JPH0810196Y2 - ウエハキャリア - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は上面開放の箱型のウエハ
キャリアに関し、詳しくは、挿入されたウエハの下端部
を支持するためのウエハ支持棒を二側面間の下部に設け
ることにより、ウエハキャリアに収納されたウエハのウ
エハ面に平行な方向へのずれを無くし、ウエハ自動移載
の際の位置出しを確実とならしめるとともに、ウエハキ
ャリアの持ち運び際のウエハの発塵を防止するものに関
する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ウエハキャリア１は、図４ない
し図６に示すように、相対して設けられた側壁部材２、
２と、側壁部材２、２の下部に設けられたウエハ支持部
材６、６と、これら側壁部材２,２の両端部どうしを連
結する端面部材３,３とから構成された上面開放の箱型
に形成されたものである。そして、側壁部材２,２の内
面とウエハ支持部材６、６の上面には、ウエハ４,４を
支持する多数の溝５が設けられており、ウエハ４は上方
から前記溝５内部に面接触された状態で収納され、ウエ
ハ支持部材６、６によって支持されるようになってい
る。

【０００３】ところで、ウエハキャリア１は、ウエハ４
への金属、有機化合物及びその他の汚染を防止し、さら
には薬品等に対する耐腐食性に優れているという点で、
フッ素系樹脂を材料として成形されている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、このフ
ッ素系樹脂を材料としたウエハキャリア１は、図６に示
すように、成形時に成形型から取り外し樹脂が完全に固
化する間に変形を生じていた。この変形量は、ウエハ支
持部６の位置、さらにはウエハキャリア１の固体差によ
っても異なっていた。そこで、ほとんどのウエハキャリ
ア１ではウエハ支持部６の中央部でもっとも変形量が大
きくなっていた。

【０００５】このウエハ支持部６の変形により、ウエハ
キャリア１内でのウエハ４の正確な位置出しをすること
が出来なかった。また、ウエハキャリア１内でのウエハ
４の正確な位置出しが出来ていないために、ウエハ移載
時に問題が生じていた。

【０００６】ウエハキャリア１から１枚ずつウエハ４を
取り出して、資料台または他のウエハキャリア１へ移載
するタイプのウエハ移載機を使用する場合は、ウエハ４
がウエハキャリア１内で正確な位置出しが出来ていない
ために、移載中で必ずセンタリング工程が必要となり、
かつ全ウエハに対してセンタリングを行なう必要がある
のでスループットが落ちるという欠点があった。

【０００７】図７に、複数枚のウエハ４を資料台２０ま
たは他のウエハキャリアへ一括移載するタイプのウエハ
移載機２１を使用する場合の移載状態の概略図を示す
（この図は、複数のウエハキャリア１から資料台２０へ
移載している状態である）。ウエハキャリア１内で正確
な位置出しが出来ていないウエハ４、すなわちＡ方向に
ずれているウエハ４は、ずれたままの状態で移載され、
資料台２０のウエハ保持部２２（図中では省略している
が、ウエハ保持用の溝部が設けられている）にウエハ４
が届かずにウエハ４が落下しウエハ４が破損すること
や、ウエハ４が資料台２０に衝突しウエハ４が破損して
しまうことがあった。

【０００８】このような事故はダメージが大きく、破損
していないウエハ４までが破損したウエハ４から発生す
る破片、粉塵によって汚染されて使用出来なくなり、資
料台２０、移載装置等の周辺機器の洗浄、調整が必要に
なるという重大な欠点があった。

【０００９】さらに従来のウエハキャリア１は、ウエハ
支持部６間の距離が小さくウエハ４を下から支える要素
が大きく、ウエハキャリア１を傾けるとウエハ４がＢ方
向に転がり、ウエハキャリア１とウエハ４が擦れて発塵
するおそれがあった。

【００１０】本考案は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、ウエハキャリアに収納されたウエハのウエハ面に平
行な方向へのずれを無くし、ウエハ自動移載の際の位置
出しを確実とならしめるとともに、ウエハキャリアの持
ち運び際のウエハの発塵を防止すウエハキャリアを提供
することを目的とするものである。

【００１１】請求項１のウエハキャリアは、一つの方向
よりウエハを挿入し、ウエハの周面端部を支持するため
の溝を相対する二側面に多数設けた上面開放の箱型のウ
エハキャリアにおいて、挿入されたウエハの下部を支持
するためのウエハ支持棒を前記二側面間の下部に設けて
なり、前記ウエハ周面端部を支持するための溝を有する
二側面の下部にそれぞれ相対する面に向かって突出する
突部を形成し、前記突部上にそれぞれウエハ支持棒を設
けてなり、前記突部間の距離より前記ウエハ支持棒間の
距離を大きくしたことを特徴とする。

【００１２】また、請求項２記載のウエハキャリアは、
ウエハ支持棒にウエハ厚さよりも広い位置決め溝を設け
たことを特徴とするものである。

【００１３】

【００１４】

【作用】請求項１記載のウエハキャリアでは、ウエハ支
持棒でウエハを支持するので、ウエハキャリアの変形に
かかわらず、ウエハキャリア内でウエハの正確な位置出
しをすることができる。また、ウエハ周端面部を支持す
るための溝を有する二側面下部に突部を設けたので、ウ
エハキャリアの剛性が向上する。この突部上にウエハ支
持棒を設けたので、ウエハキャリア内でウエハのさらな
る正確な位置出しをすることができる。さらに突部間距
離よりウエハ支持棒間距離を大きく成形したので、ウエ
ハキャリアの移動時にも、ウエハが安定に収納されてお
り、ウエハがウエハキャリアと擦れることによる発塵が
防止される。

【００１５】請求項２記載のウエハキャリアでは、ウエ
ハ支持棒に位置決め溝を形成しているので位置決めの精
度が向上する。

【００１６】

【００１７】

【実施例】本考案のウエハキャリアの実施例について、
図１ないし図３を参照して説明する。なお、図４及び図
６において説明したものと同一構成部材には同一符号を
付してその説明を省略する。

【００１８】本考案のウエハキャリア１０には、二本の
ウエハ支持棒１１,１１が配設されている。これらウエ
ハ支持棒１１,１１は、ウエハキャリア１０と同様の材
質であるフッ素系樹脂で形成されており、側壁部材２、
２の下部に設けられた突部１６、１６上に側壁部材２,
２と平行となるように端面部材３,３の下部に配設され
ている。ウエハ支持棒１１、１１間距離は、突部１６、
１６間距離よりも大きい。また、ウエハ支持棒１１のウ
エハ４と接触する上面部分には、側面部材２,２に設け
られた溝５,５と略一致する位置に、ウエハ４の厚さよ
りやや広く設定された位置決め溝１２が高精度に形成さ
れている。

【００１９】上記構成からなるウエハキャリア１０は、
支持棒１１、１１を配設することにより、支持棒１１、
１２でウエハ４を保持するので、ウエハ４は図２に示す
Ａ方向にずれることはない。すなわち、ウエハ４は、ウ
エハキャリア１０内で正確な位置に保持されるので自動
移載作業に好適である。

【００２０】また、ウエハキャリア４はウエハ支持棒１
１の位置決め溝１２に挿入されて支持されるので、ウエ
ハ４の位置出しがより正確になる。

【００２１】さらにまた、突部６、６間距離よりもウエ
ハ支持棒１１、１１間距離を大きく形成したので、ウエ
ハキャリア１０の移動時にも、ウエハ４が図２に示すＢ
方向に転がることなく、安定に収納されており、ウエハ
４がウエハキャリア１０と擦れることにより発塵が防止
される。

【００２２】また、ウエハキャリア１０全体を高精度な
構造としなくとも、ウエハ支持棒１１の形状精度と、位
置決め溝１２の形成位置と、ウエハ支持棒１１、１１の
取り付け精度だけを高めてウエハ支持棒１１を配設すれ
ばよいので、高精度でかつ製造コストを抑えたウエハキ
ャリアを得ることができる。

【００２３】

【考案の効果】以上説明したように、本考案の請求項１
記載のウエハキャリアによれば、ウエハ支持棒でウエハ
を支持するため、ウエハキャリアの変形にかかわらず、
ウエハキャリア内でウエハの正確な位置出しをすること
ができ、正常にウエハの自動移載作業を行うことができ
る。またウエハ周端面部を支持するための溝を有する二
側面下部に突部を設けたので、ウエハキャリアの剛性が
向上する。この突部上にウエハ支持棒を設けたので、ウ
エハキャリア内でウエハのさらなる正確な位置出しをす
ることができ、さらに、突部間の距離よりウエハ支持棒
間の距離を大きく成形したので、ウエハキャリアの移動
時にも、ウエハが安定に収納されており、ウエハがウエ
ハキャリアと擦れることによる発塵を防止することがで
きる。

【００２４】また、請求項２記載のウエハキャリアで
は、ウエハ支持棒に位置決め溝を形成しているため、ウ
エハの位置決めの精度を向上させることができる。

【００２５】

【００２６】

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案のウエハキャリアを示す平面図であ
る。

【図２】 図１におけるIIーII矢視を示す断面図であ
る。

【図３】 図１におけるIIIーIII矢視を示す断面図であ
る。

【図４】 従来のウエハキャリアを示す平面図である。

【図５】 従来のウエハキャリアを示す側面図である。

【図６】 図４におけるVIーVI矢視を示す断面図であ
る。

【図７】 従来のウエハ自動移載作業を示す図である。

【符号の説明】

２…側壁部材(二側面)、４…ウエハ、５…二側面に設け
られた溝、１０…ウエハキャリア、１１…ウエハキャリ
ア支持棒、１２…位置決め溝、１６…突部。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 一つの方向よりウエハを挿入し、ウエハ
   の周面端部を支持するための溝を相対する二側面に多数
   設けた上面開放の箱型のウエハキャリアにおいて、挿入
   されたウエハの下部を支持するためのウエハ支持棒を前
   記二側面間の下部に設けてなり、前記ウエハ周面端部を
   支持するための溝を有する二側面の下部にそれぞれ相対
   する面に向かって突出する突部を形成し、前記突部上に
   それぞれウエハ支持棒を設けてなり、前記突部間の距離
   より前記ウエハ支持棒間の距離を大きくしたことを特徴
   とするウエハキャリア。
2. 【請求項２】 ウエハ支持棒にウエハ厚さよりも広い位
   置決め溝を形成したことを特徴とする請求項１記載のウ
   エハキャリア。