JPH1032236A - ピッチ可変ウェハ移載ハンド - Google Patents
ピッチ可変ウェハ移載ハンドInfo
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- JPH1032236A JPH1032236A JP20312996A JP20312996A JPH1032236A JP H1032236 A JPH1032236 A JP H1032236A JP 20312996 A JP20312996 A JP 20312996A JP 20312996 A JP20312996 A JP 20312996A JP H1032236 A JPH1032236 A JP H1032236A
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- finger
- lifting
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ウェハ移載ハンドにおいて、複数枚のウェハの
上下方向のピッチを簡単な構成で確実に変更する。 【解決手段】各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 をスライドブ
ロック１２の各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3によって支持し、該
スライドブロック１２を各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の
幅方向に水平移動させて、該支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 を各昇
降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の間から一定の時間だけずらし
ながら退避させると同時に、スライドブロック１２の傾
斜面部１５によって各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 を下段
から積層させ、基準フィンガーＦ0 に当接させることに
より、ウェハＷの上下方向のピッチを標準ピッチＰ1 か
ら狭ピッチＰ2 に変更する。
上下方向のピッチを簡単な構成で確実に変更する。 【解決手段】各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 をスライドブ
ロック１２の各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3によって支持し、該
スライドブロック１２を各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の
幅方向に水平移動させて、該支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 を各昇
降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の間から一定の時間だけずらし
ながら退避させると同時に、スライドブロック１２の傾
斜面部１５によって各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 を下段
から積層させ、基準フィンガーＦ0 に当接させることに
より、ウェハＷの上下方向のピッチを標準ピッチＰ1 か
ら狭ピッチＰ2 に変更する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主として半導体製
造装置におけるピッチ可変ウェハ移載ハンドに関するも
のである。
造装置におけるピッチ可変ウェハ移載ハンドに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置において、ウェハＷを装
置内に搬入するにはキャリアステージ装置が使用されて
いる。このキャリアステージ装置は、図１１に示される
ように、キャリア支柱５１にキャリア台５２を介して複
数台のキャリアスタンド５３が円周方向に等間隔をおい
て装着され、多数枚のウェハＷを水平状態で収納したウ
ェハキャリア５４を前記キャリアスタンド５３に載置
し、駆動手段によって前記キャリア支柱５１を設定角度
ずつ回動させ、多関節ロボットＲの先端のアーム５５の
先端部に装着されたウェハ移載ハンド５６によってウェ
ハキャリア５４内のウェハＷを取出し、前記多関節ロボ
ットＲの作動によりウェハボート５７に移載する構成で
ある。その際スループットの向上のため、一度に複数枚
（通常は５枚）のウェハＷを、標準ピッチＰ1 （６．３
５ｍｍ）のウェハキャリア５４側から、狭ピッチＰ
2 （４．７６ｍｍ或いは５．２ｍｍ）のウェハボート５
７側へ移載するという方法が行われている。そのために
は、ウェハ移載ハンド５６に、複数枚のウェハＷの上下
方向のピッチを変更させる機構を設けることが必要であ
る。
置内に搬入するにはキャリアステージ装置が使用されて
いる。このキャリアステージ装置は、図１１に示される
ように、キャリア支柱５１にキャリア台５２を介して複
数台のキャリアスタンド５３が円周方向に等間隔をおい
て装着され、多数枚のウェハＷを水平状態で収納したウ
ェハキャリア５４を前記キャリアスタンド５３に載置
し、駆動手段によって前記キャリア支柱５１を設定角度
ずつ回動させ、多関節ロボットＲの先端のアーム５５の
先端部に装着されたウェハ移載ハンド５６によってウェ
ハキャリア５４内のウェハＷを取出し、前記多関節ロボ
ットＲの作動によりウェハボート５７に移載する構成で
ある。その際スループットの向上のため、一度に複数枚
（通常は５枚）のウェハＷを、標準ピッチＰ1 （６．３
５ｍｍ）のウェハキャリア５４側から、狭ピッチＰ
2 （４．７６ｍｍ或いは５．２ｍｍ）のウェハボート５
７側へ移載するという方法が行われている。そのために
は、ウェハ移載ハンド５６に、複数枚のウェハＷの上下
方向のピッチを変更させる機構を設けることが必要であ
る。
【０００３】従来、この種のウェハ移載ハンドとして、
特開平７−３７９６６号公報に記載されるものがある。
この公報にて開示された技術は、「ピッチ変換板（５）
の可変溝（９）の一面（９Ａ）又は他面（９Ｂ）に、ウ
エハ保持プレート取付けブロック（４）を駆動源（８）
により押付け、２種類のウエハピッチに対応できること
を特徴とするウエハ可変ピッチウエハ保持器。」であ
る。しかし、この公報に記載される技術では、ピッチ変
換板（５）にウエハ保持プレート取付けブロック（４）
を押付け、それを引張りばね（６）で戻すという構成で
あり、安定性に欠けるという不具合がある。
特開平７−３７９６６号公報に記載されるものがある。
この公報にて開示された技術は、「ピッチ変換板（５）
の可変溝（９）の一面（９Ａ）又は他面（９Ｂ）に、ウ
エハ保持プレート取付けブロック（４）を駆動源（８）
により押付け、２種類のウエハピッチに対応できること
を特徴とするウエハ可変ピッチウエハ保持器。」であ
る。しかし、この公報に記載される技術では、ピッチ変
換板（５）にウエハ保持プレート取付けブロック（４）
を押付け、それを引張りばね（６）で戻すという構成で
あり、安定性に欠けるという不具合がある。
【０００４】また、他の技術として、特開平７−１０６
４０３号公報に記載された技術が開示されている。この
技術は、互いに反対方向にねじが切られたボールねじの
それぞれの可動体にアームを取付け、該ボールねじを所
定量回転させることによって前記可動体を互いに反対方
向に、同じ量だけ無段階に移動させるという構成であ
る。しかし、この方法ではボールねじを使用しているた
め装置が複雑化、大型化する。しかも高価である。ま
た、ウェハボート５７側のウェハのピッチは限られてお
り、ほとんどの場合２種類のピッチ（４．７６ｍｍ或い
は５．２ｍｍ）に対応できるだけでよい。
４０３号公報に記載された技術が開示されている。この
技術は、互いに反対方向にねじが切られたボールねじの
それぞれの可動体にアームを取付け、該ボールねじを所
定量回転させることによって前記可動体を互いに反対方
向に、同じ量だけ無段階に移動させるという構成であ
る。しかし、この方法ではボールねじを使用しているた
め装置が複雑化、大型化する。しかも高価である。ま
た、ウェハボート５７側のウェハのピッチは限られてお
り、ほとんどの場合２種類のピッチ（４．７６ｍｍ或い
は５．２ｍｍ）に対応できるだけでよい。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した問題
に鑑み、一度に複数枚のウェハを移載するハンドにおい
て、各フィンガーに載置されている各ウェハの上下方向
のピッチを簡単な構成で変更することができるようにす
ることを課題としている。
に鑑み、一度に複数枚のウェハを移載するハンドにおい
て、各フィンガーに載置されている各ウェハの上下方向
のピッチを簡単な構成で変更することができるようにす
ることを課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明が採用した手段は、標準ピッチのウェハキャリ
ア側から狭ピッチのウェハボート側へウェハを移載する
際に、複数枚のフィンガーに載置されたウェハの上下方
向のピッチを変更して、一度に複数枚のウェハを移載す
るピッチ可変ウェハ移載ハンドであって、基準フィンガ
ーと、該基準フィンガーに対して多段に配置され、片持
状態で支持する支持部が設けられていると共に、個別に
昇降させるための昇降操作部が設けられた複数枚の昇降
フィンガーと、水平移動可能で、その移動方向の一端部
に各昇降フィンガーを標準ピッチに設定するための各支
持部材が多段にして設けられ、同じく他端部に各昇降フ
ィンガーを積層させて狭ピッチに設定するための平坦部
が設けられ、しかも該平坦部と前記支持部材との間に傾
斜面部が設けられたスライドブロックとを備え、前記し
た各昇降フィンガーの昇降操作部に配設されたスライド
ブロックを水平移動させることにより、基準フィンガー
のウェハに対するそれ以外の各ウェハの上下方向のピッ
チを変更可能にしたことである。
に本発明が採用した手段は、標準ピッチのウェハキャリ
ア側から狭ピッチのウェハボート側へウェハを移載する
際に、複数枚のフィンガーに載置されたウェハの上下方
向のピッチを変更して、一度に複数枚のウェハを移載す
るピッチ可変ウェハ移載ハンドであって、基準フィンガ
ーと、該基準フィンガーに対して多段に配置され、片持
状態で支持する支持部が設けられていると共に、個別に
昇降させるための昇降操作部が設けられた複数枚の昇降
フィンガーと、水平移動可能で、その移動方向の一端部
に各昇降フィンガーを標準ピッチに設定するための各支
持部材が多段にして設けられ、同じく他端部に各昇降フ
ィンガーを積層させて狭ピッチに設定するための平坦部
が設けられ、しかも該平坦部と前記支持部材との間に傾
斜面部が設けられたスライドブロックとを備え、前記し
た各昇降フィンガーの昇降操作部に配設されたスライド
ブロックを水平移動させることにより、基準フィンガー
のウェハに対するそれ以外の各ウェハの上下方向のピッ
チを変更可能にしたことである。
【０００７】ピッチ可変ウェハ移載ハンドの基準フィン
ガーに対する各昇降フィンガーの上下方向のピッチは、
予め標準ピッチに設定されている。そのため、各フィン
ガーに載置されている複数枚のウェハのピッチは、標準
ピッチに設定されている。このピッチ可変ウェハ移載ハ
ンドを標準ピッチのウェハキァリア側に移動させ、ウェ
ハキャリア側の各ウェハを、前記ピッチ可変ウェハ移載
ハンドの基準フィンガー及び各昇降フィンガーに載置し
て取出す。この状態でスライドブロックを水平移動させ
ると、各支持部材が昇降フィンガーの間から一定時間だ
けずれながら退避する。同時に、傾斜面部が下段の昇降
フィンガーから順に各昇降フィンガーを押上げる。すべ
ての昇降フィンガーが積層された状態で基準フィンガー
に当接すると、基準フィンガーに対する各昇降フィンガ
ーのピッチは狭ピッチに変更される。即ち、ウェハのピ
ッチが狭ピッチに設定される。ピッチ可変ウェハ移載ハ
ンドを狭ピッチのウェハボート側へ移動させ、各ウェハ
を収納する。その後、スライドブロックを反対方向へ水
平移動させて各昇降フィンガーを下降させ、標準ピッチ
に設定する。
ガーに対する各昇降フィンガーの上下方向のピッチは、
予め標準ピッチに設定されている。そのため、各フィン
ガーに載置されている複数枚のウェハのピッチは、標準
ピッチに設定されている。このピッチ可変ウェハ移載ハ
ンドを標準ピッチのウェハキァリア側に移動させ、ウェ
ハキャリア側の各ウェハを、前記ピッチ可変ウェハ移載
ハンドの基準フィンガー及び各昇降フィンガーに載置し
て取出す。この状態でスライドブロックを水平移動させ
ると、各支持部材が昇降フィンガーの間から一定時間だ
けずれながら退避する。同時に、傾斜面部が下段の昇降
フィンガーから順に各昇降フィンガーを押上げる。すべ
ての昇降フィンガーが積層された状態で基準フィンガー
に当接すると、基準フィンガーに対する各昇降フィンガ
ーのピッチは狭ピッチに変更される。即ち、ウェハのピ
ッチが狭ピッチに設定される。ピッチ可変ウェハ移載ハ
ンドを狭ピッチのウェハボート側へ移動させ、各ウェハ
を収納する。その後、スライドブロックを反対方向へ水
平移動させて各昇降フィンガーを下降させ、標準ピッチ
に設定する。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、実施例を挙げて本発明を詳
細に説明する。本実施例では、５枚のウェハの上下方向
のピッチを標準ピッチＰ1 （６．３５ｍｍ）から狭ピッ
チＰ2 の一つ（４．７６ｍｍ）に変更するためのウェハ
移載ハンドとして説明する。図１ないし図４に示される
ように、本発明に係るウェハ移載ハンドのフレーム１
は、ベース２と、該ベース２の上面に立設される逆
「コ」の字形状の枠体３と、該枠体３の上面に跨がって
固設される基準ブラケットＢ0 とから成っている。基準
ブラケットＢ0 には、長方形でプレート形状の基準フィ
ンガーＦ0 が固設されている。この基準フィンガーＦ0
は、前部のウェハ載置部４ａと後部の支持部５ａとから
成っていて、該ウェハ載置部４ａがフレーム１から前方
に突出する形態で、基準ブラケットＢ0 に固設されてい
る。基準フィンガーＦ0 の下方には、前記基準フィンガ
ーＦ0 とほぼ同一形状を成す第１〜第４の昇降フィンガ
ーＦ1 〜Ｆ4 がこの順序で、しかも基準フィンガーＦ0
にほぼ重なる形状で配設されている。各昇降フィンガー
Ｆ1 〜Ｆ4 は、前方からウェハ載置部４ｂ、支持部５ｂ
及び昇降操作部６の各部分から構成されている。各支持
部５ｂは、後述する各昇降ブラケットＢ1 〜Ｂ4 に固設
されている。基準フィンガーＦ0 と各昇降フィンガーＦ
1 〜Ｆ4 のウェハ載置部４a,４b には、円形のウェハＷ
に対応した円形溝部７が設けられていて、この円形溝部
７にウェハＷが片持の状態で載置される。図３に示され
るように、本実施例において、各昇降フィンガーＦ1 〜
Ｆ4 の厚みは狭ピッチＰ2 に等しい。そして、基準フィ
ンガーＦ0 及び各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 に載置され
ている各ウェハＷの上下方向のピッチ（基準フィンガー
Ｆ0 に対する各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 のピッチ）
は、予め標準ピッチＰ1 に設定されている。
細に説明する。本実施例では、５枚のウェハの上下方向
のピッチを標準ピッチＰ1 （６．３５ｍｍ）から狭ピッ
チＰ2 の一つ（４．７６ｍｍ）に変更するためのウェハ
移載ハンドとして説明する。図１ないし図４に示される
ように、本発明に係るウェハ移載ハンドのフレーム１
は、ベース２と、該ベース２の上面に立設される逆
「コ」の字形状の枠体３と、該枠体３の上面に跨がって
固設される基準ブラケットＢ0 とから成っている。基準
ブラケットＢ0 には、長方形でプレート形状の基準フィ
ンガーＦ0 が固設されている。この基準フィンガーＦ0
は、前部のウェハ載置部４ａと後部の支持部５ａとから
成っていて、該ウェハ載置部４ａがフレーム１から前方
に突出する形態で、基準ブラケットＢ0 に固設されてい
る。基準フィンガーＦ0 の下方には、前記基準フィンガ
ーＦ0 とほぼ同一形状を成す第１〜第４の昇降フィンガ
ーＦ1 〜Ｆ4 がこの順序で、しかも基準フィンガーＦ0
にほぼ重なる形状で配設されている。各昇降フィンガー
Ｆ1 〜Ｆ4 は、前方からウェハ載置部４ｂ、支持部５ｂ
及び昇降操作部６の各部分から構成されている。各支持
部５ｂは、後述する各昇降ブラケットＢ1 〜Ｂ4 に固設
されている。基準フィンガーＦ0 と各昇降フィンガーＦ
1 〜Ｆ4 のウェハ載置部４a,４b には、円形のウェハＷ
に対応した円形溝部７が設けられていて、この円形溝部
７にウェハＷが片持の状態で載置される。図３に示され
るように、本実施例において、各昇降フィンガーＦ1 〜
Ｆ4 の厚みは狭ピッチＰ2 に等しい。そして、基準フィ
ンガーＦ0 及び各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 に載置され
ている各ウェハＷの上下方向のピッチ（基準フィンガー
Ｆ0 に対する各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 のピッチ）
は、予め標準ピッチＰ1 に設定されている。
【０００９】図２ないし図５を参照しながら、第１〜第
４の各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 を昇降させるための構
成について説明する。図５に示されるように、各昇降ブ
ラケットＢ1 〜Ｂ4 は正面視においてほぼ横になった
「Ｌ」字形状を成していて、それらの水平な段差部８に
前述した各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の支持部５ｂが取
付けられている。これらの支持部５ｂは、複数の皿ねじ
９によって取付けられていて、該複数の皿ねじ９の頭が
各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の上面から突出することは
ない。各昇降ブラケットＢ1 〜Ｂ4 において、前記した
段差部８と直角な方向に設けられている直角部１１は、
個別にガイドレールＧ1 〜Ｇ4 に取付けられている。こ
れら４基のガイドレールＧ1 〜Ｇ4 は、図４に示される
ように、フレーム１を構成する枠体３の前部の内側部
に、上下方向に沿って２基ずつ並列に取付けられてい
る。そして、図２に示されるように、各昇降フィンガー
Ｆ1 〜Ｆ4 は、互いが干渉しないように多段になって配
設されている。上記したように、第１〜第４の昇降フィ
ンガーＦ1 〜Ｆ4 は、各昇降ブラケットＢ1 〜Ｂ4 を介
して各ガイドレールＧ1 〜Ｇ4 に片持の状態で取付けら
れている。
４の各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 を昇降させるための構
成について説明する。図５に示されるように、各昇降ブ
ラケットＢ1 〜Ｂ4 は正面視においてほぼ横になった
「Ｌ」字形状を成していて、それらの水平な段差部８に
前述した各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の支持部５ｂが取
付けられている。これらの支持部５ｂは、複数の皿ねじ
９によって取付けられていて、該複数の皿ねじ９の頭が
各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の上面から突出することは
ない。各昇降ブラケットＢ1 〜Ｂ4 において、前記した
段差部８と直角な方向に設けられている直角部１１は、
個別にガイドレールＧ1 〜Ｇ4 に取付けられている。こ
れら４基のガイドレールＧ1 〜Ｇ4 は、図４に示される
ように、フレーム１を構成する枠体３の前部の内側部
に、上下方向に沿って２基ずつ並列に取付けられてい
る。そして、図２に示されるように、各昇降フィンガー
Ｆ1 〜Ｆ4 は、互いが干渉しないように多段になって配
設されている。上記したように、第１〜第４の昇降フィ
ンガーＦ1 〜Ｆ4 は、各昇降ブラケットＢ1 〜Ｂ4 を介
して各ガイドレールＧ1 〜Ｇ4 に片持の状態で取付けら
れている。
【００１０】図３及び図４に示されるように、フレーム
１を構成するベース２の後部には、基準フィンガーＦ0
及び各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の幅方向に沿ってガイ
ドレールＧ0 が取付けられている。このガイドレールＧ
0 の上面には、スライドブロック１２が取付けられてい
る。次に、このスライドブロック１２について説明す
る。スライドブロック１２は、その平面視において長方
形形状を成している。図６に示されるように、このスラ
イドブロック１２の長手方向の一端部には、上段から第
１〜第３の支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 が多段にして設けられて
いる。そして、各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 の先端部は、該ス
ライドブロック１２の長手方向の中央部に向かって延伸
されている。各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 の厚みは、標準ピッ
チＰ1 と狭ピッチＰ2 との差ｄ（ｄ＝Ｐ1 −Ｐ2 ）であ
る。各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 の間には、第２〜第４の昇降
フィンガーＦ2 〜Ｆ4 が入り込む。そのため、各支持部
材Ｓ1 〜Ｓ3 の上下方向の間隔ｈは、第２〜第４の昇降
フィンガーＦ2 〜Ｆ4 の厚み（狭ピッチＰ2 に等しい）
よりも僅かに大きい。また、各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 の長
さは最上段の支持部材Ｓ1 の長さが最も長く、下段にな
るに従って順次短くなっている。各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3
は、重なり合った昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の間に進入
し、最下段の昇降フィンガーＦ4 を除く各昇降フィンガ
ーＦ1 〜Ｆ3 の下面を支持する。各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3
が各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の間に容易に進入できる
ようにそれらの先端部は、上面から下面にかけて斜めに
切断されている。また、進入される各昇降フィンガーＦ
2 〜Ｆ4 においては、それぞれ逃し部１３が設けられて
いる。スライドブロック１２の長手方向の他端部には平
坦部１４が設けられていて、該平坦部１４の内側の端部
１４ａから下方にかけて傾斜面部１５が設けられてい
る。前記した平坦部１４の内側の端部１４ａから、最上
段の支持部材Ｓ1 の先端部までの水平距離１６は、各昇
降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の幅Ｌよりも僅かに長い。
１を構成するベース２の後部には、基準フィンガーＦ0
及び各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の幅方向に沿ってガイ
ドレールＧ0 が取付けられている。このガイドレールＧ
0 の上面には、スライドブロック１２が取付けられてい
る。次に、このスライドブロック１２について説明す
る。スライドブロック１２は、その平面視において長方
形形状を成している。図６に示されるように、このスラ
イドブロック１２の長手方向の一端部には、上段から第
１〜第３の支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 が多段にして設けられて
いる。そして、各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 の先端部は、該ス
ライドブロック１２の長手方向の中央部に向かって延伸
されている。各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 の厚みは、標準ピッ
チＰ1 と狭ピッチＰ2 との差ｄ（ｄ＝Ｐ1 −Ｐ2 ）であ
る。各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 の間には、第２〜第４の昇降
フィンガーＦ2 〜Ｆ4 が入り込む。そのため、各支持部
材Ｓ1 〜Ｓ3 の上下方向の間隔ｈは、第２〜第４の昇降
フィンガーＦ2 〜Ｆ4 の厚み（狭ピッチＰ2 に等しい）
よりも僅かに大きい。また、各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 の長
さは最上段の支持部材Ｓ1 の長さが最も長く、下段にな
るに従って順次短くなっている。各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3
は、重なり合った昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の間に進入
し、最下段の昇降フィンガーＦ4 を除く各昇降フィンガ
ーＦ1 〜Ｆ3 の下面を支持する。各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3
が各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の間に容易に進入できる
ようにそれらの先端部は、上面から下面にかけて斜めに
切断されている。また、進入される各昇降フィンガーＦ
2 〜Ｆ4 においては、それぞれ逃し部１３が設けられて
いる。スライドブロック１２の長手方向の他端部には平
坦部１４が設けられていて、該平坦部１４の内側の端部
１４ａから下方にかけて傾斜面部１５が設けられてい
る。前記した平坦部１４の内側の端部１４ａから、最上
段の支持部材Ｓ1 の先端部までの水平距離１６は、各昇
降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の幅Ｌよりも僅かに長い。
【００１１】図４に示されるように、ベース２には前述
したスライドブロック１２のガイドレールＧ0 に隣接
し、しかも該ガイドレールＧ0 の長手方向に沿って空圧
シリンダ１７が取付けられている。この空圧シリンダ１
７のシリンダ軸１７ａは、スライドブロック１２の一端
部に取付けられた連結ブラケット１８に取付けられてい
る。そのため、この空圧シリンダ１７を作動させて、そ
のシリンダ軸１７ａを前進・後退させると、スライドブ
ロック１２が各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の幅方向に沿
って水平移動する。
したスライドブロック１２のガイドレールＧ0 に隣接
し、しかも該ガイドレールＧ0 の長手方向に沿って空圧
シリンダ１７が取付けられている。この空圧シリンダ１
７のシリンダ軸１７ａは、スライドブロック１２の一端
部に取付けられた連結ブラケット１８に取付けられてい
る。そのため、この空圧シリンダ１７を作動させて、そ
のシリンダ軸１７ａを前進・後退させると、スライドブ
ロック１２が各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の幅方向に沿
って水平移動する。
【００１２】図７ないし図１０を参照しながら、ウェハ
Ｗの上下方向のピッチが、標準ピッチＰ1 から狭ピッチ
Ｐ2 に変更される原理について説明する。ウェハＷは、
それぞれ基準フィンガーＦ0 及び各昇降フィンガーＦ1
〜Ｆ4 のウェハ載置部４a,４b に載置されている。そし
て、最上段の基準フィンガーＦ0 は基準ブラケットＢ0
に固設されている。ウェハＷの上下方向のピッチを変更
させるためには、各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 （或いは
各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 が取付けられている昇降ブ
ラケットＢ1 〜Ｂ4 ）の上下方向のピッチを変更させれ
ばよい。基準フィンガーＦ0 に対する第１の昇降フィン
ガーＦ1 のピッチを変更させるためには、該昇降フィン
ガーＦ1 を標準ピッチＰ1 と狭ピッチＰ2 との差ｄ（即
ち、ｄ＝Ｐ1 −Ｐ2 ）だけ上昇させればよい。そして、
基準フィンガーＦ0 に対する第２の昇降フィンガーＦ2
のピッチを変更させるためには、該昇降フィンガーＦ2
を標準ピッチＰ1 と狭ピッチＰ2 との差ｄの２倍だけ上
昇させればよい。同様にして、基準フィンガーＦ0 に対
する第３の昇降フィンガーＦ3 のピッチを変更させるた
めには、該昇降フィンガーＦ3 を標準ピッチＰ1 と狭ピ
ッチＰ2 との差ｄの３倍だけ、また、基準フィンガーＦ
0 に対する第４の昇降フィンガーＦ4 のピッチを変更さ
せるためには、該昇降フィンガーＦ4 を標準ピッチＰ1
と狭ピッチＰ2 との差ｄの４倍だけ上昇させればよい。
Ｗの上下方向のピッチが、標準ピッチＰ1 から狭ピッチ
Ｐ2 に変更される原理について説明する。ウェハＷは、
それぞれ基準フィンガーＦ0 及び各昇降フィンガーＦ1
〜Ｆ4 のウェハ載置部４a,４b に載置されている。そし
て、最上段の基準フィンガーＦ0 は基準ブラケットＢ0
に固設されている。ウェハＷの上下方向のピッチを変更
させるためには、各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 （或いは
各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 が取付けられている昇降ブ
ラケットＢ1 〜Ｂ4 ）の上下方向のピッチを変更させれ
ばよい。基準フィンガーＦ0 に対する第１の昇降フィン
ガーＦ1 のピッチを変更させるためには、該昇降フィン
ガーＦ1 を標準ピッチＰ1 と狭ピッチＰ2 との差ｄ（即
ち、ｄ＝Ｐ1 −Ｐ2 ）だけ上昇させればよい。そして、
基準フィンガーＦ0 に対する第２の昇降フィンガーＦ2
のピッチを変更させるためには、該昇降フィンガーＦ2
を標準ピッチＰ1 と狭ピッチＰ2 との差ｄの２倍だけ上
昇させればよい。同様にして、基準フィンガーＦ0 に対
する第３の昇降フィンガーＦ3 のピッチを変更させるた
めには、該昇降フィンガーＦ3 を標準ピッチＰ1 と狭ピ
ッチＰ2 との差ｄの３倍だけ、また、基準フィンガーＦ
0 に対する第４の昇降フィンガーＦ4 のピッチを変更さ
せるためには、該昇降フィンガーＦ4 を標準ピッチＰ1
と狭ピッチＰ2 との差ｄの４倍だけ上昇させればよい。
【００１３】図７に示されるように、第１〜第４の昇降
フィンガーＦ1 〜Ｆ4 は、予め標準ピッチＰ1 に設定さ
れている。各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の間には、それ
ぞれ第１〜第３の支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 が進入していて、
各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4の上下方向のピッチが標準
ピッチＰ1 に設定されている。この状態でスライドブロ
ック１２を、各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 が退避する方向１９
に水平移動させると、図８に示されるように、最下段の
支持部材Ｓ3 が第３の昇降フィンガーＦ3 と第４の昇降
フィンガーＦ4 との間から退避する。それとほぼ同時
に、最下段の昇降フィンガーＦ4 の下端部２１がスライ
ドブロック１２の傾斜面部１５に当接する。そして、第
３の昇降フィンガーＦ3 の下面が第４の昇降フィンガー
Ｆ4 の上面に当接して積層される。この状態で、第４の
昇降フィンガーＦ4 は、スライドブロック１２の傾斜面
部１５に沿って上昇するため、同時に第３の昇降フィン
ガーＦ3 も上昇する。更にスライドブロック１２を水平
移動させると、第２の支持部材Ｓ2 が、第２の昇降フィ
ンガーＦ2 と第３の昇降フィンガーＦ3 との間から退避
して、第２の昇降フィンガーＦ2 の下面が第３の昇降フ
ィンガーＦ3 の上面に当接して積層される。この状態
で、第４の昇降フィンガーＦ4 は、スライドブロック１
２の傾斜面部１５に沿って上昇するため、同時に第２、
第３の昇降フィンガーＦ2,Ｆ3 も上昇する。
フィンガーＦ1 〜Ｆ4 は、予め標準ピッチＰ1 に設定さ
れている。各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の間には、それ
ぞれ第１〜第３の支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 が進入していて、
各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4の上下方向のピッチが標準
ピッチＰ1 に設定されている。この状態でスライドブロ
ック１２を、各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 が退避する方向１９
に水平移動させると、図８に示されるように、最下段の
支持部材Ｓ3 が第３の昇降フィンガーＦ3 と第４の昇降
フィンガーＦ4 との間から退避する。それとほぼ同時
に、最下段の昇降フィンガーＦ4 の下端部２１がスライ
ドブロック１２の傾斜面部１５に当接する。そして、第
３の昇降フィンガーＦ3 の下面が第４の昇降フィンガー
Ｆ4 の上面に当接して積層される。この状態で、第４の
昇降フィンガーＦ4 は、スライドブロック１２の傾斜面
部１５に沿って上昇するため、同時に第３の昇降フィン
ガーＦ3 も上昇する。更にスライドブロック１２を水平
移動させると、第２の支持部材Ｓ2 が、第２の昇降フィ
ンガーＦ2 と第３の昇降フィンガーＦ3 との間から退避
して、第２の昇降フィンガーＦ2 の下面が第３の昇降フ
ィンガーＦ3 の上面に当接して積層される。この状態
で、第４の昇降フィンガーＦ4 は、スライドブロック１
２の傾斜面部１５に沿って上昇するため、同時に第２、
第３の昇降フィンガーＦ2,Ｆ3 も上昇する。
【００１４】更にスライドブロック１２を水平移動させ
ると、図９に示されるように、第１の支持部材Ｓ1 が、
第１の昇降フィンガーＦ1 と第２の昇降フィンガーＦ2
との間から退避して、第１の昇降フィンガーＦ1 の下面
が第２の昇降フィンガーＦ2の上面に当接して積層され
る。この状態で、第４の昇降フィンガーＦ4 は、スライ
ドブロック１２の傾斜面部１５に沿って上昇するため、
同時に第１〜第３の昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ3 も上昇す
る。前述したように、平坦部１４の内側の端部１４ａか
ら最上段の支持部材Ｓ1 の先端部までの水平距離１６
は、各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の幅Ｌよりも僅かに長
いため、図９に示される状態では、最下段の第４の昇降
フィンガーＦ4 の下端部２１は、傾斜面部１５と当接し
ている。このようにして、第１〜第３の支持部材Ｓ1 〜
Ｓ3 を各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4の間から一定の時間
をずらして退避させると同時に、傾斜面部１５によって
積層された各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 を下方から押上
げる。そして、図１０に示されるように、第４の昇降フ
ィンガーＦ4 がスライドブロック１２の平坦部１４に乗
り上げると、第１の昇降フィンガーＦ1 の上面が基準フ
ィンガーＦ0 の下面に当接する。この状態において、基
準フィンガーＦ0 に対する各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4
の上下方向のピッチは、狭ピッチＰ2 に設定される。基
準フィンガーＦ0 に対する各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4
の上下方向のピッチを、標準ピッチＰ1から狭ピッチＰ
2 に変更したい場合には、スライドブロック１２を逆方
向に水平移動させて、各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の間
に各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 を、一定の時間だけずらしなが
ら進入させてやればよい。
ると、図９に示されるように、第１の支持部材Ｓ1 が、
第１の昇降フィンガーＦ1 と第２の昇降フィンガーＦ2
との間から退避して、第１の昇降フィンガーＦ1 の下面
が第２の昇降フィンガーＦ2の上面に当接して積層され
る。この状態で、第４の昇降フィンガーＦ4 は、スライ
ドブロック１２の傾斜面部１５に沿って上昇するため、
同時に第１〜第３の昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ3 も上昇す
る。前述したように、平坦部１４の内側の端部１４ａか
ら最上段の支持部材Ｓ1 の先端部までの水平距離１６
は、各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の幅Ｌよりも僅かに長
いため、図９に示される状態では、最下段の第４の昇降
フィンガーＦ4 の下端部２１は、傾斜面部１５と当接し
ている。このようにして、第１〜第３の支持部材Ｓ1 〜
Ｓ3 を各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4の間から一定の時間
をずらして退避させると同時に、傾斜面部１５によって
積層された各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 を下方から押上
げる。そして、図１０に示されるように、第４の昇降フ
ィンガーＦ4 がスライドブロック１２の平坦部１４に乗
り上げると、第１の昇降フィンガーＦ1 の上面が基準フ
ィンガーＦ0 の下面に当接する。この状態において、基
準フィンガーＦ0 に対する各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4
の上下方向のピッチは、狭ピッチＰ2 に設定される。基
準フィンガーＦ0 に対する各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4
の上下方向のピッチを、標準ピッチＰ1から狭ピッチＰ
2 に変更したい場合には、スライドブロック１２を逆方
向に水平移動させて、各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の間
に各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 を、一定の時間だけずらしなが
ら進入させてやればよい。
【００１５】各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 及びスライド
ブロック１２は、取外しが可能である。各昇降フィンガ
ーＦ1 〜Ｆ4 の厚み（変更される狭ピッチＰ2 に等し
い）と各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 の厚みｄとを変更すること
により、１台のピッチ可変ウェハ移載ハンドで、４．７
６ｍｍ以外の狭ピッチ（例えば５．２ｍｍ）にも対応可
能である。なお、本実施例において、各支持部材Ｓ1 〜
Ｓ3 の厚みｄを標準ピッチＰ1 と狭ピッチＰ2 との差
（ｄ＝Ｐ1 −Ｐ2 ）として説明したが、この厚みｄと各
支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 の上下方向の間隔ｈ（図６参照）と
の和が、標準ピッチＰ1 になればよい（Ｐ1 ＝ｄ＋
Ｐ2 ）のであって、各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 の厚みｄは標
準ピッチＰ1 と狭ピッチＰ2 との差より薄くても構わな
い。また、本実施例において、スライドブロック１２を
水平移動させる手段として空圧シリンダ１７を使用した
が、他の手段、例えばラックとピニオンとの組合わせで
も構わない。スライドブロック１２の移動方向を、各昇
降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の幅方向にすることによって、
フレーム１を小型化することができる。スライドブロッ
ク１２を各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の最後部（昇降操
作部６）に配置することによって、各昇降フィンガーＦ
1 〜Ｆ4 の各支持部５ｂから各ウェハ載置部４ｂまでの
長さが短くなり、ウェハＷのたわみをより小さくするこ
とができるため、精度よくウェハＷの移載ができる。
ブロック１２は、取外しが可能である。各昇降フィンガ
ーＦ1 〜Ｆ4 の厚み（変更される狭ピッチＰ2 に等し
い）と各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 の厚みｄとを変更すること
により、１台のピッチ可変ウェハ移載ハンドで、４．７
６ｍｍ以外の狭ピッチ（例えば５．２ｍｍ）にも対応可
能である。なお、本実施例において、各支持部材Ｓ1 〜
Ｓ3 の厚みｄを標準ピッチＰ1 と狭ピッチＰ2 との差
（ｄ＝Ｐ1 −Ｐ2 ）として説明したが、この厚みｄと各
支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 の上下方向の間隔ｈ（図６参照）と
の和が、標準ピッチＰ1 になればよい（Ｐ1 ＝ｄ＋
Ｐ2 ）のであって、各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 の厚みｄは標
準ピッチＰ1 と狭ピッチＰ2 との差より薄くても構わな
い。また、本実施例において、スライドブロック１２を
水平移動させる手段として空圧シリンダ１７を使用した
が、他の手段、例えばラックとピニオンとの組合わせで
も構わない。スライドブロック１２の移動方向を、各昇
降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の幅方向にすることによって、
フレーム１を小型化することができる。スライドブロッ
ク１２を各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 の最後部（昇降操
作部６）に配置することによって、各昇降フィンガーＦ
1 〜Ｆ4 の各支持部５ｂから各ウェハ載置部４ｂまでの
長さが短くなり、ウェハＷのたわみをより小さくするこ
とができるため、精度よくウェハＷの移載ができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明に係るピッチ可変ウェハ移載ハン
ドは、基準フィンガーの下方に複数枚の昇降フィンガー
が多段に配設されていて、各昇降フィンガーがスライド
ブロックによって昇降される。そのため、スライドブロ
ックを水平移動させるだけで、基準フィンガーに対する
各昇降フィンガーの上下方向のピッチを変更することが
できる。即ち、基準フィンガーのウェハに対する昇降フ
ィンガーの各ウェハのピッチを変更することができる。
各昇降フィンガーを昇降させる機構は簡単であり、安価
に実現できる。また、各フィンガーとスライドブロック
とを交換することにより、別な寸法のピッチにも対応可
能である。
ドは、基準フィンガーの下方に複数枚の昇降フィンガー
が多段に配設されていて、各昇降フィンガーがスライド
ブロックによって昇降される。そのため、スライドブロ
ックを水平移動させるだけで、基準フィンガーに対する
各昇降フィンガーの上下方向のピッチを変更することが
できる。即ち、基準フィンガーのウェハに対する昇降フ
ィンガーの各ウェハのピッチを変更することができる。
各昇降フィンガーを昇降させる機構は簡単であり、安価
に実現できる。また、各フィンガーとスライドブロック
とを交換することにより、別な寸法のピッチにも対応可
能である。
【図１】本発明に係るピッチ可変ウェハ移載ハンドの平
面図である。
面図である。
【図２】同じく側面図である。
【図３】図１のＸ1 −Ｘ1 断面図である。
【図４】図２のＸ2 −Ｘ2 断面図である。
【図５】各昇降ブラケットＢ1 〜Ｂ4 及び各ガイドレー
ルＧ1 〜Ｇ4 の取付け状態を示す分解図である。
ルＧ1 〜Ｇ4 の取付け状態を示す分解図である。
【図６】スライドブロック１２の側面図である。
【図７】ウェハＷが載置されている基準フィンガーＦ0
及び各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 のピッチが標準ピッチ
Ｐ1 に設定されている状態を示す図である。
及び各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 のピッチが標準ピッチ
Ｐ1 に設定されている状態を示す図である。
【図８】標準ピッチＰ1 から狭ピッチＰ2 に変更するた
め、最下段の支持部材Ｓ3 を退避させた状態の作用説明
図である。
め、最下段の支持部材Ｓ3 を退避させた状態の作用説明
図である。
【図９】同じく、各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 を退避させた状
態の作用説明図である。
態の作用説明図である。
【図１０】同じく、各支持部材Ｓ1 〜Ｓ3 が退避して、
積層した各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 が平坦部１４に乗
り上げた状態の作用説明図である。
積層した各昇降フィンガーＦ1 〜Ｆ4 が平坦部１４に乗
り上げた状態の作用説明図である。
【図１１】ウェハＷを標準ピッチＰ1 のウェハキャリア
５４側から、狭ピッチＰ2 のウェハボート５７側へ移載
する状態を示す図である。
５４側から、狭ピッチＰ2 のウェハボート５７側へ移載
する状態を示す図である。
Ｆ0 ：基準フィンガー Ｆ1 〜Ｆ4 ：昇降フィンガー Ｐ1 ：標準ピッチ Ｐ2 ：狭ピッチ Ｓ1 〜Ｓ3 ：支持部材 Ｗ：ウェハ ５ｂ：支持部 ６：昇降操作部 １２：スライドブロック １４：平坦部 １５：傾斜面部 ５４：ウェハキャリア ５７：ウェハボート
Claims (5)
- 【請求項１】 標準ピッチのウェハキャリア側から狭ピ
ッチのウェハボート側へウェハを移載する際に、複数枚
のフィンガーに載置されたウェハの上下方向のピッチを
変更して、一度に複数枚のウェハを移載するピッチ可変
ウェハ移載ハンドであって、 基準フィンガーと、 該基準フィンガーに対して多段に配置され、片持状態で
支持する支持部が設けられていると共に、個別に昇降さ
せるための昇降操作部が設けられた複数枚の昇降フィン
ガーと、 水平移動可能で、その移動方向の一端部に各昇降フィン
ガーを標準ピッチに設定するための各支持部材が多段に
して設けられ、同じく他端部に各昇降フィンガーを積層
させて狭ピッチに設定するための平坦部が設けられ、し
かも該平坦部と前記支持部材との間に傾斜面部が設けら
れたスライドブロックとを備え、 前記した各昇降フィンガーの昇降操作部に配設されたス
ライドブロックを水平移動させることにより、基準フィ
ンガーのウェハに対するそれ以外の各ウェハの上下方向
のピッチを変更可能にしたことを特徴とするピッチ可変
ウェハ移載ハンド。 - 【請求項２】 前記した各支持部材の長さが、上段のも
のから下段のものにかけて順次短くなっていることを特
徴とする請求項１に記載のピッチ可変ウェハ移載ハン
ド。 - 【請求項３】 前記したスライドブロックの移動方向
は、各昇降フィンガーの幅方向に沿った方向であること
を特徴とする請求項１又は２に記載のピッチ可変ウェハ
移載ハンド。 - 【請求項４】 各昇降フィンガーの昇降操作部は、該昇
降フィンガーの支持部から後方に突出させた部分である
ことを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載のピ
ッチ可変ウェハ移載ハンド。 - 【請求項５】 前記したスライドブロック及び各昇降フ
ィンガーが交換可能であることを特徴とする請求項１な
いし４の何れかに記載のピッチ可変ウェハ移載ハンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20312996A JPH1032236A (ja) | 1996-07-12 | 1996-07-12 | ピッチ可変ウェハ移載ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20312996A JPH1032236A (ja) | 1996-07-12 | 1996-07-12 | ピッチ可変ウェハ移載ハンド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1032236A true JPH1032236A (ja) | 1998-02-03 |
Family
ID=16468897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20312996A Pending JPH1032236A (ja) | 1996-07-12 | 1996-07-12 | ピッチ可変ウェハ移載ハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1032236A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101245383B1 (ko) | 2011-10-21 | 2013-03-19 | 제엠제코(주) | 반도체 패키지의 클립 부착 방법 및 이를 이용한 반도체 패키지 제조방법 |
| JPWO2014103300A1 (ja) * | 2012-12-27 | 2017-01-12 | 川崎重工業株式会社 | エンドエフェクタ装置 |
| WO2017146326A1 (ko) * | 2016-02-24 | 2017-08-31 | 제엠제코(주) | 반도체 패키지의 클립 부착 방법 및 이를 위한 다중 클립 부착 장치 |
| JP2020189390A (ja) * | 2019-05-24 | 2020-11-26 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットの調整方法および測定用器具 |
-
1996
- 1996-07-12 JP JP20312996A patent/JPH1032236A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101245383B1 (ko) | 2011-10-21 | 2013-03-19 | 제엠제코(주) | 반도체 패키지의 클립 부착 방법 및 이를 이용한 반도체 패키지 제조방법 |
| JPWO2014103300A1 (ja) * | 2012-12-27 | 2017-01-12 | 川崎重工業株式会社 | エンドエフェクタ装置 |
| WO2017146326A1 (ko) * | 2016-02-24 | 2017-08-31 | 제엠제코(주) | 반도체 패키지의 클립 부착 방법 및 이를 위한 다중 클립 부착 장치 |
| JP2020189390A (ja) * | 2019-05-24 | 2020-11-26 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットの調整方法および測定用器具 |
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