JPH04125500A - Ｓｏｒ光装置におけるｓｏｒ光出射用窓装置 - Google Patents
Ｓｏｒ光装置におけるｓｏｒ光出射用窓装置Info
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- JPH04125500A JPH04125500A JP2246569A JP24656990A JPH04125500A JP H04125500 A JPH04125500 A JP H04125500A JP 2246569 A JP2246569 A JP 2246569A JP 24656990 A JP24656990 A JP 24656990A JP H04125500 A JPH04125500 A JP H04125500A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ＳＯＲ光（シンクロトロン放射光）装置に
おいて、ＬＳＩ基板等の露光対象を大気中で露光するこ
とを可能にして、露光作業効率を高めたものである。
おいて、ＬＳＩ基板等の露光対象を大気中で露光するこ
とを可能にして、露光作業効率を高めたものである。
近年、シンクロトロン装置は、ＳＯＲ光装置として、超
々ＬＳ１回路の作成、医療分野における診断、分子解析
、構造解析等様々な分野への適用が期待されている。
々ＬＳ１回路の作成、医療分野における診断、分子解析
、構造解析等様々な分野への適用が期待されている。
ＳＯＲ光装置の概要を第２図に示す。ＳＯＲ光装置１に
おいて、電子発生装置（電子銃等）１０で発生した電子
ビームは直線加速器（ライナック）１２で光速近くに加
速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６で偏向され
て、インフレクタ１８を介してシンクロトロンの蓄積リ
ング２２内に入射される。蓄積リング２２に入射された
電子ビームは高周波加速空洞２１でエネルギを与えられ
ながら収束電磁石２３で収束され、偏向電磁石２４で偏
向されて真空ダクト２２内を周回し続ける。
おいて、電子発生装置（電子銃等）１０で発生した電子
ビームは直線加速器（ライナック）１２で光速近くに加
速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６で偏向され
て、インフレクタ１８を介してシンクロトロンの蓄積リ
ング２２内に入射される。蓄積リング２２に入射された
電子ビームは高周波加速空洞２１でエネルギを与えられ
ながら収束電磁石２３で収束され、偏向電磁石２４で偏
向されて真空ダクト２２内を周回し続ける。
偏向電磁石２４で偏向される時に発生するＳＯＲＯＲ光
査９取り出しライン２６を通して出射されて、露光装置
２８に送られて超々ＬＳ１回路作成用の光源等として利
用される。
査９取り出しライン２６を通して出射されて、露光装置
２８に送られて超々ＬＳ１回路作成用の光源等として利
用される。
従来における光取り出しライン２６の構造を第３図に示
す。光取り出しライン２６の途中には、斜入射ミラー３
０が配設されている。斜入射ミラー３０は、無酸素銅Ｓ
ｉＣ，Ａｕ、Ｐｔ等の平面鏡で構成され、ＳＯＲＯＲ光
査９射して光取り出しライン２６端部の窓板３１の中央
部に取り付けられた金属製窓３２から出射させる。
す。光取り出しライン２６の途中には、斜入射ミラー３
０が配設されている。斜入射ミラー３０は、無酸素銅Ｓ
ｉＣ，Ａｕ、Ｐｔ等の平面鏡で構成され、ＳＯＲＯＲ光
査９射して光取り出しライン２６端部の窓板３１の中央
部に取り付けられた金属製窓３２から出射させる。
斜入射ミラー３０は軸３４を支点として、上下方向に揺
動自在に支持されている。斜入射ミラー３０の端部には
ミラー揺動機構３６のロッド３８が取り付けられている
。ロッド３８はモータ４０で駆動されるカム４２の回転
により上下方向に動作し、斜入射ミラー３０を上下方向
に揺動して、ＳＯＲＯＲ光査９下方向に揺動させる。
動自在に支持されている。斜入射ミラー３０の端部には
ミラー揺動機構３６のロッド３８が取り付けられている
。ロッド３８はモータ４０で駆動されるカム４２の回転
により上下方向に動作し、斜入射ミラー３０を上下方向
に揺動して、ＳＯＲＯＲ光査９下方向に揺動させる。
蓄積リング２２（第２図）から出射されたＳＯＲＯＲ光
査９来垂直方向の広がりが小さいが、この斜入射ミラー
３０の揺動により垂直方向に拡大されて、ＬＳＩ露光用
等の露光面積が確保される。
査９来垂直方向の広がりが小さいが、この斜入射ミラー
３０の揺動により垂直方向に拡大されて、ＬＳＩ露光用
等の露光面積が確保される。
金属製窓３２は、光取りしライン２６の内部の高真空と
外部の低真空を遮断しなからＳＯＲＯＲ光査９射する働
きを有するもので、ＳＯＲＯＲ光査９過率が高くかつ機
械的強度が強いベリリウムの薄板で通常構成されている
。そして、その正面形状は、第４図に示すように、全露
光範囲に対応した面積を有している。
外部の低真空を遮断しなからＳＯＲＯＲ光査９射する働
きを有するもので、ＳＯＲＯＲ光査９過率が高くかつ機
械的強度が強いベリリウムの薄板で通常構成されている
。そして、その正面形状は、第４図に示すように、全露
光範囲に対応した面積を有している。
ベリリウム窓３２はＳＯＲＯＲ光査９過により加熱され
るため、大気中にさらされていると腐食を起こし、強度
が弱まる欠点がある。このため、第１図に示すように、
ベリリウム窓３２および露光対象（ＬＳＩ基板等）３５
全体をヘリウム等の不活性ガスが充填された密閉容器３
３中に収容して、この中で露光するようにして、ベリリ
ウム窓３２の腐食を防止していた。
るため、大気中にさらされていると腐食を起こし、強度
が弱まる欠点がある。このため、第１図に示すように、
ベリリウム窓３２および露光対象（ＬＳＩ基板等）３５
全体をヘリウム等の不活性ガスが充填された密閉容器３
３中に収容して、この中で露光するようにして、ベリリ
ウム窓３２の腐食を防止していた。
前記従来装置では、露光対象３５を密閉容器３３中に入
れて露光しなければならないので、密閉容器３３中に露
光対象３５を出し入れするのに手間がかかり、露光作業
の効率が悪かった。
れて露光しなければならないので、密閉容器３３中に露
光対象３５を出し入れするのに手間がかかり、露光作業
の効率が悪かった。
この発明は、前記従来の技術における欠点を解決して、
大気中での露光を可能にして、露光効率を高めたＳＯＲ
光装置におけるＳＯＲ光出射用窓装置を提供しようとす
るものである。
大気中での露光を可能にして、露光効率を高めたＳＯＲ
光装置におけるＳＯＲ光出射用窓装置を提供しようとす
るものである。
この発明は、ＳＯＲ光装置の光取り出しラインに配設さ
れてこの光取り出しラインを真空封止してＳＯＲ光を取
り出すベリリウム等の金属製窓と、この金属製窓の外側
に配設されて、この金属製窓の外側の面と大気とを遮断
する内部に不活性ガスが充填されたキャビティと、この
キャビティの一部に配設されてこのキャビティを通過し
てきたＳＯＲ光を大気中に出射する前記金属製窓よりも
薄いＸ線マスク基板材料で作られたＸ線マスク基板窓と
を具備してなるものである。
れてこの光取り出しラインを真空封止してＳＯＲ光を取
り出すベリリウム等の金属製窓と、この金属製窓の外側
に配設されて、この金属製窓の外側の面と大気とを遮断
する内部に不活性ガスが充填されたキャビティと、この
キャビティの一部に配設されてこのキャビティを通過し
てきたＳＯＲ光を大気中に出射する前記金属製窓よりも
薄いＸ線マスク基板材料で作られたＸ線マスク基板窓と
を具備してなるものである。
この発明によれば、ＳＯＲ光は金属製窓からキャビティ
およびＸ線マスク基板窓を通って大気中に出射される。
およびＸ線マスク基板窓を通って大気中に出射される。
そして、この発明によれば、金属製窓の外側にキャビテ
ィを形成して不活性ガスを充填したので、金属製窓は大
気に触れず、腐食が防止されて、強度を長期間保つこと
ができる。したがって、金属製窓および露光対象を前記
従来装置のように密閉容器中に収容して露光しなくてす
み、大気中での露光ができるので、露光作業効率が良好
となる。
ィを形成して不活性ガスを充填したので、金属製窓は大
気に触れず、腐食が防止されて、強度を長期間保つこと
ができる。したがって、金属製窓および露光対象を前記
従来装置のように密閉容器中に収容して露光しなくてす
み、大気中での露光ができるので、露光作業効率が良好
となる。
また、Ｘ線マスク基板窓は、例えば窒化シリコンや窒化
ボロン等のＸ線マスク基板材料の薄板で構成され、ベリ
リウム等の雰；金属製窓のようには酸化されにくいので
、大気中にさらされても問題はない。また、Ｘ線マスク
基板材料は、ベリリラム等の金属製窓に比べて単位厚さ
当りのＸ線透過率は低く、強度も弱いが、キャビティ内
は不活性ガスが充填されていて真空ではないので、Ｘ線
マスク基板窓は薄く （例えばベリリウム窓の１／１０
程度の厚さに）形成することができ、ＳＯＲ光の減衰を
低く抑えることができる。
ボロン等のＸ線マスク基板材料の薄板で構成され、ベリ
リウム等の雰；金属製窓のようには酸化されにくいので
、大気中にさらされても問題はない。また、Ｘ線マスク
基板材料は、ベリリラム等の金属製窓に比べて単位厚さ
当りのＸ線透過率は低く、強度も弱いが、キャビティ内
は不活性ガスが充填されていて真空ではないので、Ｘ線
マスク基板窓は薄く （例えばベリリウム窓の１／１０
程度の厚さに）形成することができ、ＳＯＲ光の減衰を
低く抑えることができる。
なお、ＳＯＲ光の揺動に連動して金属製窓およびそれ以
後の部分をベローズを介して揺動させるようにすれば、
金属製窓およびＸ線マスク基板窓をＳＯＲ光の揺動範囲
に対して小面積に形成することができるので、金属製窓
およびＸ線マスク基板窓を薄くしても十分な強度を確保
することができ、これによりＳＯＲ光の透過率をより高
めることができる。
後の部分をベローズを介して揺動させるようにすれば、
金属製窓およびＸ線マスク基板窓をＳＯＲ光の揺動範囲
に対して小面積に形成することができるので、金属製窓
およびＸ線マスク基板窓を薄くしても十分な強度を確保
することができ、これによりＳＯＲ光の透過率をより高
めることができる。
また、キャビティ内に外部から不活性ガスを流す流路を
形成して、不活性ガスを流すようにすれば、金属製窓の
冷却を行なうこともできる。
形成して、不活性ガスを流すようにすれば、金属製窓の
冷却を行なうこともできる。
この発明の一実施例を第１図に示す。光取り出しライン
２６の途中には、斜入射ミラー３０が配設されている。
２６の途中には、斜入射ミラー３０が配設されている。
斜入射ミラー３０は、無酸素銅ＳｉＣ，Ａｕ、Ｐｔ等の
平面鏡で構成され、ＳＯＲＯＲ光査９射して光取り出し
ライン２６端部の窓４４の方向に導く。
平面鏡で構成され、ＳＯＲＯＲ光査９射して光取り出し
ライン２６端部の窓４４の方向に導く。
斜入射ミラー３０は軸３４を支点として、上下方向に揺
動自在に支持されている。斜入射ミラー３０の端部には
ミラー揺動機構３６のロッド３８が取り付けられている
。ロッド３８はモータ４０で駆動されるカム４２の回転
により上下方向に動作し、斜入射ミラー３０を上下方向
に揺動して、ＳＯＲＯＲ光査９下方向に揺動させて上下
方向の必要な露光面積を確保する。 光取り出しライン
２６の端部にはベローズ４６を介して窓部４８が設けら
れている。窓部４８には、窓部揺動機構５２のロッド５
４が取り付けられている。ロッド５４はモータ５６で駆
動されるカム５８の回転により上下方向に動作し、窓部
４８をベローズ４６を介して上下方向に揺動させる。
動自在に支持されている。斜入射ミラー３０の端部には
ミラー揺動機構３６のロッド３８が取り付けられている
。ロッド３８はモータ４０で駆動されるカム４２の回転
により上下方向に動作し、斜入射ミラー３０を上下方向
に揺動して、ＳＯＲＯＲ光査９下方向に揺動させて上下
方向の必要な露光面積を確保する。 光取り出しライン
２６の端部にはベローズ４６を介して窓部４８が設けら
れている。窓部４８には、窓部揺動機構５２のロッド５
４が取り付けられている。ロッド５４はモータ５６で駆
動されるカム５８の回転により上下方向に動作し、窓部
４８をベローズ４６を介して上下方向に揺動させる。
窓部４８のフランジ４８ａには窓板５０が取り付けられ
て光取り出しライン２６を真空封止している。窓板５０
の中央部には金属製窓としてベリリウム窓４４が設けら
れている。ベリリウム窓４４はベリリウムの薄板（例え
ば厚さ１０μｍ）で構成され、光取り出しライン２６を
真空封止した状態でＳＯＲＯＲ光査９り出す。
て光取り出しライン２６を真空封止している。窓板５０
の中央部には金属製窓としてベリリウム窓４４が設けら
れている。ベリリウム窓４４はベリリウムの薄板（例え
ば厚さ１０μｍ）で構成され、光取り出しライン２６を
真空封止した状態でＳＯＲＯＲ光査９り出す。
ベリリウム窓４４は、第５図に正面図で示すように、上
下方向の幅がＳＯＲＯＲ光査９動範囲（つまり、全露光
範囲）より狭く形成されている。
下方向の幅がＳＯＲＯＲ光査９動範囲（つまり、全露光
範囲）より狭く形成されている。
したがって従来のもの（第４図）よりも面積が小さいの
で、薄く形成しても強度を確保することができ、ＳＯＲ
ＯＲ光査９過率を高めることができる。
で、薄く形成しても強度を確保することができ、ＳＯＲ
ＯＲ光査９過率を高めることができる。
第１図において、窓板５０の外側には円筒状容器７０が
取り付けられ、さらに円筒状容器７０の開口端部は窓板
７２で封止されて、円筒状容器７０内にその外側の大気
８２と遮断されたキャビティ７４を形成している。この
キャビティ７４内には大気圧または大気圧より減圧され
た不活性ガスとしてＸ線透過率の高いヘリウムガス８０
が配管８１から流されて、ベリリウム窓４４を冷却して
いる。
取り付けられ、さらに円筒状容器７０の開口端部は窓板
７２で封止されて、円筒状容器７０内にその外側の大気
８２と遮断されたキャビティ７４を形成している。この
キャビティ７４内には大気圧または大気圧より減圧され
た不活性ガスとしてＸ線透過率の高いヘリウムガス８０
が配管８１から流されて、ベリリウム窓４４を冷却して
いる。
窓板７２の中央部には、Ｘ線マスク基板窓７６が設けら
れている。Ｘ線マスク基板窓７６は例えば窒化シリコン
、窒化ボロン等の腐食をしないまたはしにくいＸ線マス
ク基板材料で作られ、その厚さはヘリウムガスを封止す
るのに必要な厚さだけあればよく、例えば１μｍ程度に
することができる。キャビティ７４を通過してきたＳＯ
ＲＯＲ光査９線マスク基板窓７６から出射され、大気８
２中に置かれた露光対象 （ＬＳＩ基板等）７８に照射されて、露光が行なわれる
。
れている。Ｘ線マスク基板窓７６は例えば窒化シリコン
、窒化ボロン等の腐食をしないまたはしにくいＸ線マス
ク基板材料で作られ、その厚さはヘリウムガスを封止す
るのに必要な厚さだけあればよく、例えば１μｍ程度に
することができる。キャビティ７４を通過してきたＳＯ
ＲＯＲ光査９線マスク基板窓７６から出射され、大気８
２中に置かれた露光対象 （ＬＳＩ基板等）７８に照射されて、露光が行なわれる
。
Ｘ線基板窓７６は、第６図に正面図で示すように、上下
方向の幅がＳＯＲＯＲ光査９動範囲（つまり、前露光範
囲）より狭く形成されている。
方向の幅がＳＯＲＯＲ光査９動範囲（つまり、前露光範
囲）より狭く形成されている。
第１図において、ミラー揺動機構３６のカム４２の回転
位置は、パルスエンコーダ等の位置検出器６０で検出さ
れる。また、窓揺動機構５２のカム５８の回転位置は、
パルスエンコーダ等の位置検出器６２で検出される。
位置は、パルスエンコーダ等の位置検出器６０で検出さ
れる。また、窓揺動機構５２のカム５８の回転位置は、
パルスエンコーダ等の位置検出器６２で検出される。
揺動制御手段６４は、位置検出器６０．６２の検出に基
づき、サーボアンプ６６．６８を介してモータ４０，５
６を同期駆動することにより、斜入射ミラー３０および
窓部４８を連動させる。これにより、ＳＯＲＯＲ光査９
動位置に窓４４゜７６が移動して、ＳＯＲＯＲ光査９射
される。
づき、サーボアンプ６６．６８を介してモータ４０，５
６を同期駆動することにより、斜入射ミラー３０および
窓部４８を連動させる。これにより、ＳＯＲＯＲ光査９
動位置に窓４４゜７６が移動して、ＳＯＲＯＲ光査９射
される。
ミラー揺動機構３６および窓部揺動機構５２の動作を第
７図に示す。（ａ）のように斜入射ミラー３０の右部が
上方向に揺動している時は窓部４８も上方向に揺動して
、上方向に揺動しているＳＯＲＯＲ光査９４４．７６か
ら出射させて露光対象７８の上部を露光する。また、（
ｂ）のように斜入射ミラー３０の右部が下方向に揺動し
ている時は窓部４８も下方向に揺動して、下方向に揺動
しているＳＯＲＯＲ光査９４４．７６から出射させて露
光対象７８の下部を露光する。このようにして、ＳＯＲ
ＯＲ光査９動幅よりも小さい窓４４．７６を使用して、
ＳＯＲＯＲ光査９射して、露光対象７８全体を露光する
ことができる。
７図に示す。（ａ）のように斜入射ミラー３０の右部が
上方向に揺動している時は窓部４８も上方向に揺動して
、上方向に揺動しているＳＯＲＯＲ光査９４４．７６か
ら出射させて露光対象７８の上部を露光する。また、（
ｂ）のように斜入射ミラー３０の右部が下方向に揺動し
ている時は窓部４８も下方向に揺動して、下方向に揺動
しているＳＯＲＯＲ光査９４４．７６から出射させて露
光対象７８の下部を露光する。このようにして、ＳＯＲ
ＯＲ光査９動幅よりも小さい窓４４．７６を使用して、
ＳＯＲＯＲ光査９射して、露光対象７８全体を露光する
ことができる。
このような構成によれば、ベリリウム窓４４は大気８２
と遮断されているので、ＳＯＲＯＲ光査９り加熱されて
も腐食することはない。したがって、前記第３図の従来
装置のように全体を密閉容器３３で密閉して露光する必
要がなく、大気中で露光ができるので、露光作業効率が
良好となり、生産性が高められる。また、窓４４．７６
の面積を小さくできるので、窓４４の板厚を薄くしても
機械的強度が十分に確保され、ＳＯＲＯＲ光査９過率を
高めて出射強度を高めることができる。
と遮断されているので、ＳＯＲＯＲ光査９り加熱されて
も腐食することはない。したがって、前記第３図の従来
装置のように全体を密閉容器３３で密閉して露光する必
要がなく、大気中で露光ができるので、露光作業効率が
良好となり、生産性が高められる。また、窓４４．７６
の面積を小さくできるので、窓４４の板厚を薄くしても
機械的強度が十分に確保され、ＳＯＲＯＲ光査９過率を
高めて出射強度を高めることができる。
前記実施例ではベローズ４６を１段としたが、２段以上
に配列すれば、より大きな揺動距離を確保することがで
きる。
に配列すれば、より大きな揺動距離を確保することがで
きる。
また、前記実施例では、ミラー揺動機構３６と窓部揺動
機構５２を電気的制御により同期させるようにしたが、
同一駆動源を用いてメカ的に連動させて同期させること
もできる。
機構５２を電気的制御により同期させるようにしたが、
同一駆動源を用いてメカ的に連動させて同期させること
もできる。
また、前記実施例では窓部４８の揺動を上下方向の回転
運動としたが、上下方向の平行移動とすることもできる
。
運動としたが、上下方向の平行移動とすることもできる
。
また、前記実施例では、この発明をミラー揺動によるＳ
ＯＲ光揺動に適用した場合について説明したが蓄積リン
グ内の電子ビームの揺動によるＳＯＲ光揺動にも適用す
ることができる。
ＯＲ光揺動に適用した場合について説明したが蓄積リン
グ内の電子ビームの揺動によるＳＯＲ光揺動にも適用す
ることができる。
また、前記実施例では、金属製窓４４にベリリウムを用
いた場合について説明したが、真空封止が可能で、かつ
ＳＯＲ光を透過し、かつ大気中でＳＯＲ光が照射される
と腐食を生じるような各種金属材料を金属製窓に用いた
場合にもこの発明を適用することができる。
いた場合について説明したが、真空封止が可能で、かつ
ＳＯＲ光を透過し、かつ大気中でＳＯＲ光が照射される
と腐食を生じるような各種金属材料を金属製窓に用いた
場合にもこの発明を適用することができる。
以上説明したように、この発明によれば、金属製窓の外
側にキャビティを形成して不活性ガスを充填したので、
金属製窓は大気に触れず、腐食が防止されて、強度を長
期間保つことができる。したがって、金属製窓および露
光対象を前記従来装置のように密閉容器中に収容して露
光しなくてすみ、大気中での露光ができるので、露光作
業効率が良好となる。
側にキャビティを形成して不活性ガスを充填したので、
金属製窓は大気に触れず、腐食が防止されて、強度を長
期間保つことができる。したがって、金属製窓および露
光対象を前記従来装置のように密閉容器中に収容して露
光しなくてすみ、大気中での露光ができるので、露光作
業効率が良好となる。
また、ＳＯＲ光の揺動に連動して金属製窓およびそれ以
後の部分をベローズを介して揺動させるようにすれば、
金属製窓およびＸ線マスク基板窓をＳＯＲ光の揺動範囲
に対して小面積に形成することができるので、金属製窓
およびＸ線マスク基板窓を薄くしても十分な強度を確保
することができ、これによりＳＯＲ光の透過率をより高
めることができる。
後の部分をベローズを介して揺動させるようにすれば、
金属製窓およびＸ線マスク基板窓をＳＯＲ光の揺動範囲
に対して小面積に形成することができるので、金属製窓
およびＸ線マスク基板窓を薄くしても十分な強度を確保
することができ、これによりＳＯＲ光の透過率をより高
めることができる。
また、キャビティ内に外部から不活性ガスを流す流路を
形成して、不活性ガスを流すようにすれば、金属製窓の
冷却を行なうこともできる。
形成して、不活性ガスを流すようにすれば、金属製窓の
冷却を行なうこともできる。
第１図は、この発明の一実施例を示す光取り出しライン
の縦断面図および揺動機構の制御系統を示すブロック図
である。 第２図は、ＳＯＲ光装置の概要を示す平面図である。 第３図は、従来の光取り出しラインの構造を示す縦断面
図である。 第４図は、第３図の窓３２の形状を示す正面図である。 第５図は、第１図のベリリウム窓４４の形状を示す正面
図である。 第６図は、第１図のＸ線マスク基板窓７６の形状を示す
正面図である。 第７図は、第１図の揺動機構の揺動動作を示す縦断面図
である。 １・・・ＳＯＲ光装置、２６・・・光取り出しライン、
２９・・・ＳＯＲ光、３０・・・斜入射ミラー、３６・
・・ミラー揺動機構、４４・・・ベリリウム窓（金属製
窓）、４６・・・ベローズ、４８・・・窓部、５２・・
・窓部揺動機構、６４・・・揺動制御手段、７４・・・
キャビティ、７６・・・Ｘ線マスク基板窓、７８・・・
露光対象、８０・・・ヘリウムガス（不活性ガス）、８
２・・・大気。 出願人 石川島播磨重工業株式会社 第５ 図 ７２：窓板 第６図 手 続 り竹 正 書 平成 １２ ２８゜ 年弁存月−！Ｆ＠１コ
の縦断面図および揺動機構の制御系統を示すブロック図
である。 第２図は、ＳＯＲ光装置の概要を示す平面図である。 第３図は、従来の光取り出しラインの構造を示す縦断面
図である。 第４図は、第３図の窓３２の形状を示す正面図である。 第５図は、第１図のベリリウム窓４４の形状を示す正面
図である。 第６図は、第１図のＸ線マスク基板窓７６の形状を示す
正面図である。 第７図は、第１図の揺動機構の揺動動作を示す縦断面図
である。 １・・・ＳＯＲ光装置、２６・・・光取り出しライン、
２９・・・ＳＯＲ光、３０・・・斜入射ミラー、３６・
・・ミラー揺動機構、４４・・・ベリリウム窓（金属製
窓）、４６・・・ベローズ、４８・・・窓部、５２・・
・窓部揺動機構、６４・・・揺動制御手段、７４・・・
キャビティ、７６・・・Ｘ線マスク基板窓、７８・・・
露光対象、８０・・・ヘリウムガス（不活性ガス）、８
２・・・大気。 出願人 石川島播磨重工業株式会社 第５ 図 ７２：窓板 第６図 手 続 り竹 正 書 平成 １２ ２８゜ 年弁存月−！Ｆ＠１コ
Claims (2)
- （１）ＳＯＲ光装置の光取り出しラインに配設されてこ
の光取り出しラインを真空封止してＳＯＲ光を取り出す
金属製窓と、 この金属製窓の外側に配設されて、この金属製窓の外側
の面と大気とを遮断する内部に不活性ガスが充填された
キャビティと、 このキャビティの一部に配設されてこのキャビティを通
過してきたＳＯＲ光を大気中に出射する前記金属製窓よ
りも薄いＸ線マスク基板材料で作られたＸ線マスク基板
窓と を具備してなるＳＯＲ光装置におけるＳＯＲ光出射用窓
装置。 - （２）前記光取り出しラインが前記金属製窓よりも手前
の部分にベローズを具え、ＳＯＲ光の上下方向の揺動に
同期して前記金属製窓以後の部分が上下方向に揺動され
ることを特徴とする請求項１記載のＳＯＲ光装置におけ
るＳＯＲ光出射用窓装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2246569A JPH04125500A (ja) | 1990-09-17 | 1990-09-17 | Ｓｏｒ光装置におけるｓｏｒ光出射用窓装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2246569A JPH04125500A (ja) | 1990-09-17 | 1990-09-17 | Ｓｏｒ光装置におけるｓｏｒ光出射用窓装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04125500A true JPH04125500A (ja) | 1992-04-24 |
Family
ID=17150369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2246569A Pending JPH04125500A (ja) | 1990-09-17 | 1990-09-17 | Ｓｏｒ光装置におけるｓｏｒ光出射用窓装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04125500A (ja) |
-
1990
- 1990-09-17 JP JP2246569A patent/JPH04125500A/ja active Pending
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