JPS6112855B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6112855B2 JPS6112855B2 JP52106610A JP10661077A JPS6112855B2 JP S6112855 B2 JPS6112855 B2 JP S6112855B2 JP 52106610 A JP52106610 A JP 52106610A JP 10661077 A JP10661077 A JP 10661077A JP S6112855 B2 JPS6112855 B2 JP S6112855B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- glass
- reaction
- fiber
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/02—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor
- C03B37/025—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor from reheated softened tubes, rods, fibres or filaments, e.g. drawing fibres from preforms
- C03B37/027—Fibres composed of different sorts of glass, e.g. glass optical fibres
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の利用分野
本発明は、光伝送に用いる光フアイバの製法に
関するものである。
関するものである。
(2) 従来技術
これまで低損失光フアイバの作製は殆んど石英
管の内壁に気相化学反応によつてコアとなるガラ
ス層を必要な厚みまで形成し、次いで石英の軟化
温度以上までガラス管を加熱してその断面が屈折
率の異なる２層あるいは多層の構造を持つような
ロツドとし、これを線引して光フアイバとする方
法を用いていた。第１図に従来法による光フアイ
バの作製装置を示す。原料であるSiCl4に屈折率
を制御するための添加物を加えた気体１を石英ガ
ラス管２の中に送り込む。石英管２はガラス旋盤
に装着され、回転すると同時に酸水素バーナー３
によつて加熱され、これによつて原料気体は酸化
されSiO2微粉末となつて管の内面に堆積すると
同時にガラス化する。この工程を堆積ガラス膜が
所定の厚みになるまでくり返し、その後石英管を
さらに加熱溶着してガラスロツドとなし、線引し
て光フアイバを得るのが従来法の代表的な例であ
る。この工程から理解できるように従来法は以下
のような問題点を有する。第１はガラス膜の堆
積、溶着、線引の３つの工程を必要とすることで
あり、第２は従来法は本質的にバツジ処理であ
り、原料からフアイバまでの連続化が非常に困難
なことである。
管の内壁に気相化学反応によつてコアとなるガラ
ス層を必要な厚みまで形成し、次いで石英の軟化
温度以上までガラス管を加熱してその断面が屈折
率の異なる２層あるいは多層の構造を持つような
ロツドとし、これを線引して光フアイバとする方
法を用いていた。第１図に従来法による光フアイ
バの作製装置を示す。原料であるSiCl4に屈折率
を制御するための添加物を加えた気体１を石英ガ
ラス管２の中に送り込む。石英管２はガラス旋盤
に装着され、回転すると同時に酸水素バーナー３
によつて加熱され、これによつて原料気体は酸化
されSiO2微粉末となつて管の内面に堆積すると
同時にガラス化する。この工程を堆積ガラス膜が
所定の厚みになるまでくり返し、その後石英管を
さらに加熱溶着してガラスロツドとなし、線引し
て光フアイバを得るのが従来法の代表的な例であ
る。この工程から理解できるように従来法は以下
のような問題点を有する。第１はガラス膜の堆
積、溶着、線引の３つの工程を必要とすることで
あり、第２は従来法は本質的にバツジ処理であ
り、原料からフアイバまでの連続化が非常に困難
なことである。
(3) 発明の目的
本発明は、これまでの通常の方法では必須のプ
ロセスであつた溶着を経ることなく、直接多層の
断面構造を持つたガラスロツドを作製し、これを
線引して光フアイバを得ること、すなわち工程の
簡略化と、工程の連続化を目的とするものであ
る。
ロセスであつた溶着を経ることなく、直接多層の
断面構造を持つたガラスロツドを作製し、これを
線引して光フアイバを得ること、すなわち工程の
簡略化と、工程の連続化を目的とするものであ
る。
(4) 発明の総括説明
上記の目的を達成するために、本発明はガラス
管の内側にそう入したパイプから原料となる気体
を送り込み、管の外側に設置したマイクロ波キヤ
ビテイーによつて管内にプラズマを励起し、これ
による分解反応によつて原料ガスをガラス化し、
これを管の長手方向に順次密に堆積させるもので
ある。装置の概略図を第２図に示す。原料となる
ソースガス２は導入パイプ５によつてガラス管１
の中に供給され、マイクロ波キヤビテイー４によ
つてスート状態を経ることなく直接ガラス化さ
れ、コアガラス６となる。このとき管内はポンプ
１０によつて減圧状態に保つておく。管はローラ
ー９によつてコアガラスの堆積速度に応じた速度
で下方に移動し、管内の長手方向に順次コアガラ
スが密に形成される。下方に線引用の炉７を設置
し、連続して線引することも可能である。
管の内側にそう入したパイプから原料となる気体
を送り込み、管の外側に設置したマイクロ波キヤ
ビテイーによつて管内にプラズマを励起し、これ
による分解反応によつて原料ガスをガラス化し、
これを管の長手方向に順次密に堆積させるもので
ある。装置の概略図を第２図に示す。原料となる
ソースガス２は導入パイプ５によつてガラス管１
の中に供給され、マイクロ波キヤビテイー４によ
つてスート状態を経ることなく直接ガラス化さ
れ、コアガラス６となる。このとき管内はポンプ
１０によつて減圧状態に保つておく。管はローラ
ー９によつてコアガラスの堆積速度に応じた速度
で下方に移動し、管内の長手方向に順次コアガラ
スが密に形成される。下方に線引用の炉７を設置
し、連続して線引することも可能である。
本発明によつて以下の効果が生じる。
１ 管内に直接長手方向にコアガラスを密に形成
するために、溶着の工程が不必要となり、光フ
アイバの作製が大巾に簡略化される。
するために、溶着の工程が不必要となり、光フ
アイバの作製が大巾に簡略化される。
２ 原料として高純度なものが容易に得られる。
すなわちSiCl4などのガスを使用し、不純物の
入らない閉鎖系の中で反応を行つてコアガラス
を得る方法であるため、低損失化が容易に達成
できる。
すなわちSiCl4などのガスを使用し、不純物の
入らない閉鎖系の中で反応を行つてコアガラス
を得る方法であるため、低損失化が容易に達成
できる。
３ 管の長手方向に順次コアガラスを形成させて
行く方法であるから、その後の線引の工程まで
連続して行うことも可能である。
行く方法であるから、その後の線引の工程まで
連続して行うことも可能である。
４ 高周波プラズマ加熱によつてスート状態を経
ることなくコアガラスを直接ガラス化するた
め、気泡が入らないので低損失化が容易であ
る。
ることなくコアガラスを直接ガラス化するた
め、気泡が入らないので低損失化が容易であ
る。
５ クラツドとなる石英管内にそう入するパイプ
を２重あるいは多重パイプにすることにより、
ステツプ型のみならず集束型コアを持つ光フア
イバをも作製できる。
を２重あるいは多重パイプにすることにより、
ステツプ型のみならず集束型コアを持つ光フア
イバをも作製できる。
(5) 実施例
以下、本発明を実施例を参照して詳細に説明す
る。
る。
実施例１ 第２図の装置においてクラツドとなる
石英管の形状を15mmφ、長さ３mmとし、そう入管
（石英管）から以下の組成の気体を管内に送り込
む。
石英管の形状を15mmφ、長さ３mmとし、そう入管
（石英管）から以下の組成の気体を管内に送り込
む。
SiCl4 3.0sccm
GeCl4 0.3sccm
O2 30sccm
マイクロ波キヤビテイーを200W、24.5GHzで励
振させ、石英管内部を約10Torrに保つように減
圧すると、管内に導入された気体はプラズマ状態
となり以下の反応を生じる。
振させ、石英管内部を約10Torrに保つように減
圧すると、管内に導入された気体はプラズマ状態
となり以下の反応を生じる。
SiCl4＋O2→SiO2＋2Cl2
GeCl4＋O2→SiO2＋2Cl2
この反応の結果生じた酸化物は直接ガラス化し
て管の底部に堆積して行く。このときのコアガラ
スの堆積速度は0.5mm／mmであつた。10時間の反
応の後、外径15mmφ、コア径９mmφ、長さ260mm
のプリフオームを得た。これを線引して損失を測
定したところ、波長0.83mμにおいて28dB／Kmの
値を得た。
て管の底部に堆積して行く。このときのコアガラ
スの堆積速度は0.5mm／mmであつた。10時間の反
応の後、外径15mmφ、コア径９mmφ、長さ260mm
のプリフオームを得た。これを線引して損失を測
定したところ、波長0.83mμにおいて28dB／Kmの
値を得た。
実施例２ 前記実施例とまつたく同じ条件で反応
を行い、コアガラスを形成した後、下部に設けた
線引炉によつてプリフオームを約2000℃に加熱し
反応と連続して線引を行つた。得られたフアイバ
の損失は前記条件で作製したものと殆んど同一で
あつた。
を行い、コアガラスを形成した後、下部に設けた
線引炉によつてプリフオームを約2000℃に加熱し
反応と連続して線引を行つた。得られたフアイバ
の損失は前記条件で作製したものと殆んど同一で
あつた。
実施例３ 第３図に示すようにそう入パイプを２
重とし、外側の管には、内側の管に導入する気体
にくらべGeCl4の量を約1/2にして、SiCl4，O2は
両者共に同じ量の気体を流し実施例１と同じよう
にして反応を行い、プリフオームを作製した。こ
のようにして作製したプリフオーム断面の径方向
屈折率分布は第４図のようであつた。このプリフ
オームを線引して得られたフアイバの帯域は、
6dB帯域巾で560MHz・Kmであつた。
重とし、外側の管には、内側の管に導入する気体
にくらべGeCl4の量を約1/2にして、SiCl4，O2は
両者共に同じ量の気体を流し実施例１と同じよう
にして反応を行い、プリフオームを作製した。こ
のようにして作製したプリフオーム断面の径方向
屈折率分布は第４図のようであつた。このプリフ
オームを線引して得られたフアイバの帯域は、
6dB帯域巾で560MHz・Kmであつた。
(6) まとめ
以上説明したごとく本発明によれば、高帯域か
つ低損失のフアイバの従来法による製法では必須
であつた溶着の工程は必要では無くなる。さらに
反応後一且プリフオームを経由してその後線引す
ることも、反応からフアイバまで連続して作製す
ることも可能である。またそう入管の構造を多重
にすることにより、集束型のコアを有するフアイ
バを作製することも可能となる。
つ低損失のフアイバの従来法による製法では必須
であつた溶着の工程は必要では無くなる。さらに
反応後一且プリフオームを経由してその後線引す
ることも、反応からフアイバまで連続して作製す
ることも可能である。またそう入管の構造を多重
にすることにより、集束型のコアを有するフアイ
バを作製することも可能となる。
第１図は従来法による光フアイバの製造装置の
概略図である。第２図は本発明による製造法に用
いた装置の概略図である。第３図は実施例３を説
明するための図である。第４図は本発明によつて
作製したフアイバの断面の屈折率分布である。
概略図である。第２図は本発明による製造法に用
いた装置の概略図である。第３図は実施例３を説
明するための図である。第４図は本発明によつて
作製したフアイバの断面の屈折率分布である。
Claims (1)
- １ ガラス管の内部を減圧し、該ガラス管の内側
に挿入したパイプからSiCl4，GeCl4およびO2を
前記ガラス管内に送り込むと同時に高周波プラズ
マによる加熱を行つて管内にスートを形成させる
ことなく、直接ガラスを充填せしめ、連続して他
の加熱を行つて線引することを特徴とする光フア
イバの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10661077A JPS5440648A (en) | 1977-09-07 | 1977-09-07 | Production of optical fiber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10661077A JPS5440648A (en) | 1977-09-07 | 1977-09-07 | Production of optical fiber |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5440648A JPS5440648A (en) | 1979-03-30 |
| JPS6112855B2 true JPS6112855B2 (ja) | 1986-04-10 |
Family
ID=14437876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10661077A Granted JPS5440648A (en) | 1977-09-07 | 1977-09-07 | Production of optical fiber |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5440648A (ja) |
-
1977
- 1977-09-07 JP JP10661077A patent/JPS5440648A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5440648A (en) | 1979-03-30 |
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