JPH04286537A - 搬送装置 - Google Patents

搬送装置

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JPH04286537A
JPH04286537A JP3052687A JP5268791A JPH04286537A JP H04286537 A JPH04286537 A JP H04286537A JP 3052687 A JP3052687 A JP 3052687A JP 5268791 A JP5268791 A JP 5268791A JP H04286537 A JPH04286537 A JP H04286537A
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JP
Japan
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floating body
motor
floating
electromagnets
magnetic bearing
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Pending
Application number
JP3052687A
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English (en)
Inventor
Yoshihiro Enomoto
良弘 榎本
Yoshimasa Oda
小田　芳正
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Seiki KK
Original Assignee
Seiko Seiki KK
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/36—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
    • H02K7/08—Structural association with bearings
    • H02K7/09—Structural association with bearings with magnetic bearings
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling

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  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は真空のチャンバ内に有
するウエハ等を搬送する搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の搬送装置は図５に示す如
く筒状隔壁１を有し、この隔壁１は一端が真空のチャン
バ内２に開口され、他端が蓋３により密閉されている。
【０００３】また、上記隔壁１の内周部には搬送棒４を
有する浮上体５が設けられている一方、隔壁１の外周部
には駆動部６が移動可能に取り付けられており、駆動部
６はベース７上に設置されたボールネジ機構８により、
隔壁１の外周部に沿って往復移動するように構成されて
いる。
【０００４】さらに、上記駆動部６の内部には２組の磁
気軸受部９，９が配設されており、各磁気軸受部９，９
は複数の電磁石１０，１０…及び図示しないセンサ部を
それぞれ有し、センサ部は浮上体５の浮上位置を検出す
る。電磁石１０，１０…はセンサ部から出力される検出
値を基に励磁され、かつその磁力が隔壁１を介して浮上
体５に作用するよう構成されている。このようにして、
各磁気軸受部９，９は磁気により浮上体４を２点支持梁
の如く支持している。
【０００５】しかして、上記のような搬送装置は、予め
各磁気軸受部９，９で浮上体４を支持しておき、その後
、ボールネジ機構８を駆動することにより、駆動部６を
隔壁１の外周部に沿って往復移動せしめると、この動き
に追従して浮上体５が往復移動する。これにより、浮上
体５の搬送棒４がウエハＷを搬送するように構成されて
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような搬送棒４によるウエハＷの搬送は、浮上体５のみ
を往復移動させればよいものの、従来の搬送装置は浮上
体５の往復移動にあたり、駆動部６を移動せしめる必要
がある。そのため、駆動部６が移動する分ならびに駆動
部６を移動せしめるボールネジ機構８が設置されている
分等により、装置が大型化する。しかも、従来はボール
ネジ機構８が発塵するので、隔壁１が必要なため、装置
がより一層大型化する等の問題点があった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は上述の事情に
鑑みてなされたもので、その目的とするところはコンパ
クトな搬送装置を提供することにあり、上記目的を達成
するために、この発明は搬送棒を有する浮上体と、浮上
体の移動方向に沿って配設され、その浮上体を磁力によ
り支持する一対の磁気軸受部と、上記浮上体を直接に往
復移動せしめる非接触駆動モータ部とを具備することを
特徴とする。
【０００８】
【作用】この発明によれば、一対の磁気軸受部が浮上体
を磁力により支持しつつ、非接触駆動モータ部が浮上体
を直接に往復移動せしめる。これにより、浮上体のみが
往復移動する。
【０００９】
【実施例】以下、この発明に係る搬送装置の一実施例に
ついて図１ないし図４を用いて詳細に説明する。
【００１０】この搬送装置は図１に示す如く、真空のチ
ャンバ内に搬送棒２０を有する浮上体２１が配設されて
おり、浮上体２１の外周面側には一対の磁気軸受部２２
，２２を備え、これらの磁気軸受部２２，２２は浮上体
２１の移動方向（Ｘ軸線）に沿ってそれぞれ設置されて
いる。
【００１１】また、上記各磁気軸受部２２，２２は図２
に示す如くＶ軸線上に２つの電磁石２３，２３を、Ｗ軸
線上に２つの電磁石２４，２４をそれぞれ有し、電磁石
２３，２３は浮上体２１の外周面にそれぞれ臨むように
設けられ、かつ浮上体２１を介して互いに対向するよう
に設置されている。電磁石２４，２４も上記電磁石２３
，２３と同様に浮上体２１の外周面にそれぞれ臨むよう
に設けられ、かつ浮上体２１を介して互いに対向するよ
うに設置されている。
【００１２】さらに、上記各磁気軸受部２２，２２には
センサ部２５，２６が設けられており、センサ部２５は
Ｖ軸線上における浮上体２１の浮上位置を検出するよう
に、センサ部２６はＷ軸線上における浮上体２１の浮上
位置を検出するように構成されている。
【００１３】しかして、このような各磁気軸受部２２，
２２は、センサ部２５，２６から出力される検出値を基
に電磁石２３，２４がそれぞれ励磁され、その磁力が直
接に浮上体２１に作用する。このようにして、各磁気軸
受部２２，２２は浮上体２１を磁力により２点支持梁の
如く支持するように構成されている。
【００１４】ところで、上記浮上体２１を往復移動せし
めるために、この搬送装置では非接触駆動モータ部とし
てリニアパルスモータが設けられており、リニアパルス
モータはモータ本体２７と歯部２８とから構成されるも
ので、モータ本体２７は一対の磁気軸受部２２，２２間
に配置され、歯部２８は図２に示す如く浮上体２１外周
面の長手方向に亘って設けられ、かつモータ本体２７に
対面するように形成されている。
【００１５】なお、電磁石２９は浮上体２１の外周面に
臨むように配設され、かつその磁力をもって浮上体２１
のロール動作を付勢するように構成されている。また、
ステ−タ３０は各電磁石，センサ部，ならびにモ−タ本
体を支持するものである。
【００１６】また、図１に示すように浮上体２１のＸ軸
線上の位置を保持するために、本装置にも従来のように
アキシャル電磁石１０ａ，１０ａ（図５参照）を設けて
も良いが、本装置ではリニアパルスモ−タが位置の保持
力に優れるため、上記のようなアキシャル電磁石１０ａ
，１０ａを省略した。
【００１７】次に、上記の如く構成された搬送装置の動
作について図１を基に説明すると、この搬送装置によれ
ば、予め各磁気軸受部２２，２２で浮上体２１を支持し
ておき、その後、リニアパルスモ−タのモータ本体２７
を駆動することにより、モータ本体２７が浮上体２１の
みを直接に往復移動せしめる。これにより、浮上体２１
の搬送棒２０がウエハＷを搬送する。
【００１８】また、この装置ではウエハＷを上下移動さ
せる必要があり、このような場合には、図４に示す如く
リニアパルスモ−タのモ−タ本体２７の中心軸上を支点
として、磁気軸受部２２の励磁電流を加減調整すれば、
搬送棒２０がシ−ソのように動作するので、これを利用
すれば良い。
【００１９】したがって、上記のような実施例によれば
、リニアパルスモータのモータ本体が浮上体を直接に往
復移動せしめるため、浮上体のみが移動するので、装置
がコンパクトになる。
【００２０】しかも、上記のような装置にあっては発塵
しないため、何等発塵防止用の隔壁等を設ける必要がな
いので、装置がより一層小型になる。
【００２１】なお、本実施例あってはリニアパルスモー
タを用いたが、これに代えてボイスコイルモータ等の非
接触駆動モータを用いても良い。
【００２２】
【発明の効果】この発明に係る搬送装置は、上記の如く
非接触駆動モータ部が浮上体を直接に往復移動せしめる
ように構成したため、浮上体のみが移動するので、コン
パクトな装置を提供できる。
【００２３】しかも、本装置は発塵しないため、何等発
塵防止用の隔壁等を設ける必要がないので、装置がより
一層小型になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る搬送装置の要部説明用断面図。
【図２】図１に示すＩＩ−ＩＩ線断面図。
【図３】図１に示すＩＩＩ　−ＩＩＩ　線断面図。
【図４】本搬送装置の動作説明図
【図５】従来の搬送装置の説明用断面図。
【符号の説明】
２０　　搬送棒 ２１　　浮上体 ２２　　磁気軸受部 ２７　　モータ本体 ２８　　歯部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】搬送棒を有する浮上体と、浮上体の移動方
    向に沿って配設され、その浮上体を磁力により支持する
    一対の磁気軸受部と、上記浮上体を直接に往復移動せし
    める非接触駆動モータ部とを具備することを特徴とする
    搬送装置。
JP3052687A 1991-03-18 1991-03-18 搬送装置 Pending JPH04286537A (ja)

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US07/851,835 US5284411A (en) 1991-03-18 1992-03-16 Conveyor for conveying workpieces in a vacuum chamber

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09212081A (ja) * 1996-01-31 1997-08-15 Aban Assoc:Kk 屋内空間のシミュレーション作成方法および装置
JP2007174768A (ja) * 2005-12-20 2007-07-05 Matsushita Electric Works Ltd 多次元運動合成ユニット及びそれを用いたアクチュエータ
JP2007174770A (ja) * 2005-12-20 2007-07-05 Matsushita Electric Works Ltd アクチュエータ

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5417537A (en) * 1993-05-07 1995-05-23 Miller; Kenneth C. Wafer transport device
US5377816A (en) * 1993-07-15 1995-01-03 Materials Research Corp. Spiral magnetic linear translating mechanism
US5881649A (en) * 1996-08-13 1999-03-16 Anelva Corporation Magnetic transfer system, power transmission mechanism of the magnetic transfer system, and rotational driving member used for the system
US5980193A (en) * 1996-09-18 1999-11-09 Magnetic Bearing Technologies, Inc. Magnetically levitated robot and method of increasing levitation force
JP3041675B2 (ja) * 1996-11-06 2000-05-15 セイコー精機株式会社 揺動モータ
US5886432A (en) * 1997-04-28 1999-03-23 Ultratech Stepper, Inc. Magnetically-positioned X-Y stage having six-degrees of freedom
US6441514B1 (en) 1997-04-28 2002-08-27 Ultratech Stepper, Inc. Magnetically positioned X-Y stage having six degrees of freedom
US6756705B2 (en) * 2000-02-10 2004-06-29 Tri-Tech., Inc Linear stepper motor
US7988398B2 (en) 2002-07-22 2011-08-02 Brooks Automation, Inc. Linear substrate transport apparatus
US7959395B2 (en) 2002-07-22 2011-06-14 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
DE102004037622A1 (de) * 2004-08-02 2006-02-23 Leybold Optics Gmbh Prozesssystem sowie Vorrichtung zum Transport von Substraten
US7100759B2 (en) * 2004-08-09 2006-09-05 Axcelis Technologies, Inc. Magnetic support structure for an elevator tube of a vertical rapid thermal processing unit
EP2014445A1 (en) * 2007-07-09 2009-01-14 Teijin Aramid B.V. Polyethylene film with high tensile strength and high tensile energy to break
CA2730214A1 (en) * 2008-07-10 2010-01-14 Teijin Aramid B.V. Method for manufacturing high molecular weight polyethylene fibers
CN102159916B (zh) * 2008-07-17 2014-08-13 帝人芳纶有限公司 包含伸长体的防弹制品
US9744714B2 (en) 2009-01-09 2017-08-29 Teijin Aramid B.V. Polyethylene film with high tensile strength and high tensile energy to break
US8771569B2 (en) 2009-01-09 2014-07-08 Teijin Aramid B.V. Polyethylene film and method for the manufacture thereof
US8602706B2 (en) * 2009-08-17 2013-12-10 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
US9627780B2 (en) * 2010-10-07 2017-04-18 Advanced Magnet Lab, Inc. System incorporating current path between conductive members
US9837294B2 (en) 2011-09-16 2017-12-05 Persimmon Technologies Corporation Wafer transport system

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63202204A (ja) * 1987-02-16 1988-08-22 Seiko Seiki Co Ltd 磁気浮上型搬送装置
JPH01103848A (ja) * 1987-10-16 1989-04-20 Seiko Seiki Co Ltd 真空室内搬送装置
JPH01110424A (ja) * 1987-10-26 1989-04-27 Seiko Seiki Co Ltd 磁気浮上型搬送装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3616978A (en) * 1967-07-26 1971-11-02 Stewarts & Lloyds Ltd Conveyors
US4462529A (en) * 1981-11-23 1984-07-31 Alpha Industries, Inc. Linear accelerator system for axially advancing an elongate workpiece
US4768438A (en) * 1986-04-09 1988-09-06 Hughes Ken D Ink agitators
US5069326A (en) * 1989-07-20 1991-12-03 Mazda Motor Corp. Conveyor means
US5105932A (en) * 1990-03-09 1992-04-21 Bryson Iii Charles E Linear and rotary positioning device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63202204A (ja) * 1987-02-16 1988-08-22 Seiko Seiki Co Ltd 磁気浮上型搬送装置
JPH01103848A (ja) * 1987-10-16 1989-04-20 Seiko Seiki Co Ltd 真空室内搬送装置
JPH01110424A (ja) * 1987-10-26 1989-04-27 Seiko Seiki Co Ltd 磁気浮上型搬送装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09212081A (ja) * 1996-01-31 1997-08-15 Aban Assoc:Kk 屋内空間のシミュレーション作成方法および装置
JP2007174768A (ja) * 2005-12-20 2007-07-05 Matsushita Electric Works Ltd 多次元運動合成ユニット及びそれを用いたアクチュエータ
JP2007174770A (ja) * 2005-12-20 2007-07-05 Matsushita Electric Works Ltd アクチュエータ

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US5284411A (en) 1994-02-08

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Effective date: 19980625