JPH0412650U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0412650U JPH0412650U JP5345490U JP5345490U JPH0412650U JP H0412650 U JPH0412650 U JP H0412650U JP 5345490 U JP5345490 U JP 5345490U JP 5345490 U JP5345490 U JP 5345490U JP H0412650 U JPH0412650 U JP H0412650U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafers
- grooves
- case
- swinging
- vibrating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims 1
Description
第１図ａ，ｂは、本考案の一実施例の縦断面図
と側面図である。 １……キヤリアケース、２……ストツパー、３
……ストツパー固定用蓋、４……溝、５……ウエ
ーハ。
と側面図である。 １……キヤリアケース、２……ストツパー、３
……ストツパー固定用蓋、４……溝、５……ウエ
ーハ。
Claims (1)
- 半導体ウエーハを挿入する複数の溝を有するキ
ヤリアケースにおいて、溝内での半導体ウエーハ
の揺れや振動を防止するために弾力のある材料で
作られたストツパーを設けたことを特徴とする半
導体ウエーハのキヤリアケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5345490U JPH0412650U (ja) | 1990-05-22 | 1990-05-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5345490U JPH0412650U (ja) | 1990-05-22 | 1990-05-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0412650U true JPH0412650U (ja) | 1992-01-31 |
Family
ID=31574652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5345490U Pending JPH0412650U (ja) | 1990-05-22 | 1990-05-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0412650U (ja) |
-
1990
- 1990-05-22 JP JP5345490U patent/JPH0412650U/ja active Pending