JPH073641Y2 - カセットストレージ装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、カセットストレージ装置に関する。

特に、貯蔵されたウエハカセットを順々に送り出すこと
のできるウエハカセットのストレージ装置に関するもの
である。

（従来の技術） 従来、半導体集積回路を製造する際に使うウエハは、生
産効率を高めるために、製造段階においては専用のウエ
ハカセットに複数枚収納される。

このように、ウエハは、カセット単位で、半導体集積回
路の製造工程に供給されるようになっている。

（考案が解決しようとする課題） 上述した従来の半導体集積回路の製造工程には、次のよ
うな問題点があった。

すなわち、ウエハの製造工程あるいはウエハカセットの
供給ラインの一つにトラブルが発生したときには、次の
製造工程へウエハカセットが供給されず、生産効率が著
しく低下するという問題があった。

また、一つの供給ラインから複数の製造ラインへウエハ
カセットを供給するような場合において、複数の製造ラ
イン間に生産効率の差があるようなときには、ある製造
ラインに供給するウエハカセットが余っても、そのウエ
ハカセットを一時的に貯蔵等することができず、ライン
全体の生産効率を高めることができないという問題があ
った。

本考案の目的は、以上のような従来の問題点を解決し、
製造工程にトラブルが発生した場合でも、生産効率が著
しく低下するのを防止することができ、また、製造ライ
ンに生産効率の差があるような場合でも、ライン全体の
生産効率を高めることができるカセットストレージ装置
を提供することにある。

（問題を解決するための手段） 上記目的を達成するため本考案は、ウエハカセットを多
数貯蔵するストレージ装置であって、ストレージ装置本
体と、このストレージ装置本体上部に多数配置され、ウ
エハカセットを支持する支持部とを備え、前記ストレー
ジ装置本体内部に設けられたボールスプラインと、この
ボールスプラインに沿って移動自在に設けられた移動ブ
ロックと、この移動ブロックを前記ボールスプラインに
沿って移動させる移動手段と、前記移動ブロックに昇降
自在に設けられ、前記ボールスプラインを回動させるこ
とによって昇降動し、前記移動手段による移動ブロック
の移動と相まって前記支持部に支持されたウエハカセッ
トを持ち上げて移動するテーブルとからなるピッチ送り
手段を設けた構成としてある。

（作用効果） 本考案は上記の構成としたので、次のような作用効果を
奏する。

すなわち、ウエハカセットは、ストレージ装置本体の支
持部に多数支持されて貯蔵される。そして、ストレージ
装置本体には、ボールスプラインに沿って移動する移動
ブロックと、この移動ブロックを移動させる移動手段
と、移動ブロックに昇降自在に設けられ、ボールスプラ
インを回動させることによって昇降動し、移動手段によ
る移動ブロックの移動と相まって支持部に支持されたウ
エハカセットを持ち上げて移動するテーブルとからなる
ピッチ送り手段が設けてあるので、貯蔵されたウエハカ
セットは、ストレージ装置本体上をピッチ送りされて移
動する。

したがって、本考案のカセットストレージ装置によれ
ば、ある製造工程でトラブル等が発生しても、ストレー
ジ装置本体にウエハカセットをあらかじめ貯蔵しておけ
ば、貯蔵してある分だけのウエハカセットを次の工程に
供給することができ、トラブルが発生した工程以降の製
造ラインを停止させる必要がなく、生産効率が著しく低
下するのを防止することができるという効果がある。

また、製造ラインに生産効率の差があるような場合で
も、生産効率の低いラインに送り出す分のウエハカセッ
トを貯蔵しておくことができ、その結果、ライン全体の
生産効率を高めることができるという効果がある。

移動ブロックは、移動手段によりボールスプラインに沿
って任意の位置に移動させることができ、また、移動し
た後にボールスプラインを回動させるという操作を行な
うことによって、移動ブロックのテーブルを昇降させる
ことができるので、任意の位置におけるテーブルの昇降
が容易である。

また、ボールスプラインの回動駆動源は、テーブルから
離れた位置に設けることが可能となるので、テーブル上
に支持されたカセットのクリーン度が損なわれにくいと
いう利点がある。

（実施例） 以下、図示の実施例について説明する。

第１図は本考案に係るカセットストレージ装置の正面
図、第２図は同じく平面図、第３図はストレージ装置本
体上部の拡大縦断面図、第４図は第１図のＡ−Ａ線拡大
断面図、第５図は第２図のＢ−Ｂ線拡大断面図、第６図
はピッチ送り手段を示す概略斜視図である。

これらの図面において、本実施例のカセットストレージ
装置は、ストレージ装置本体10と、第１〜第３の支持部
20〜22と、ピッチ送り手段30とを備えている。

ストレージ装置本体10は、下部にキャスター11を備えた
移動体12の上部に取り付けられており、製造工程等のレ
イアウトに合わせて移動可能な構成となっている。

第１〜第３の支持部20〜22は、ストレージ装置本体10の
上部に一定の間隔を置いて配置されており、複数枚のウ
エハを収納したウエハカセットＣを両側からそれぞれ支
持する。支持部20〜22の上面はいずれも傾斜をもたせて
あり、ウエハカセットＣを支持しやすいようにしてあ
る。これらの支持部20〜22は、ストレージ装置本体10の
上面10aに形成された２つの凹溝13,13に沿って、それぞ
れの凹溝13,13の両側に一対ずつ配置されている。

凹溝13,13の中央部分には、切欠き溝13a,13aがそれぞれ
形成されており、後述するテーブルの支持部が通るよう
になっている。

ピッチ送り手段30は、ストレージ装置本体10の内部に設
けられたボールスプライン40と、このボールスプライン
40に沿って移動自在に設けられた移動ブロック31と、こ
の移動ブロック31をボールスプライン40に沿って移動さ
せる移動手段32と、移動ブロック31に昇降自在に設けら
れ、ボールスプライン40を回動させることによって昇降
動し、移動手段32による移動ブロック31の移動と相まっ
て支持部20〜22に支持されたウエハカセットＣを持ち上
げて移動するテーブル33とを備えている。

移動ブロック31は、ストレージ装置本体10の底板10bに
固定されたLM（Linear Motive）ガイド35に接触して、L
Mガイド35上を案内されるようになっている。

移動手段32は、駆動モータ36と、この駆動モータ36の作
動により回転するタイミングベルト37と、タイミングベ
ルト37を支持するタイミングプーリ38とからなってい
る。

移動ブロック31の一端側31aには、フック31bが設けられ
ており、タイミングベルト37に連結されている。これに
より、駆動モータ36を作動させると、タイミングベルト
37が回転し、その回転方向にしたがって移動ブロック31
が第６図中矢印Ｘ方向に移動するようになっている。

テーブル33,33は、支柱33aにより移動ブロック31の上方
に支持されている。これらのテーブル33は、ストレージ
装置本体10の上面10aの凹溝13,13内にそれぞれ配置れ、
後述するボールスプライン40の回動によって上昇したと
きに、例えば、第１の支持部20に支持されたウエハカセ
ットＣを持ち上げるようになっている。

テーブル33の支柱33aには、ラック33bが形成されてい
る。

39はボールスプラインナットであり、ピニオン39aが形
成されている。このボールスプラインナット39は、移動
ブロック31の内部に回動自在に設けられており、テーブ
ル33の支柱33aのラック33bに、ピニオン39aが噛合って
いる。

ボールスプライン40は、ボールスプラインナット39に挿
通してある。40a,40aはボールスプライン40の支持部で
ある。41は昇降駆動モータであり、ボールスプライン40
の一端側にプーリ42、タイミングベルト43およびプーリ
44を介して接続されている。これにより、昇降駆動モー
タ41を作動させると、プーリ42、タイミングベルト43、
プーリ44を介してボールスプライン40が回転し、ボール
スプラインナット39の回転が支柱33aのラック33bに伝わ
ってテーブル33を昇降させるようになっている。

50は制御部であり、移動手段32の駆動モータ36および昇
降駆動モータ41の作動等を、制御するようになってい
る。

次に、このような構成よりなるカセットストレージ装置
の作用を第７図をも参照して説明する。

まず、ストレージ装置本体10の第１の支持部20に、図示
しない受渡し装置等によってウエハカセットＣを支持す
る（第７図（ａ）参照）。すると、図示しない検知手段
によって、ウエハカセットＣが第１の支持部20に支持さ
れたことが検出され、制御部50にその信号が送られる。
制御部50は、送られてきた信号にもとづいて駆動モータ
36を作動させ、移動ブロック31を移動させることによ
り、移動ブロック31のテーブル33,33を第１の支持部20
の下方に配置する。この場合、移動ブロック31のテーブ
ル33,33が初めから第１の支持部20の下方にあるときに
は、駆動モータ36は作動しない。

次に、制御部50は、昇降駆動モータ41を作動させて移動
ブロック31のテーブル33,33を上昇させる。これによ
り、第１の支持部20に支持されたウエハカセットＣは、
テーブル33によって第１の支持部20から持ち上げられ
る。（第７図（ｂ）参照）。

ウエハカセットＣは、第１の支持部20の高さより高く持
ち上げられて停止する。その後、制御部50は、駆動モー
タ36を作動させて移動ブロック31のテーブル33が第２の
支持部21の上方に来るように、移動ブロック31を矢印Ｘ
方向に移動させる（第７図（ｃ）参照）。

ここで、再び昇降駆動モータ41が制御部50によって作動
制御され、移動ブロック31のテーブル33が下降する。こ
れにより、テーブル33によって持ち上げられていたウエ
ハカセットＣが第２の支持部21に支持される。同様の動
作によって、第２の支持部21に支持されたウエハカセッ
トＣは、第３の支持部22に送られて支持される。

このように、ウエハカセットＣは、第１の支持部20から
第２の支持部21へ、第２の支持部21から第３の支持部へ
とピッチ送りされて、第１〜第３の支持部20〜22にそれ
ぞれ貯蔵される（第７図（ｄ）参照）。

ストレージ装置本体10に貯蔵されたウエハカセットＣを
送り出す場合には、第７図（ｅ）に示すように、例え
ば、第３の支持部22のウエハカセットＣをテーブル33に
よって持ち上げておき、フォークＦ等によって受け取
る。

そして、第２の支持部21のウエハカセットＣを第３の支
持部22とピッチ送りした後、第１の支持部20から第２の
支持部21へとウエハカセットＣをピッチ送りする。そし
て、空いた第１の支持部20に新たにウエハカセットＣを
支持する（第７図（ｆ）参照）。このように、ウエハカ
セットＣをピッチ送りしてストレージ装置本体10にウエ
ハカセットＣを貯蔵する。

以上のようなカセットストレージ装置を、例えば、ある
製造工程と製造工程との間に配置すれば、前の製造工程
でトラブル等が発生しても、ストレージ装置本体10の第
１〜第３の支持部20〜22に貯蔵してある分だけのウエハ
カセットＣを次の工程に供給することができる。これに
より、トラブルが発生した工程よりあとの製造ラインを
停止させる必要がなく、ウエハカセットＣが供給されな
いことにより生ずる生産効率の低下を防止することがで
きる。

また、製造ラインに生産効率の差があるような場合で
も、生産効率の低いラインに送り出す分のウエハカセッ
トをストレージ装置本体10に貯蔵しておくことができ、
その結果、ライン全体の生産効率を高めることができ
る。

また、ストレージ装置本体10の上面10aは、開口部を少
なくしてあるので、ストレージ装置本体10の内部から塵
埃が流出しにくい。

移動ブロック31は、移動手段32によりボールスプライン
40に沿って任意の位置に移動させることができ、また、
移動した後にボールスプライン40を回動させるという操
作を行なうことによって、移動ブロック31のテーブル33
を昇降させることができるので、任意の位置におけるテ
ーブル33の昇降が容易である。

また、ボールスプライン40の回動駆動源となる昇降駆動
モータ41等は、テーブル33から離れた位置に設けること
ができるので、テーブル33上に支持されたウエハカセッ
トＣのクリーン度が損なわれにくいという利点がある。

以上本考案の実施例について説明したが、本考案は上記
実施例に限定されるものではなく、本考案の要旨の範囲
内において適宜変形実施可能である。

例えば、ウエハカセットＣの支持部の個数，凹溝13等の
数は、適宜選定できる。

【図面の簡単な説明】 第１図は本考案に係るカセットストレージ装置の正面
図、第２図は同じく平面図、第３図は装置本体上部の拡
大縦断面図、第４図は第１図のＡ−Ａ線拡大断面図、第
５図は第２図のＢ−Ｂ線拡大断面図、第６図はピッチ送
り手段を示す概略斜視図、第７図（ａ）〜（ｆ）はウエ
ハカセットのピッチ送りを示す作用説明図である。第７
図（ｆ）は、ウエハカセットのピッチ送りを示す作用説
明図である。 10……ストレージ装置本体、20〜22……第１〜第３の支
持部、30……ピッチ送り手段、31……移動ブロック、32
……移動手段、33……テーブル、40……ボールスプライ
ン、Ｃ……ウエハカセット。

フロントページの続き (72)考案者 岡下 恭彦 千葉県館山市山本1580番地 株式会社エ ヌ・エム・ビーセミコンダクター館山工場 内

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ウエハカセットを多数貯蔵するストレージ
   装置であって、ストレージ装置本体と、このストレージ
   装置本体上部に多数配置され、ウエハカセットを支持す
   る支持部とを備え、前記ストレージ装置本体内部に設け
   られたボールスプラインと、このボールスプラインに沿
   って移動自在に設けられた移動ブロックと、この移動ブ
   ロックを前記ボールスプラインに沿って移動させる移動
   手段と、前記移動ブロックに昇降自在に設けられ、前記
   ボールスプラインを回動させることによって昇降動し、
   前記移動手段による移動ブロックの移動と相まって前記
   支持部に支持されたウエハカセットを持ち上げて移動す
   るテーブルとからなるピッチ送り手段を設けたことを特
   徴とするカセットストレージ装置。