JPH04124042A

JPH04124042A - 石英系ガラス母材の製造方法

Info

Publication number: JPH04124042A
Application number: JP2244815A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Yagi; 健八木; Hiroshi Hihara; 弘日原; Tsugio Sato; 継男佐藤; Takayuki Morikawa; 孝行森川; Kazuaki Yoshida; 和昭吉田
Original assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Current assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Priority date: 1990-09-15
Filing date: 1990-09-15
Publication date: 1992-04-24
Anticipated expiration: 2014-02-17
Also published as: JP2857242B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】ｒ産業上の利用分野」本発明は通信、光学の分野で用いられる光フアイバ母材
、イメージファイバ母材、ライトガイド母材、ロッドレ
ンズ母材などを作製するための石英系ガラス母材の製造
方法に関する。

ｒ従来の技術」通信、光学の分野において、光フアイバ母材イメージフ
ァイバ母材、ライトガイド母材、ロッドレンズ母材など
を作製するとき、っぎのような手段が採用されている。

ソ（７）−ツｔ＊、ＶＡＤ法、ＭＣＶＤ法、ＯＶＤ法Ｐ
ＣＶＤ法などの気相反応法である。

これら気相反応法は、Ｓ　ｉｃ　ｌａ　、　ＧｅＣｌａ
などのハロゲン化物を出発原料とし、その原料を酸化反
応または火炎加水分解反応させて、Ｓ　ｉ０２、ＧｅＯ
２などの酸化物粉末をつくり、かつ、当該酸化物粉末を
所定の堆積面（ターゲットの先端面、石英管の内周面、
マンドレルの外周面など）で堆積成長させ、これを透明
ガラス化することにより、石英系ガラス母材をつくる。

最近では、より高品質の光ファイ／へを得るために、全
合成ＶＡＤ法による石英系カラス母材の製造手段も採用
されている。

ちなみに、シングルモード光ファイバ用の母材作製では
、はじめ、ＶＡＤ法を介して通光な外径比のコア用多孔
質ガラス体、クラッド用多孔質ガラス体を同時合成し、
つぎに、これら多孔質ガラス体を透明ガラス化し、その
後、コア／クラッドの外径比を１．０／＋２５（ｇ鳳）
に仕上げるため（外径寸法の調整）、透明ガラス体の外
周にＯＶＤ法を介してクラ−７ド用の多孔質ガラス体を
堆積し、これを透明ガラス化している。

他の一つは、特開昭８４−５６３３１号公報などに開示
されているように、鋳込泥漿法を用いる方法である。

この方法は、はじめ、予備処理された石英系の微粉末カ
ラス原料を純水中に分散させてスラリーをつくり、つぎ
に、スラリーを成形型内に流しこんで脱水することによ
り、微粉末ガラス原料による多孔質カラス体を形成し、
その後、多孔質ガラス体を乾燥ならびに透明ガラス化す
る。

さらに、他の一つは、特開平！−２９４５４８号公報な
どに開示されているように、気相反応法とツルゲル法と
を併用する方法である。

この方法は、気相反応法を主体にして作製された棒状の
多孔質ガラス体（コア用ガラス＋クラッド用カラスの一
部）と、ゾルゲル法を介して作製された管状の多孔質ガ
ラス体（クラッド用ガラスの残部）とを、ロッドインチ
ューブの手法で組み合わせた後、これら多孔質ガラス体
を一括して透明ガラス化する。

上記以外の方法として、特開昭６０−２１０５３８号公
報、特開昭８１−２６８３２５号公報、およびＧｌａｓ
ｔｅｃｈ。

Ｂｅｒ、［ｉｏ　（１９８７年）などの文献には、パウ
ダーインチューブ法によるガラス母材の製造方法も開示
されている。

これらの方法は、同軸スクリュウコンベアを介してシリ
カガラスチューブ内にコア用、クラッド用などの石英系
微粉末カラス原料を充填、かつ圧縮した後、ンリカカラ
スチューブ内の微粉末ガラス原料を透明ガラス化する。

「発明が解決しようとする課題」上述した各方法には、以下に述へる技術的課題が残され
ている。

たとえば、気相反応法の場合、良品を得るための技術的
完成度は高いものの、酸化物粉末の堆積効率が３０〜６
０％と低く、設備の規模が大型化するなど、歩留り、製
品のコスト、設備の経済性に難点がみられる。

鋳込泥漿法は、簡易な設備にて高品質の多孔質ガラス体
を高生産することができるが、これ単独で導波路構造を
つくることができない。

したがって、鋳込泥漿法の場合、この方法自体を改善す
るか、あるいは、他の手段の介在を必要とするが、鋳込
泥漿法に関する公知例には、これについての技術示唆が
ない。

気相反応法とゾルゲル法とを併用する方法の場合、原料
であるアルコキシドのコストが高い、乾燥時のゲル状物
に割れが生じやすく母材の大型化がむずかしい、加水分
解反応時の制御難度が高いなど、これらの改善が望まれ
る。

パウダーインチューブ法の場合、シリカガラスチューブ
内にコア部、クラッド部を同時形成するものであるため
、これら両部の界面に気泡の発生原因をとりこんでしま
い、爾後の透明ガラス化において上記界面に発生した気
泡が、最終製品たとえば光ファイバの散乱損失を惹き起
こす。

他にも、パウダーインチューブ法の場合は、成形型とな
るシリカガラスチューブにより母材の仕上り寸法が決定
される不都合がある。

本発明はかかる技術的課題に鑑み、高品質の石英系カラ
ス母材を合理的、経済的に製造することのできる方法を
提供しようとするものである。

「課題を解決するための手段」特定発明（請求項１）に係る石英系ガラス母材の製造方
法は、所期の目的を達成するため、独立した二つの入口
部と共通した一つの出口部とにわたる二つの通路が、こ
れら再入口部、出口部間の合流部において同心状に合流
しており、上記両流路のうち、合流部に対して直線状に
連通ずる一つの通路には、その入口部から石英系のガラ
ス棒を、残る一つの通路には、その入口部から石英系の
ガラス微粉末を含む可塑性材料をそれぞれ送りこみ、か
つ、これらガラス棒、可塑性材料を上記合流部で合流さ
せることにより、ガラス棒の外周に可塑性材料によるガ
ラス微粉末成形体を形成し、これらガラス棒、ガラス微
粉末成形体を上記出口部から一体に押し出すことを特徴
とする。

関連発明（請求項２）に係る石英系ガラス母材の製造方
法は、所期の目的を達成するため、特定発明の方法にお
いて、ガラス棒用の通路内および／または通路外におい
てガラス棒の基端側を支持し、合流部においてガラス棒
の先端側を支持することを特徴とする。

「作用」特定発明の方法において石英系ガラス母材を製造すると
き、石英系のガラス棒の周囲に、いわゆる、押出成形手
段を介してガラス微粉末成形体を形成する。

この場合１石英系ガラス母材の軸心部となる石英系ガラ
ス棒は、下記の理由から、たとえば、ＶＡＤ法のごとき
火炎加水分解法とその後の処理手段とで作製されたもの
を用いる。

その一つは、技術的にほぼ完熟した火炎加水分解法を介
して母材の要部となるガラス棒を高品質につくれるから
であり、他の一つは、母材中に占めるガラス棒の体積率
が小さく、たとえ、加水分解法による酸化物粉末の堆積
効率が低くても、全体的にみた歩留りの低下が緩和され
、設備の大型化も回避できるからである。

特に、コア用ガラスの外周にクラッド用ガラスが一部形
成されているガラス棒の場合、これらガラス相互の界面
に気泡残留がないので望ましい。

特定発明における押出成形手段によるとき、ガラス棒、
可塑性材料を各通路内に送りこんで、ガラス棒の外周に
ガラス微粉末成形体を形成するだけであるから、経済的
な設備、簡易な工程で所要の成形体を歩留りよく成形す
ることができ、その後の処理にしても、ガラス微粉末成
形体を乾燥し、脱水、透明ガラス化するだけで足りる。

しかも、母材の軸心部が物性の安定したガラスＳ（硬質
）であるから、この上に形成されたガラス微粉末成形体
（可塑性物）が安定に支持され、外径の大きいガラス微
粉末成形体も容易に形成することができる。

その後、ガラス棒の外周にあるガラス微粉末成形体を乾
燥ならびに透明ガラス化するとき、軸心のガラス棒には
気泡がなく、かつ、ガラス微粉末成形体から発生した気
泡も、ガラス棒に侵入することなく外部へ逸散するので
、気泡残留が起こりがたい。

もっとも、コア用ガラスの外周にクラッド用ガラスが一
部形成されているガラス棒であれば、ガラス微粉末成形
体の透明ガラス化時に、たとえ、気泡が残留したとして
も、その部所がコア用ガラス、クラッド用ガラスの界面
から外れるので、既述の散乱損失が生じない。

したがって、特定発明の方法を介して導波路構造をもつ
石英系ガラス母材をつくるとき、高品質、高歩留り、製
品のコストダウン、設備の経済性などをはかることがで
きる。

関連発明の方法は、特定発明の方法を利用して所定の母
材を製造するとき、ガラス棒の両端を支持するから、ガ
ラス棒、ガラス微粉末成形体相互の偏心が抑制されて品
質がより高まる。

「実　施　例Ｊはじめ、第１図〜第３図に例示した本発明方法の実施例
を明する。

第１図におい又、機台１１上には、伝動手段を備えた原
動機（モータ）１２、ホッパ１３を有する一次混練室１
４、真空室１５、二次混練室１６が順次連結されて配置
されており、かつ、−次混練室１４内には原動機１２と
伝動軸１７とを介して回転される混練器（図示せず）が
内蔵されており、二次混練室１６内にも、原動機１２と
伝動軸１８とを介して回転される混練器（図示せず）が
内蔵されている。

第１図において、機台１９上にはクロスヘツド２０が配
置されている。

クロスヘラ）：’２０は、第２図に示すように、独立し
た二つの入口部２１．２２と、共通したーっの出口部２
３と、各入口部２１．２２から出口部２３にわたる二つ
の通路２４．２５と、これら再入口部２１．２２、出口
部２３間において内通路２４．２５の合流する合流部２
６とを備え、かつ、合流部２６において内通路２４．２
５が同心状に合流している。

この場合、一方の通路２４は合流部２６に対して直線状
に並んでいる。

かかるクロスへ一７ト２０において、一方の入口部２１
側にはガラス棒供給機（図示せず）が配置されており、
他方の入口部２２と前記二次混練室１６とが連結されて
いる。

第１図〜第３図において、石英系のガラス棒３１は、た
とえば、ＶＡＤ法のごとき火炎加水分解法により形成さ
れた多孔質ガラス体を脱水ならびに透明ガラス化したも
のからなる。

ガラスｓ３１は、−例としてコア用ガラス３２とその外
周のクラッド用ガラス３３とを歯大てなり、他側として
コア用ガラス３２のみからなる。

ガラス棒３１の一端または両端には、押出成形時のサポ
ート用、ダミー用として、適当な長さの付属ｓ３４が溶
接されている。

付属棒３４の材質としては、ガラス棒３１と同じ石英系
ガラスのほか、セラミックス、石英よりも低級のガラス
なども採用される。

第１図、第２図において、可塑性材料３５は、微粉末ガ
ラス原料（Ｓｉ０２）、望ましくは、粒径１１００ｐ以
下のＳｉＯ；＋微粒子を主原料としている。

可塑性材料３５には、上記主原料以外に、たとえば、フ
ッ素系、ボロン系の微粉末ドープ原料微粉末が屈折率制
御用の副原料として添加されることがある。

かかる可塑性材料３５は、微粉末ガラス原料のみか、ま
たは、微粉末ガラス原料と微粉末ドープ原料とが、純水
または成形助剤を含む純水で均質に混練されて調製され
たものであり、かかる調製によりｉｌｉ′Ｔ塑性が打字
されている。

この場合の成形助剤としては、ポリビニルアルコール、
ポリビニルブチラール、ポリエチレングリコール、メチ
ルセルロース、カルホキジメチルセルロース、エチルセ
ルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、グリセリン
のごとき有機物が適宜採用される。

ｌ１ｉＴ塑性材料３５における成形助剤の添加量は、微
粉末ガラス原料に対し、１〜２０ｖｔ＄程度である。

第１図〜第３図で述べた事項に基づく本発明方法の各具
体例を以下に説明する。

［具体例１］石英系のガラス棒３１として、５ｉ０２−Ｇｅ０２から
なるコア用ガラス３２と、純５ｉ０２からなるクラッド
用ガラス３３とを＠λたものを用いた。

このガラス棒３１は、ＶＡＤ法を介して作製された多孔
質ガラス体を常法により脱水ならびに透明ガラス化した
ものであり、コア用ガラヌ３２：クラット用ガラス３３
の外径比がｌ：３、コア用ガラス３２：クラー、ト用ガ
ラス３３のΔが０，３ｚで、直径が１５ｍｍ、長さが６
００鳳腸である。

ガラス棒３１の一端には、サポート用として、直径１５
１■、長さ３００１の石英ガラス製の付属棒３４がガラ
ス溶接されている。

可塑性材料３５としては、平均粒径０．７糾璽のシリカ
（Ｓｉ０７）粉末１０ｋｇに、ｐＨ８以上に調製された
水を３５ｗｔ＄加え、これを均質に撹拌Ｉ７たものを用
いた。

第１図、第２図において、ガラス棒３１の一端に付着し
ている付属棒３４を、クロスヘツド２０の入口部２１偏
に配置されているガラス棒供給Ｉ！（図示せず）により
保持して、ガラス棒３１の先端をクロスへラド２０の入
口部２１に望ませ、−次混練室１４内には、ホッパ１３
から可塑性材料３５を投入した後、ガラス棒供給機、原
動機１２を稼動させて各部を運転状態とする。

こうした場合、ガラス棒３１は、ガラス棒供給機を介し
てクロスヘツド２０の入口部２１より通路２４内へ送り
こまれ、−次泥練室１４内の可塑性材料３５は真空室１
５内、二次混練室１６内からクロスへラド２０の入口部
２２を経て３０ｋｇ／ｈの押出速度で通路２５内へ送り
こまれる。

以下、これらガラス棒３１、可塑性材料３５がクロスへ
ラド２０の合流部２６で合流したとき、ガラス体３１の
外周が可塑性材料３５により覆われ、さらにこれらガラ
ス棒３１、可塑性材料３５がクロスヘツド２０の出口部
２３、すなわち、ダイス部より押し出されたとき、ガラ
スｓ３１、付属棒３４の外周には、可塑性材料３５によ
る多孔質状のガラス微粉末成形体３６が形成される。

−Ｆ記押出成形に要した時間は１５分であった。

かくて、ガラス棒３１．付属棒３４の外周に可塑性材１
Ｉ４３５を形成した後、付属棒３４の外周に付着してい
るガラス微粉末成形体３８のみを取り除き、ガラス棒３
１の外周にあるガラス微粉末成形体３６を１１０℃の乾
燥器内で乾燥する。

乾燥後のガラス微粉末成形体３８は、外径が約３５１ｍ
φであり、相対密度が約５０％であった。

さらに、乾燥後のガラス微粉末成形体３６を常法により
脱水（１，３５０℃のＣＩ２雰囲気）、ならびに、透明
ガラス化（１８００℃のＨｅ、　ＣＩ２雰囲気）して、
光フアイバ母材（石英系ガラス母材）を得た。

その後、上記母材を周知の加熱延伸法により線引きして
、コア径１０ＡＬ＋＊φ、外径１２５μｍφの光フーイ
パをつくり、その線引き［宜後の光フアイバ外周に、紫
外線硬化性樹脂による外径４００　ｇｍφの被覆層を施
した。

具体例１の被覆光ファイバは、これの伝送特性が、従来
の全合成ＶＡＤ法を主体にして得られる光ファイバと同
等であった。

［具体例２］ガラス棒３１として、付属杯３４をもつ具体例１と同一
仕様のものを用いた。

口■塑性材料３５としては、ＶＡＤ法で合成された平均
粒径２Ｂｍのシリカ（Ｓｉ０２）粉末１０ｋｇに、結合
剤としてカルボキシセルロースのアンモニウム塩５ｗｔ
＄、可塑剤としてクリ１ノセリン１０ｅｒＨをそれぞれ
加え、これらを２０ｗｔ＄の水とともに均質に撹拌した
ものを用いた。

以下は、具体例１と同様に押出成形して、ガラスｓ３１
、付属棒３４の外周に、可塑性材料３５による多孔質状
のガラス微粉末成形体３６を形成した（押出成形時間＝
１５分）。

その後の乾燥処理も具体例１と同様にし、当該乾燥後、
ガラスｓ３Ｉの外周にあるガラス微粉末成形体３６を６
００℃で１０時間脱脂した。

これらの処理を終えたガラス微粉末成形体３６は、外径
が約３３履層φであり、相対密度が約５７％であった。

以下も、具体例１と同様に、ガラス微粉末成形体３６の
脱水、透明ガラス化、母材の線引き、ファイバ被覆など
を実施して、コア径１０ｇ■φ、外径１２５延■φ、被
覆外径４００川■φの被覆光ファイ／゛・を得た。

かかる被覆光ファイバも、具体例１と同等の伝送特性で
あった。

［具体例３］石英系のガラス棒３】として、Ｓ　１０２−ＧｅＯ？系
コア用ガラス３２のみからなるものを用いた。

このガラス棒３１は、既述のＶＡＤ法を介して作製され
た多孔質ガラス体を常法にて脱水ならびに透明ガラス化
したものであり、直径が４０ｍｍ、長さが６００■■で
ある。

ガラス棒３１の一端には、具体例１と同様、付属棒３４
がガラス溶接されている。

可塑性材料３５は、ＶＡＤ法により合成された平均粒径
１μ薦のフッ素ドープトシリカ粉末１０ｋｇに、具体例
２と同様の結合剤、ＯＩ塑剤、木を加えて、これらを均
質に撹拌したものである。

上記ガラス棒３１．１１Ｔ塑性材料３５を用いて、ガラ
ス微粉末成形体３Ｂの形成（押出成形時間＝８分）と乾
燥とを具体例１と同様に実施し、ガラス微粉末成形体３
６の脱脂を具体例２と同様に実施し、ガラス微粉末成形
体３６の脱水、透明ガラス化、母材の線引き、光フアイ
バ被覆などを具体例１と同様に実施した。

なお、脱脂後のガラス微粉末成形体３６は、外径約３３
１履φ、相対密度約５７ｚである。

具体例３により得られた被覆光ファイバは、コア径１０
０　μ露φ、外径１４５壓塵φ、被覆外枠５００ｇｍφ
であり、しかも、光ファイバは、ステップインデー２ク
ス型かつマルチモード伝送型にして、ＮＡ＝０．３と高
ＮＡであった。

かかる被覆光ファイバも、具体例１と同等の伝送特性を
保持していた。

上記のごとく具体的に実施される本発明方法の場合、ガ
ラス棒３１を継ぎ足すことにより、長尺のガラス棒外周
にガラス微粉末成形体３６を形成することができ、その
他、ガラス微粉末成形体３８を乾燥する際の雰囲気中に
不純物を除去するためのガスを供給することにより、ガ
ラス微粉末成形体３６を直接透明ガラス化することもで
きる。

つぎに、第４図〜第６図に例示した本発明方法の別の実
施例を説明する。

第４図〜第６図に示した押出機械４０の場合、独立した
二つの入口部４】、４２と、共通した一つの出口部４３
と、各入口部４１．４２から出口部４３にわたる二つの
通路４４．４５は、これら再入口部４１．４２、出口部
４３間において両道路４４．４５が合流する合流部４６
を備え、かつ、合流部４６において両道路４４．４５が
同心状に合流している。

一方の通路４４は、合流部４６に対して直線状に並んで
おり、これら直線状の通路４４、合流部４Ｂが、単一の
シリングで構成されている。

一方の通路４４内には、機械的手段を介して入口部４１
、出口部４３間を往復動することのできるプランジャ４
７が内蔵されており、プランジャ４７の先端面には、チ
ャック４８が備えられている。

他方の通路４５内には、通路４４および合流部４６と直
交する部分にオーガ４９が内蔵されており、オーガ４９
は、その軸端が通路４５に引き出されて図示しない原動
機、伝動手段を介して回転されるようになっている。

合流部４６内には、軸心部に支持孔５０を有する目板部
の支持部材５１が、出口部４３偏に近接して装着されて
いる。

上述した各構成部材は、−例として、窒化鋼からなり、
かつ、各入口部４１．４２、出口部４３、各通路４４．
４５、合流部４６の少なくとも内面、および、プランジ
ャ４７、オーガ４９、支持部材５１の表面などは、コン
タミナントの混入対策として、フッ素系樹脂（商品名テ
フロン）によりコーティングされている。

第４図〜第６図において、ガラスｓ３１、可塑性材料３
５などは、前記で述べたものと同様である。

第４図〜第６図で述べた事項に基づく本発明方法の具体
例を以下に説明する。

［具体例４］押出機械４０における各部の寸法について、入口部４１
、通路４４、合流部４６、出口部４３にわたる全長が８
００腸鳳であり、支持部材５１における各目孔の孔径が
１ｍｍφ、支持孔５０の内径が２０膳１φであり、さら
に、出口部４３の内径がＥｉ（１＋ｖφ、合流部４６端
から出口部４３わたる勾配が約３０°である。

ガラス棒３１としては、付属棒３４をもつ具体例１と同
一仕様のものを用い、可塑性材料３５も、具体例１と同
一仕様のものを用いた。

第４図〜第６図において、チャック４８により付属棒３
４を保持してガラス棒３１をプランジャ４７の先端面に
装着した後、これらガラス棒３１、プランジャ４７を入
口部４１から通路４４内に挿入し、ガラス棒３１の先端
側を支持部材５１の支持孔５０に通して、ガラス棒３１
を両端支持する。

かくて両端支持されたガラス棒３１は、入口部４１から
出口部４３にわたるシリンダの細心に精密に保持される
。

第４図〜第６図において、通路４５内に可塑性材料３５
を投入し、オーガ４９を介して通路４５内の可塑性材料
３５を通路４４内、合流部４６内に送りこむ。

以下は、オーガ４９を介して通路４５内の可塑性材料３
５を前記所定方向へ移送しつつ、プランジャ４７を出口
部４３側へ押しこんで、ガラス棒３１を同方向へ移動さ
せる。

こうした場合の合流部４６内では、ガラス棒３１が支持
部材５１の支持孔５０を通過し、可塑性材料３５が支持
部材５１の目孔を通過した後、ガラス棒３１の外周が可
塑性材料３５により覆われ、さらに、これらガラス棒３
１．可塑性材料３５が出口部２３すなわちダイス部より
押し出されたと息、ガラス棒４３、付属棒３４の外周に
は、可塑性材料３５による多孔質状のガラス微粉末成形
体３６が形成される。

その後、具体例１と同様、ガラス微粉末成形体３８の乾
燥、脱水、透明ガラス化、母材の線引き、ファイバ被覆
などを実施して、シングルモード型の被覆光ファイバを
得た。

具体例４における母材の外径変動率は約１ｚと低く、光
ファイバの伝送特性も、従来の全合成ＶＡＤ法を主体に
して得られる光ファイバと同等であった。

ｒ発明の効果」以上説明した通り、特定発明の方法によるときは、石英
系のガラス棒外周に押出成形手段を介して石英系のガラ
ス微粉末成形体を形成するので、製品の品質保持、原料
のコストダウン、歩留りの向上、製造時間の短縮、設備
の大型化回避など、これらを満足させて石英系ガラス母
材を合理的かつ経済的に製造することができ、関連発明
の方法によるときは、上記押出成形時のガラス棒を両端
支持するので、ガラス棒とガラス微粉末成形体との偏心
を抑制することができ、より高品質の製品が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明方法の一実施例を示した正面図
と要部拡大断面図１第３図は本発明方法に用いられるガ
ラス棒の側面図、第４図、第５図は本発明方法の他実施
例における作動状態の各断面図、第６図は、本発明方法
の他実施例におけるガラス棒の保持状態を示した端面図
である。１１・・・・・・・・・・機台１２・・・・・・・・・・原動機１３・・・・・・・・・・ホッパ１４・・・・・・・・・・−次混線室１５・・・・・・・・・・真空室１６・・・・・・・・・・二次混線室１７・・・・・・・・・・伝動軸１８・・・・・・・・・・伝動軸１９・・・・・・・・・・機台２０・・・・・・・・・・クロスヘツド２１、２２・・
・・・・入口部２３・・・・・・・・・・出口部２４．２５・・・・・・通路２６・・・・・・・・・・合流部３１・・・・・・・・・・ガラス棒３２・・・・・・・・・・コア用ガラス３３・・・・・
・・・・・クラッド用ガラス３４・・・・・・・・・・
付属棒３５・・・・・・・・・・可塑性材料３６・・・・・・・・・・ガラス微粉末成形体４０・・
・・・・・・・・押出機械４Ｌ４２・・・・・・入口部４３・・・・・・・・・・出口部４４．４５・・・・・・通路４６・・・・・・・・・・合流部４７・・・・・・・・・・プランジャ４８・・・・・・・・・・チャック４９・・・・・・・・・・オーガ５０・・・・・・・・・・支持孔５１・・・・・・・・・・支持部材

Claims

【特許請求の範囲】

（１）独立した二つの入口部と共通した一つの出口部と
にわたる二つの通路が、これら両入口部、出口部間の合
流部において同心状に合流しており、上記両流路のうち
、合流部に対して直線状に連通する一つの通路には、そ
の入口部から石英系のガラス棒を、残る一つの通路には
、その入口部から石英系のガラス微粉末を含む可塑性材
料をそれぞれ送りこみ、かつ、これらガラス棒、可塑性
材料を上記合流部で合流させて、ガラス棒の外周に可塑
性材料によるガラス微粉末成形体を形成し、これらガラ
ス棒、ガラス微粉末成形体を上記出口部から一体に押し
出すことを特徴とする石英系ガラス母材の製造方法。
（２）ガラス棒用の通路内および／または通路外におい
てガラス棒の基端側を支持し、合流部においてガラス棒
の先端側を支持する請求項１記載の石英系ガラス母材の
製造方法。