JPH04116407A - 自動板厚測定装置 - Google Patents
自動板厚測定装置Info
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- JPH04116407A JPH04116407A JP23814890A JP23814890A JPH04116407A JP H04116407 A JPH04116407 A JP H04116407A JP 23814890 A JP23814890 A JP 23814890A JP 23814890 A JP23814890 A JP 23814890A JP H04116407 A JPH04116407 A JP H04116407A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、搬送ラインにより搬送される被測定体の板厚
を光ビームの反射により非接触で自動測定する自動板厚
測定装置に関する。
を光ビームの反射により非接触で自動測定する自動板厚
測定装置に関する。
[従来の技術]
搬送ラインにより搬送される被測定体の板厚を光変位計
により自動計測する自動板厚測定装置が従来から知られ
ている。
により自動計測する自動板厚測定装置が従来から知られ
ている。
従来において用いられていた装置は、いわゆるC型フレ
ームを用いた1点計測の装置であり、被測定体としては
幅が一定のもの、すなわち固定幅の被測定体を測定する
ものである。
ームを用いた1点計測の装置であり、被測定体としては
幅が一定のもの、すなわち固定幅の被測定体を測定する
ものである。
この装置においては、搬送ラインの上下に光変位計か配
置される。この光変位譜1によってレーザ光である光ビ
ームが被測定体に照射され、被測定体の板厚が測定され
る。
置される。この光変位譜1によってレーザ光である光ビ
ームが被測定体に照射され、被測定体の板厚が測定され
る。
このような装置により、従来、鋼板等の被測定体の板厚
を自動測定することか行われていた。
を自動測定することか行われていた。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、このような装置では、上下の光変位計か
ら発せられる光ビームか干渉しあうという問題点かあっ
た。
ら発せられる光ビームか干渉しあうという問題点かあっ
た。
ずなわぢ、光ビームによる板厚測定は、被測定体の上下
からそれぞれ光ビームを照射する光変位計が、互いに独
立に被測定体との距離を求める方法に基づくものである
。従って、相互の光ビームが干渉すると、正確な板厚測
定が実施困難となる。
からそれぞれ光ビームを照射する光変位計が、互いに独
立に被測定体との距離を求める方法に基づくものである
。従って、相互の光ビームが干渉すると、正確な板厚測
定が実施困難となる。
このような困難を防止するためには、被測定体の面積か
十分大きければ良い。光ビームのエネルギーはおよそガ
ウス分布しており、このため、板厚Δ1り定には光ビー
ムのビーム直径の約コ○倍程度の被測定体面積か必要と
される。逆にいえば、このことは、形状の大きな被ΔI
ll定体しか自動板厚&Il定に供することができない
ことを意味している。
十分大きければ良い。光ビームのエネルギーはおよそガ
ウス分布しており、このため、板厚Δ1り定には光ビー
ムのビーム直径の約コ○倍程度の被測定体面積か必要と
される。逆にいえば、このことは、形状の大きな被ΔI
ll定体しか自動板厚&Il定に供することができない
ことを意味している。
光ビームの干渉を防止する手段としては、特開平1−2
35806号公報に示されるように、他に、測定時のみ
光ビームを発光させる手段がある。
35806号公報に示されるように、他に、測定時のみ
光ビームを発光させる手段がある。
この手段を採用した場合、発光タイミングの設定により
、上下の光変位計による光ビーム間の干渉を防止するこ
とができる。しかし、この場合、光変位計の動作安定に
時間かかかり、高速の板厚測定が困難となる。
、上下の光変位計による光ビーム間の干渉を防止するこ
とができる。しかし、この場合、光変位計の動作安定に
時間かかかり、高速の板厚測定が困難となる。
一方、自動板厚fllll定を行う場合、定期的に校正
を実施する必要がある。これは、光変位計の経年変化等
による誤差を補正(電気的補正)し、また、機械的歪を
補正(機械的補正)して、信頼性を維持し、正確な板厚
測定を期するものである。
を実施する必要がある。これは、光変位計の経年変化等
による誤差を補正(電気的補正)し、また、機械的歪を
補正(機械的補正)して、信頼性を維持し、正確な板厚
測定を期するものである。
ところが、このような校正においては、種々の問題点が
あり、その解決が望まれている。
あり、その解決が望まれている。
具体的には、例えば電気的補正の際に光変位計を取り外
す必要があり、また専用の治具を用いなければならない
という問題点がある。また、機械的補正の際に格別の測
定装置が必要とされるという問題点がある。さらに、両
者に共通して、搬送ラインを停止さぜねばならず経済的
損失が発生すること、作業が大掛かりとなり校正の専門
家か必要とされること、ひいては装置設備の大型化・高
価格化が生じてしまうこと等の問題点がある。
す必要があり、また専用の治具を用いなければならない
という問題点がある。また、機械的補正の際に格別の測
定装置が必要とされるという問題点がある。さらに、両
者に共通して、搬送ラインを停止さぜねばならず経済的
損失が発生すること、作業が大掛かりとなり校正の専門
家か必要とされること、ひいては装置設備の大型化・高
価格化が生じてしまうこと等の問題点がある。
従来においても、このような問題点を解決するために幾
つかの提案かなされている。例えば、特開平1−221
.605号公報や実開昭59−41711号公報に記載
されているように、被測定体とおおよそ同一の高さの平
面位置に基準被測定体を配置し、間欠的にこの基準被測
定体の厚みを計測して基準点を補正する方法や、上下に
対をなす光変位計のそれぞれから発せられる光ビームの
通過域に所定厚の校正板を出し入れする方法がある。
つかの提案かなされている。例えば、特開平1−221
.605号公報や実開昭59−41711号公報に記載
されているように、被測定体とおおよそ同一の高さの平
面位置に基準被測定体を配置し、間欠的にこの基準被測
定体の厚みを計測して基準点を補正する方法や、上下に
対をなす光変位計のそれぞれから発せられる光ビームの
通過域に所定厚の校正板を出し入れする方法がある。
しかし、これらの方法はC型フレームを用いた1点計測
を前提としており、例えば多点計測により正確かつ緻密
な板厚測定を行おうとする場合には適用困難である。こ
れは、多点計イ1すの場合には搬送ラインの全幅に渡っ
て校正を行うことが必要であり、前述の方法が一点にお
いて校正を実施する方法であることによる。
を前提としており、例えば多点計測により正確かつ緻密
な板厚測定を行おうとする場合には適用困難である。こ
れは、多点計イ1すの場合には搬送ラインの全幅に渡っ
て校正を行うことが必要であり、前述の方法が一点にお
いて校正を実施する方法であることによる。
本発明は、このような問題点を解決することを課題とし
てなされたものであり、多点計測の場合に簡易かつ低価
格な小型装置で校正を実施することができる自動板厚f
ll11定装置を提供することを目的とする。また、本
発明は、校正の際における光ビームの干渉を排除して、
小型な被透過性の校正板を用い高速で校正を行うことが
可能な自動板厚、’1+11定装置を提供することを目
的とする。
てなされたものであり、多点計測の場合に簡易かつ低価
格な小型装置で校正を実施することができる自動板厚f
ll11定装置を提供することを目的とする。また、本
発明は、校正の際における光ビームの干渉を排除して、
小型な被透過性の校正板を用い高速で校正を行うことが
可能な自動板厚、’1+11定装置を提供することを目
的とする。
[課題を解決するための手段]
このような目的を達成するために、本発明は、被測定体
を搬送する搬送ラインの上方及び下方に対をなしかつ所
定の基準距離を隔てて配置され、光ビームを被41す定
休に照射して反射光に基づき被1tlll定休との距離
を求める複数対の光変位計と、光変位計によって測定さ
れた距離及び基準距離に基づき被41す定休の板厚を演
算する板厚演算手段と、搬送ラインにより被測定体が搬
送されていないことを検出する不在検出手段と、先端が
L字状の屈曲を有し、被測定体の板厚測定時には先端が
変位計の測定域外に配置される所定板厚の校正板と、被
測定体が搬送されていないことが検出されているときに
、光変位計から発せられる光ビームを遮る所定位置に先
端が位置するよう校正板を回動させる回動手段と、校正
板が光変位計から発せられる光ビームを遮る位置にある
ときに、上下多光変位計からの光ビーム照射を交互に停
止させる交互照射停止手段と、校正時における光変位計
の出力及び校正板の板厚に基づき基準距離を求める基準
距離演算手段と、を備えることを特徴とする。
を搬送する搬送ラインの上方及び下方に対をなしかつ所
定の基準距離を隔てて配置され、光ビームを被41す定
休に照射して反射光に基づき被1tlll定休との距離
を求める複数対の光変位計と、光変位計によって測定さ
れた距離及び基準距離に基づき被41す定休の板厚を演
算する板厚演算手段と、搬送ラインにより被測定体が搬
送されていないことを検出する不在検出手段と、先端が
L字状の屈曲を有し、被測定体の板厚測定時には先端が
変位計の測定域外に配置される所定板厚の校正板と、被
測定体が搬送されていないことが検出されているときに
、光変位計から発せられる光ビームを遮る所定位置に先
端が位置するよう校正板を回動させる回動手段と、校正
板が光変位計から発せられる光ビームを遮る位置にある
ときに、上下多光変位計からの光ビーム照射を交互に停
止させる交互照射停止手段と、校正時における光変位計
の出力及び校正板の板厚に基づき基準距離を求める基準
距離演算手段と、を備えることを特徴とする。
[作用]
本発明の自動板厚測定装置においては、搬送ラインによ
り被測定体が搬送され光変位計下に達すると、上下の光
変位計から発せられる光ビームの反射により被測定体の
板厚が演算される。この演算は、光変位計間の基準距離
を用いて実行される。
り被測定体が搬送され光変位計下に達すると、上下の光
変位計から発せられる光ビームの反射により被測定体の
板厚が演算される。この演算は、光変位計間の基準距離
を用いて実行される。
この計測は、多点計測として実施される。
また、校正時には、次のような動作が行われる。
すなわち、この場合、被測定体が搬送されていないこと
が不在検出手段により検出され、校正板の先端が変位計
の測定域内に回動される。この校正板により、光変位計
から発せられる光ビームが遮られる。光ビームが遮られ
ると、光変位計は光ビームの反射光に基づき校正板との
距離を求め、さらにこの距離及び校正板の板厚に基づき
基準距離が演算される。この基準距離は、板厚測定時に
板厚演算に用いられる。
が不在検出手段により検出され、校正板の先端が変位計
の測定域内に回動される。この校正板により、光変位計
から発せられる光ビームが遮られる。光ビームが遮られ
ると、光変位計は光ビームの反射光に基づき校正板との
距離を求め、さらにこの距離及び校正板の板厚に基づき
基準距離が演算される。この基準距離は、板厚測定時に
板厚演算に用いられる。
本発明においては、校正時において、光ビームの照射か
上下交互に停止される。この停止は、時的なものであり
、望ましくは瞬時的なものである。
上下交互に停止される。この停止は、時的なものであり
、望ましくは瞬時的なものである。
従って、本発明においては、簡易な手段で多点計測にお
ける校正が行われる。さらにこの校正は、光ビームの一
時停止を伴って行われ、これにより校正板として光ビー
ムの拡散を考慮した大型なものを用いずとも、被透過性
の校正板を用いて高速に校正することが可能になる。
ける校正が行われる。さらにこの校正は、光ビームの一
時停止を伴って行われ、これにより校正板として光ビー
ムの拡散を考慮した大型なものを用いずとも、被透過性
の校正板を用いて高速に校正することが可能になる。
[実施例]
以下、本発明の好適な実施例について図面に基づき説明
する。
する。
第1図には、本発明の一実施例に係る自動板厚測定装置
の実体構成が示されている。特に、第1図(a)におい
ては装置を上方から見た外観が、第1図(b)において
は側面から見た外観が、それぞれ示されている。
の実体構成が示されている。特に、第1図(a)におい
ては装置を上方から見た外観が、第1図(b)において
は側面から見た外観が、それぞれ示されている。
この図においては、図中矢印で示される方向に被mll
定休10を搬送する搬送ライン12が示されている。こ
の図における被測定体10は、それぞれ板厚、幅等の異
なる鋼板であり、図には1〇−1,10−2,10−3
の3個が示されている。
定休10を搬送する搬送ライン12が示されている。こ
の図における被測定体10は、それぞれ板厚、幅等の異
なる鋼板であり、図には1〇−1,10−2,10−3
の3個が示されている。
この実施例において板厚測定の対象とする測定体10は
、例えば板厚4〜60mm、幅800〜4000 mm
、長さ1500〜14000mmの規格のものであり、
搬送ライン12の上の任意の位置に任意の姿勢で配置さ
れる。
、例えば板厚4〜60mm、幅800〜4000 mm
、長さ1500〜14000mmの規格のものであり、
搬送ライン12の上の任意の位置に任意の姿勢で配置さ
れる。
また、搬送ライン12を跨ぐように、上下一対の凹型架
台14が設けられている。凹型架台14の搬送ライン1
2上流側にはラインセンサ16が、下流側には光変位計
18が、それぞれ配設されている。
台14が設けられている。凹型架台14の搬送ライン1
2上流側にはラインセンサ16が、下流側には光変位計
18が、それぞれ配設されている。
ラインセンサ16は、1対となるよう上下双方の凹型架
台14に設けられており、被測定体10の先端の左右両
端位置を検出する。検出される左右両端位置は、光変位
計18の位置の初期設定に用いられる。
台14に設けられており、被測定体10の先端の左右両
端位置を検出する。検出される左右両端位置は、光変位
計18の位置の初期設定に用いられる。
また、光変位計18は3対が凹型架台14に設けられて
いる。この光変位計18は被測定体10の板厚を測定す
る装置である。すなわち、光変位計18は被測定体]0
に光ビームを照射し、その反射光を取り込む。さらに、
取り込んだ反射光に基づき被測定体10までの距離を求
め、後述の原理による板厚演算に供する。
いる。この光変位計18は被測定体10の板厚を測定す
る装置である。すなわち、光変位計18は被測定体]0
に光ビームを照射し、その反射光を取り込む。さらに、
取り込んだ反射光に基づき被測定体10までの距離を求
め、後述の原理による板厚演算に供する。
第2図には、この実施例のより詳細な実体構成が正面図
として示されている。
として示されている。
この図においては、上下2個のリニアモータレール20
が示されている。リニアモータレール20は、6個の光
変位計18をそれぞれ左右方向に駆動するりニアモータ
のレールである。
が示されている。リニアモータレール20は、6個の光
変位計18をそれぞれ左右方向に駆動するりニアモータ
のレールである。
また、光変位計18のうち上側の3個は、パルスステー
ジ22に取り付けられている。すなわち、この3個の光
変位計18はパルスステージ22によって上下方向に駆
動される。
ジ22に取り付けられている。すなわち、この3個の光
変位計18はパルスステージ22によって上下方向に駆
動される。
さらに、3対の光変位計18のうち左右両側の2対には
、第1及び第2エツジセンサ24及び26が付設されて
いる。第1エツジセンサ24は、ラインセンサ16の出
力に応じて初期設定された光変位計18の位置を、さら
に微調整するために用いられる。第2エツジセンサ26
は、被測定体10の側端を追従検出するために用いられ
る。
、第1及び第2エツジセンサ24及び26が付設されて
いる。第1エツジセンサ24は、ラインセンサ16の出
力に応じて初期設定された光変位計18の位置を、さら
に微調整するために用いられる。第2エツジセンサ26
は、被測定体10の側端を追従検出するために用いられ
る。
第3図には、この実施例における光変位計18の校正に
係る装置構成が示されている。特に、第3図(a)には
一対の光変位計1・8の正面が、第3図(b)には側面
が、それぞれ示されている。
係る装置構成が示されている。特に、第3図(a)には
一対の光変位計1・8の正面が、第3図(b)には側面
が、それぞれ示されている。
この図においては、通常の板厚測定時には破線のような
位置に、校正時には実線のような位置に、回動配置され
る校正板28が示されている。校正板28は、L字状の
屈曲を有しており、先端の板厚は検定を受けた所定の厚
みに設定されている。
位置に、校正時には実線のような位置に、回動配置され
る校正板28が示されている。校正板28は、L字状の
屈曲を有しており、先端の板厚は検定を受けた所定の厚
みに設定されている。
校正板28の回動は、ロータリソレノイド30により行
われる。
われる。
第4図には、この実施例の回路構成が示されている。
この図においては、一方で光変位計18の出力に基づき
被測定体10の板厚を求め、他方でラインセンサ16並
びに第1及び第2エツジセンサ24及び26の出力に基
づきリニアモータ32及びパルスステージ22を制御す
る演算制御部34が示されている。また、この演算制御
部34は光変位計18の動作制御を行う。さらに、校正
時に求められる基準距離を校正テーブルとして格納する
メモリ36が示されている。なお、光変位計18、ライ
ンセンサ16、第1エツジセンサ24、第2エツジセン
ザ26、リニアモータ32及びパルスステージ22は実
際は複数であるが、この図においては図の簡単化のため
省略されている。
被測定体10の板厚を求め、他方でラインセンサ16並
びに第1及び第2エツジセンサ24及び26の出力に基
づきリニアモータ32及びパルスステージ22を制御す
る演算制御部34が示されている。また、この演算制御
部34は光変位計18の動作制御を行う。さらに、校正
時に求められる基準距離を校正テーブルとして格納する
メモリ36が示されている。なお、光変位計18、ライ
ンセンサ16、第1エツジセンサ24、第2エツジセン
ザ26、リニアモータ32及びパルスステージ22は実
際は複数であるが、この図においては図の簡単化のため
省略されている。
次に、この実施例の動作について説明する。
この実施例においては、まず、搬送ライン12の上に被
測定体10が載置される。載置された被測定体10は、
搬送ライン]2によって搬送され、ラインセンサ16下
に到達する。
測定体10が載置される。載置された被測定体10は、
搬送ライン]2によって搬送され、ラインセンサ16下
に到達する。
すると、ラインセンサ16により、この被測定体10に
よる遮光位置が検出される。すなわち、ラインセンサ1
6は、被測定体10により光線が遮られる部分を検出し
、これを被測定体10の左右両端位置として演算制御部
34に供給する。
よる遮光位置が検出される。すなわち、ラインセンサ1
6は、被測定体10により光線が遮られる部分を検出し
、これを被測定体10の左右両端位置として演算制御部
34に供給する。
演算制御部34は、ラインセンサ16の出力に基づきリ
ニアモータ32を駆動制御して、光変位計18の位置を
制御する。具体的には、左右両側各1対の光変位計18
を遮光位置として検出される被測定体10の左右両端位
置に移動させ、中央に配置されている1対の光変位計1
8を、左右の光変位計18の中央位置に維持する。これ
により、光変位計18の位置が初期設定される。
ニアモータ32を駆動制御して、光変位計18の位置を
制御する。具体的には、左右両側各1対の光変位計18
を遮光位置として検出される被測定体10の左右両端位
置に移動させ、中央に配置されている1対の光変位計1
8を、左右の光変位計18の中央位置に維持する。これ
により、光変位計18の位置が初期設定される。
こののち、被測定体10がさらに搬送され第1エツジセ
ンサ24に達すると、この第1エツジセンサ24により
光変位計18の位置が微調節される。すなわち、第1エ
ツジセンサ24の出力に応じ、演算制御部34がリニア
モータ32を制御する。
ンサ24に達すると、この第1エツジセンサ24により
光変位計18の位置が微調節される。すなわち、第1エ
ツジセンサ24の出力に応じ、演算制御部34がリニア
モータ32を制御する。
次に、第2エツジセンサ26により被測定体]0の左右
両端が捕捉される。このとき、第2エツジセンサ2′6
の出力により演算制御部34がリニアモータ32を制御
する。すなわち、第2エツジセンサ26が光変位計18
に固定されているため、この制御によって、第2エツジ
センサ26が被測定体10の左右両端を追従捕捉し続け
、かつ左右両側の光変位計18が被測定体10の左右両
端から所定の距離の軌跡を検出走査することとなる。
両端が捕捉される。このとき、第2エツジセンサ2′6
の出力により演算制御部34がリニアモータ32を制御
する。すなわち、第2エツジセンサ26が光変位計18
に固定されているため、この制御によって、第2エツジ
センサ26が被測定体10の左右両端を追従捕捉し続け
、かつ左右両側の光変位計18が被測定体10の左右両
端から所定の距離の軌跡を検出走査することとなる。
第5図には、光変位計18の光ビーム軌跡が、第6図に
は、この軌跡のうち板厚演算に用いられる点(測定位置
)が示されている。
は、この軌跡のうち板厚演算に用いられる点(測定位置
)が示されている。
この実施例においては、第5図において3本の矢印線で
示される軌跡に係る光変位計18の出力を連続して収集
する。この収集の後、演算制御部34が測定位置を決定
し、板厚を演算する。
示される軌跡に係る光変位計18の出力を連続して収集
する。この収集の後、演算制御部34が測定位置を決定
し、板厚を演算する。
より具体的には、演算制御部34は、被測定体10の先
端がラインセンサ16に達してから第1エツジセンサ2
4に達するまでの時間により被測定体10の搬送速度を
求める。ラインセンサ16と第1エツジセンサ24の距
離は設計的に決定されるため、この搬送速度を用いて、
時刻を被測定体10を基準とした位置座標に換算できる
。この換算結果に基づき、測定位置が決定される。
端がラインセンサ16に達してから第1エツジセンサ2
4に達するまでの時間により被測定体10の搬送速度を
求める。ラインセンサ16と第1エツジセンサ24の距
離は設計的に決定されるため、この搬送速度を用いて、
時刻を被測定体10を基準とした位置座標に換算できる
。この換算結果に基づき、測定位置が決定される。
測定位置は、例えば被測定体10の左右両端から15m
mの線、前後両端から15mmの線及び中心線の合計6
本の線から決定する。すなわち、これらの線の交点を測
定位置P工〜P9に設定する。
mの線、前後両端から15mmの線及び中心線の合計6
本の線から決定する。すなわち、これらの線の交点を測
定位置P工〜P9に設定する。
次に、このように設定された測定位置P1〜P9につい
て、すでに収集されている光変位計18出力に基づく板
厚演算か、演算制御部34により行われる。
て、すでに収集されている光変位計18出力に基づく板
厚演算か、演算制御部34により行われる。
第7図には、この実施例における板厚測定の原理か示さ
れている。
れている。
この実施例においては、板厚測定時における光変位計1
8の距離と、対をなす光変位計18の出力と、に基づき
被測定体10の板厚が求められる。
8の距離と、対をなす光変位計18の出力と、に基づき
被測定体10の板厚が求められる。
まず、被ff1ll定体10が無い状態での光変位計1
8の対向距離、すなわち基準距離り。が設計的に決定さ
れているものとする。また、板厚りの被測定体10の場
合に光変位計18の間隔を拡げる量をL3とする。
8の対向距離、すなわち基準距離り。が設計的に決定さ
れているものとする。また、板厚りの被測定体10の場
合に光変位計18の間隔を拡げる量をL3とする。
すると、上側の光変位計18によって測定される距離L
□及び下側の光変位計18によって測定される距離L2
から、次の式により、板厚りが求められることになる。
□及び下側の光変位計18によって測定される距離L2
から、次の式により、板厚りが求められることになる。
L= (L +L )−(L1+L2)このように
、本実施例においては、測定位置P□〜P9に基づく板
厚りの多点計測が実行される。
、本実施例においては、測定位置P□〜P9に基づく板
厚りの多点計測が実行される。
次に、本発明の特徴に係る校正の動作について説明する
。
。
光変位計18の間隔たる基準距離り。は、環境的要因、
経年変化等によって変化する。この変化による誤差発生
を防ぐためには、前述の校正板28を用いた校正が必要
となる。
経年変化等によって変化する。この変化による誤差発生
を防ぐためには、前述の校正板28を用いた校正が必要
となる。
まず、板厚が既知で白色セラミック板から形成される校
正板28をロータリソレノイド30により回動させ、対
向する光変位計18間の位置におく。この校正板28の
板厚をg。、上側及び下側の光変位計18から校正板2
8までの距離をそれぞれρ 及び112とする。
正板28をロータリソレノイド30により回動させ、対
向する光変位計18間の位置におく。この校正板28の
板厚をg。、上側及び下側の光変位計18から校正板2
8までの距離をそれぞれρ 及び112とする。
この距離Ω 及び、1l12は、光変位計18の出力と
して得られる。一方、第3図に示されるように、基準距
離Loについて、次の式 %式% が成立する。従って、演算制御部34が上式に基づく演
算を実行することにより、実際の基準距離Loが求めら
れることになる。
して得られる。一方、第3図に示されるように、基準距
離Loについて、次の式 %式% が成立する。従って、演算制御部34が上式に基づく演
算を実行することにより、実際の基準距離Loが求めら
れることになる。
この実施例では、各光変位計18を左右方向に移動させ
ることにより、基準距離Loの演算が搬送ライン12の
全幅について行われる。
ることにより、基準距離Loの演算が搬送ライン12の
全幅について行われる。
すなわち、各光変位計18をリニアモータ32により駆
動できる範囲は、例えば第8図に示されるような関係を
有している。3対の光変位計18の駆動範囲100−1
.100−2.100−3は互いに重複しあい、搬送ラ
イン12の全幅110がこれらの駆動範囲100−1.
100−2.100−3によってカバーされる。
動できる範囲は、例えば第8図に示されるような関係を
有している。3対の光変位計18の駆動範囲100−1
.100−2.100−3は互いに重複しあい、搬送ラ
イン12の全幅110がこれらの駆動範囲100−1.
100−2.100−3によってカバーされる。
本実施例では、校正板28による基準距離り。
の演算を、リニアモータ32により光変位計18を駆動
させつつ行う。すなわち、演算制御部34はリニアモー
タ32を制御して光変位計18を左右に駆動させる。例
えば光変位計18か所定量だけ移動するごとに、演算制
御部34は光変位計18の出力g 及びg に基づき基
準距離り。を演算する。
させつつ行う。すなわち、演算制御部34はリニアモー
タ32を制御して光変位計18を左右に駆動させる。例
えば光変位計18か所定量だけ移動するごとに、演算制
御部34は光変位計18の出力g 及びg に基づき基
準距離り。を演算する。
このようにして求められた基準距離り。は、第9図に示
されるように光変位計18の位置座標と対応付けられ、
校正テーブルとしてメモリ36に格納される。
されるように光変位計18の位置座標と対応付けられ、
校正テーブルとしてメモリ36に格納される。
この校正テーブルは、各光変位計18の対何に作成され
る。校正テーブルは、被測定体10の板厚を測定する際
に参照される。
る。校正テーブルは、被測定体10の板厚を測定する際
に参照される。
すなわち、演算制御部34は、板厚りの演算の際に用い
る基準距離Loを、メモリ36上に展開されている校正
テーブルを参照して得る。この結果、板厚りは、搬送ラ
イン12幅方向の位置に適合しかつ最近に測定された基
準距離Loに基づき求められることになる。
る基準距離Loを、メモリ36上に展開されている校正
テーブルを参照して得る。この結果、板厚りは、搬送ラ
イン12幅方向の位置に適合しかつ最近に測定された基
準距離Loに基づき求められることになる。
また、本実施例においては、演算制御部34により、校
正時に光変位計18に対して光ビームの発光の一時停止
が指令される。
正時に光変位計18に対して光ビームの発光の一時停止
が指令される。
ずなわぢ、上下の光変位計18に係る光ビームが干渉す
ることを防止するため、片側を一時停止させ、他の側に
よる測定を実施する。
ることを防止するため、片側を一時停止させ、他の側に
よる測定を実施する。
このように、本実施例によれば、校正板28により、簡
易な手段で電気的補正及び機械的補正を一括して実施す
ることがてき、正確性及び信頼性を確保できる。加えて
、校正テーブルを作成し参照することにより、光変位計
18のバラツキや位置毎の基準距離変化を相殺して、よ
り正確かつ高信頼の板厚測定を行うことが可能になる。
易な手段で電気的補正及び機械的補正を一括して実施す
ることがてき、正確性及び信頼性を確保できる。加えて
、校正テーブルを作成し参照することにより、光変位計
18のバラツキや位置毎の基準距離変化を相殺して、よ
り正確かつ高信頼の板厚測定を行うことが可能になる。
また、校正板28に対する光ビームの照射を一時停止制
御するようにしたため、校正時における光ビーム間の干
渉が防止される。これにより、校正板28として大型な
ものを用いる必要かなくなり、さらにこの停止が一時的
なものであるため光変位計18の動作安定を待つ必要も
なく高速な板厚測定ができる。
御するようにしたため、校正時における光ビーム間の干
渉が防止される。これにより、校正板28として大型な
ものを用いる必要かなくなり、さらにこの停止が一時的
なものであるため光変位計18の動作安定を待つ必要も
なく高速な板厚測定ができる。
[発明の効果コ
以上説明(7たように、本発明によれば、多点計測の装
置において、校正板を回動させて電気的補正及び機械的
補正を含む校正を実施し、さらに左右方向に光変位計及
び校正板を一体移動しつつこの校正を実施するようにし
たため、光変位計の可動全幅に渡って正確で信頼性の高
い板厚測定を行うことが可能になる。また、このために
必要とされる装置+1+11成は簡易であり、自動的に
行われるため専門家等も必要無く、校正を安価に実施可
能となる。加えて、光ビームの一時停止制御によって、
校正板の大型化、校正動作の低速化を伴うこと無く、被
透過性の校正板を用いた校正か可能になる。
置において、校正板を回動させて電気的補正及び機械的
補正を含む校正を実施し、さらに左右方向に光変位計及
び校正板を一体移動しつつこの校正を実施するようにし
たため、光変位計の可動全幅に渡って正確で信頼性の高
い板厚測定を行うことが可能になる。また、このために
必要とされる装置+1+11成は簡易であり、自動的に
行われるため専門家等も必要無く、校正を安価に実施可
能となる。加えて、光ビームの一時停止制御によって、
校正板の大型化、校正動作の低速化を伴うこと無く、被
透過性の校正板を用いた校正か可能になる。
第1図は、本発明の一実施例に係る自動板厚測定装置の
実体構成を示す概略外観図であり、第1図(a)は」二
面図、第1図(b)は側面図、第2図は、この実施例の
より詳細な実体構成を示す正面図、 第3図は、この実施例の校正手段の構成を示すコ9 概略図であり、第3図(a)は正面図、第3図(b)は
側面図、 第4図は、この実施例の回路構成を示すブロック図、 第5図は、光変位計から発せられる光ビームの軌跡を示
す図、 第6図は、板厚測定位置を示す図、 第7図は、板厚測定原理を示す図、 第8図は、各光変位計の移動範囲の関係を示す図、 第9図は、校正テーブルを示す図である。 36 ・・・ メモリ Lo ・・ 基準距離
実体構成を示す概略外観図であり、第1図(a)は」二
面図、第1図(b)は側面図、第2図は、この実施例の
より詳細な実体構成を示す正面図、 第3図は、この実施例の校正手段の構成を示すコ9 概略図であり、第3図(a)は正面図、第3図(b)は
側面図、 第4図は、この実施例の回路構成を示すブロック図、 第5図は、光変位計から発せられる光ビームの軌跡を示
す図、 第6図は、板厚測定位置を示す図、 第7図は、板厚測定原理を示す図、 第8図は、各光変位計の移動範囲の関係を示す図、 第9図は、校正テーブルを示す図である。 36 ・・・ メモリ Lo ・・ 基準距離
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被測定体を搬送する搬送ラインの上方及び下方に対をな
しかつ所定の基準距離を隔てて配置され、光ビームを被
測定体に照射して反射光に基づき被測定体との距離を求
める複数対の光変位計と、光変位計によって測定された
距離及び基準距離に基づき被測定体の板厚を演算する板
厚演算手段と、 搬送ラインにより被測定体が搬送されていないことを検
出する不在検出手段と、 先端がL字状の屈曲を有し、被測定体の板厚測定時には
先端が光変位計の測定域外に配置される所定板厚の校正
板と、 被測定体が搬送されていないことが検出されているとき
に、光変位計から発せられる光ビームを遮る所定位置に
先端が位置するよう校正板を回動させる回動手段と、 校正板が回動され光変位計から発せられる光ビームを遮
る位置にあるときに、上下各光変位計からの光ビーム照
射を交互に停止させる交互照射停止手段と、 校正時における光変位計の出力及び校正板の板厚に基づ
き基準距離を求める基準距離演算手段と、を備えること
を特徴とする自動板厚測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2238148A JP2728555B2 (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 自動板厚測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2238148A JP2728555B2 (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 自動板厚測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04116407A true JPH04116407A (ja) | 1992-04-16 |
| JP2728555B2 JP2728555B2 (ja) | 1998-03-18 |
Family
ID=17025905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2238148A Expired - Fee Related JP2728555B2 (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 自動板厚測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2728555B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20260101319A (ko) * | 2024-12-23 | 2026-06-30 | 주식회사 엘지에너지솔루션 | 이차전지 전극 두께 측정 장치 및 이를 이용한 이차전지 전극 두께 측정 방법 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5716905U (ja) * | 1980-07-04 | 1982-01-28 | ||
| JPS5941711U (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-17 | 住友金属工業株式会社 | 厚み測定装置 |
| JPH01221605A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-05 | Mitsubishi Electric Corp | 厚み測定装置 |
-
1990
- 1990-09-07 JP JP2238148A patent/JP2728555B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5716905U (ja) * | 1980-07-04 | 1982-01-28 | ||
| JPS5941711U (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-17 | 住友金属工業株式会社 | 厚み測定装置 |
| JPH01221605A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-05 | Mitsubishi Electric Corp | 厚み測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2728555B2 (ja) | 1998-03-18 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |