JPH10236759A - バキュームパッド用制御弁及びそれを使用した運搬システム - Google Patents
バキュームパッド用制御弁及びそれを使用した運搬システムInfo
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- JPH10236759A JPH10236759A JP4420197A JP4420197A JPH10236759A JP H10236759 A JPH10236759 A JP H10236759A JP 4420197 A JP4420197 A JP 4420197A JP 4420197 A JP4420197 A JP 4420197A JP H10236759 A JPH10236759 A JP H10236759A
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- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
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- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 バキュームパッドを使用した運搬システムを
安価に構成することができるバキュームパッド用制御弁
を提供する。 【解決手段】 入口ポート3に吸着運搬用のバキューム
パッド22を装着し、出口ポート4を真空系に接続すれ
ば、バキュームパッド22が吸着対象物30に全体が完
全に密着しているときには、そのバキュームパッド22
内の空気は絞り流路12とバイパス流路13を通して真
空系に吸引され、吸引室28内が真空状態に保たれるの
で、吸着対象物30を吸着状態で運搬することができ
る。その吸着対象物30を離す際には、出口ポート4に
大気圧を導入すれば、入口ポート3と出口ポート4が共
に大気圧になり、吸引室28内の吸引力がなくなって吸
着対象物30が開放される。
安価に構成することができるバキュームパッド用制御弁
を提供する。 【解決手段】 入口ポート3に吸着運搬用のバキューム
パッド22を装着し、出口ポート4を真空系に接続すれ
ば、バキュームパッド22が吸着対象物30に全体が完
全に密着しているときには、そのバキュームパッド22
内の空気は絞り流路12とバイパス流路13を通して真
空系に吸引され、吸引室28内が真空状態に保たれるの
で、吸着対象物30を吸着状態で運搬することができ
る。その吸着対象物30を離す際には、出口ポート4に
大気圧を導入すれば、入口ポート3と出口ポート4が共
に大気圧になり、吸引室28内の吸引力がなくなって吸
着対象物30が開放される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、バキュームパッ
ドをガラス,木材,紙,鉄板等の吸着対象物に接触さ
せ、それらをバキュームによる吸引力により持ち上げて
目的とする場所に移動させるバキューム運搬装置に使用
されるバキュームパッド用制御弁及びそれを使用したフ
ィーダー,キャリヤ等の運搬システムに関する。
ドをガラス,木材,紙,鉄板等の吸着対象物に接触さ
せ、それらをバキュームによる吸引力により持ち上げて
目的とする場所に移動させるバキューム運搬装置に使用
されるバキュームパッド用制御弁及びそれを使用したフ
ィーダー,キャリヤ等の運搬システムに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ガラス,木材,紙,鉄板等の吸着
対象物を、保管場所等から目的とする場所まで移動させ
るのに、バキュームパッドを使用した運搬装置により行
なう場合がある。このようなバキューム運搬装置は、例
えば木材等の運搬物である吸着対象物を運ぶ場合には、
その吸着対象物の重量や大きさに合わせたバキュームパ
ッドを用意し、それを吸着対象物の略重心の位置に接触
させてバランスよく吸着させて運搬するのが一般的であ
る。
対象物を、保管場所等から目的とする場所まで移動させ
るのに、バキュームパッドを使用した運搬装置により行
なう場合がある。このようなバキューム運搬装置は、例
えば木材等の運搬物である吸着対象物を運ぶ場合には、
その吸着対象物の重量や大きさに合わせたバキュームパ
ッドを用意し、それを吸着対象物の略重心の位置に接触
させてバランスよく吸着させて運搬するのが一般的であ
る。
【0003】このようなバキューム運搬装置は、例えば
複数のバキュームパッドを所定の間隔を置いて配設し、
その各バキュームパッド内の空気を同一の真空系で吸引
するようにしているが、このような場合には運搬物の個
数や並べ方が一定でないと、その吸着対象物間に隙間が
できる。このような場合、その隙間の部分にいずれかの
バキュームパッドが位置するようになると、そのバキュ
ームパッドは大気を吸引し続けるようになるので吸引機
能を失ってしまうと共に真空系の真空度も低下してしま
う。このようになると、吸着対象物上に正確に位置した
バキュームパッドによる吸引作用までも正常には行なわ
れなくなってしまう。
複数のバキュームパッドを所定の間隔を置いて配設し、
その各バキュームパッド内の空気を同一の真空系で吸引
するようにしているが、このような場合には運搬物の個
数や並べ方が一定でないと、その吸着対象物間に隙間が
できる。このような場合、その隙間の部分にいずれかの
バキュームパッドが位置するようになると、そのバキュ
ームパッドは大気を吸引し続けるようになるので吸引機
能を失ってしまうと共に真空系の真空度も低下してしま
う。このようになると、吸着対象物上に正確に位置した
バキュームパッドによる吸引作用までも正常には行なわ
れなくなってしまう。
【0004】そこで、従来のバキューム運搬装置には、
上述したような不都合が生じないようにするため、例え
ば図11に示すように各バキュームパッド62毎に(1
組みのみ図示してある)真空系72との間の流路70
に、それぞれ電磁切換弁74と、その流路70の真空度
合いを監視する真空スイッチ73とを設けたものがあ
る。
上述したような不都合が生じないようにするため、例え
ば図11に示すように各バキュームパッド62毎に(1
組みのみ図示してある)真空系72との間の流路70
に、それぞれ電磁切換弁74と、その流路70の真空度
合いを監視する真空スイッチ73とを設けたものがあ
る。
【0005】このバキューム運搬装置は、バキュームパ
ッド62を吸着対象物30に接触させて吸引動作に入っ
てから一定時間経過した時点で、各流路70が所定の真
空度に達しているか否かを各真空スイッチ73により検
知し、所定の真空度に達していない流路70があったと
きには、その流路70上のバキュームパッド62が吸着
対象物30に対して正常な位置に配置されていないもの
と判断し(図示しない制御系)、その流路70に設けら
れている電磁切換弁74の位置を図11に示した位置か
ら左方に切り換えて流路70を真空系72から遮断し、
その真空系72が各バキュームパッド62から大気を吸
い込まないようにしている。
ッド62を吸着対象物30に接触させて吸引動作に入っ
てから一定時間経過した時点で、各流路70が所定の真
空度に達しているか否かを各真空スイッチ73により検
知し、所定の真空度に達していない流路70があったと
きには、その流路70上のバキュームパッド62が吸着
対象物30に対して正常な位置に配置されていないもの
と判断し(図示しない制御系)、その流路70に設けら
れている電磁切換弁74の位置を図11に示した位置か
ら左方に切り換えて流路70を真空系72から遮断し、
その真空系72が各バキュームパッド62から大気を吸
い込まないようにしている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなバキューム運搬装置の場合には、真空スイッチの設
定圧を真空系の能力に合わせて、その都度設定しなけれ
ば正確な判断ができないという問題点があった。また、
吸着する吸着対象物(運搬物)によっても上記設定圧を
変える必要があったので、扱いが面倒であった。
うなバキューム運搬装置の場合には、真空スイッチの設
定圧を真空系の能力に合わせて、その都度設定しなけれ
ば正確な判断ができないという問題点があった。また、
吸着する吸着対象物(運搬物)によっても上記設定圧を
変える必要があったので、扱いが面倒であった。
【0007】さらに、真空スイッチを取り付けている場
所とバキュームパッドが設けられている位置等を考慮し
て、真空スイッチがオン(所定の真空度を検知)してか
らバキュームパッドの部分が所定の真空度になるまでに
何秒かかるかを予め調査しておき、それによって電磁切
換弁を切り換えて流路を真空系から遮断する必要があっ
たので(タイムラグの考慮)、バキュームシステムの設
定が面倒であった。
所とバキュームパッドが設けられている位置等を考慮し
て、真空スイッチがオン(所定の真空度を検知)してか
らバキュームパッドの部分が所定の真空度になるまでに
何秒かかるかを予め調査しておき、それによって電磁切
換弁を切り換えて流路を真空系から遮断する必要があっ
たので(タイムラグの考慮)、バキュームシステムの設
定が面倒であった。
【0008】また、上述したように、複数設けられたバ
キュームパッドの各ライン毎に電磁切換弁と真空スイッ
チを設ける必要があったので、バキュームパッドの数が
多いバキューム運搬装置の場合には、システム全体が非
常に高価なものになってしまうという問題点があった。
さらに、上述したような従来のバキューム運搬装置の場
合には、バキュームパッドが吸着対象物に対して正常な
位置にあるときにはバキュームパッド内にある空気と、
そのバキュームパッドから真空系に至る迄の間の管路内
にある空気だけが真空系に流れる。
キュームパッドの各ライン毎に電磁切換弁と真空スイッ
チを設ける必要があったので、バキュームパッドの数が
多いバキューム運搬装置の場合には、システム全体が非
常に高価なものになってしまうという問題点があった。
さらに、上述したような従来のバキューム運搬装置の場
合には、バキュームパッドが吸着対象物に対して正常な
位置にあるときにはバキュームパッド内にある空気と、
そのバキュームパッドから真空系に至る迄の間の管路内
にある空気だけが真空系に流れる。
【0009】ところが、バキュームパッドが吸着対象物
から外れて隙間部分に位置したり、吸着対象物に一部の
み接して完全に吸着対象物上に吸着していないときに
は、そのバキュームパッド部分から大量の空気が真空系
に流れ込むようになる。そのため、バキュームパッドが
1つだけのシステムでは、上記真空系に流れ込む空気は
ある程度少なくて済むので、真空タンクの容量もそれほ
ど大きなものにはならないが、バキュームパッドが多数
設けられている大型の運搬システムの場合には、複数の
バキュームパッドが同時に吸着対象物から外れた位置に
配置されることがあるため、その際には真空系に大量の
空気の流れ込むようになるので、真空タンクはそれに対
応できる大きなものを用意する必要があった。
から外れて隙間部分に位置したり、吸着対象物に一部の
み接して完全に吸着対象物上に吸着していないときに
は、そのバキュームパッド部分から大量の空気が真空系
に流れ込むようになる。そのため、バキュームパッドが
1つだけのシステムでは、上記真空系に流れ込む空気は
ある程度少なくて済むので、真空タンクの容量もそれほ
ど大きなものにはならないが、バキュームパッドが多数
設けられている大型の運搬システムの場合には、複数の
バキュームパッドが同時に吸着対象物から外れた位置に
配置されることがあるため、その際には真空系に大量の
空気の流れ込むようになるので、真空タンクはそれに対
応できる大きなものを用意する必要があった。
【0010】そのため、このような構成のバキューム運
搬システムは、バキュームパッドを多数使用する大型の
運搬システムには適さないし、仮りにこのようなシステ
ムを実現したとしても、それは非常に大型で高価なもの
になってしまうという問題点があった。
搬システムは、バキュームパッドを多数使用する大型の
運搬システムには適さないし、仮りにこのようなシステ
ムを実現したとしても、それは非常に大型で高価なもの
になってしまうという問題点があった。
【0011】この発明は上記の問題点に鑑みてなされた
ものであり、バキュームパッドを複数設ける運搬システ
ムに使用しても、大きな真空タンクを必要とせず、少な
い部品点数でその運搬システムを安価に構成することが
できるバキュームパッド用制御弁を提供することを目的
とする。また、そのバキュームパッド用制御弁を使用し
た運搬システムを実際に使用する際に、真空スイッチの
設定圧を真空系の能力に合わせてその都度設定したり、
その設定圧を吸着対象物に応じてその都度変えたりする
面倒な操作をしなくても済むようにすることも目的とす
る。
ものであり、バキュームパッドを複数設ける運搬システ
ムに使用しても、大きな真空タンクを必要とせず、少な
い部品点数でその運搬システムを安価に構成することが
できるバキュームパッド用制御弁を提供することを目的
とする。また、そのバキュームパッド用制御弁を使用し
た運搬システムを実際に使用する際に、真空スイッチの
設定圧を真空系の能力に合わせてその都度設定したり、
その設定圧を吸着対象物に応じてその都度変えたりする
面倒な操作をしなくても済むようにすることも目的とす
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】この発明は上記の目的を
達成するため、大気を受け入れる側の入口ポートと真空
系に接続される出口ポートとを有するバルブ本体に、入
口ポートと出口ポートを連通するポペット摺動孔を形成
し、そのポペット摺動孔にポペットを上記ポペット摺動
孔によって形成される流路を閉じる位置と開く位置とに
変位可能に嵌入させてそのポペットを付勢部材により上
記流路を開く側に付勢し、そのポペット又はポペット摺
動孔の内壁面のいずれかにポペットが上記開く位置にあ
るときにのみ入口ポートと出口ポートとを連通させる絞
り流路を形成し、バルブ本体に常時入口ポートと出口ポ
ートとを連通させるバイパス流路を設け、そのバイパス
流路に絞りを配設してバキュームパッド用制御弁を構成
する。そして、入口ポートと出口ポートの圧力差が所定
の値以上になったときにポペットが出口ポート側よりも
高い圧力の入口ポート側の圧力により上記付勢部材の付
勢力に抗して移動されて上記流路を閉じる位置に移動す
るようにする。
達成するため、大気を受け入れる側の入口ポートと真空
系に接続される出口ポートとを有するバルブ本体に、入
口ポートと出口ポートを連通するポペット摺動孔を形成
し、そのポペット摺動孔にポペットを上記ポペット摺動
孔によって形成される流路を閉じる位置と開く位置とに
変位可能に嵌入させてそのポペットを付勢部材により上
記流路を開く側に付勢し、そのポペット又はポペット摺
動孔の内壁面のいずれかにポペットが上記開く位置にあ
るときにのみ入口ポートと出口ポートとを連通させる絞
り流路を形成し、バルブ本体に常時入口ポートと出口ポ
ートとを連通させるバイパス流路を設け、そのバイパス
流路に絞りを配設してバキュームパッド用制御弁を構成
する。そして、入口ポートと出口ポートの圧力差が所定
の値以上になったときにポペットが出口ポート側よりも
高い圧力の入口ポート側の圧力により上記付勢部材の付
勢力に抗して移動されて上記流路を閉じる位置に移動す
るようにする。
【0013】このバキュームパッド用制御弁によれば、
その入口ポートに吸着運搬用のバキュームパッドを装着
し、出口ポートを真空系に接続してバキュームパッド内
に吸引力が働くようにすれば、そのバキュームパッドが
吸着対象物に全体が完全に密着しているときには、その
バキュームパッド内の空気は絞り流路とバイパス流路を
通して真空系に吸引されることにより、バキュームパッ
ド内が真空状態に保たれる。したがって、それによって
吸着対象物がバキュームパッドに強力に吸着されるの
で、バキュームパッドを移動させれば、その吸着対象物
を目的とする位置に確実に運搬することができる。
その入口ポートに吸着運搬用のバキュームパッドを装着
し、出口ポートを真空系に接続してバキュームパッド内
に吸引力が働くようにすれば、そのバキュームパッドが
吸着対象物に全体が完全に密着しているときには、その
バキュームパッド内の空気は絞り流路とバイパス流路を
通して真空系に吸引されることにより、バキュームパッ
ド内が真空状態に保たれる。したがって、それによって
吸着対象物がバキュームパッドに強力に吸着されるの
で、バキュームパッドを移動させれば、その吸着対象物
を目的とする位置に確実に運搬することができる。
【0014】また、その吸着対象物をバキュームパッド
から分離させる際には、出口ポートに大気圧を導入する
ようにすれば、バキュームパッド用制御弁の入口ポート
と出口ポートが共に大気圧になり、大気がバキュームパ
ッド内に送り込まれるので、バキュームパッド内の吸引
力がなくなって吸着対象物がバキュームパッドから離れ
て開放される。
から分離させる際には、出口ポートに大気圧を導入する
ようにすれば、バキュームパッド用制御弁の入口ポート
と出口ポートが共に大気圧になり、大気がバキュームパ
ッド内に送り込まれるので、バキュームパッド内の吸引
力がなくなって吸着対象物がバキュームパッドから離れ
て開放される。
【0015】一方、バキュームパッドが吸着対象物に対
して完全に外れて位置したり、その一部が外れて位置し
た場合には、吸引が開始されるとバキュームパッド内に
は大気が入り込むようになるので、バキュームパッド用
制御弁の入口ポートは大気圧のままであり、真空状態に
はならない。
して完全に外れて位置したり、その一部が外れて位置し
た場合には、吸引が開始されるとバキュームパッド内に
は大気が入り込むようになるので、バキュームパッド用
制御弁の入口ポートは大気圧のままであり、真空状態に
はならない。
【0016】したがって、ポペットが、その入口ポート
に作用する大気圧により真空側の出口ポート側に付勢部
材の付勢力に抗して変位し、ポペット摺動孔によって形
成される流路を閉じる位置まで移動する。そのため、出
口ポートには入口ポートから絞りを有するバイパス流路
のみを通して、真空系に対して影響をほとんど与えるこ
とのない僅かな量の空気だけが流れる。そのため、この
状態で吸着対象物に対して全体が完全に密着した位置に
あるバキュームパッドだけで吸着運搬を行なうようにし
ても、そのバキュームパッド内は吸引力が作用するの
で、全く支障なく吸着対象物を目的とする場所に確実に
運搬することができる。
に作用する大気圧により真空側の出口ポート側に付勢部
材の付勢力に抗して変位し、ポペット摺動孔によって形
成される流路を閉じる位置まで移動する。そのため、出
口ポートには入口ポートから絞りを有するバイパス流路
のみを通して、真空系に対して影響をほとんど与えるこ
とのない僅かな量の空気だけが流れる。そのため、この
状態で吸着対象物に対して全体が完全に密着した位置に
あるバキュームパッドだけで吸着運搬を行なうようにし
ても、そのバキュームパッド内は吸引力が作用するの
で、全く支障なく吸着対象物を目的とする場所に確実に
運搬することができる。
【0017】また、上記バキュームパッド用制御弁にお
いて、バルブ本体の入口ポートに、空気中に混在する
塵,埃等の細かな異物を除去するためのフィルタを設け
るようにするとよい。そうすれば、絞り流路や、絞りを
有するバイパス流路が塵や埃等の細かな異物によって目
詰りを起こすのを防止することができるので、機能低下
を防止することができる。
いて、バルブ本体の入口ポートに、空気中に混在する
塵,埃等の細かな異物を除去するためのフィルタを設け
るようにするとよい。そうすれば、絞り流路や、絞りを
有するバイパス流路が塵や埃等の細かな異物によって目
詰りを起こすのを防止することができるので、機能低下
を防止することができる。
【0018】さらに、上記いずれかのバキュームパッド
用制御弁において、バルブ本体の入口ポートに面する位
置に、バキュームパッドに形成されたネジ部に直接連結
するための雄ネジ部又は雌ネジ部を形成するとよい。そ
うすれば、バキュームパッド用制御弁にバキュームパッ
ドをネジ込むだけで簡単に装着することができると共
に、バキュームパッドをバキュームパッド用制御弁に取
り付けるための専用の取付部品を用意する必要がなくな
るので、コストダウンも図れる。
用制御弁において、バルブ本体の入口ポートに面する位
置に、バキュームパッドに形成されたネジ部に直接連結
するための雄ネジ部又は雌ネジ部を形成するとよい。そ
うすれば、バキュームパッド用制御弁にバキュームパッ
ドをネジ込むだけで簡単に装着することができると共
に、バキュームパッドをバキュームパッド用制御弁に取
り付けるための専用の取付部品を用意する必要がなくな
るので、コストダウンも図れる。
【0019】また、上記いずれかのバキュームパッド用
制御弁を使用した運搬システムを、上記バキュームパッ
ド用制御弁の入口ポートにバキュームパッドを装着する
と共に出口ポートを真空系に接続し、その出口ポートと
真空系との間の流路に切換弁を配設し、その切換弁を上
記出口ポートを真空系に接続する位置とその出口ポート
を真空系から遮断してその出口ポートに大気を導入する
位置とに切換可能に構成するとよい。
制御弁を使用した運搬システムを、上記バキュームパッ
ド用制御弁の入口ポートにバキュームパッドを装着する
と共に出口ポートを真空系に接続し、その出口ポートと
真空系との間の流路に切換弁を配設し、その切換弁を上
記出口ポートを真空系に接続する位置とその出口ポート
を真空系から遮断してその出口ポートに大気を導入する
位置とに切換可能に構成するとよい。
【0020】そうすれば、上述したように、バキューム
パッドが吸着対象物から一部あるいは全体が外れた位置
にあるときには、ポペットがポペット摺動孔によって形
成される流路を閉じる位置に自動的に移動するので、出
口ポートには入口ポートからバイパス流路を通る僅かな
量の空気だけが流れるようになる。したがって、従来の
真空系に至る流路に電磁切換弁と、その流路の真空度合
いを監視する真空スイッチとを設けたバキュームパッド
用制御弁を使用した運搬システムのように、全てのバキ
ュームパッドに対して電磁切換弁と真空スイッチを設け
る必要がないので、その分だけ構成を簡単にすることが
できると共に、システム全体を小型にすることができ
る。また、システム全体を安価に製作することができ
る。
パッドが吸着対象物から一部あるいは全体が外れた位置
にあるときには、ポペットがポペット摺動孔によって形
成される流路を閉じる位置に自動的に移動するので、出
口ポートには入口ポートからバイパス流路を通る僅かな
量の空気だけが流れるようになる。したがって、従来の
真空系に至る流路に電磁切換弁と、その流路の真空度合
いを監視する真空スイッチとを設けたバキュームパッド
用制御弁を使用した運搬システムのように、全てのバキ
ュームパッドに対して電磁切換弁と真空スイッチを設け
る必要がないので、その分だけ構成を簡単にすることが
できると共に、システム全体を小型にすることができ
る。また、システム全体を安価に製作することができ
る。
【0021】さらに、そのバキュームパッド用制御弁を
使用した運搬システムにおいて、バキュームパッドを装
着したバキュームパッド用制御弁を複数個並べて配置
し、その各バキュームパッド用制御弁の出口ポートをそ
れぞれ1つの流路に連通させ、その流路を上記切換弁を
介して真空系に接続するようにするとよい。そうすれ
ば、運搬する吸着対象物が不規則に並べられていたり、
間隔を置いて並べられているときでも、その吸着対象物
に複数個並べられたバキュームパッドを接触させて吸引
を開始させれば、前述したように吸着対象物に完全に密
着したバキュームパッドだけが有効に吸引力を吸着対象
物に作用させ、それ以外のバキュームパッドからは極少
量の空気が真空系に流れるだけであるため、確実な運搬
ができる。
使用した運搬システムにおいて、バキュームパッドを装
着したバキュームパッド用制御弁を複数個並べて配置
し、その各バキュームパッド用制御弁の出口ポートをそ
れぞれ1つの流路に連通させ、その流路を上記切換弁を
介して真空系に接続するようにするとよい。そうすれ
ば、運搬する吸着対象物が不規則に並べられていたり、
間隔を置いて並べられているときでも、その吸着対象物
に複数個並べられたバキュームパッドを接触させて吸引
を開始させれば、前述したように吸着対象物に完全に密
着したバキュームパッドだけが有効に吸引力を吸着対象
物に作用させ、それ以外のバキュームパッドからは極少
量の空気が真空系に流れるだけであるため、確実な運搬
ができる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。図1はこの発明によるバキュー
ムパッド用制御弁の一実施形態例をバキュームパッドを
装着した状態で示す縦断面図、図2は同じくそのバキュ
ームパッド用制御弁を片側半分を断面状態にして示す構
成図、図3は同じくそのバキュームパッド用制御弁を使
用した運搬システムの一例を示す概略構成図である。
面に基づいて説明する。図1はこの発明によるバキュー
ムパッド用制御弁の一実施形態例をバキュームパッドを
装着した状態で示す縦断面図、図2は同じくそのバキュ
ームパッド用制御弁を片側半分を断面状態にして示す構
成図、図3は同じくそのバキュームパッド用制御弁を使
用した運搬システムの一例を示す概略構成図である。
【0023】このバキュームパッド用制御弁1は、図1
及び図2に示すように、大気を受け入れる側の入口ポー
ト3と、図3で後述する真空系5に接続される真空系接
続口を兼ねる出口ポート4とを有するバルブ本体2の中
心に、入口ポート3と出口ポート4を連通するポペット
摺動孔6を図1で上下方向に形成している。そのバルブ
本体2は、上部バルブボディ7と下部バルブボディ8と
からなり、それらは上部バルブボディ7の下部外周に形
成した雄ネジ部を、それに対応させて下部バルブボディ
8に形成した雌ネジ部に螺着することにより一体に組み
付けられている。
及び図2に示すように、大気を受け入れる側の入口ポー
ト3と、図3で後述する真空系5に接続される真空系接
続口を兼ねる出口ポート4とを有するバルブ本体2の中
心に、入口ポート3と出口ポート4を連通するポペット
摺動孔6を図1で上下方向に形成している。そのバルブ
本体2は、上部バルブボディ7と下部バルブボディ8と
からなり、それらは上部バルブボディ7の下部外周に形
成した雄ネジ部を、それに対応させて下部バルブボディ
8に形成した雌ネジ部に螺着することにより一体に組み
付けられている。
【0024】そのバルブ本体2のポペット摺動孔6に
は、ポペット9をポペット摺動孔6によって形成される
流路10を閉じる位置と開く位置とに変位可能に嵌入さ
せて、そのポペット9を付勢部材であるスプリング11
により流路10を開く図1で下方に付勢している。そし
て、そのポペット9の図1で下方への位置規制をするた
め、ポペット摺動孔6の内周面の一部に周方向に一定幅
の溝を形成し、その溝内にポペット9の位置規制用の例
えばCリング,Eリング等である位置規制リング15を
嵌入させ、それによってポペット9の下面の外周付近を
受けるようにしている。
は、ポペット9をポペット摺動孔6によって形成される
流路10を閉じる位置と開く位置とに変位可能に嵌入さ
せて、そのポペット9を付勢部材であるスプリング11
により流路10を開く図1で下方に付勢している。そし
て、そのポペット9の図1で下方への位置規制をするた
め、ポペット摺動孔6の内周面の一部に周方向に一定幅
の溝を形成し、その溝内にポペット9の位置規制用の例
えばCリング,Eリング等である位置規制リング15を
嵌入させ、それによってポペット9の下面の外周付近を
受けるようにしている。
【0025】ポペット9には、そのポペット9が上部バ
ルブボディ7のシート部7aから離れることによって上
述した開く位置にあるときにのみ入口ポート3と出口ポ
ート4とを連通させる狭い流路である絞り流路12を、
例えば外周面にポペット9の軸線方向に1箇所溝を切る
ことにより形成している。なお、この絞り流路12は、
ポペット9の中心部分を軸方向に通って小径部の外周面
に貫通する孔状のものであってもよい。
ルブボディ7のシート部7aから離れることによって上
述した開く位置にあるときにのみ入口ポート3と出口ポ
ート4とを連通させる狭い流路である絞り流路12を、
例えば外周面にポペット9の軸線方向に1箇所溝を切る
ことにより形成している。なお、この絞り流路12は、
ポペット9の中心部分を軸方向に通って小径部の外周面
に貫通する孔状のものであってもよい。
【0026】また、上部バルブボディ7には、常時入口
ポート3と出口ポート4とを連通させるバイパス流路1
3を設け、そのバイパス流路にオリフィス(絞り)14を
配設している。上部バルブボディ7の下部バルブボディ
8側の端面には段部7bを形成し、その段部7b内にフ
ィルタ16を装着した状態で、上部バルブボディ7を下
部バルブボディ8に螺着している。
ポート3と出口ポート4とを連通させるバイパス流路1
3を設け、そのバイパス流路にオリフィス(絞り)14を
配設している。上部バルブボディ7の下部バルブボディ
8側の端面には段部7bを形成し、その段部7b内にフ
ィルタ16を装着した状態で、上部バルブボディ7を下
部バルブボディ8に螺着している。
【0027】そのフィルタ16は、このバキュームパッ
ド用制御弁1の入口ポート3側に設けられることによ
り、その入口ポート3からバルブ本体2内に吸引される
空気の中に混在する塵,埃等の細かな異物(コンタミ)
を除去する役割を果たす。それによって、絞り流路12
や、オリフィス14を有するバイパス流路13が塵や埃
等の細かな異物によって目詰りを起こしたりするのを防
止することができるので、バキュームパッド用制御弁1
の機能低下を防止することができる。
ド用制御弁1の入口ポート3側に設けられることによ
り、その入口ポート3からバルブ本体2内に吸引される
空気の中に混在する塵,埃等の細かな異物(コンタミ)
を除去する役割を果たす。それによって、絞り流路12
や、オリフィス14を有するバイパス流路13が塵や埃
等の細かな異物によって目詰りを起こしたりするのを防
止することができるので、バキュームパッド用制御弁1
の機能低下を防止することができる。
【0028】このバキュームパッド用制御弁1は、入口
ポート3と出口ポート4の圧力差が所定の値以上になっ
たときにポペット9が出口ポート4側よりも高い圧力の
入口ポート3側の圧力(大気中で使用する場合には最大
が大気圧)によりスプリング11の付勢力に抗して移動
されて流路10を閉じる位置に移動する。すなわち、ポ
ペット9の上面が上部バルブボディ7のシート部7aに
密着する位置に移動する。
ポート3と出口ポート4の圧力差が所定の値以上になっ
たときにポペット9が出口ポート4側よりも高い圧力の
入口ポート3側の圧力(大気中で使用する場合には最大
が大気圧)によりスプリング11の付勢力に抗して移動
されて流路10を閉じる位置に移動する。すなわち、ポ
ペット9の上面が上部バルブボディ7のシート部7aに
密着する位置に移動する。
【0029】このバキュームパッド用制御弁1は、下部
バルブボディ8の入口ポート3に面する位置に、バキュ
ームパッドユニット20のホルダ21に形成された雌ネ
ジ部21aに直接連結するための雄ネジ部8aを突設し
ている。したがって、このバキュームパッド用制御弁1
にバキュームパッドユニット20を取り付ける際には、
その雄ネジ部8aをバキュームパッドユニット20側の
雌ネジ部21aにネジ込むだけで簡単に装着することが
できる。そのため、バキュームパッドユニット20をバ
キュームパッド用制御弁1に取り付けるための専用の取
付部品を別途用意する必要がないので、その分コストダ
ウンが図れる。
バルブボディ8の入口ポート3に面する位置に、バキュ
ームパッドユニット20のホルダ21に形成された雌ネ
ジ部21aに直接連結するための雄ネジ部8aを突設し
ている。したがって、このバキュームパッド用制御弁1
にバキュームパッドユニット20を取り付ける際には、
その雄ネジ部8aをバキュームパッドユニット20側の
雌ネジ部21aにネジ込むだけで簡単に装着することが
できる。そのため、バキュームパッドユニット20をバ
キュームパッド用制御弁1に取り付けるための専用の取
付部品を別途用意する必要がないので、その分コストダ
ウンが図れる。
【0030】そのバキュームパッドユニット20のホル
ダ21には、下方に向けて所定の深さの鍔部21bが全
周に亘って例えば小判形状(バキュームパッドが円形の
場合にはそれに対応させて円形状とする)に形成されて
いて、その鍔部21b内にゴムにより小判状のリングに
一定幅で形成されたバキュームパッド22を嵌入させ、
それを例えば摩擦により保持させている。なお、このバ
キュームパッド22は、鍔部21b内に嵌入された状態
では、縮み代Lの長さだけが外側に露出するようにな
る。
ダ21には、下方に向けて所定の深さの鍔部21bが全
周に亘って例えば小判形状(バキュームパッドが円形の
場合にはそれに対応させて円形状とする)に形成されて
いて、その鍔部21b内にゴムにより小判状のリングに
一定幅で形成されたバキュームパッド22を嵌入させ、
それを例えば摩擦により保持させている。なお、このバ
キュームパッド22は、鍔部21b内に嵌入された状態
では、縮み代Lの長さだけが外側に露出するようにな
る。
【0031】このように構成されるバキュームパッド用
制御弁1を使用して運搬システムを構成する場合には、
例えば図3に示すような構成にする。まず、上述したよ
うにバキュームパッド用制御弁1の入口ポート3にバキ
ュームパッドユニット20を装着し、出口ポート4を真
空系5に接続するが、その出口ポート4と真空系5との
間の流路17(ホース等により形成する)には切換弁18
を配設する。
制御弁1を使用して運搬システムを構成する場合には、
例えば図3に示すような構成にする。まず、上述したよ
うにバキュームパッド用制御弁1の入口ポート3にバキ
ュームパッドユニット20を装着し、出口ポート4を真
空系5に接続するが、その出口ポート4と真空系5との
間の流路17(ホース等により形成する)には切換弁18
を配設する。
【0032】そして、その切換弁18を、出口ポート4
を真空系5に接続する図示の切換位置と、その出口ポー
ト4を真空系5から遮断して出口ポート4にフィルタ2
5を介して大気を導入する位置(図3から左方に切り換
えた位置)とに切換可能にしている。なお、真空系5
は、例えば真空タンク26と、その真空タンク26内が
所定の真空度よりも低下したときに作動して、真空タン
ク26内を再び所定の真空度に保つようにする真空ポン
プ27とからなる真空装置である。
を真空系5に接続する図示の切換位置と、その出口ポー
ト4を真空系5から遮断して出口ポート4にフィルタ2
5を介して大気を導入する位置(図3から左方に切り換
えた位置)とに切換可能にしている。なお、真空系5
は、例えば真空タンク26と、その真空タンク26内が
所定の真空度よりも低下したときに作動して、真空タン
ク26内を再び所定の真空度に保つようにする真空ポン
プ27とからなる真空装置である。
【0033】次に、この図3で説明した運搬システムを
使用して運搬物である吸着対象物30を吸着して運搬す
る場合の動作説明をする。図3に示した切換弁18を、
同図で左方に移動させて出口ポート4を真空系5から遮
断して出口ポート4に大気を導入する位置にした状態
で、バキュームパッドユニット20をバキュームパッド
22が吸着対象物30の略中心に位置するように移動さ
せ、それを下降させてバキュームパッド22を吸着対象
物30の上面に軽く押し付ける。
使用して運搬物である吸着対象物30を吸着して運搬す
る場合の動作説明をする。図3に示した切換弁18を、
同図で左方に移動させて出口ポート4を真空系5から遮
断して出口ポート4に大気を導入する位置にした状態
で、バキュームパッドユニット20をバキュームパッド
22が吸着対象物30の略中心に位置するように移動さ
せ、それを下降させてバキュームパッド22を吸着対象
物30の上面に軽く押し付ける。
【0034】その状態で、切換弁18を図3に示す位置
に切り換えると、所定の真空度に保たれている真空系5
にバキュームパッド用制御弁1の出口ポート4が流路1
7を介して連通する。したがって、その出口ポート4に
ある空気が真空系5に流れていく。
に切り換えると、所定の真空度に保たれている真空系5
にバキュームパッド用制御弁1の出口ポート4が流路1
7を介して連通する。したがって、その出口ポート4に
ある空気が真空系5に流れていく。
【0035】またバキュームパッド22が全周に亘って
吸着対象物30に密着することにより、そのバキューム
パッド22内の図1に示す吸引室28にある空気も、ホ
ペット9内の絞り流路12及びバイパス流路13を通っ
て真空系5に流れていく。したがって、吸引室28内は
直ぐに大気圧から真空系5の到達真空圧力になる。な
お、この作動過程において、入口ポート3から出口ポー
ト4に向かう空気の流れ具合や吸引室28の容積が大き
いときなどには、ホペット9がその入口ポート3と出口
ポート4との差圧により図1で上方に一旦移動してシー
ト部7aに押し付けられて流路10が閉じることもあ
る。
吸着対象物30に密着することにより、そのバキューム
パッド22内の図1に示す吸引室28にある空気も、ホ
ペット9内の絞り流路12及びバイパス流路13を通っ
て真空系5に流れていく。したがって、吸引室28内は
直ぐに大気圧から真空系5の到達真空圧力になる。な
お、この作動過程において、入口ポート3から出口ポー
ト4に向かう空気の流れ具合や吸引室28の容積が大き
いときなどには、ホペット9がその入口ポート3と出口
ポート4との差圧により図1で上方に一旦移動してシー
ト部7aに押し付けられて流路10が閉じることもあ
る。
【0036】しかしながら、バキュームパッド22が吸
着対象物30に全周に亘って確実に押し付けられてい
て、なお且つ吸引室28内への大気の流れが閉ざされて
いれば、その吸引室28はバイパス流路13を通して出
口ポート4に連通しているので、入口ポート3と出口ポ
ート4とは上述したように短時間のうちに同じ圧力(真
空系5の到達真空圧力)になる。
着対象物30に全周に亘って確実に押し付けられてい
て、なお且つ吸引室28内への大気の流れが閉ざされて
いれば、その吸引室28はバイパス流路13を通して出
口ポート4に連通しているので、入口ポート3と出口ポ
ート4とは上述したように短時間のうちに同じ圧力(真
空系5の到達真空圧力)になる。
【0037】その結果、ポペット9の図1で上側と下側
の各受圧面に作用する圧力が同じになるため、そのポペ
ット9はスプリング11の付勢力と、そのポペット9の
自重とにより図示の位置に移動して流路10が全開状態
になる。そのため、バキュームパッド22の吸引室28
内の圧力が、真空系5によって作られる真空圧力と理論
上同じになる。
の各受圧面に作用する圧力が同じになるため、そのポペ
ット9はスプリング11の付勢力と、そのポペット9の
自重とにより図示の位置に移動して流路10が全開状態
になる。そのため、バキュームパッド22の吸引室28
内の圧力が、真空系5によって作られる真空圧力と理論
上同じになる。
【0038】このとき、吸引室28に作用する吸着力F
は、バキュームパッド22の吸着面積をKcm2(図4に
ハッチングで示した部分)、吸引室28の到達真空圧力
をPmmHgとすると、次式のようになり、バキューム
パッド22により、F(Kgf)以下の吸着対象物30
を持ち上げることができる。 吸着力F=K・P/760(Kgf)
は、バキュームパッド22の吸着面積をKcm2(図4に
ハッチングで示した部分)、吸引室28の到達真空圧力
をPmmHgとすると、次式のようになり、バキューム
パッド22により、F(Kgf)以下の吸着対象物30
を持ち上げることができる。 吸着力F=K・P/760(Kgf)
【0039】一方、バキュームパッド22が吸着対象物
30に対して完全に外れた位置にセットされたり、ある
いは図5に示すように、その一部が外れた位置にセット
された場合には、切換弁18が図示の位置に切り換わっ
て真空系5による吸引が開始されると、バキュームパッ
ド22の吸引室28内には大気が入り込むことによって
そこが常に大気開放状態になるため、大気がバキューム
パッド用制御弁1の図1に示した絞り流路12とバイパ
ス流路13を通って真空系5に流れる。
30に対して完全に外れた位置にセットされたり、ある
いは図5に示すように、その一部が外れた位置にセット
された場合には、切換弁18が図示の位置に切り換わっ
て真空系5による吸引が開始されると、バキュームパッ
ド22の吸引室28内には大気が入り込むことによって
そこが常に大気開放状態になるため、大気がバキューム
パッド用制御弁1の図1に示した絞り流路12とバイパ
ス流路13を通って真空系5に流れる。
【0040】このとき、出口ポート4は切換弁18を介
して真空系5に連通されているため、その部分の圧力は
大気圧よりも低い負圧状態にある。このため、入口ポー
ト3と出口ポート4には差圧が生じ、その差圧がポペッ
ト9の両側の各受圧面に作用する。したがって、ポペッ
ト9がスプリング11の付勢力に抗して図1で上方に変
位し、シート部7aに押し付けられる。
して真空系5に連通されているため、その部分の圧力は
大気圧よりも低い負圧状態にある。このため、入口ポー
ト3と出口ポート4には差圧が生じ、その差圧がポペッ
ト9の両側の各受圧面に作用する。したがって、ポペッ
ト9がスプリング11の付勢力に抗して図1で上方に変
位し、シート部7aに押し付けられる。
【0041】そのため、ポペット9とシート部7aとの
間を通って出口ポート4に至る流路10が遮断される。
この状態においても、スプリング11は常にポペット9
を押し下げて流路10を開こうとする力を作用させ続け
るが、それが上記差圧により開かないような付勢力に設
定されている。そして、ポペット9の図1で下面側の受
圧面積をMとしたとき、ポペット9は、次に示すような
式の力関係でシート部7a側に移動して流路10を閉じ
るようになる。 ポペットを閉側に移動させる力=大気圧×M また、ポペットを閉側に移動させる力>スプリング力+
ポペットの自重
間を通って出口ポート4に至る流路10が遮断される。
この状態においても、スプリング11は常にポペット9
を押し下げて流路10を開こうとする力を作用させ続け
るが、それが上記差圧により開かないような付勢力に設
定されている。そして、ポペット9の図1で下面側の受
圧面積をMとしたとき、ポペット9は、次に示すような
式の力関係でシート部7a側に移動して流路10を閉じ
るようになる。 ポペットを閉側に移動させる力=大気圧×M また、ポペットを閉側に移動させる力>スプリング力+
ポペットの自重
【0042】なお、ポペット9が流路10を閉じた状態
においても、吸引室28はバイパス流路13により出口
ポート4に連通しているので、入口ポート3から流入し
た大気がバイパス流路13に設けられているオリフィス
14を通って出口ポート4に若干流れるが、オリフィス
14は真空系5の真空機能を低下させない程度のごく少
量の空気を流すように設計されている。
においても、吸引室28はバイパス流路13により出口
ポート4に連通しているので、入口ポート3から流入し
た大気がバイパス流路13に設けられているオリフィス
14を通って出口ポート4に若干流れるが、オリフィス
14は真空系5の真空機能を低下させない程度のごく少
量の空気を流すように設計されている。
【0043】すなわち、その出口ポート4に流れ込む大
気圧の空気を、図3に示した真空系5の真空タンク26
が受け入れ、その真空タンク26内の真空度が所定の真
空度よりも低下したときには、真空ポンプ27を作動さ
せることによって真空タンク26内を再び所定の真空度
に保つことができる空気の通過流量に抑えるように、オ
リフィス14を設定している。
気圧の空気を、図3に示した真空系5の真空タンク26
が受け入れ、その真空タンク26内の真空度が所定の真
空度よりも低下したときには、真空ポンプ27を作動さ
せることによって真空タンク26内を再び所定の真空度
に保つことができる空気の通過流量に抑えるように、オ
リフィス14を設定している。
【0044】また、バキュームパッド22に吸着させて
目的とする位置まで運搬した吸着対象物30をバキュー
ムパッド22から分離させるときには、図3に示した切
換弁18を同図で左方へ移動させる切換位置にする。そ
うすれば、フィルタ25を介した大気が切換弁18を通
ってバキュームパッド用制御弁1の出口ポート4に流れ
込むので、その出口ポート4が大気圧になる。また、そ
の出口ポート4の大気がバイパス流路13のオリフィス
14を通って入口ポート3に流れ、それがさらにバキュ
ームパッド22内の吸引室28にまで流れる。
目的とする位置まで運搬した吸着対象物30をバキュー
ムパッド22から分離させるときには、図3に示した切
換弁18を同図で左方へ移動させる切換位置にする。そ
うすれば、フィルタ25を介した大気が切換弁18を通
ってバキュームパッド用制御弁1の出口ポート4に流れ
込むので、その出口ポート4が大気圧になる。また、そ
の出口ポート4の大気がバイパス流路13のオリフィス
14を通って入口ポート3に流れ、それがさらにバキュ
ームパッド22内の吸引室28にまで流れる。
【0045】さらに、ポペット9がスプリング11の付
勢力により押し下げられて流路10が開いている状態で
は出口ポート4からポペット9に形成されている絞り流
路12を通っても入口ポート3に大気が流れる。したが
って、吸引室28が大気圧になる。このようにして、吸
引室28内が大気圧になることにより、バキュームパッ
ド22は吸引力を失うので、それまで下面に吸着してい
た吸着対象物30がバキュームパッド22から離れる。
勢力により押し下げられて流路10が開いている状態で
は出口ポート4からポペット9に形成されている絞り流
路12を通っても入口ポート3に大気が流れる。したが
って、吸引室28が大気圧になる。このようにして、吸
引室28内が大気圧になることにより、バキュームパッ
ド22は吸引力を失うので、それまで下面に吸着してい
た吸着対象物30がバキュームパッド22から離れる。
【0046】このように、このバキュームパッド用制御
弁1を使用した運搬システムは、バキュームパッド22
の下面の全域が吸着対象物30に接触しているときは、
理論通りの吸着力を発生させて吸着対象物30を確実に
吸着して、それを目的とする場所に運搬することができ
る。また、バキュームパッド22が図5で説明したよう
に吸着対象物30に対して不十分な接触状態にあるとき
には、図1に示した入口ポート3と出口ポート4との差
圧によりポペット9が流路10を閉じる位置に自動的に
変位するので、真空系5のエネルギ損失(不要な大気が
真空系5に大量に流れることにより著しい真空度の低下
に伴う真空ポンプ27の連続作動)を防止することがで
きる。さらに、吸着対象物30を中途半端な吸引力で持
ち上げてしまうようなこともないので、吸着対象物30
を運搬途中の過程で落下させてしまう恐れもない。
弁1を使用した運搬システムは、バキュームパッド22
の下面の全域が吸着対象物30に接触しているときは、
理論通りの吸着力を発生させて吸着対象物30を確実に
吸着して、それを目的とする場所に運搬することができ
る。また、バキュームパッド22が図5で説明したよう
に吸着対象物30に対して不十分な接触状態にあるとき
には、図1に示した入口ポート3と出口ポート4との差
圧によりポペット9が流路10を閉じる位置に自動的に
変位するので、真空系5のエネルギ損失(不要な大気が
真空系5に大量に流れることにより著しい真空度の低下
に伴う真空ポンプ27の連続作動)を防止することがで
きる。さらに、吸着対象物30を中途半端な吸引力で持
ち上げてしまうようなこともないので、吸着対象物30
を運搬途中の過程で落下させてしまう恐れもない。
【0047】そして、バキュームパッド用制御弁1は、
上述したようにバキュームパッド22の位置が吸着対象
物30から全て、あるいはその一部が外れた位置にセッ
トされたときにはポペット9が自動的に流路10を閉じ
る位置に変位するので、前述した従来のバキュームパッ
ドを使用した運搬システムのように、流路の真空度合い
を監視する真空スイッチと、その真空スイッチによる真
空度の検知結果により動作させる電磁切換弁とを各バキ
ュームパッドに対応させてそれぞれ設ける必要がないの
で、その分だけ構成を簡単にすることができると共にシ
ステム全体を小型にすることができる。また、システム
全体を安価に製作することができる。
上述したようにバキュームパッド22の位置が吸着対象
物30から全て、あるいはその一部が外れた位置にセッ
トされたときにはポペット9が自動的に流路10を閉じ
る位置に変位するので、前述した従来のバキュームパッ
ドを使用した運搬システムのように、流路の真空度合い
を監視する真空スイッチと、その真空スイッチによる真
空度の検知結果により動作させる電磁切換弁とを各バキ
ュームパッドに対応させてそれぞれ設ける必要がないの
で、その分だけ構成を簡単にすることができると共にシ
ステム全体を小型にすることができる。また、システム
全体を安価に製作することができる。
【0048】なお、図1及び図2では、絞り流路12を
ポペット9に形成するようにした場合の例を示したが、
この絞り流路は図6に示すように、ポペット摺動孔6の
内壁面に絞り流路12′として形成し、その絞り流路1
2′によりポペット9が流路10を開いているときに入
口ポート3と出口ポート4とを連通させるようにして
も、図1のバキュームパッド用制御弁1と同様の作用効
果を奏する。
ポペット9に形成するようにした場合の例を示したが、
この絞り流路は図6に示すように、ポペット摺動孔6の
内壁面に絞り流路12′として形成し、その絞り流路1
2′によりポペット9が流路10を開いているときに入
口ポート3と出口ポート4とを連通させるようにして
も、図1のバキュームパッド用制御弁1と同様の作用効
果を奏する。
【0049】また、図1で説明したバキュームパッド用
制御弁1をバキュームパッドユニット20に直接連結す
るネジ部は、図7に示すように下部バルブボディ8′側
に雌ネジ部8bを形成し、その雌ネジ部8bに対応させ
てバキュームパッドユニット20′のホルダ21′側に
雄ネジ部21cを突設するようにしてもよい。
制御弁1をバキュームパッドユニット20に直接連結す
るネジ部は、図7に示すように下部バルブボディ8′側
に雌ネジ部8bを形成し、その雌ネジ部8bに対応させ
てバキュームパッドユニット20′のホルダ21′側に
雄ネジ部21cを突設するようにしてもよい。
【0050】図8はバキュームパッド及びバキュームパ
ッド用制御弁を複数個並べて配置するようにした運搬シ
ステムの実施の形態を示す正面図である。このバキュー
ムパッド用制御弁を使用した運搬システムは、図1乃至
図5で説明したバキュームパッド22を装着したバキュ
ームパッド用制御弁1を、例えば一列に複数個(この例
では5個の場合を示しているが、その数は適宜増減でき
る)並べて配置し、その各バキュームパッド用制御弁1
の出口ポート4をそれぞれホース等により1つの流路4
0に連通させ、その流路40を真空系5に切換弁18を
介して接続している。
ッド用制御弁を複数個並べて配置するようにした運搬シ
ステムの実施の形態を示す正面図である。このバキュー
ムパッド用制御弁を使用した運搬システムは、図1乃至
図5で説明したバキュームパッド22を装着したバキュ
ームパッド用制御弁1を、例えば一列に複数個(この例
では5個の場合を示しているが、その数は適宜増減でき
る)並べて配置し、その各バキュームパッド用制御弁1
の出口ポート4をそれぞれホース等により1つの流路4
0に連通させ、その流路40を真空系5に切換弁18を
介して接続している。
【0051】この運搬システムによれば、運搬する吸着
対象物30が図示のように間隔をあけて置かれていた
り、不規則に並べられていたりしたときでも、複数個並
べられている各バキュームパッド22をパッドホルダ4
1と一体で下降させて吸着対象物30に接触させた後に
吸引を開始させればよい。そうすれば、前述したように
吸着対象物30に完全に密着しバキュームパッド22だ
けが有効に吸引力を吸着対象物30に対して作用させ、
それ以外のバキュームパッド22からは大気が導入され
ることにより、そのバキュームパッド22に対応して設
けられているバキュームパッド用制御弁1の流路10
(図1参照)が自動的に閉じられて吸盤機能が停止され
るので、真空系5の真空度を著しく低下させてしまうよ
うなことがない。
対象物30が図示のように間隔をあけて置かれていた
り、不規則に並べられていたりしたときでも、複数個並
べられている各バキュームパッド22をパッドホルダ4
1と一体で下降させて吸着対象物30に接触させた後に
吸引を開始させればよい。そうすれば、前述したように
吸着対象物30に完全に密着しバキュームパッド22だ
けが有効に吸引力を吸着対象物30に対して作用させ、
それ以外のバキュームパッド22からは大気が導入され
ることにより、そのバキュームパッド22に対応して設
けられているバキュームパッド用制御弁1の流路10
(図1参照)が自動的に閉じられて吸盤機能が停止され
るので、真空系5の真空度を著しく低下させてしまうよ
うなことがない。
【0052】したがって、木材等の吸着対象物30を、
全面接触しているバキュームパッド22のみにより吸着
して、それを目的とする場所に確実に運搬することがで
きる。なお、このようにして吸着運搬できる吸着対象物
30は、木材以外にダンボール,鉄板,ガラス等、バキ
ュームパッド22で吸着することができ、それを持ち上
げたときに保持できる重量のものであれば、いずれのも
のであっても可能である。
全面接触しているバキュームパッド22のみにより吸着
して、それを目的とする場所に確実に運搬することがで
きる。なお、このようにして吸着運搬できる吸着対象物
30は、木材以外にダンボール,鉄板,ガラス等、バキ
ュームパッド22で吸着することができ、それを持ち上
げたときに保持できる重量のものであれば、いずれのも
のであっても可能である。
【0053】図9は多数のバキュームパッドを互いに接
近させて配置して運搬システムを構成した実施の形態を
示す正面図、図10は同じくそのバキュームパッドの配
列状態を示す平面図である。このバキュームパッド用制
御弁を使用した運搬システムは、一列に互いに接近させ
て31個(その数は適宜増減できる)の吸引室48aを
並べて配置した多連形のバキュームパッド48を設け、
その31個の吸引室48a(図10の上部に位置を示す
NOを一部付している)に、各バキュームパッド用制御
弁1の入口ポート3(図1参照)が連通するようにし、
その各バキュームパッド用制御弁1(図9では簡略化し
て図示している)をホルダ45で保持し、各バキューム
パッド用制御弁1の出口ポート4(図1参照)をそれぞ
れホース等により1つの流路50に連通させ、その流路
50を切換弁18を介して真空系5に接続している。
近させて配置して運搬システムを構成した実施の形態を
示す正面図、図10は同じくそのバキュームパッドの配
列状態を示す平面図である。このバキュームパッド用制
御弁を使用した運搬システムは、一列に互いに接近させ
て31個(その数は適宜増減できる)の吸引室48aを
並べて配置した多連形のバキュームパッド48を設け、
その31個の吸引室48a(図10の上部に位置を示す
NOを一部付している)に、各バキュームパッド用制御
弁1の入口ポート3(図1参照)が連通するようにし、
その各バキュームパッド用制御弁1(図9では簡略化し
て図示している)をホルダ45で保持し、各バキューム
パッド用制御弁1の出口ポート4(図1参照)をそれぞ
れホース等により1つの流路50に連通させ、その流路
50を切換弁18を介して真空系5に接続している。
【0054】このバキュームパッド用制御弁を使用した
運搬システムは、例えば図9に示したようにホルダ45
を図示の位置に移動させることにより31個の吸引室4
8aを有するバキュームパッド48を図示の位置にし、
それを吸着対象物30A〜30Eに接触させると、図1
0に示すように6,7,13,19,25及び26個目
に位置する各吸引室48aが、吸着対象物30A〜30
Eにそれぞれ完全には接触しない。
運搬システムは、例えば図9に示したようにホルダ45
を図示の位置に移動させることにより31個の吸引室4
8aを有するバキュームパッド48を図示の位置にし、
それを吸着対象物30A〜30Eに接触させると、図1
0に示すように6,7,13,19,25及び26個目
に位置する各吸引室48aが、吸着対象物30A〜30
Eにそれぞれ完全には接触しない。
【0055】しかしながら、この状態で切換弁18を図
9に示す切換位置にして真空系5により吸引を開始させ
ると、前述した各実施の形態と同様に、その不完全な接
触状態により吸引室48aに大気が流入する各6,7,
13,19,25及び26個目に位置する各吸引室48
aに対応してそれぞれ配設されている各バキュームパッ
ド用制御弁1が流路10(図1参照)を自動的に閉じるよ
うになる(自動遮断)。
9に示す切換位置にして真空系5により吸引を開始させ
ると、前述した各実施の形態と同様に、その不完全な接
触状態により吸引室48aに大気が流入する各6,7,
13,19,25及び26個目に位置する各吸引室48
aに対応してそれぞれ配設されている各バキュームパッ
ド用制御弁1が流路10(図1参照)を自動的に閉じるよ
うになる(自動遮断)。
【0056】したがって、その流路10を閉じた各バキ
ュームパッド用制御弁1は、図1で説明したバイパス流
路13に設けられているオリフィス14を通して僅かな
大気が出口ポート4から図9の真空系5に流れるだけで
あり、その真空系5の真空度を著しく低下させるような
ことがないので、バキュームパッド48のうち吸着対象
物30A〜30Eに完全に密着しているその他の各吸引
室48aにより、吸着対象物30A〜30Eを確実に吸
着して、それを目的とする位置に運搬することができ
る。
ュームパッド用制御弁1は、図1で説明したバイパス流
路13に設けられているオリフィス14を通して僅かな
大気が出口ポート4から図9の真空系5に流れるだけで
あり、その真空系5の真空度を著しく低下させるような
ことがないので、バキュームパッド48のうち吸着対象
物30A〜30Eに完全に密着しているその他の各吸引
室48aにより、吸着対象物30A〜30Eを確実に吸
着して、それを目的とする位置に運搬することができ
る。
【0057】このように、多連形のバキュームパッド4
8を使用して運搬システムを構成すれば、前述したよう
に個々のバキュームパッドを複数組み合わせた場合と同
様の作用効果を奏することができながら、装置全体を小
型でシンプルにすることができる。また、コスト面でも
安価になる。
8を使用して運搬システムを構成すれば、前述したよう
に個々のバキュームパッドを複数組み合わせた場合と同
様の作用効果を奏することができながら、装置全体を小
型でシンプルにすることができる。また、コスト面でも
安価になる。
【0058】そして、例えばバキュームパッドを34個
の吸引室を有する多連形とし、その多連形のバキューム
パッドを4系統組み合わせて合計で136個の吸引室に
より吸着対象物を吸着運搬する大型の運搬システムを構
成した場合には、従来の各バキュームパッド毎に真空ス
イッチと電磁切換弁を設けるものでは、それらをそれぞ
れ136個ずつ設ける必要があった。しかしながら、こ
の発明によるバキュームパッド用制御弁を使用した運搬
システムでは、その真空スイッチと電磁切換弁を設けた
としても、各系統毎にそれらを1個ずつ設け、合計でお
のおの4個ずつ設ければよいだけであるので、非常にシ
ステム全体を簡略化することができると共に、大幅なコ
ストダウンが図れる。
の吸引室を有する多連形とし、その多連形のバキューム
パッドを4系統組み合わせて合計で136個の吸引室に
より吸着対象物を吸着運搬する大型の運搬システムを構
成した場合には、従来の各バキュームパッド毎に真空ス
イッチと電磁切換弁を設けるものでは、それらをそれぞ
れ136個ずつ設ける必要があった。しかしながら、こ
の発明によるバキュームパッド用制御弁を使用した運搬
システムでは、その真空スイッチと電磁切換弁を設けた
としても、各系統毎にそれらを1個ずつ設け、合計でお
のおの4個ずつ設ければよいだけであるので、非常にシ
ステム全体を簡略化することができると共に、大幅なコ
ストダウンが図れる。
【0059】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によるバ
キュームパッド用制御弁を使用すれば、バキュームパッ
ドに吸着対象物を吸着させて運搬する運搬システムを、
少ない部品点数で安価に製作することができる。そし
て、そのバキュームパッド用制御弁を使用した運搬シス
テムは、バキュームパッド毎に真空系との間の流路に電
磁切換弁と、その流路の真空度合いを監視する真空スイ
ッチとを設ける必要がないので、システム全体を小型で
且つ安価にすることができる。
キュームパッド用制御弁を使用すれば、バキュームパッ
ドに吸着対象物を吸着させて運搬する運搬システムを、
少ない部品点数で安価に製作することができる。そし
て、そのバキュームパッド用制御弁を使用した運搬シス
テムは、バキュームパッド毎に真空系との間の流路に電
磁切換弁と、その流路の真空度合いを監視する真空スイ
ッチとを設ける必要がないので、システム全体を小型で
且つ安価にすることができる。
【0060】また、真空スイッチの設定圧を真空システ
ムの能力に合わせてその都度設定したり、その設定圧を
吸着対象物に応じてその都度変えたりする必要もないの
で、非常に操作性がよい。さらに、バキュームパッドを
多数設ける大型の運搬システムとした場合でも、バキュ
ームパッドのいずれかのものが吸着対象物から完全に外
れたり、その一部が外れて位置したとしても、そのバキ
ュームパッドに対応するバキュームパッド用制御弁は入
り口ポートと出口ポートとの差圧により自動的にポペッ
ト摺動孔によって形成される流路が閉じられて、真空系
には絞りを有するバイパス流路を通した僅かな量の大気
が流れるだけであるため、真空系にそれほど大きな真空
タンクを必要としないので、その分だけシステム全体を
安価にすることができると共に小型にすることができ
る。
ムの能力に合わせてその都度設定したり、その設定圧を
吸着対象物に応じてその都度変えたりする必要もないの
で、非常に操作性がよい。さらに、バキュームパッドを
多数設ける大型の運搬システムとした場合でも、バキュ
ームパッドのいずれかのものが吸着対象物から完全に外
れたり、その一部が外れて位置したとしても、そのバキ
ュームパッドに対応するバキュームパッド用制御弁は入
り口ポートと出口ポートとの差圧により自動的にポペッ
ト摺動孔によって形成される流路が閉じられて、真空系
には絞りを有するバイパス流路を通した僅かな量の大気
が流れるだけであるため、真空系にそれほど大きな真空
タンクを必要としないので、その分だけシステム全体を
安価にすることができると共に小型にすることができ
る。
【0061】そして、予め吸着対象物をバキュームパッ
ドの各位置に合わせて相互間の間隔を考慮して並べてお
くようなことをしなくて済むので、使い勝手がよい。さ
らに、上述したように、バキュームパッド用制御弁は入
り口ポートと出口ポートとの差圧によりポペットが自動
的に変位して流路を開閉するので、流路内に電磁切換弁
を必要とする場合のように電源を必要としない。また、
従来の弁の開閉動作を電気信号により行うものの場合に
は、電気系統の故障により誤動作を起こす恐れがあった
が、その心配もないので信頼性の高い運搬システムにす
ることができる。
ドの各位置に合わせて相互間の間隔を考慮して並べてお
くようなことをしなくて済むので、使い勝手がよい。さ
らに、上述したように、バキュームパッド用制御弁は入
り口ポートと出口ポートとの差圧によりポペットが自動
的に変位して流路を開閉するので、流路内に電磁切換弁
を必要とする場合のように電源を必要としない。また、
従来の弁の開閉動作を電気信号により行うものの場合に
は、電気系統の故障により誤動作を起こす恐れがあった
が、その心配もないので信頼性の高い運搬システムにす
ることができる。
【図1】この発明によるバキュームパッド用制御弁の一
実施形態例をバキュームパッドを装着した状態で示す縦
断面図である。
実施形態例をバキュームパッドを装着した状態で示す縦
断面図である。
【図2】同じくそのバキュームパッド用制御弁を片側半
分を断面状態にして示す構成図である。
分を断面状態にして示す構成図である。
【図3】同じくそのバキュームパッド用制御弁を使用し
た運搬システムの一例を示す概略構成図である。
た運搬システムの一例を示す概略構成図である。
【図4】図1のバキュームパッドの吸着面を説明するた
めの下面図である。
めの下面図である。
【図5】図3の運搬システムでバキュームパッドの一部
が吸着対象物から外れてセットされた状態を示す概略図
である。
が吸着対象物から外れてセットされた状態を示す概略図
である。
【図6】絞り流路をポペット摺動孔の内壁面に形成する
ようにした実施の形態を示す図2と同様な構成図であ
る。
ようにした実施の形態を示す図2と同様な構成図であ
る。
【図7】バキュームパッド用制御弁の下部バルブボディ
側に雌ネジ部を形成しバキュームパッドユニットのホル
ダ側に雄ネジ部を突設するようにした実施の形態を部分
的に示す縦断面図である。
側に雌ネジ部を形成しバキュームパッドユニットのホル
ダ側に雄ネジ部を突設するようにした実施の形態を部分
的に示す縦断面図である。
【図8】バキュームパッド及びバキュームパッド用制御
弁を複数個並べて配置するようにした運搬システムの実
施の形態を示す正面図である。
弁を複数個並べて配置するようにした運搬システムの実
施の形態を示す正面図である。
【図9】多数のバキュームパッドを互いに接近させて配
置して運搬システムを構成した実施の形態を示す正面図
である。
置して運搬システムを構成した実施の形態を示す正面図
である。
【図10】同じくそのバキュームパッドの配列状態を示
す平面図である。
す平面図である。
【図11】従来のバキューム運搬装置の一例を示す概略
構成図である。
構成図である。
1:バキュームパッド用制御弁 2:バルブ本体 3:入口ポート 4:出口ポート 5:真空系 6:ポペット摺動孔 8a,21c:雄ネジ部 8b,21a:雌ネジ部 9:ポペット 10:流路 11:スプリング(付勢部材) 12:絞り流路 13:バイパス流路 14:オリフィス(絞り) 16:フィルタ 18:切換弁 22,48:バキュームパッド 30:吸着対象物
Claims (5)
- 【請求項1】 大気を受け入れる側の入口ポートと真空
系に接続される出口ポートとを有するバルブ本体に、前
記入口ポートと出口ポートを連通するポペット摺動孔を
形成し、該ポペット摺動孔にポペットを前記ポペット摺
動孔によって形成される流路を閉じる位置と開く位置と
に変位可能に嵌入させて該ポペットを付勢部材により前
記流路を開く側に付勢し、該ポペット又は前記ポペット
摺動孔の内壁面のいずれかに前記ポペットが前記開く位
置にあるときにのみ前記入口ポートと出口ポートとを連
通させる絞り流路を形成し、前記バルブ本体に常時前記
入口ポートと出口ポートとを連通させるバイパス流路を
設け、該バイパス流路に絞りを配設し、 前記入口ポートと出口ポートの圧力差が所定の値以上に
なったときに前記ポペットが前記出口ポート側よりも高
い圧力の入口ポート側の圧力により前記付勢部材の付勢
力に抗して移動されて前記流路を閉じる位置に移動する
ようにしたことを特徴とするバキュームパッド用制御
弁。 - 【請求項2】 請求項1記載のバキュームパッド用制御
弁において、前記バルブ本体の入口ポートに、空気中に
混在する塵,埃等の細かな異物を除去するためのフィル
タを設けたことを特徴とするバキュームパッド用制御
弁。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載のバキュームパッド
用制御弁において、前記バルブ本体の前記入口ポートに
面する位置に、バキュームパッドに形成されたネジ部に
直接連結するための雄ネジ部又は雌ネジ部を形成したこ
とを特徴とするバキュームパッド用制御弁。 - 【請求項4】 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の
バキュームパッド用制御弁を使用した運搬システムであ
って、前記バキュームパッド用制御弁の入口ポートにバ
キュームパッドを装着すると共に出口ポートを真空系に
接続し、該出口ポートと真空系との間の流路に切換弁を
配設し、該切換弁を前記出口ポートを前記真空系に接続
する位置と該出口ポートを前記真空系から遮断して該出
口ポートに大気を導入する位置とに切換可能にしたこと
を特徴とするバキュームパッド用制御弁を使用した運搬
システム。 - 【請求項5】 請求項4記載のバキュームパッド用制御
弁を使用した運搬システムにおいて、前記バキュームパ
ッドを装着したバキュームパッド用制御弁を複数個並べ
て配置し、その各バキュームパッド用制御弁の出口ポー
トをそれぞれ1つの流路に連通させ、該流路が前記切換
弁を介して前記真空系に接続されていることを特徴とす
るバキュームパッド用制御弁を使用した運搬システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4420197A JPH10236759A (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | バキュームパッド用制御弁及びそれを使用した運搬システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4420197A JPH10236759A (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | バキュームパッド用制御弁及びそれを使用した運搬システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10236759A true JPH10236759A (ja) | 1998-09-08 |
Family
ID=12684962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4420197A Pending JPH10236759A (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | バキュームパッド用制御弁及びそれを使用した運搬システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10236759A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002079483A (ja) | 2000-09-06 | 2002-03-19 | Koganei Corp | 吸着搬送装置 |
| EP1331197A3 (en) * | 2002-01-26 | 2003-12-03 | Palamatic Handling Systems Limited | Vacuum lifting apparatus |
| WO2006048959A1 (ja) * | 2004-11-02 | 2006-05-11 | Mega Trade Corp | 吸着機構及び吸着装置 |
| JPWO2004094105A1 (ja) * | 2003-04-24 | 2006-07-13 | 株式会社ニコン | 真空吸着保持装置及び保持方法と、該保持装置を用いた研磨装置及びこの研磨装置を用いたデバイス製造方法 |
| JP3145202U (ja) * | 2008-07-16 | 2008-10-02 | サンアロイ工業株式会社 | 吸引支持装置 |
| JP2008238312A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Yasuo Yamanaka | 物品吸着装置 |
| JP3145653U (ja) * | 2008-08-04 | 2008-10-16 | サンアロイ工業株式会社 | 中空体用吸引支持装置 |
| KR101003995B1 (ko) | 2008-10-28 | 2010-12-31 | 현대제철 주식회사 | 여과형 그래브장치 |
| JP2012187679A (ja) * | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | チャック装置 |
| CN105093459A (zh) * | 2014-04-15 | 2015-11-25 | 玉晶光电(厦门)有限公司 | 吸附式定位装置及光学镜片的吸附定位方法 |
| WO2025204499A1 (ja) * | 2024-03-29 | 2025-10-02 | ミネベアミツミ株式会社 | 真空発生装置および真空ポンプ |
-
1997
- 1997-02-27 JP JP4420197A patent/JPH10236759A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002079483A (ja) | 2000-09-06 | 2002-03-19 | Koganei Corp | 吸着搬送装置 |
| EP1331197A3 (en) * | 2002-01-26 | 2003-12-03 | Palamatic Handling Systems Limited | Vacuum lifting apparatus |
| JP4505822B2 (ja) * | 2003-04-24 | 2010-07-21 | 株式会社ニコン | 研磨装置、研磨方法及び研磨装置を用いたデバイス製造方法 |
| JPWO2004094105A1 (ja) * | 2003-04-24 | 2006-07-13 | 株式会社ニコン | 真空吸着保持装置及び保持方法と、該保持装置を用いた研磨装置及びこの研磨装置を用いたデバイス製造方法 |
| WO2006048959A1 (ja) * | 2004-11-02 | 2006-05-11 | Mega Trade Corp | 吸着機構及び吸着装置 |
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| JP2012187679A (ja) * | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | チャック装置 |
| CN105093459A (zh) * | 2014-04-15 | 2015-11-25 | 玉晶光电(厦门)有限公司 | 吸附式定位装置及光学镜片的吸附定位方法 |
| CN105093459B (zh) * | 2014-04-15 | 2017-10-20 | 玉晶光电(厦门)有限公司 | 吸附式定位装置及光学镜片的吸附定位方法 |
| WO2025204499A1 (ja) * | 2024-03-29 | 2025-10-02 | ミネベアミツミ株式会社 | 真空発生装置および真空ポンプ |
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