JPH04125249U - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】移動軸受部及びその駆動機構を小型化すること
により装置をコンパクト化し、かつ浮上体を２点支持す
ることにより安定に搬送できるようにする。 【構成】定位置軸受部２０に１つの磁気軸受部２３を、
移動軸受部２１に１つの磁気軸受部２８を配設し、各磁
気軸受部２３，２８で浮上体５を磁力により支持する。
移動軸受部２１はボ−ルネジ機構２２により定位置軸受
部２０の方向に向かって往復移動する。この移動に追従
して浮上体５は隔壁１の内周部を往復移動する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は真空のチャンバ室に有するウエハなどを搬送する搬送装置に関する 。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種の搬送装置は図４に示す如く筒状隔壁１を有し、この隔壁１は一 端が真空のチャンバ内２に開口され、他端が蓋３により密閉されている。

【０００３】 また、上記隔壁１の内周部には搬送棒４を有する浮上体５が設けられている一 方、隔壁１の外周部には移動軸受部６が移動可能に取り付けられており、移動軸 受部６はベ―ス７上に設置されたボ―ルネジ機構８により、隔壁１の外周部に沿 って往復移動するように構成されている。

【０００４】 さらに、上記移動軸受部６の内部には２組の磁気軸受部９，９が配設されてお り、各磁気軸受部９，９は複数の電磁石１０，１０…及び図示しないセンサ部を それぞれ有し、センサ部は浮上体５の浮上位置を検出する。電磁石１０，１０… はセンサ部から出力される検出値を基に励磁され、かつその磁力が隔壁１を介し て浮上体５に作用するよう構成されている。このようにして、各磁気軸受部９， ９は磁気により浮上体５を２点支持梁の如く支持している。

【０００５】 そして、上記のような搬送装置は、予め各磁気軸受部９，９で浮上体５を支持 しておき、その後、ボ―ルネジ機構８を駆動することにより、移動軸受部６を隔 壁１の外周部に沿って往復移動させると、この動きに追従して浮上体５が往復移 動する。これにより、浮上体５の搬送棒４がウエハＷを搬送するように構成され ている。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】 しかしながら、このような従来の搬送装置にあっては、上記の如く１つの移動 軸受部６に２組の磁気軸受部９，９が設けられているため、移動軸受部６が大型 化することは避けられず、これにより移動軸受部６を移動させるボ―ルネジ機構 ８も大型化するので、装置をコンパクトに構成できない。

【０００７】 また、従来の装置は２組の磁気軸受部９，９で浮上体５を支持しているものの 、軸受間隔が一定で、搬送棒は常時最大ストロ−ク長以上張出した、いわゆる片 持支持の状態であり、搬送棒４が外乱を受け易く、ウエハ等を安定に搬送できな い等の問題点があった。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

この考案は上述の事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところはコン パクトでかつウエハ等を安定に搬送できる搬送装置を提供することにあり、上記 目的を達成するために、この考案は搬送棒を有する浮上体と、この浮上体の一端 側に設けられるとともに浮上体を磁力により支持する磁気軸受部が一つ配設され た定位置軸受部と、上記浮上体の他端側に設けられるとともに浮上体を磁力によ り支持する磁気軸受部が一つ配設された移動軸受部と、移動軸受部を定位置軸受 部の方向に向かって往復移動させる駆動機構とを具備することを特徴とする。

【０００９】

【作用】

この考案によれば、定位置軸受部に配設された１つの磁気軸受部、及び移動軸 受部に配設された１つの磁気軸受部で浮上体を支持しつつ、駆動機構により移動 軸受部を定位置軸受部の方向に向かって往復移動させると、その動きに追従して 浮上体が往復移動する。

【００１０】

【実施例】

以下、この考案に係る搬送装置の一実施例について図１ないし図３を用いて詳 細に説明する。なお、従来と同一部材には同一符号を付す。

【００１１】 この搬送装置は図１に示す如く筒状の隔壁１を有し、この隔壁１は一端が真空 のチャンバ内２に開口され、他端が蓋３により密閉されている。

【００１２】 また、上記隔壁１の内周部には搬送棒４を有する浮上体５が配設されている一 方、隔壁１の外周部には定位置軸受部２０及び移動軸受部２１が設けられており 、定位置軸受部２０は浮上体５の一端側に位置するよう配設され、かつベ―ス７ 上に設置されている。移動軸受部２１は浮上体５の他端側に位置するよう配設さ れ、かつ隔壁１の外周部に移動可能に取り付けられている。

【００１３】 さらに、移動軸受部２１は駆動機構としてボ―ルネジ機構２２を有し、ボ―ル ネジ機構２２はベ−ス７上に固定され、かつ移動軸受部２１を定位置軸受部２０ の方向に向かって往復移動させるように構成されている。

【００１４】 ところで、上記定位置軸受部２０はボックス型に形成され、その内部には磁気 軸受部２３が一組配設されており、この磁気軸受部２３は図２に示す如く軸線Ｖ 上に２つの電磁石２４，２４を、軸線Ｗ上に２つの電磁石２５，２５を有し、電 磁石２４，２４は隔壁１を介して互いに対向するように設置され、かつ浮上体５ を軸線Ｖ方向へ浮上させるように構成されている。電磁石２５，２５も上記電磁 石２４，２４と同様に隔壁１を介して互いに対向するように設置され、かつ浮上 体５を軸線Ｗ方向へ浮上させるように構成されている。

【００１５】 また、上記定位置軸受部２０の内部には２つのセンサ部２６，２７が設けられ ており（図３参照）、一方のセンサ部２６は軸線Ｖ方向における浮上体５の浮上 位置を検出するように、他方のセンサ部２７は軸線Ｗ方向における浮上体５の浮 上位置を検出するように構成されている。

【００１６】 さらに、上記移動軸受部２１は上記定位置軸受部２０と同様にボックス型に形 成され、その内部には磁気軸受部２８が一つ配設されており、この磁気軸受部２ ８も上記磁気軸受部２３と同様に軸線Ｖ上に２つの電磁石２９，２９を、軸線Ｗ 上に２つの電磁石３０，３０を有し（図３参照）、電磁石２９，２９は隔壁１を 介して互いに対向する位置に配設され、かつ浮上体５を軸線Ｖ方向に浮上させる ように構成されている。電磁石３０，３０も上記電磁石２９，２９と同様に隔壁 １を介して互いに対向するように設置され、かつ浮上体５を軸線Ｗ方向へ浮上さ せるように構成されている。

【００１７】 また、上記移動軸受部２１の内部には２つのセンサ部３１，３２が設けられて おり（図３参照）、一方のセンサ部３１は軸線Ｖ方向における浮上体５の浮上位 置を検出するように、他方のセンサ部３２は軸線Ｗ方向における浮上体５の浮上 位置を検出するように構成されている。

【００１８】 そして、上記のような各電磁石および各センサ部は、図３に示すようなコント ロ―ラ部３３に接続されており、コントロ―ラ部３３には４つの軸制御回路３４ 〜３７を有し、これらの軸制御回路３４〜３７は内部バス３８にそれぞれ接続さ れている。

【００１９】 ここで、軸制御回路３４はセンサ部２６から出力される検出値を基に電磁石２ ４，２４を励磁する。他の軸制御回路３５〜３７も上記軸制御回路３４と同様に 各センサ部から出力される検出値を基に各電磁石を励磁するように構成されてい る。

【００２０】 すなわち、上記の如く構成された磁気軸受部２３，２８は、上記のような励磁 により磁力が隔壁１を介して浮上体５に作用し、かつその磁力で浮上体５を２点 支持梁の如く支持するよう構成されている。

【００２１】 ところで、このような磁気軸受部２３，２８は上記の如く浮上体５を支持する ものの、この装置にあっては、移動軸受部２１が定位置軸受部２０の方向に向か って往復移動する際、各磁気軸受部２３，２８の間隔が異なるので、搬送棒４を 含む浮上体５の固有振動数が変化するため、何等補償を行わないと浮上体５を常 時安定に支持できない。

【００２２】 そこで、この装置では、浮上体５の移動位置を基に移動による固有振動数の変 化を上記各軸制御回路３４〜３７で補償して、浮上体５を常時安定に支持するよ うに構成されている。

【００２３】 なお、この装置は、定位置軸受部２０あるいは移動軸受部２１側に図示しない 浮上体移動位置検出用のセンサ部を有するとともに、図３に示す如くそのセンサ 部より出力される位置信号Ｓから位置検出回路３９で上記のような浮上体５の移 動位置を求めるように構成されている。

【００２４】 また、図１に示す電磁石４０，４０及び図３に示すセンサ部４１は、浮上体５ が移動して停止する際、ストッパ−的な役割を果す磁気軸受部であり、電磁石４ ０，４０は磁力が浮上体５一端側の傾斜部５ａに作用するように設けられている 。センサ部４１はそのセンサ部４１先端と上記傾斜部５ａとのギャップを検出す るように構成されている。

【００２５】 すなわち、このような磁気軸受部は、図３に示す如くコントロ−ラ部３３の軸 制御回路４２がセンサ部４１から出力される検出値を基に各電磁石４０，４０を 励磁し、その磁力が傾斜部５ａに作用する。これにより、浮上体５は移動した後 速やかに所定の位置に停止するように構成されている。

【００２６】 次に、上記の如く構成された搬送装置の動作について図１および図２を用いて 説明する。

【００２７】 この搬送装置によれば、センサ部２６，…から出力される検出値を基に軸制御 回路３４，…が電磁石２４，…を励磁すると、定位置軸受部２０及び移動軸受部 ２１の各磁気軸受部２３，２８が浮上体５を支持する。この状態で、ボ―ルネジ 機構２２を駆動して、移動軸受部２１を定位置軸受部２０に向って往復移動せし めると、その移動に追従して浮上体５が隔壁１の内周部を往復移動する。これに より、浮上体５の搬送棒４がウエハＷを搬送する。

【００２８】 したがって、上記のような実施例によれば、定位置軸受部に１つの磁気軸受部 を、移動軸受部に１つの磁気軸受部を配設し、これらの磁気軸受部で浮上体を支 持するため、移動軸受部が小型軽量化され、移動軸受部の移動，位置決め等の制 御が容易になるとともに、駆動機構の小型化も可能となる。

【００２９】 しかも、上記実施例では、浮上体が２つの磁気軸受部により間隔をおいて支持 されるので、搬送棒が外乱を受け難く、ウエハ等を安定に搬送できる。

【００３０】

【考案の効果】

この考案に係る搬送装置は、上記の如く定位置軸受部に１つの磁気軸受部を、 移動軸受部に１つの磁気軸受部を配設し、これらの磁気軸受部で浮上体を支持す るように構成したため、その移動軸受部及び移動軸受部を往復移動させる駆動機 構が小型化されるので、コンパクトな装置を提供できるとともに、浮上体が２つ の磁気軸受部により間隔をおいて支持されるので、搬送棒が外乱を受け難く、ウ エハ等を安定に搬送できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案に係る搬送装置の説明用断面図。

【図２】図１に示すII−II線断面図

【図３】本搬送装置の電気回路部分のブロック図。

【図４】従来の搬送装置の説明用断面図。

【符号の説明】

１ 隔壁 ４ 搬送棒 ５ 浮上体 ２０ 定位置軸受部 ２１ 移動軸受部 ２２ ボ―ルネジ機構 ２３，２８ 磁気軸受部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】搬送棒を有する浮上体と、この浮上体の一
   端側に設けられるとともに浮上体を磁力により支持する
   磁気軸受部が一つ配設された定位置軸受部と、上記浮上
   体の他端側に設けられるとともに浮上体を磁力により支
   持する磁気軸受部が一つ配設された移動軸受部と、移動
   軸受部を定位置軸受部の方向に向かって往復移動させる
   駆動機構とを具備することを特徴とする搬送装置。