JPH04123304A - 誘導型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
誘導型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH04123304A JPH04123304A JP24234090A JP24234090A JPH04123304A JP H04123304 A JPH04123304 A JP H04123304A JP 24234090 A JP24234090 A JP 24234090A JP 24234090 A JP24234090 A JP 24234090A JP H04123304 A JPH04123304 A JP H04123304A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【産業上の利用分野１
本発明は、磁気記録装置における記録媒体への書き込み
および読みだしを行う磁気ヘッドに係り、特に高密度磁
気記録に適した薄膜磁気ヘッドの磁気コアの改良に関す
るものである。 【従来の技術１ 第３図に従来の薄膜磁気ヘッドにおける磁気コア部分の
断面の一例を示す。図のように薄膜ヘツドは上部磁性膜
１０ａと下部磁性膜１０ｂからなる磁気コアとこれに挾
まれた導電層コイル２０からなり、コア先端の磁極部Ｐ
が媒体に対向して走行し、記録および再生が行なわれる
。 磁極磁性膜及びコイルはそれぞれ、スパッタリング法等
により磁性体層、導電層を基板に被着させた後、イオン
ミリング法等によりパターニングして作製する。 磁気コアは磁気記録媒体に垂直に対向する磁極先端Ｐと
、上下磁性膜間が徐々に広がりをもつ斜面部Ｓ、および
導電層を介する後部領域Ｂからなる。ヘッドの記録再生
効率を高め、磁気飽和を防止するために、後部コアＢは
できるだけ広い断面積をもつことが望ましく、また高密
度な記録再生を行なうために磁極先端の断面積はできる
だけ狭いほうが良い、平面形状については特開昭５５−
８４０１９号に記載のように、媒体に対向するトラック
幅にほぼ等しい幅をもつ矩形の磁極先端部Ｐに対し、後
部コアＢの磁性膜は徐々に広がりをもつものが設計され
ている。 断面構造については第３図の点線で示すように、上部磁
性膜１０ａ上にさらに磁性膜１０ｃを重ねることにより
後部コア領域の断面積を広くして磁気飽和を防止する方
法が考えられている。ただし斜面部Ｓは傾斜をもつため
、媒体対向面の磁極先端αのみを残してＳ及びＰ上に完
全に磁性膜１０Ｃを重ねることは難しい。従って記録再
生効率に大きく影響すると考えられる先端領域Ｐ及びＳ
で磁気飽和を防ぐためには、上下磁性膜１０ａ、１０ｂ
を厚くする必要がある。 【発明が解決しようとする課題】 この従来技術では磁性膜１０ａ、１０ｂそれぞれの膜厚
ｄ２が後部領域Ｂ、斜面部Ｓ、先端領域Ｐで一様である
ため、上記目的で磁極磁性膜を厚くすると磁極先端部ｔ
□も厚くなるという問題があった。すなわち磁気ギヤツ
ブ輻ｇ１を狭くしてもｔ工を薄くすることができないた
めに、磁極先端から急峻な磁界を発生させることができ
ず記録密度を高めるのに限界があった。 本発明の目的は高密度、高分解能でしかも効率よく記録
再生を行なうようにヘッドの磁気コア形状を改良するこ
とにある。
および読みだしを行う磁気ヘッドに係り、特に高密度磁
気記録に適した薄膜磁気ヘッドの磁気コアの改良に関す
るものである。 【従来の技術１ 第３図に従来の薄膜磁気ヘッドにおける磁気コア部分の
断面の一例を示す。図のように薄膜ヘツドは上部磁性膜
１０ａと下部磁性膜１０ｂからなる磁気コアとこれに挾
まれた導電層コイル２０からなり、コア先端の磁極部Ｐ
が媒体に対向して走行し、記録および再生が行なわれる
。 磁極磁性膜及びコイルはそれぞれ、スパッタリング法等
により磁性体層、導電層を基板に被着させた後、イオン
ミリング法等によりパターニングして作製する。 磁気コアは磁気記録媒体に垂直に対向する磁極先端Ｐと
、上下磁性膜間が徐々に広がりをもつ斜面部Ｓ、および
導電層を介する後部領域Ｂからなる。ヘッドの記録再生
効率を高め、磁気飽和を防止するために、後部コアＢは
できるだけ広い断面積をもつことが望ましく、また高密
度な記録再生を行なうために磁極先端の断面積はできる
だけ狭いほうが良い、平面形状については特開昭５５−
８４０１９号に記載のように、媒体に対向するトラック
幅にほぼ等しい幅をもつ矩形の磁極先端部Ｐに対し、後
部コアＢの磁性膜は徐々に広がりをもつものが設計され
ている。 断面構造については第３図の点線で示すように、上部磁
性膜１０ａ上にさらに磁性膜１０ｃを重ねることにより
後部コア領域の断面積を広くして磁気飽和を防止する方
法が考えられている。ただし斜面部Ｓは傾斜をもつため
、媒体対向面の磁極先端αのみを残してＳ及びＰ上に完
全に磁性膜１０Ｃを重ねることは難しい。従って記録再
生効率に大きく影響すると考えられる先端領域Ｐ及びＳ
で磁気飽和を防ぐためには、上下磁性膜１０ａ、１０ｂ
を厚くする必要がある。 【発明が解決しようとする課題】 この従来技術では磁性膜１０ａ、１０ｂそれぞれの膜厚
ｄ２が後部領域Ｂ、斜面部Ｓ、先端領域Ｐで一様である
ため、上記目的で磁極磁性膜を厚くすると磁極先端部ｔ
□も厚くなるという問題があった。すなわち磁気ギヤツ
ブ輻ｇ１を狭くしてもｔ工を薄くすることができないた
めに、磁極先端から急峻な磁界を発生させることができ
ず記録密度を高めるのに限界があった。 本発明の目的は高密度、高分解能でしかも効率よく記録
再生を行なうようにヘッドの磁気コア形状を改良するこ
とにある。
上記目的は、上下磁極磁性膜の磁気ギャップと反対の側
面を削ることにより、磁気ギャップ幅を変えることなく
磁極先端の膜厚を薄くすることにより達成される。
面を削ることにより、磁気ギャップ幅を変えることなく
磁極先端の膜厚を薄くすることにより達成される。
第２図の磁極磁性膜の後部領域Ｂの膜厚ｄ１は例えば１
μｍ、先端領域Ｐの媒体対向面側の膜厚ｔ１は例えば０
．５μ重である。後部領域Ｂ、斜面部Ｓ及び先端ＰのＳ
側の領域では膜厚が充分厚く磁気飽和しない。同時に先
端の媒体対向面からは急峻な磁界を発生して高密度記録
を行ない、再生分解能も上がるので、高効率で高密度な
磁気記録が可能になる。
μｍ、先端領域Ｐの媒体対向面側の膜厚ｔ１は例えば０
．５μ重である。後部領域Ｂ、斜面部Ｓ及び先端ＰのＳ
側の領域では膜厚が充分厚く磁気飽和しない。同時に先
端の媒体対向面からは急峻な磁界を発生して高密度記録
を行ない、再生分解能も上がるので、高効率で高密度な
磁気記録が可能になる。
以下、本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の１実施例を示す薄膜磁気ヘッドの平面
図である。１０はスパッタリング法等で基板上に形成し
たパーマロイ、アモルファス等の磁性膜をホトレジスト
をマスクとしたイオンミリング法等を用いてパターニン
グした磁気コアで、２０は導体コイルである。磁気コア
の上部磁性層と下部磁性層は１１において接触してヨー
ク構造をなし、この上下磁性層の間に設けられた導体コ
イル２０は樹脂絶縁層により完全に絶縁されている。 第２図に第１図の磁気コアの線Ａ−Ａ’に沿って見た断
面図を示す０本実施例においては、磁性膜にアモルファ
ス合金を用いた。上部磁極磁性膜１０ａは磁気記録媒体
に垂直に対向する磁極先端Ｐと、上下磁性膜間が徐々に
広がりをもつ斜面部Ｓ、および導電層を介する後部領域
Ｂからなる。 ヘッド後部領域Ｂにおける上下磁性膜の膜厚ｄ１はそれ
ぞれ１．０μｍで、ギャップ長に相当する磁極先端Ｐの
長さはｇ工＝０．５μｍである。またギャップ深さはｇ
、＝ｏ、ｓμ腸とした。収束イオンビーム（ＦＩＢ）を
、図の矢印りで示す方向がら矢印に平行に照射して磁極
先端をエツチングし。 先端の膜厚がｔ ｚ ＝ ０ 、５μｍとなるようにし
た６媒体対向面からのエツチング深さはｔｚ＝０．５μ
層とし、斜面部Ｓより媒体に近い位置でｍ極膜厚が変わ
るようにした。ＦＩＢを用いれば幅および深さの両方向
共に、士約０．１μ烏の精度でエツチングが可能である
。このような磁気コアは先端Ｐの膜厚が薄くなっている
一部分以外では磁気飽和することなく同時に、先端から
は急峻な磁界を発生させることができるので、高効率で
高分解能な記録再生を可能にする。 第６図に、第２図に示す本実施例の磁極磁性膜のヘッド
と、ａｌ磁極膜厚全体で−様な従来のヘッドで実際に記
録再生を行い、周波数特性を測定した結果を示す。 従来のヘッドについては磁極膜厚ｄ□を１μｍと０．５
μｍと変えて比較した。記録媒体には膜厚０．４μｍの
γ−Ｆｅ２Ｑ、塗布媒体を用い、スペーシングは０．３
μｍとした。図のように、膜厚ｄ、が１μｍで−様な膜
では周波数特性が悪く、約１０ＸＰＣＩで出方が低下し
た。またｄｏが０．５μｍで−様な膜では、ｄｌが１μ
ｍのヘッドに比べて再生出力が約１／３低下した。これ
に対し本実施例ヘッドを用いたときは高出力で周波数特
性もよい結果が得られた０例えば２０〜６０ＫＰＣＩで
、再生出力は従来のヘッドの約２〜３倍増加した。 第７図に本実施例のヘッドで、磁極先端の膜厚ｔ１を変
えて記録密度とオーバーライドを測定した結果を示す。 記録再生の条件は上記と同じとした。ｔ□を大きくする
と記録密度は低下するが。 オーバーライドは向上する。ｔよが０．３〜０．８μｍ
では記録密度、オーバーライド特性ともよい結果が得ら
れた５ さらに第８図に、磁極先端のエツチング深さｔ２を変え
て同様の測定した結果を示す。ｔ２は大きくすると記録
密度は上がりオーバーライドは低下するので０．３〜０
．８μｍで記録密度、オーバーライド特性ともよい結果
が得られた。 第４図、第５図に他の実施例を示す。第４図の磁極磁性
膜は上部磁性膜１０ａのみ、第２図に示すヘッドと同様
に先端の膜厚を薄くした。また第５図の磁極磁性膜は矢
印Ｂ、Ｂ’の方向から斜めにＦＩＢを照射して、先端の
膜厚が徐々に厚くなるようにした。これらも、先端がら
は急峻な磁界を発生して高密度記録を行ない、後部領域
では膜厚が充分厚く磁気飽和しない構造をとっているの
で高効率で高密度な磁気記録が可能になる。 【発明の効果１ 本発明によれば、再生出力が大きく記録密度の高い蒋、
膜磁気ヘッドが得られるので、磁気記憶装置の性能を向
上することができる。
図である。１０はスパッタリング法等で基板上に形成し
たパーマロイ、アモルファス等の磁性膜をホトレジスト
をマスクとしたイオンミリング法等を用いてパターニン
グした磁気コアで、２０は導体コイルである。磁気コア
の上部磁性層と下部磁性層は１１において接触してヨー
ク構造をなし、この上下磁性層の間に設けられた導体コ
イル２０は樹脂絶縁層により完全に絶縁されている。 第２図に第１図の磁気コアの線Ａ−Ａ’に沿って見た断
面図を示す０本実施例においては、磁性膜にアモルファ
ス合金を用いた。上部磁極磁性膜１０ａは磁気記録媒体
に垂直に対向する磁極先端Ｐと、上下磁性膜間が徐々に
広がりをもつ斜面部Ｓ、および導電層を介する後部領域
Ｂからなる。 ヘッド後部領域Ｂにおける上下磁性膜の膜厚ｄ１はそれ
ぞれ１．０μｍで、ギャップ長に相当する磁極先端Ｐの
長さはｇ工＝０．５μｍである。またギャップ深さはｇ
、＝ｏ、ｓμ腸とした。収束イオンビーム（ＦＩＢ）を
、図の矢印りで示す方向がら矢印に平行に照射して磁極
先端をエツチングし。 先端の膜厚がｔ ｚ ＝ ０ 、５μｍとなるようにし
た６媒体対向面からのエツチング深さはｔｚ＝０．５μ
層とし、斜面部Ｓより媒体に近い位置でｍ極膜厚が変わ
るようにした。ＦＩＢを用いれば幅および深さの両方向
共に、士約０．１μ烏の精度でエツチングが可能である
。このような磁気コアは先端Ｐの膜厚が薄くなっている
一部分以外では磁気飽和することなく同時に、先端から
は急峻な磁界を発生させることができるので、高効率で
高分解能な記録再生を可能にする。 第６図に、第２図に示す本実施例の磁極磁性膜のヘッド
と、ａｌ磁極膜厚全体で−様な従来のヘッドで実際に記
録再生を行い、周波数特性を測定した結果を示す。 従来のヘッドについては磁極膜厚ｄ□を１μｍと０．５
μｍと変えて比較した。記録媒体には膜厚０．４μｍの
γ−Ｆｅ２Ｑ、塗布媒体を用い、スペーシングは０．３
μｍとした。図のように、膜厚ｄ、が１μｍで−様な膜
では周波数特性が悪く、約１０ＸＰＣＩで出方が低下し
た。またｄｏが０．５μｍで−様な膜では、ｄｌが１μ
ｍのヘッドに比べて再生出力が約１／３低下した。これ
に対し本実施例ヘッドを用いたときは高出力で周波数特
性もよい結果が得られた０例えば２０〜６０ＫＰＣＩで
、再生出力は従来のヘッドの約２〜３倍増加した。 第７図に本実施例のヘッドで、磁極先端の膜厚ｔ１を変
えて記録密度とオーバーライドを測定した結果を示す。 記録再生の条件は上記と同じとした。ｔ□を大きくする
と記録密度は低下するが。 オーバーライドは向上する。ｔよが０．３〜０．８μｍ
では記録密度、オーバーライド特性ともよい結果が得ら
れた５ さらに第８図に、磁極先端のエツチング深さｔ２を変え
て同様の測定した結果を示す。ｔ２は大きくすると記録
密度は上がりオーバーライドは低下するので０．３〜０
．８μｍで記録密度、オーバーライド特性ともよい結果
が得られた。 第４図、第５図に他の実施例を示す。第４図の磁極磁性
膜は上部磁性膜１０ａのみ、第２図に示すヘッドと同様
に先端の膜厚を薄くした。また第５図の磁極磁性膜は矢
印Ｂ、Ｂ’の方向から斜めにＦＩＢを照射して、先端の
膜厚が徐々に厚くなるようにした。これらも、先端がら
は急峻な磁界を発生して高密度記録を行ない、後部領域
では膜厚が充分厚く磁気飽和しない構造をとっているの
で高効率で高密度な磁気記録が可能になる。 【発明の効果１ 本発明によれば、再生出力が大きく記録密度の高い蒋、
膜磁気ヘッドが得られるので、磁気記憶装置の性能を向
上することができる。
第１図は本発明の１実施例の薄膜磁気記録用ヘッドの平
面図、第２図は第１図の磁気コアの線Ａ−Ａ’に沿って
見た断面図である。第３図は従来の磁気コアを第２図と
同様に見たの断面図、第４図および第５図は本発明の他
の実施例のそれぞれ磁気コア断面図である。また第６図
は従来および本実施例のヘッドの記録密度と再生出方の
関係を示す特性測定図である。第７図は本実施例のヘッ
ドについて磁極先端幅ｔ１と記録密度およびオーバーラ
イドの関係を示す特性測定図、第８図は磁極先端のエツ
チング深さｔ、と記録密度およびオーバーライドの関係
を示す特性測定図である。 符号の説明 １０・・・磁気コア磁性膜 １０ａ・・・上部磁気コア第１層 １０ｂ・・・下部磁気コア １０ｃ・・・上部磁気コア第２層 １１・・・上下磁性膜接触部 ２０・・・導体コイル Ｂ・・・磁気コア後部領域 Ｓ・・・磁極斜面部 妬 目 循 図 ■ Δ 図 囁 ｔ。 冗 図
面図、第２図は第１図の磁気コアの線Ａ−Ａ’に沿って
見た断面図である。第３図は従来の磁気コアを第２図と
同様に見たの断面図、第４図および第５図は本発明の他
の実施例のそれぞれ磁気コア断面図である。また第６図
は従来および本実施例のヘッドの記録密度と再生出方の
関係を示す特性測定図である。第７図は本実施例のヘッ
ドについて磁極先端幅ｔ１と記録密度およびオーバーラ
イドの関係を示す特性測定図、第８図は磁極先端のエツ
チング深さｔ、と記録密度およびオーバーライドの関係
を示す特性測定図である。 符号の説明 １０・・・磁気コア磁性膜 １０ａ・・・上部磁気コア第１層 １０ｂ・・・下部磁気コア １０ｃ・・・上部磁気コア第２層 １１・・・上下磁性膜接触部 ２０・・・導体コイル Ｂ・・・磁気コア後部領域 Ｓ・・・磁極斜面部 妬 目 循 図 ■ Δ 図 囁 ｔ。 冗 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、上部及び下部磁性薄膜からなる磁気コアにおいて、
上下磁性膜あるいはどちらか一方の磁性膜の膜厚が、磁
気ギャップと反対の側面を削ることにより、磁気記録媒
体に対向する磁極先端で薄くなっていることを特徴とす
る誘導型薄膜磁気ヘッド。 ２、特許請求の範囲第１項記載のヘッドにおいて媒体対
向面から０．３〜０．８μｍ、望ましくは０．４〜０．
６μｍの間において、上下磁性膜の膜厚、０．３〜０．
８μｍ望ましくは０．４〜０．６μｍで、後ろの領域の
膜厚はこれより厚いことを特徴とする磁気ヘッド。 ３、特許請求の範囲第１項記載のヘッドにおいて磁極先
端部の膜厚を薄くした部分の長さをｔ＿２とし、先端か
ら上下部両磁極の磁性膜間隔が広がる位置までの距離を
ｇ＿２とするとき、 ｔ＿２＜ｇ＿２であることを特徴とする誘導型薄膜磁気
ヘッド。 ４、少なくとも、磁性体層、導電体層および絶縁体層を
基板に被着する工程、被着した各層を所定の形状にパタ
ーニングする薄膜ヘッド作製工程を経たのち、ヘッドの
媒体対向面から媒体に対する垂直方向へ、収束イオンビ
ーム（ＦＩＢ）を照射して磁性体層の膜厚を所定の幅に
エッチングすることにより、上下磁性体層の膜厚を磁極
先端の媒体対向面のみ薄くすることを特徴とする誘導型
薄膜磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (11)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24234090A JPH04123304A (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 | 誘導型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
| EP91105963A EP0452846B1 (en) | 1990-04-16 | 1991-04-15 | Narrow track thin film magnetic head and fabrication method thereof |
| DE69117323T DE69117323T2 (de) | 1990-04-16 | 1991-04-15 | Dünnfilm-Magnetkopf mit schmaler Spurbreite und dessen Herstellungsverfahren |
| US07/893,042 US5402295A (en) | 1990-04-16 | 1992-06-03 | Magnetic recording head capable of defining narrow track width and magnetic recording apparatus using the same |
| US08/192,794 US5850326A (en) | 1990-04-16 | 1994-02-07 | Narrow track thin film magnetic head suitable for high density recording and reproducing operations and fabrication method thereof wherein an air bearing surface has at least one groove containing a non-magnetic electrically conductive layer |
| US09/084,321 US6111723A (en) | 1990-04-16 | 1998-05-26 | Narrow track thin film magnetic head suitable for high density recording and reproducing operations and fabrication method thereof wherein an air bearing surface has at least one groove containing a non-magnetic electrically conductive layer |
| US09/598,493 US6278578B1 (en) | 1990-04-16 | 2000-06-22 | Narrow track thin film head having a focused ion beam etched air bearing surface |
| US09/598,492 US6307707B1 (en) | 1990-04-16 | 2000-06-22 | Narrow track thin film head including magnetic poles machined by focused ion beam etching |
| US10/083,104 US6538844B2 (en) | 1990-04-16 | 2002-02-27 | Method of fabricating a magnetic head by focused ion beam etching |
| US10/340,785 US6665141B2 (en) | 1990-04-16 | 2003-01-13 | Magnetic head having track width defined by trench portions filled with magnetic shield material |
| US10/687,754 US6839200B2 (en) | 1990-04-16 | 2003-10-20 | Combination perpendicular magnetic head having shield material formed at both ends of an upper pole of a write element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24234090A JPH04123304A (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 | 誘導型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04123304A true JPH04123304A (ja) | 1992-04-23 |
Family
ID=17087742
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24234090A Pending JPH04123304A (ja) | 1990-04-16 | 1990-09-14 | 誘導型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04123304A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100408403B1 (ko) * | 2000-04-10 | 2003-12-06 | 삼성전자주식회사 | 수직 자기 기록 방법 및 장치 |
-
1990
- 1990-09-14 JP JP24234090A patent/JPH04123304A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100408403B1 (ko) * | 2000-04-10 | 2003-12-06 | 삼성전자주식회사 | 수직 자기 기록 방법 및 장치 |
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