JPH0412465B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0412465B2 JPH0412465B2 JP57110860A JP11086082A JPH0412465B2 JP H0412465 B2 JPH0412465 B2 JP H0412465B2 JP 57110860 A JP57110860 A JP 57110860A JP 11086082 A JP11086082 A JP 11086082A JP H0412465 B2 JPH0412465 B2 JP H0412465B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acid
- color filter
- composition
- polyvinyl alcohol
- receiving layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/038—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
- G03F7/0388—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable with ethylenic or acetylenic bands in the side chains of the photopolymer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
〔発明の技術分野〕
本発明は、色フイルタ染色受容層形成用組成物
に関し、更に詳しくは、分光特性が優れた撮像素
子を得ることが可能な色フイルタ染色受容層形成
用組成物に関する。 〔発明の技術的背景とその問題点〕 従来、カラーテレビジヨンカメラ等に使用され
る撮像素子用色フイルタは、例えば、ゼラチンや
カゼイン等の蛋白質或いはポリビニルアルコール
（PVA）に、重クロム酸アンモニウム（ADC）
を添加したフオトレジスト材料を用いて、光照射
により得たパターンを染色で染色することにより
製造されている。 しかし、上記したフオトレジスト材料を色フイ
ルタの染色受容層を形成するために使用すると、
ADCが含まれているために、パターンを現像し
た後に排出される現像廃液が大量のクロムを含有
するものとなる。そのため、廃棄前にクロムを回
収し、無公害化処理を施さねばならず、製造コス
トが上昇するという問題点を有している。 又、ADCを感光剤とする材料は、プリベーキ
ング温度により露光量が変化して、所謂、熱かぶ
り現象を呈するために、製造条件を厳密に管理し
なけらばならないという問題点を有している。 更に、ゼラチンやカゼイン等の蛋白質を基本ポ
リマーとして使用した場合には、天然物質である
ために品質が一定したものを得ることが困難であ
る。そのため、製造工程におけるパタンの制御が
困難であるという問題点を有している。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、上記した問題点を解消し、そ
の製造時に現像廃液処理等を要さず、又、熱かぶ
り等が起こらず、分光特性が優れた色フイルタを
得ることが可能な色フイルタ受容層形成用組成物
を提供することにある。 〔発明の概要〕 本発明の色フイルタ受容層形成用組成物は、次
式 （式中、Ｒはメチル基又はエチル基を表わし、
X-は塩素、臭素、ヨウ素、過塩素酸、酢酸、メ
チル硫酸、硫酸、硝酸又はｐ−トルエンスルホン
酸のそれぞれのイオンを表わす。） で示されるポリビニルアルコール誘導体単位を構
成単位中0.1〜10モル％含有するポリビニルアル
コール又は部分ケン化ポリ酢酸ビニルである感光
性樹脂から成ることを特徴とするものである。 以下において、本発明を更に詳しく説明する。 本発明において使用される感光性樹脂は、例え
ば、ポリビニルアルコール又は部分ケン化ポリ酢
酸ビニルに、次式 （式中、Ｒ及びX-は前記と同意義である。） で示されるホルミルスチリルピリジニウム塩を反
応せしめることにより得ることが可能である。こ
のような感光性樹脂としては、例えば、特公昭56
−5761号公報等に記載されている感光性樹脂を適
宜使用することが可能である。 本発明の組成物は、前記スチリルピリジニウム
塩含有単位を、ポリビニルアルコールの構成単位
中0.1〜10モル％含有する。更に、ポリビニルア
ルコールないし部分ケン化ポリ酢酸ビニルのケン
化度は50〜100％であることが好ましい。 上記組成物を使用して、例えば、撮像素子用色
フイルタを製造する場合には、次のような方法を
採ることが可能である。 即ち、先ず、表面を平滑化した撮像素子上に、
本発明の組成物を、例えば、スピンナー、シルク
スクリーン法等を用いて、0.5〜5μｍ程度の厚さ
で形成する。次いで、40〜80℃、10〜60分間のプ
リベーキング処理を施した後、所望のパターンを
有するシヤドウマスクを介して露光する。露光に
際しては、例えば、水銀ランプを用いて、200〜
400nｍの領域の波長を有する光を、50〜100ｍ
Ｊ／cm2で１〜10秒間照射することが好ましい。次
いで、純水の中に５〜30秒間程度浸漬して現像処
理を施した後、メチルアルコール、エタノール、
イソプロピルアルコール等に５〜10秒間程度浸漬
してリンス処理を施し、60〜100℃で乾燥する。 上記処理により得た所望パターンを有する撮像
素子を、40〜80℃程度に保持した染料水溶液中
に、１〜10分間程度浸漬して染色し、水洗するこ
とにより、所望の色フイルタ層を得ることが可能
である。完成した色フイルタを得るためには、上
記処理を繰り返せばよい。 〔発明の効果〕 本発明の組成物を用いて形成される色フイルタ
は、優れたパターン性を有するものであり、鮮明
な画像を得ることが可能なものである。 又、本発明の組成物は、クロム等の有害な金属
元素を含有していないため、色フイルタの製造時
に排出される現像廃液の処理が容易であり、製造
差業者に対しても、衛生上何ら悪影響を及ぼすこ
とのないものである。 〔発明の実施例〕 以下において、本発明の実施例を記載する。 実施例 １ ポリイミド樹脂を用いてその表面を平滑化した
CCD撮像素子を用意した。このCCDの撮像素子
の平滑面上に、ケン化度87％、重合度2600を有す
るポリビニルアルコールにメチル−γ−スチリル
ピリジニウムメチル硫酸塩を0.7モル％導入した
樹脂を、スピンナーを用いて、1.0μｍの厚さで形
成した。次いで、40℃で30分間プリベーキング処
理を施した後、365nｍの水銀ランプ下で、所定
のパターンを有するマスクを介して、150ｍＪ／
cm2の条件で露光した。このCCD撮像素子を、純
水中に20秒間浸漬して現像した後、メチルアルコ
ール中に10秒間浸漬してリンス処理を施し、80℃
で30分間乾燥した。 上記処理により得た所定のパターンを有する
CCD撮像素子を、50℃に保持したスミノールミ
ーリングイエロー（住友化学(株)製）の２重量％水
溶液から成る染色溶液中に３分間浸漬した後、水
洗した。その結果、均一、且つ、鮮明な黄色パタ
ーンを有するCCD撮像素子が得られた。 実施例 ２〜５ 染色受容層形成用組成物として、ケン化度87
％、重合度1700を有するポリビニルアルコールに
表に示すような量のメチル−γ−スチリルピリジ
ニウム塩を導入した組成物を使用した他は、実施
例１と同様の操作を施して色フイルタを得た。 比較例 １〜２ 染色受容層形成用組成物として、実施例２〜５
で使用したポリビニルアルコールに導入するメチ
ル−γ−スチリルピリジニウム塩の量が少ないも
のを使用した他は、実施例１と同様の操作を施し
て色フイルタを作成した。その組成を実施例２〜
５と共に表に示す。
に関し、更に詳しくは、分光特性が優れた撮像素
子を得ることが可能な色フイルタ染色受容層形成
用組成物に関する。 〔発明の技術的背景とその問題点〕 従来、カラーテレビジヨンカメラ等に使用され
る撮像素子用色フイルタは、例えば、ゼラチンや
カゼイン等の蛋白質或いはポリビニルアルコール
（PVA）に、重クロム酸アンモニウム（ADC）
を添加したフオトレジスト材料を用いて、光照射
により得たパターンを染色で染色することにより
製造されている。 しかし、上記したフオトレジスト材料を色フイ
ルタの染色受容層を形成するために使用すると、
ADCが含まれているために、パターンを現像し
た後に排出される現像廃液が大量のクロムを含有
するものとなる。そのため、廃棄前にクロムを回
収し、無公害化処理を施さねばならず、製造コス
トが上昇するという問題点を有している。 又、ADCを感光剤とする材料は、プリベーキ
ング温度により露光量が変化して、所謂、熱かぶ
り現象を呈するために、製造条件を厳密に管理し
なけらばならないという問題点を有している。 更に、ゼラチンやカゼイン等の蛋白質を基本ポ
リマーとして使用した場合には、天然物質である
ために品質が一定したものを得ることが困難であ
る。そのため、製造工程におけるパタンの制御が
困難であるという問題点を有している。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、上記した問題点を解消し、そ
の製造時に現像廃液処理等を要さず、又、熱かぶ
り等が起こらず、分光特性が優れた色フイルタを
得ることが可能な色フイルタ受容層形成用組成物
を提供することにある。 〔発明の概要〕 本発明の色フイルタ受容層形成用組成物は、次
式 （式中、Ｒはメチル基又はエチル基を表わし、
X-は塩素、臭素、ヨウ素、過塩素酸、酢酸、メ
チル硫酸、硫酸、硝酸又はｐ−トルエンスルホン
酸のそれぞれのイオンを表わす。） で示されるポリビニルアルコール誘導体単位を構
成単位中0.1〜10モル％含有するポリビニルアル
コール又は部分ケン化ポリ酢酸ビニルである感光
性樹脂から成ることを特徴とするものである。 以下において、本発明を更に詳しく説明する。 本発明において使用される感光性樹脂は、例え
ば、ポリビニルアルコール又は部分ケン化ポリ酢
酸ビニルに、次式 （式中、Ｒ及びX-は前記と同意義である。） で示されるホルミルスチリルピリジニウム塩を反
応せしめることにより得ることが可能である。こ
のような感光性樹脂としては、例えば、特公昭56
−5761号公報等に記載されている感光性樹脂を適
宜使用することが可能である。 本発明の組成物は、前記スチリルピリジニウム
塩含有単位を、ポリビニルアルコールの構成単位
中0.1〜10モル％含有する。更に、ポリビニルア
ルコールないし部分ケン化ポリ酢酸ビニルのケン
化度は50〜100％であることが好ましい。 上記組成物を使用して、例えば、撮像素子用色
フイルタを製造する場合には、次のような方法を
採ることが可能である。 即ち、先ず、表面を平滑化した撮像素子上に、
本発明の組成物を、例えば、スピンナー、シルク
スクリーン法等を用いて、0.5〜5μｍ程度の厚さ
で形成する。次いで、40〜80℃、10〜60分間のプ
リベーキング処理を施した後、所望のパターンを
有するシヤドウマスクを介して露光する。露光に
際しては、例えば、水銀ランプを用いて、200〜
400nｍの領域の波長を有する光を、50〜100ｍ
Ｊ／cm2で１〜10秒間照射することが好ましい。次
いで、純水の中に５〜30秒間程度浸漬して現像処
理を施した後、メチルアルコール、エタノール、
イソプロピルアルコール等に５〜10秒間程度浸漬
してリンス処理を施し、60〜100℃で乾燥する。 上記処理により得た所望パターンを有する撮像
素子を、40〜80℃程度に保持した染料水溶液中
に、１〜10分間程度浸漬して染色し、水洗するこ
とにより、所望の色フイルタ層を得ることが可能
である。完成した色フイルタを得るためには、上
記処理を繰り返せばよい。 〔発明の効果〕 本発明の組成物を用いて形成される色フイルタ
は、優れたパターン性を有するものであり、鮮明
な画像を得ることが可能なものである。 又、本発明の組成物は、クロム等の有害な金属
元素を含有していないため、色フイルタの製造時
に排出される現像廃液の処理が容易であり、製造
差業者に対しても、衛生上何ら悪影響を及ぼすこ
とのないものである。 〔発明の実施例〕 以下において、本発明の実施例を記載する。 実施例 １ ポリイミド樹脂を用いてその表面を平滑化した
CCD撮像素子を用意した。このCCDの撮像素子
の平滑面上に、ケン化度87％、重合度2600を有す
るポリビニルアルコールにメチル−γ−スチリル
ピリジニウムメチル硫酸塩を0.7モル％導入した
樹脂を、スピンナーを用いて、1.0μｍの厚さで形
成した。次いで、40℃で30分間プリベーキング処
理を施した後、365nｍの水銀ランプ下で、所定
のパターンを有するマスクを介して、150ｍＪ／
cm2の条件で露光した。このCCD撮像素子を、純
水中に20秒間浸漬して現像した後、メチルアルコ
ール中に10秒間浸漬してリンス処理を施し、80℃
で30分間乾燥した。 上記処理により得た所定のパターンを有する
CCD撮像素子を、50℃に保持したスミノールミ
ーリングイエロー（住友化学(株)製）の２重量％水
溶液から成る染色溶液中に３分間浸漬した後、水
洗した。その結果、均一、且つ、鮮明な黄色パタ
ーンを有するCCD撮像素子が得られた。 実施例 ２〜５ 染色受容層形成用組成物として、ケン化度87
％、重合度1700を有するポリビニルアルコールに
表に示すような量のメチル−γ−スチリルピリジ
ニウム塩を導入した組成物を使用した他は、実施
例１と同様の操作を施して色フイルタを得た。 比較例 １〜２ 染色受容層形成用組成物として、実施例２〜５
で使用したポリビニルアルコールに導入するメチ
ル−γ−スチリルピリジニウム塩の量が少ないも
のを使用した他は、実施例１と同様の操作を施し
て色フイルタを作成した。その組成を実施例２〜
５と共に表に示す。
【表】
上記比較例１及び２の組成の染色受容層形成用
組成物を使用したものは、基板上に形成した染色
受容層が染色時に基板より剥離しパターン化が不
可能であつた。これらに対し、実施例２〜５のそ
れぞれの組成物を用いて形成した色フイルタは、
顕微鏡により調べたところ、均一、且つ、鮮明な
パターンを有するものであることが確認された。
組成物を使用したものは、基板上に形成した染色
受容層が染色時に基板より剥離しパターン化が不
可能であつた。これらに対し、実施例２〜５のそ
れぞれの組成物を用いて形成した色フイルタは、
顕微鏡により調べたところ、均一、且つ、鮮明な
パターンを有するものであることが確認された。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 次式 （式中、Ｒはメチル基又はエチル基を表わし、
X-は塩素、臭素、ヨウ素、過塩素酸、酢酸、メ
チル硫酸、硫酸、硝酸又はｐ−トルエンスルホン
酸のそれぞれのイオンを表わす。） で示されるポリビニルアルコール誘導体単位を構
成単位中0.1〜10モル％含有するポリビニルアル
コール又は部分ケン化ポリ酢酸ビニルである感光
性樹脂から成ることを特徴とする色フイルタ染色
受容層形成用組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57110860A JPS592039A (ja) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | 色フィルタ染色受容層形成用組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57110860A JPS592039A (ja) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | 色フィルタ染色受容層形成用組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS592039A JPS592039A (ja) | 1984-01-07 |
| JPH0412465B2 true JPH0412465B2 (ja) | 1992-03-04 |
Family
ID=14546500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57110860A Granted JPS592039A (ja) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | 色フィルタ染色受容層形成用組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS592039A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5979246A (ja) * | 1982-10-29 | 1984-05-08 | Toshiba Corp | カラ−フイルタ−用レジスト組成物 |
| JPS61186954A (ja) * | 1985-02-15 | 1986-08-20 | Sanyo Kokusaku Pulp Co Ltd | 着色画像形成用感光材料 |
| JPS62109040A (ja) * | 1985-11-08 | 1987-05-20 | Nippon Kayaku Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
| JPH0713099B2 (ja) | 1988-12-14 | 1995-02-15 | 工業技術院長 | 感光性ポリビニルアルコール誘導体 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55135834A (en) * | 1979-04-10 | 1980-10-23 | Oriental Shashin Kogyo Kk | Photosensitive peeling film |
| JPS5952549B2 (ja) * | 1981-08-12 | 1984-12-20 | 株式会社日立製作所 | カラ−固体撮像素子 |
-
1982
- 1982-06-29 JP JP57110860A patent/JPS592039A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS592039A (ja) | 1984-01-07 |
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