降の製造ラインを停止させる必要がな
く、生産効率が著しく低下するのを防止する
ことができるという効果がある。

また、製造ラインに生産効率の差があるよ
うな場合でも、生産効率の低いラインに送り
出す分のウェハカセットを貯蔵しておくこと
ができ、その結果、ライン全体の生産効率を
高めることができるという効果がある。

（実施例） 以下、図示の実施例について説明する。

第１図は本考案に係るカセットストレージ
装置の正面図、第２図は同じく平面図、第
３図はストレージ装置本体上部の拡大縦断面
図、第４図は第１図のＡ−Ａ線拡大断面図、 第５図は第２図のＢ−Ｂ線拡大断面図、第
６図はピッチ送り手段を示す概略斜視図であ
る。

これらの図面において、本実施例のカセッ
トストレージ装置は、ストレージ装置本体
１０と、第１〜第３の支持部２０〜２２と、 ピッチ送り手段３０とを備えている。

ストレージ装置本体１０は、下部にキャス
ター１１を備えた移動体１２の上部に取り付
けられており、製造工程等のレイアウトに合
わせて移動可能な構成となっている。

第１〜第３の支持部２０〜２２は、スト
レージ装置本体１０の上部に一定の間隔を置
いて配置されており、複数枚のウェハを収納
したウェハカセットＣを両側からそれぞれ支
持する。支持部２０〜２２の上面はいずれも
傾斜をもたせてあり、ウェハカセットＣを支
持しやすいようにしてある。これらの支持部
２０〜２２は、ストレージ装置本体１０の上
面１０ａに形成された２つの凹溝１３、 １３に沿って、それぞれの凹溝１３、１３の
両側に一対ずつ配置されている。

凹溝１３、１３の中央部分には、切欠き溝
１３ａ、１３ａがそれぞれ形成されており、 後述するテーブルの支持部が通るようになっ
ている。

ピッチ送り手段３０は、移動ブロック
３１と、この移動ブロック３１を進退動させ
る進退動手段３２と、移動ブロック３１に昇
降動可能に支持されたテーブル３３と、この
テーブル３３を昇降動させる昇降動手段
３４とからなっている。

移動ブロック３１は、ストレージ装置本体
１０の底板１０ｂに固定されたＬＭ（Ｌｉｎ
ｅａｒＭｏｔｉｖｅ）ガイド３５に接触し
て、ＬＭガイド３５上を案内されるように
なっている。

進退動手段３２は、駆動モータ３６と、こ
の駆動モータ３６の作動により回転するタイ
ミングベルト３７と、タイミングベルト
３７を支持するタイミングプーリ３８とから
なっている。

移動ブロック３１の一端側３１ａには、 フック３１ｂが設けられており、タイミング
ベルト３７に連結されている。これにより、 駆動モータ３６を作動させると、タイミング
ベルト３７が回転し、その回転方向にした
がって移動ブロック３１が第６図中矢印Ｘ方
向に進退動するようになつている。

テーブル３３、３３は、支柱３３ａにより
移動ブロック３１の上方に支持されている。

これらのテーブル３３は、ストレージ装置本
体１０の上面１０ａの凹溝１３、１３内にそ
れぞれ配置され、後述する昇降動手段３４に
よって上昇したときに、例えば、第１の支持
部２０に支持されたウェハカセットＣを持ち
上げるようになっている。

テーブル３３の支柱３３ａには、ラック
３３ｂが形成されている。

昇降動手段３４は、ボールスプラインナッ
ト３９、ボールスプライン４０、昇降駆動
モータ４１からなっている。

ボールスプラインナット３９には、ピニオ
ン３９ａが形成されている。このボールスプ
ラインナット３９は、移動ブロック３１の内
部に回動自在に設けられており、テーブル
３３の支柱３３ａのラック３３ｂに、ピニオ
ン３９ａが噛合っている。

ボールスプライン４０は、ボールスプライ
ンナット３９に挿通してある。４０ａ、 ４０ａはボールスプライン４０の支持部であ
る。昇降駆動モータ４１は、ボールスプライ
ン４０の一端側にプーリ４２、タイミングベ
ルト４３およびプーリ４４を介して接続され
ている。これにより、昇降駆動モータ４１を
作動させると、プーリ４２、タイミングベル
ト４３、プーリ４４を介してボールスプライ
ン４０が回転し、ボールスプラインナット
３９の回転が支柱３３ａのラック３３ｂに伝
わってテーブル３３を昇降させるようになっ
ている。

５０は制御部であり、進退動手段３２の駆
動モータ３６および昇降動手段３４の昇降駆
動モータ４１の作動等を、制御するように
なっている。

次に、このような構成よりなるカセットス
トレージ装置の作用を第７図をも参照して説
明する。

まず、ストレージ装置本体１０の第１の支
持部２０に、図示しない受渡し装置等によっ
てウェハカセットＣを支持する（第７図
（ａ）参照）。すると、図示しない検知手段
によって、ウェハカセットＣが第１の支持部
２０に支持されたことが検出され、制御部
５０にその信号が送られる。制御部５０は、 送られてきた信号にもとづいて駆動モータ
３６を作動させ、移動ブロック３１を進退動
させることにより、移動ブロック３１のテー
ブル３３、３３を第１の支持部２０の下方に
配置する。この場合、移動ブロック３１の
テーブル３３、３３が初めから第１の支持部
２０の下方にあるときには、駆動モータ
３６は作動しない。

次に、制御部５０は、昇降駆動モータ
４１を作動させて移動ブロック３１のテーブ
ル３３、３３を上昇させる。これにより、第
１の支持部２０に支持されたウェハカセット
Ｃは、テーブル３３によって第１の支持部
２０から持ち上げられる。（第７図（ｂ）参
照）。

ウェハカセットＣは、第１の支持部２０の
高さより高く持ち上げられて停止する。その
後、制御部５０は、駆動モータ３６を作動さ
せて移動ブロック３１のテーブル３３が第
２の支持部２１の上方に来るように、移動ブ
ロック３１を矢印Ｘ方向に移動させる（第
７図（ｃ）参照）。

ここで、再び昇降駆動モータ４１が制御部
５０によって作動制御され、移動ブロック
３１のテーブル３３が下降する。これによ
り、テーブル３３によって持ち上げられてい
たウェハカセットＣが第２の支持部２１に支
持される。同様の動作によって、第２の支持
部２１に支持されたウェハカセットＣは、第
３の支持部２２に送られて支持される。

このように、ウェハカセットＣは、進退動
および昇降動を伴なって第１の支持部２０か
ら第２の支持部２１へ、第２の支持部２１か
ら第３の支持部へとピッチ送りされて、第
１〜第３の支持部２０〜２２にそれぞれ貯蔵
される（第７図（ｄ）参照）。

ストレージ装置本体１０に貯蔵されたウェ
ハカセットＣを送り出す場合には、第７図
（ｅ）に示すように、例えば、第３の支持部
２２のウェハカセットＣを昇降動手段３４に
よって持ち上げておき、フォークＦ等によっ
て受け取る。

そして、第２の支持部２１のウェハカセッ
トＣを第３の支持部へピッチ送りした
後、第１の支持部２０から第２の支持部
２１へとウェハカセットＣをピッチ送りす
る。そして、空いた第１の支持部２０に新た
にウェハカセットＣを支持する（第７図
（ｆ）参照）。このように、ウェハカセット
Ｃをピッチ送りしてストレージ装置本体
１０にウェハカセットＣを貯蔵する。

以上のようなカセットストレージ装置を、 例えば、ある製造工程と製造工程との間に配
置すれば、前の製造工程でトラブル等が発生
しても、ストレージ装置本体１０の第１〜第
３の支持部２０〜２２に貯蔵してある分だけ
のウェハカセットＣを次の工程に供給するこ
とができる。これにより、トラブルが発生し
た工程よりあとの製造ラインを停止させる必
要がなく、ウェハカセットＣが供給されない
ことにより生ずる生産効率の低下を防止する
こととができる。

また、製造ラインに生産効率の差があるよ
うな場合でも、生産効率の低いラインに送り
出す分のウェハカセットをストレージ装置本
体１０に貯蔵しておくことができ、その結
果、ライン全体の生産効率を高めることがで
きる。

また、ストレージ装置本体１０の上面
１０ａは、開口部を少なくしてあるので、ス
トレージ装置本体１０の内部から塵埃が流出
しにくい。

以上本考案の実施例について説明したが、 本考案は上記実施例に限定されるものではな
く、本考案の要旨の範囲内において適宜変形
実施可能である。

例えば、ウェハカセットＣの支持部の個
数、凹溝１３等の数は、適宜選定できる。

また、シリンダ等のスライダを用いて、進
退動手段３２あるいは昇降動手段３４を構成
してもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るカセツトストレージ装置
の正面図、第２図は同じく平面図、第３図は装置
本体上部の拡大縦断面図、第４図は第１図のＡ−
Ａ線拡大断面図、第５図は第２図のＢ−Ｂ線拡大
断面図、第６図はピツチ送り手段を示す概略斜視
図、第７図ａ〜ｅはウエハカセツトのピツチ送り
を示す作用説明図である。 １０……ストレージ装置本体、２０〜２２……
第１〜第３の支持部、３０……ピツチ送り手段、 ３２……進退動手段、３４……昇降動手段、Ｃ…
…ウエハカセツト。

補正平４．６．９
図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書の図面の簡単な説明の欄に下記の説明を
追加する。「第７図ｆは、ウェハカセットのピッ
チ送りを示す作用説明図である。」

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ウエハカセツトを多数貯蔵するストレージ装置
   であつて、ストレージ装置本体と、このストレー
   ジ装置本体上部に多数配置され、ウエハカセツト
   を支持する支持部と、進退動および昇降動を伴な
   つて前記支持部に支持されたウエハカセツトをピ
   ツチ送りするピツチ送り手段とを具備したことを
   特徴とするカセツトストレージ装置。