JPH04121499A

JPH04121499A - 真空発生用ユニット

Info

Publication number: JPH04121499A
Application number: JP23966290A
Authority: JP
Inventors: Shigekazu Nagai; 茂和永井; Hiroshi Matsushima; 松島　宏
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 1990-09-10
Filing date: 1990-09-10
Publication date: 1992-04-22
Anticipated expiration: 2016-06-25
Also published as: JP3178717B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コ本発明は、吸着用パッド等の作業機器に負圧を供給する
真空発生用ユニットに関する。

［従来の技術］従来より、吸着用パッドや真空パックの動力源として真
空発生用ユニットが利用されている。

この種の真空発生用ユニットは、−船釣に負圧を発生さ
せるエゼクタと、吸着用パッド等の作業機器に連通して
いる真空ポートと、前記エゼクタや真空ポートに圧縮空
気を送入し、あるいは遮断する弁機構部と、複数の真空
発生用ユニットに対して、−括して圧縮空気の供給およ
び排気を行うマニホールドと、前記作業機器から吸入さ
れる空気の汚れを除去するフィルタ部とを備える。

以上のように構成された真空発生用ユニットの動作につ
いて説明する。

作業機器から空気を吸引する場合、まず、圧縮空気を弁
機構部を介してエゼクタに送入し、負圧を生じさせて行
う。作業機器から吸引される空気は、真空ポートより真
空発生用ユニットに吸入され、フィルタ部で吸入空気の
塵芥、油等の汚れを除去され、エゼクタからマニホール
ドの排気通路を通り排出される。

作業機器を負圧状態から解除する場合、圧縮空気を弁機
構部、前記弁機構部から真空ポートに直接連通する通路
を介して作業機器に送入し、前記作業機器の負圧状態を
解除する。

［発明が解決しようとする課題］しかしながら、上記の従来の技術では、作業機器をワー
クに接近させている場合、すなわち、エゼクタを作動さ
せていない場合、共通して使用されているマニホールド
の排気通路を通じて他の真空発生用ユニットの排気がエ
ゼクタ、真空ポートを介して作業機器に至る場合がある
。

そのため、例えば、ワークが紙のような薄膜状の場合、
該ワークが作業機器からの排気によって位置ずれを生じ
る。また、エゼクタを作動する際、マニホールドの排気
用通路を通じて他の真空発生用ユニットの排気圧力がか
かり、エゼクタは背圧を生じる。そのだｔにエゼクタの
負圧発生能力が減少し、ワークの落下のおそれを生じる
。したがって、上記のように吸着搬送に支障がでるとい
う問題がある。

本発明は、この種の問題を解決するものであり、マニホ
ールドの排気通路を介して他の真空発生ユニットの排気
が作業機器に流れず、ワークを安定して吸着搬送可能な
真空発生用ユニットを提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段晟上記の課題を解決するために、本発明は、真空発生用ユ
ニットであって、少なくともエゼクタと、マニホールドとを備え、前記マニホールドの排気用通路から前記エゼクタへ排気
が流入することを阻止するチェック弁を前記マニホール
ドの排気用通路とエゼクタとの間に設けることを特徴と
する。

［作用］上記の本発明に係る真空発生用ユニットは、マニホール
ドの排気用通路とエゼクタとの間にチェック弁を設ける
ことにより、エゼクタを作動させていない場合はマニホ
ールドの排気用通路の圧力によってチェック弁が閉じ、
他の真空発生用ユニットの排気がマニホールドの排気用
通路からエゼクタを介して作業機器へ流れ、ワークの位
置がずれることを阻止することができ、且つエゼクタを
作動する際、同様にしてチェック弁が閉じ、背圧がかか
らないためワークを安定して吸着搬送する。

「実施例］本発明に係る真空発生用ユニットについて実施例を挙げ
、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。

第１図において、参照符号１０は、本実施例に係る真空
発生用ユニットを示す。

真空発生用ユニット１０は、基本的に電磁弁部１２、弁
機構部１４、マニホールド１６、エゼクタ１８、フィル
タ部２０、検出部２２、真空ポート部２４から構成され
る。

矩形体からなる弁機構Ｂ１４は、上部に電磁弁部１２を
螺子によって装着し、前記弁機構部１４にはマニホール
ド１６の一側面部が当接するように配設されている。前
記弁機構部１４の他側面部には、下部より空気供給ポー
ト２６、パイロット弁供給ポート２８、真空破壊ポート
３０、パイロット弁排気ポート３２が形成されている。

前記パイロット弁供給ボート２８と真空破壊ポート３０
の近傍には螺孔が形成され、この螺孔に実質的に流量調
節弁を構成する弁体３４を螺合する。前記弁機構部１４
の内部には、軸方向が図面と直行する方向に延在する２
ボ一ト２位置型の空気供給弁３６、真空破壊弁３８を有
するとともに、前記弁３６．３８、ポート２６乃至３２
、電磁弁４０乃至４４、マニホールド１６を結ぶ通路が
画成されている。

前記弁機構部１４の上部に設置される電磁弁部１２は、
前記弁機構Ｂ１４を構成する空気供給弁３６、および真
空破壊弁３８のオン／オフ動作を行う５ポ一ト２位置弁
からなる第１電磁弁４０、第２電磁弁４２、第３電磁弁
４４を有する。

矩形体からなるマニホールド１６は、−側面を弁機構部
１４に当接し、他側面をエゼクタ１８に当接している。

前記マニホールド１６の内部には、下部から図面と直行
する空気供給通路４６、パイロット弁供給通路４８、真
空破壊通路５０、パイロット弁排気通路５２が形成され
、一方、図面の延在方向に沿って空気供給弁３６とエゼ
クタ１８を連通する通路５４、真空破壊弁３８と真空ポ
ート７０を連通する通路５６を有する。

前記マニホールド１６の側面部には、前記エゼクタ１８
の一側面部が当接するように配設されている。前記エゼ
クタ１８は矩形体からなり、その内部に所定の口径のノ
ズル部５８とこのノズル部５８に連接されるデイフユー
ザ部６０を有し、前記デイフユーザ部６０は後述する真
空ポート７０に連通ずる真空発生部６１に連通している
。

前記エゼクタ１８の外部壁面にはマニホールド１６のパ
イロット弁排気通路５２に連通ずる開口部６２を形成し
、前記マニホールド１６のパイロット弁排気通路５２と
開口部６２との間にチェック弁６３を挿入してし）る。

チエ・ツク弁６３は、第３図ａ並びにｂに示すように、
マニホールド１６側に凹部を画成し、こ、；）［！！］
部に該チェック弁６３の膨出する一端部６３ａをエゼク
タ１８との間で挟持するように設けている。

チェック弁６３の他端部はエゼクタ１８の狭径な開口部
６２を形成する壁部に係合している。

一方、前記デイフユーザ部６０は、−刃側が開口した円
筒形状で、この開口部は複数の等間隔に形成されたスリ
ット６４を有する蓋部材６５で閉塞され、前記開口部６
２と蓋部材６５の間にはフィルタ６６が装着されてし）
る。

前記エゼクタ１８の他側面部には、検出部２２および真
空ポート部２４が装着されている。

前記検出部２２は箱型形状を呈し、その内部に真空スイ
ッチ６８が設けられている。この真空スイッチ６８は、
好ましくは半導体圧力センサで構成され、真空発生部６
１で発生する負圧を後述する真空ポー）７０に連通する
通路７２を介して検圧し、作業機器を制御するための信
号を発する。前記検出部２２と真空ポート部２４との境
界面にはフィルタ７４が装着されている。

真空ポート部２４は、矩形体形状で、エゼクタ１８側の
一側面部からフィルタ部２０へ連通する通路７８と他側
面部に設けられた真空ポート７０とを有し、前記真空ポ
ート７０から検出部２２へ指向する通路７２を形成して
いる。

フィルタ部２０は、検出部２２に隣接して、この検出部
２２と真空ポート部２４に対して固定される。フィルタ
部２０の内部には、フィルタ本体８０が配設されるとと
もに、このフィルタ部２０は先端部に螺子溝を形成した
スタッド８２を有する摘み８４で真空ポート部２４に固
着している。したがって、前記摘み８４を螺回すること
により前記フィルタ本体８０を交換することが可能であ
る。

次に、上記のように構成される真空発生装置の動作につ
いて第２図乃至第４図を参照して説明する。但し、この
動作の説明は、マニホールド１６を用いて真空発生用ユ
ニット１０を複数個連設し、弁機構部１４のボートを螺
子によって閉塞した場合について行う。したがって、圧
縮空気の供給、パイロット弁を駆動するたｔの供給圧力
、真空破壊用圧力、パイ０．７　）弁、およびエゼクタ
１８からの排気については、この動作説明ではマニホー
ルド１６を介してのみ行う。

そこで、真空ポート７０に連通している作業機器、例え
ば、吸着用パッドに負圧をかける場合について説明する
。

最初に吸着用バンドをロボットのアーム等によ、てワー
クに接近させる。その際、エゼクタは作動しておらずチ
ェック弁６３が閉じているため、他の真空発生用ユニッ
トの排気がパイロット弁排気通路５２からエゼクタ１８
を経て作業機器に達することはない。

次に、作業機器をワークに当接させた後、図示しないコ
ンプレッサ等の圧縮空気供給源が付勢され、圧縮空気は
マニホールド１６のパイロット弁供給通路４８を通り、
第１電磁弁４０が付勢されることにより、前記圧縮空気
が空気供給弁３６を開成する。そのため、マニホールド
１６の空気供給通路４６とエゼクタ１８が連通して前記
エゼクタ１８に圧縮空気が供給される。

こうしてエゼクタ１８で負圧が発生し、作業機器の空気
を吸引する。すなわち、前記負圧によって、真空ポート
７０側の空気は、塵芥を除去するフィルタ部２０、通路
７８、真空発生部６１を介して、デイフユーザ部６０に
吸引される。

その際、通路７２によって真空ポー）７０に連通してい
る検出部２２の真空スイッチ６８では負圧を測定し、そ
の出力信号で作業機器を制御する。

一方、デイフユーザ部６０に真空ポート７０より吸引さ
れた空気、およびノズル部５８より噴出された圧縮空気
は、前記デイフユーザ部６Ｏから蓋部材６５のスリット
６４を経た後、フィルタ６６、開口部６２を経てチェッ
ク弁６３ヲ開成し、マニホールド１６のパイロット弁排
気通路５２より排出される。

なお、作業機器にかかる負圧を解除する場合、第２電磁
弁４２が付勢され、空気供給弁３６を閉塞したままで、
すなわち、通路５４およびエゼクタ１８に圧縮空気が流
入していない状態で、最初に図示しないコンプレッサ等
の圧縮空気供給源が付勢される。このため、圧縮空気は
マニホールド１６のパイロット弁供給通路４８を通る。

第３電磁弁４４が付勢されることにより、真空破壊弁３
８を開成する。そのため、マニホールド１６の真空破壊
通路５０は通路５６を介して真空ポート７０と直接連通
し、作業機器の負圧を解除する。

上記の一連の動作においてエゼクタ１８が作動してない
場合、マニホールド１６のパイロット弁排気通路５２か
ら他の真空発生用ユニフトの排気圧力がかかると、チェ
ック弁６３が閉じる（第３図ａ参照）。そのために他の
真空発生用ユニットの排気がマニホールド１６のパイロ
ット弁排気通路５２からエゼクタ１８へ流入せず、ワー
クの吸着搬送に影響を与えることがない。これと同時に
、前記排気がエゼクタ１８のノズル部５８から通路５４
を経て、空気供給弁３６に達することもない。そのため
、前記排気の塵芥、油等の汚れにより前記空気供給弁３
６が誤作動したり、耐久性が減することもない。

［発明の効果］以上のように、本発明に係る真空発生用ユニットでは、
次のような効果乃至利点を有する。

エゼクタが作動してない場合、マニホールドのパイロッ
ト弁排気通路から他の真空発生用ユニットの排気圧力が
かかり、チェック弁が閉じる。そのた袷に他の真空発生
用ユニットの排気がマニホールドのパイロット弁排気通
路からエゼクタへ流入せず、作業機器のワークに接近時
にも前記作業機器から前記排気圧力が排出され、紙等の
薄いワークの位置ずれを引き起こすことはない。同様に
してチェック弁が閉じるため、エゼクタを作動する際、
背圧がかからないため安定した吸着搬送を行える。また
、前記排気がエゼクタのノズル部から通路を経て、空気
供給弁に達することもない。そのため、前記排気の塵芥
、油等の汚れにより前記空気供給弁が誤作動したり、耐
久性が減することもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る真空発生用ユニットの実施例の斜
視図、第２図は本発明に係る真空発生用ユニットの実施例の縦
断面図、第３図ａ、ｂは本発明のチェック弁の動作状態を示す説
明図、第４図は本発明に係る真空発生用ユニットの実施例にお
ける流体用通路を説明するための空気回路図である。１０・・・真空発生用ユニット１２・・・電磁弁部１４・・・弁機構部１６・・・マニホールド１８・・・エゼクタ２０・・・フィルタ部２２・・・検出部３６・・・空気供給弁３８・・・真空破壊弁４６・・・空気供給通路４８・・・パイロット弁供給通路５０・・・真空破壊通路５２・・・パイロット弁排気通路５４．５６．７２．７８・・・通路６３・・・チェック弁

Claims

【特許請求の範囲】

（１）少なくともエゼクタと、マニホールドとを備え、前記マニホールドの排気用通路から前記エゼクタへ排気
が流入することを阻止するチェック弁を前記マニホール
ドの排気用通路とエゼクタとの間に設けることを特徴と
する真空発生用ユニット。