JPH04113447U - ウエハキヤリア - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 挿入されたウエハの下端部を支持するための
ウエハ支持棒を二側面間の下部に設けることにより、ウ
エハキャリアに収納されたウエハのウエハ面に平行な方
向へのずれを無くし、ウエハ自動移載の際の位置出しを
確実とならしめるとともに、ウエハキャリアの持ち運び
際のウエハの発塵を防止するウエハキャリアに関する。 【構成】 一つの方向よりウエハを挿入し、ウエハの周
面端部を支持するための溝を相対する二側面に多数設け
た上面開放の箱型のウエハキャリアに、挿入されたウエ
ハの下部を支持するためのウエハ支持棒を前記二側面間
の下部に設ける。そして、ウエハ支持棒にウエハ厚さよ
りも広い位置決め溝を形成する。さらに、ウエハ周端部
を支持するための溝を有する２側面下部に突部を形成
し、突部上にウエハ支持棒を設けた構造とし、突部間距
離よりウエハ支持棒間距離を大きく形成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は上面開放の箱型のウエハキャリアに関し、詳しくは、挿入されたウエ ハの下端部を支持するためのウエハ支持棒を二側面間の下部に設けることにより 、ウエハキャリアに収納されたウエハのウエハ面に平行な方向へのずれを無くし 、ウエハ自動移載の際の位置出しを確実とならしめるとともに、ウエハキャリア の持ち運び際のウエハの発塵を防止するものに関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、ウエハキャリア１は、図４ないし図６に示すように、相対して設けら れた側壁部材２、２と、側壁部材２、２の下部に設けられたウエハ支持部材６、 ６と、これら側壁部材２,２の両端部どうしを連結する端面部材３,３とから構成 された上面開放の箱型に形成されたものである。そして、側壁部材２,２の内面 とウエハ支持部材６、６の上面には、ウエハ４,４を支持する多数の溝５が設け られており、ウエハ４は上方から前記溝５内部に面接触された状態で収納され、 ウエハ支持部材６、６によって支持されるようになっている。

【０００３】 ところで、ウエハキャリア１は、ウエハ４への金属、有機化合物及びその他の 汚染を防止し、さらには薬品等に対する耐腐食性に優れているという点で、フッ 素系樹脂を材料として成形されている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、このフッ素系樹脂を材料としたウエハキャリア１は、図６に示 すように、成形時に成形型から取り外し樹脂が完全に固化する間に変形を生じて いた。この変形量は、ウエハ支持部６の位置、さらにはウエハキャリア１の固体 差によっても異なっていた。そこで、ほとんどのウエハキャリア１ではウエハ支 持部６の中央部でもっとも変形量が大きくなっていた。

【０００５】 このウエハ支持部６の変形により、ウエハキャリア１内でのウエハ４の正確な 位置出しをすることが出来なかった。また、ウエハキャリア１内でのウエハ４の 正確な位置出しが出来ていないために、ウエハ移載時に問題が生じていた。

【０００６】 ウエハキャリア１から１枚ずつウエハ４を取り出して、資料台または他のウエ ハキャリア１へ移載するタイプのウエハ移載機を使用する場合は、ウエハ４がウ エハキャリア１内で正確な位置出しが出来ていないために、移載中で必ずセンタ リング工程が必要となり、かつ全ウエハに対してセンタリングを行なう必要があ るのでスループットが落ちるという欠点があった。

【０００７】 図７に、複数枚のウエハ４を資料台２０または他のウエハキャリアへ一括移載 するタイプのウエハ移載機２１を使用する場合の移載状態の概略図を示す（この 図は、複数のウエハキャリア１から資料台２０へ移載している状態である）。ウ エハキャリア１内で正確な位置出しが出来ていないウエハ４、すなわちＡ方向に ずれているウエハ４は、ずれたままの状態で移載され、資料台２０のウエハ保持 部２２（図中では省略しているが、ウエハ保持用の溝部が設けられている）にウ エハ４が届かずにウエハ４が落下しウエハ４が破損することや、ウエハ４が資料 台２０に衝突しウエハ４が破損してしまうことがあった。

【０００８】 このような事故はダメージが大きく、破損していないウエハ４までが破損した ウエハ４から発生する破片、粉塵によって汚染されて使用出来なくなり、資料台 ２０、移載装置等の周辺機器の洗浄、調整が必要になるという重大な欠点があっ た。

【０００９】 さらに従来のウエハキャリア１は、ウエハ支持部６間の距離が小さくウエハ４ を下から支える要素が大きく、ウエハキャリア１を傾けるとウエハ４がＢ方向に 転がり、ウエハキャリア１とウエハ４が擦れて発塵するおそれがあった。

【００１０】 本考案は、上記事情に鑑みてなされたもので、ウエハキャリアに収納されたウ エハのウエハ面に平行な方向へのずれを無くし、ウエハ自動移載の際の位置出し を確実とならしめるとともに、ウエハキャリアの持ち運び際のウエハの発塵を防 止すウエハキャリアを提供することを目的とするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】

本考案の請求項１記載のウエハキャリアは、一つの方向よりウエハを挿入し、 ウエハの周面端部を支持するための溝を相対する二側面に多数設けた上面開放の 箱型のウエハキャリアにおいて、挿入されたウエハの下部を支持するためのウエ ハ支持棒を前記二側面間に設けたことを特徴とするものである。

【００１２】 また、請求項２記載のウエハキャリアは、ウエハ支持棒にウエハ厚さよりも広 い位置決め溝を設けたことを特徴とするものである。

【００１３】 さらに、請求項３記載のウエハキャリアは、ウエハ周端部を支持するための溝 を有する２側面下部に突部を形成し、前記突部上にウエハ支持棒を設けてなり、 前記突部間距離より前記ウエハ支持棒間距離を大きく形成したことを特徴とする ものである。

【００１４】

【作用】

請求項１記載のウエハキャリアでは、ウエハ支持棒でウエハを支持するので、 ウエハキャリアの変形にかかわらず、ウエハキャリア内でウエハの正確な位置出 しができる。

【００１５】 請求項２記載のウエハキャリアでは、ウエハ支持棒に位置決め溝を形成してい るので位置決めの精度が向上する。

【００１６】 請求項３記載のウエハキャリアでは、ウエハ周端部を支持するための溝を有す る２側面下部の突部上にウエハ支持棒を設けたので、ウエハキャリアの剛性が向 上し、ウエハキャリア内でウエハのさらなる正確な位置出しが出来る。さらに突 部間距離よりウエハ支持棒間距離を大きく成形したので、ウエハキャリアの移動 時にも、ウエハが安定に収納されており、ウエハがウエハキャリアと擦れること による発塵が防止される。

【００１７】

【実施例】

本考案のウエハキャリアの実施例について、図１ないし図３を参照して説明す る。なお、図４及び図６において説明したものと同一構成部材には同一符号を付 してその説明を省略する。

【００１８】 本考案のウエハキャリア１０には、二本のウエハ支持棒１１,１１が配設され ている。これらウエハ支持棒１１,１１は、ウエハキャリア１０と同様の材質で あるフッ素系樹脂で形成されており、側壁部材２、２の下部に設けられた突部１ ６、１６上に側壁部材２,２と平行となるように端面部材３,３の下部に配設され ている。ウエハ支持棒１１、１１間距離は、突部１６、１６間距離よりも大きい 。また、ウエハ支持棒１１のウエハ４と接触する上面部分には、側面部材２,２ に設けられた溝５,５と略一致する位置に、ウエハ４の厚さよりやや広く設定さ れた位置決め溝１２が高精度に形成されている。

【００１９】 上記構成からなるウエハキャリア１０は、支持棒１１、１１を配設することに より、支持棒１１、１２でウエハ４を保持するので、ウエハ４は図２に示すＡ方 向にずれることはない。すなわち、ウエハ４は、ウエハキャリア１０内で正確な 位置に保持されるので自動移載作業に好適である。

【００２０】 また、ウエハキャリア４はウエハ支持棒１１の位置決め溝１２に挿入されて支 持されるので、ウエハ４の位置出しがより正確になる。

【００２１】 さらにまた、突部６、６間距離よりもウエハ支持棒１１、１１間距離を大きく 形成したので、ウエハキャリア１０の移動時にも、ウエハ４が図２に示すＢ方向 に転がることなく、安定に収納されており、ウエハ４がウエハキャリア１０と擦 れることにより発塵が防止される。

【００２２】 また、ウエハキャリア１０全体を高精度な構造としなくとも、ウエハ支持棒１ １の形状精度と、位置決め溝１２の形成位置と、ウエハ支持棒１１、１１の取り 付け精度だけを高めてウエハ支持棒１１を配設すればよいので、高精度でかつ製 造コストを抑えたウエハキャリアを得ることができる。

【００２３】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案の請求項１記載のウエハキャリアによれば、ウエ ハ支持棒でウエハを支持するため、ウエハキャリアの変形にかかわらず、ウエハ キャリア内でウエハの正確な位置出しができ、正常にウエハ自動移載作業を行な うことができる。

【００２４】 また、請求項２記載のウエハキャリアでは、ウエハ支持棒に位置決め溝を形成 しているため、ウエハの位置決めの精度を向上させることができる。

【００２５】 さらに、請求項３記載のウエハキャリアでは、ウエハ周端部を支持するための 溝を有する２側面下部の突部上にウエハ支持棒を設けたため、ウエハキャリア内 でウエハのさらなる正確な位置出しが出来る。

【００２６】 さらにまた、突部間距離よりウエハ支持棒間距離を大きく成形したため、ウエ ハキャリアの移動時にも、ウエハが安定に収納されており、ウエハがウエハキャ リアと擦れることによる発塵を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案のウエハキャリアを示す平面図であ
る。

【図２】 図１におけるIIーII矢視を示す断面図であ
る。

【図３】 図１におけるIIIーIII矢視を示す断面図であ
る。

【図４】 従来のウエハキャリアを示す平面図である。

【図５】 従来のウエハキャリアを示す側面図である。

【図６】 図４におけるVIーVI矢視を示す断面図であ
る。

【図７】 従来のウエハ自動移載作業を示す図である。

【符号の説明】

２…側壁部材(二側面)、４…ウエハ、５…二側面に設け
られた溝、１０…ウエハキャリア、１１…ウエハキャリ
ア支持棒、１２…位置決め溝、１６…突部。

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 一つの方向よりウエハを挿入し、ウエハ
   の周面端部を支持するための溝を相対する二側面に多数
   設けた上面開放の箱型のウエハキャリアにおいて、挿入
   されたウエハの下部を支持するためのウエハ支持棒を前
   記二側面間の下部に設けたことを特徴とするウエハキャ
   リア。
2. 【請求項２】 ウエハ支持棒にウエハ厚さよりも広い位
   置決め溝を形成したことを特徴とする請求項１記載のウ
   エハキャリア。
3. 【請求項３】 ウエハ周端部を支持するための溝を有す
   る２側面下部に突部を形成し、前記突部上にウエハ支持
   棒を設けてなり、前記突部間距離より前記ウエハ支持棒
   間距離を大きく形成したことを特徴とする請求項１また
   は請求項２記載のウエハキャリア。