JPH0412679A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JPH0412679A JPH0412679A JP2115649A JP11564990A JPH0412679A JP H0412679 A JPH0412679 A JP H0412679A JP 2115649 A JP2115649 A JP 2115649A JP 11564990 A JP11564990 A JP 11564990A JP H0412679 A JPH0412679 A JP H0412679A
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- JP
- Japan
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- rotor
- vibrator
- rotating shaft
- piezoelectric element
- coaxially
- Prior art date
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は超音波モータに関する。
(従来技術)
従来、この種の超音波モータにおいては、特開昭62−
207180号公報に示されているように、クラッチフ
ィルの非励磁状態に基き第2円盤部材がコイルスプリン
グにより付勢されてボールベアリング及び第1円盤部材
を介し回転子を一定の接触圧にて振動子に圧接させた状
態にあるとき、圧電素子を励振させれば、回転子が振動
子から生じる進行波に応じ回転し回転軸を回転させ、一
方、クラッチコイルの励磁状態に基き第2円盤部材がフ
ィルスプリングに抗しステータにより吸引されて振動子
に対する回転子の接触状態を解除して回転子及び回転軸
を回転自由な状態におくようにしである。
207180号公報に示されているように、クラッチフ
ィルの非励磁状態に基き第2円盤部材がコイルスプリン
グにより付勢されてボールベアリング及び第1円盤部材
を介し回転子を一定の接触圧にて振動子に圧接させた状
態にあるとき、圧電素子を励振させれば、回転子が振動
子から生じる進行波に応じ回転し回転軸を回転させ、一
方、クラッチコイルの励磁状態に基き第2円盤部材がフ
ィルスプリングに抗しステータにより吸引されて振動子
に対する回転子の接触状態を解除して回転子及び回転軸
を回転自由な状態におくようにしである。
(発明が解決しようとする課題)
しかし、このような構成においては、上述のよぅにクラ
1.チコイルの励磁時には回転軸の回転状態が自由にな
るものの、フィルスプリングの付勢力に打勝つような電
磁力をステータから発生させるためには、クラッチコイ
ル及びステータの形状寸法を大きくしなければならず、
その結果、超音波モータとしての形状寸法及び重量が不
必要に大きくなるという不具合が生じる。
1.チコイルの励磁時には回転軸の回転状態が自由にな
るものの、フィルスプリングの付勢力に打勝つような電
磁力をステータから発生させるためには、クラッチコイ
ル及びステータの形状寸法を大きくしなければならず、
その結果、超音波モータとしての形状寸法及び重量が不
必要に大きくなるという不具合が生じる。
ソコテ、本発明は、このようなことに対処すべく、超音
波モータにおいて、圧電素子を有効に活用して、振動子
と回転子との間の圧接或は解離を行うようにして、コン
パクト化及び軽量化を図ろうとするものである。
波モータにおいて、圧電素子を有効に活用して、振動子
と回転子との間の圧接或は解離を行うようにして、コン
パクト化及び軽量化を図ろうとするものである。
(課題を解決するための手段)
かかる課題の解決にあたり、本発明の構成は、筒状ケー
シングと、このケーシング内に同軸的に回転可能に軸支
した回転軸と、この回転軸に同軸的に遊嵌するように前
記ケーシングの一軸方向端内壁に固着されて交流入力に
応じ超音波振動を生ずる環状第1圧電素子と、前記回転
軸に同軸的に遊嵌するように前記第1圧電素子に固着さ
れて同第1圧電素子の超音波振動に応じ進行波を生ずる
環状振動子と、前記ケーシング内に前記回転軸と共に同
軸的に回転するように組付けられて前記振動子に対向す
る回転子と、この回転子に対し前記振動子とは他側にて
前記ケーシング内に前記回転軸に遊嵌するように組付け
られて直流入力の印加により伸長し前記回転子を前記振
動子に圧接させてその進行波により回転させ前記直流入
力の非印加により短縮し前記回転子を前記振動子から解
離させて停止させる環状第2圧電素子とを備えるように
したことにある。
シングと、このケーシング内に同軸的に回転可能に軸支
した回転軸と、この回転軸に同軸的に遊嵌するように前
記ケーシングの一軸方向端内壁に固着されて交流入力に
応じ超音波振動を生ずる環状第1圧電素子と、前記回転
軸に同軸的に遊嵌するように前記第1圧電素子に固着さ
れて同第1圧電素子の超音波振動に応じ進行波を生ずる
環状振動子と、前記ケーシング内に前記回転軸と共に同
軸的に回転するように組付けられて前記振動子に対向す
る回転子と、この回転子に対し前記振動子とは他側にて
前記ケーシング内に前記回転軸に遊嵌するように組付け
られて直流入力の印加により伸長し前記回転子を前記振
動子に圧接させてその進行波により回転させ前記直流入
力の非印加により短縮し前記回転子を前記振動子から解
離させて停止させる環状第2圧電素子とを備えるように
したことにある。
(作用)
このように本発明を構成したことにより、前記第1圧電
素子及び第2圧電素子に交流入力及び直流入力をそれぞ
れ印加すれば、前記第1圧電素子が超音波振動を発生し
、これに伴い前記振動子が進行波を生じる。一方、前記
第2圧電素子が前記直流入力に応じ伸長して前記回転子
を前記振動子に圧接すると、前記回転子が前記振動子か
らの進行波に応じ回転し前記回転軸を回転させる。一方
、前記第1圧電素子及び第2圧電素子を前記交流入力及
び直流入力から遮断すると、前記第1圧電素子からの超
音波振動及び前記振動子からの進行波が消滅し、一方、
前記第2圧電素子がその短縮により前記回転子を前記振
動子から解離させて停止させる。
素子及び第2圧電素子に交流入力及び直流入力をそれぞ
れ印加すれば、前記第1圧電素子が超音波振動を発生し
、これに伴い前記振動子が進行波を生じる。一方、前記
第2圧電素子が前記直流入力に応じ伸長して前記回転子
を前記振動子に圧接すると、前記回転子が前記振動子か
らの進行波に応じ回転し前記回転軸を回転させる。一方
、前記第1圧電素子及び第2圧電素子を前記交流入力及
び直流入力から遮断すると、前記第1圧電素子からの超
音波振動及び前記振動子からの進行波が消滅し、一方、
前記第2圧電素子がその短縮により前記回転子を前記振
動子から解離させて停止させる。
(発明の効果)
このように、前記第2圧電素子の伸縮により前記回転子
の前゛起振動子との圧着解離を行うようにしたので、こ
の種の超音波モータの軽量化及びコンパクト化を実現で
きる。
の前゛起振動子との圧着解離を行うようにしたので、こ
の種の超音波モータの軽量化及びコンパクト化を実現で
きる。
(実施例)
以下、本発明の一実施例を図面により説明すると、第1
図において符号10は段付円筒状ケーシングを示してお
り、このケーシング10内には、回転軸20が、その両
軸端部を、ケーシングlOの両生径部11.12内に両
スリーブベアリング11a、12aを介し同軸的に回転
可能に軸支して嵌装されている。また、この回転軸20
の中間部位には、環状の鍔21が同軸的に一体的に形成
されており、この鍔21は、その上面に形成した環状凹
所21a内に嵌装してなるボールベアリング22を介し
、ケーシング10の中径部13の上壁13aに下方から
回転自在に当接している。
図において符号10は段付円筒状ケーシングを示してお
り、このケーシング10内には、回転軸20が、その両
軸端部を、ケーシングlOの両生径部11.12内に両
スリーブベアリング11a、12aを介し同軸的に回転
可能に軸支して嵌装されている。また、この回転軸20
の中間部位には、環状の鍔21が同軸的に一体的に形成
されており、この鍔21は、その上面に形成した環状凹
所21a内に嵌装してなるボールベアリング22を介し
、ケーシング10の中径部13の上壁13aに下方から
回転自在に当接している。
ピエゾ積層体30は、複数の環板状ピエゾ素子31、
・・・、31を同軸的に積層重合して形成してなるも
ので、このピエゾ積層体30は、その中空部を回転軸2
0の中間部位に同軸的に遊嵌腰かつその外周面をケーシ
ング10の中径部13の内周面に環状空隙を介し対向さ
せるようにして、中径部13内にて、上端ピエゾ素子3
1の上面を鍔21の下面に同軸的に固着して組付けられ
ている。かかる場合、ピエゾ積層体30の各ピエゾ素子
31に高直流電圧が加わると、各ピエゾ素子31が鍔2
1の下面を基準にして同軸的に下方へ伸長する。一方、
各ピエゾ素子31への高直流電圧が消滅すると、各ピエ
ゾ素子31が鍔21の下面を基準に同軸的に上方へ短縮
する。但し、この短縮下にて、ピエゾ積層体30の下端
ピエゾ素子31がケーシング10の大径部14内に延出
してい中空円板40は、その中空部を回転軸20の中間
部位に同軸的に遊嵌し、かつその外周面をケーシング1
0の大径部14の内周面に環状空隙を介し対向させるよ
うにして、同大径部14内にてピエゾ積層体30の下端
ピエゾ素子31に下方から同軸的に固着されているもの
で、この中空円板40には、原板状回転子50が大径部
14内にて下方から同軸的に固着されている。かかる場
合、回転子50の中空部は回転子20の中間部位に遊嵌
されており、同回転子50の外周面は、大径部14の内
周面に環状空隙を介し対向している。
・・・、31を同軸的に積層重合して形成してなるも
ので、このピエゾ積層体30は、その中空部を回転軸2
0の中間部位に同軸的に遊嵌腰かつその外周面をケーシ
ング10の中径部13の内周面に環状空隙を介し対向さ
せるようにして、中径部13内にて、上端ピエゾ素子3
1の上面を鍔21の下面に同軸的に固着して組付けられ
ている。かかる場合、ピエゾ積層体30の各ピエゾ素子
31に高直流電圧が加わると、各ピエゾ素子31が鍔2
1の下面を基準にして同軸的に下方へ伸長する。一方、
各ピエゾ素子31への高直流電圧が消滅すると、各ピエ
ゾ素子31が鍔21の下面を基準に同軸的に上方へ短縮
する。但し、この短縮下にて、ピエゾ積層体30の下端
ピエゾ素子31がケーシング10の大径部14内に延出
してい中空円板40は、その中空部を回転軸20の中間
部位に同軸的に遊嵌し、かつその外周面をケーシング1
0の大径部14の内周面に環状空隙を介し対向させるよ
うにして、同大径部14内にてピエゾ積層体30の下端
ピエゾ素子31に下方から同軸的に固着されているもの
で、この中空円板40には、原板状回転子50が大径部
14内にて下方から同軸的に固着されている。かかる場
合、回転子50の中空部は回転子20の中間部位に遊嵌
されており、同回転子50の外周面は、大径部14の内
周面に環状空隙を介し対向している。
埋板状ピエゾ素子60は、ケーシング1oの大径部14
内にて回転子50と同軸的に位置しており、このピエゾ
素子60の下面は大径部14の底壁内面に固着されてい
る。しかして、このピエゾ素子60は、交流電圧を受け
て、大径部14の底壁内面を基準として上下に超音波振
動を生じる。
内にて回転子50と同軸的に位置しており、このピエゾ
素子60の下面は大径部14の底壁内面に固着されてい
る。しかして、このピエゾ素子60は、交流電圧を受け
て、大径部14の底壁内面を基準として上下に超音波振
動を生じる。
埋板状振動子70は、その下面にて、ピエゾ素子60の
上面に同軸的に固着されており、この振動子70の上面
は、回転子50の下面により選択的(こかつ同軸的に圧
接されるべく同回転子50の下面に環状狭隙を介し対向
している。しかして、振動子70はピエゾ素子60の超
音波振動を受けて進行波を発生する。このことは、回転
子50がピエゾ積層体30の伸長により振動子70に圧
接されているとき、回転子50が振動子70の進行波を
受けて回転力を生じることを意味する。
上面に同軸的に固着されており、この振動子70の上面
は、回転子50の下面により選択的(こかつ同軸的に圧
接されるべく同回転子50の下面に環状狭隙を介し対向
している。しかして、振動子70はピエゾ素子60の超
音波振動を受けて進行波を発生する。このことは、回転
子50がピエゾ積層体30の伸長により振動子70に圧
接されているとき、回転子50が振動子70の進行波を
受けて回転力を生じることを意味する。
以上のように構成した本実施例において、ピエゾ積層体
30の各ピエゾ素子31に高直流電圧を印加するととも
にピエゾ素子60に交流電圧を印加すれば、ピエゾ積層
体30が各ピエゾ素子31の伸長に応じ回転軸20の鍔
21を基準に下方へ同軸的に伸長し、これに伴い中空円
板40が回転軸20と同軸的に下方へ向けて変位し回転
子50を振動子70に同軸的に圧接させる。一方、ピエ
ゾ素子60が交流電圧に応答して超音波振動を発生し振
動子70から進行波を生じさせる。
30の各ピエゾ素子31に高直流電圧を印加するととも
にピエゾ素子60に交流電圧を印加すれば、ピエゾ積層
体30が各ピエゾ素子31の伸長に応じ回転軸20の鍔
21を基準に下方へ同軸的に伸長し、これに伴い中空円
板40が回転軸20と同軸的に下方へ向けて変位し回転
子50を振動子70に同軸的に圧接させる。一方、ピエ
ゾ素子60が交流電圧に応答して超音波振動を発生し振
動子70から進行波を生じさせる。
このように回転子50が振動子70に圧接するとともに
振動子70が進行波を生じると、回転子50が振動子7
0からの進行波を受けて回転し、これに伴い回転軸20
が、ポールベアリング22、中空円板40、ピエゾ積層
体30及び鍔21と共に回転子50に連動してこれと同
一方向に回転する。かかる状態において、ピエゾ積層体
30への高直流電圧の印加及びピエゾ素子60への交流
電圧の印加が停止されると、ピエゾ積層体30が各ピエ
ゾ素子31の短縮に応じ上方へ短縮し、これに伴い中空
円板40が上方へ変位して回転子50を振動子70から
上方へ向は解離させる。また、振動子70の進行波がピ
エゾ素子60からの超音波振動の消滅に伴い消滅する。
振動子70が進行波を生じると、回転子50が振動子7
0からの進行波を受けて回転し、これに伴い回転軸20
が、ポールベアリング22、中空円板40、ピエゾ積層
体30及び鍔21と共に回転子50に連動してこれと同
一方向に回転する。かかる状態において、ピエゾ積層体
30への高直流電圧の印加及びピエゾ素子60への交流
電圧の印加が停止されると、ピエゾ積層体30が各ピエ
ゾ素子31の短縮に応じ上方へ短縮し、これに伴い中空
円板40が上方へ変位して回転子50を振動子70から
上方へ向は解離させる。また、振動子70の進行波がピ
エゾ素子60からの超音波振動の消滅に伴い消滅する。
かかる場合、回転子50が上述のように振動子70から
解離しているので、回転軸20は、外部から自由に比較
的小さな力でもって回転可能となる。
解離しているので、回転軸20は、外部から自由に比較
的小さな力でもって回転可能となる。
以上説明したように、回転子50と振動子70との間の
選択的圧接をピエゾ積層体30への高直流電圧の選択的
印加により達成しつつ、ピエゾ素子60からの超音波振
動に伴う振動子7oからの進行波により回転子50を回
転させるようにしたので、超音波モータの回転に必要な
回転子5oと振動子70との圧接状態が、比較的形状寸
法の小さい軽量なピエゾ積層体3oの作動により実現さ
れ得る。その結果、超音波モータの小型化及び軽量化が
達成され得る。また、ピエゾ積層体3oの各ピエゾ素子
31は、小電流で応答性よく作動するので、接続線とし
て必要となるワイヤハーネスの小径化が可能となる。
選択的圧接をピエゾ積層体30への高直流電圧の選択的
印加により達成しつつ、ピエゾ素子60からの超音波振
動に伴う振動子7oからの進行波により回転子50を回
転させるようにしたので、超音波モータの回転に必要な
回転子5oと振動子70との圧接状態が、比較的形状寸
法の小さい軽量なピエゾ積層体3oの作動により実現さ
れ得る。その結果、超音波モータの小型化及び軽量化が
達成され得る。また、ピエゾ積層体3oの各ピエゾ素子
31は、小電流で応答性よく作動するので、接続線とし
て必要となるワイヤハーネスの小径化が可能となる。
次に、前記実施例の変形例について第2図を参照して説
明すると、この変形例においては、回転軸20Aが、前
記実施例にいう回転軸2oに代えて、ケーンングlO内
に各スリーブベアリングlla、12aを介し同軸的に
回転可能に軸支されている。埋板状スプリング25は、
スリーブベアリング12a内にてケーシング10の小径
部12の底壁状に着座してその弾力により回転軸20A
を受承し゛ている。また、前記実施例にいうピエゾ積層
体30が、ケーシング1oの中径部ts内+、::て、
その上端ピエゾ素子31を中径部13の土壁に固着する
ようにして、回転軸20Aの中間部位に同軸的に遊嵌さ
れており、このピエゾ積層体30の外周面は、前記実施
例と同様に環状空隙を介し中径部13の内周面に対向し
ている。
明すると、この変形例においては、回転軸20Aが、前
記実施例にいう回転軸2oに代えて、ケーンングlO内
に各スリーブベアリングlla、12aを介し同軸的に
回転可能に軸支されている。埋板状スプリング25は、
スリーブベアリング12a内にてケーシング10の小径
部12の底壁状に着座してその弾力により回転軸20A
を受承し゛ている。また、前記実施例にいうピエゾ積層
体30が、ケーシング1oの中径部ts内+、::て、
その上端ピエゾ素子31を中径部13の土壁に固着する
ようにして、回転軸20Aの中間部位に同軸的に遊嵌さ
れており、このピエゾ積層体30の外周面は、前記実施
例と同様に環状空隙を介し中径部13の内周面に対向し
ている。
また、中空円板23が、前記実施例にいう中空円板40
に代えて採用され、ケーシング10の大径部14内にて
回転軸20Aの下方部に同軸的に嵌着されている。この
中空円板23の上面に形成した環状凹所23a内には、
ボールベアリング24が嵌装されており、このボールベ
アリング24は、ピエゾ積層体30を、その下端ピエゾ
素子31にてスプリング25の作用のもとに相対回動自
在に下方から当接することにより受承している。
に代えて採用され、ケーシング10の大径部14内にて
回転軸20Aの下方部に同軸的に嵌着されている。この
中空円板23の上面に形成した環状凹所23a内には、
ボールベアリング24が嵌装されており、このボールベ
アリング24は、ピエゾ積層体30を、その下端ピエゾ
素子31にてスプリング25の作用のもとに相対回動自
在に下方から当接することにより受承している。
この中空円板23の下面には、前記実施例にいう回転子
50が同軸的に固着されてスプリング25に抗し振動子
70に選択的に当接すべく対向している。その他の構成
は前記実施例と同様である。
50が同軸的に固着されてスプリング25に抗し振動子
70に選択的に当接すべく対向している。その他の構成
は前記実施例と同様である。
このように構成した本変形例において、前記実施例と同
様に、ピエゾ積層体30の各ピエゾ素子31に高直流電
圧を印加するとともにピエゾ素子60に交流電圧を印加
すれば、ピエゾ積層体30が各ピエゾ素子31の伸長に
応じケーシングlOの中径部13の土壁を基準に下方へ
同軸的に伸長し、これに伴い中空円板23が回転軸2O
A及びボールベアリング24と共に同軸的にスプリング
25に抗し下方へ向けて変位し回転子50を振動子70
に圧接させる。一方、ピエゾ素子60が交流電圧に応答
して超音波振動を発生し振動子70から進行波を生じさ
せる。
様に、ピエゾ積層体30の各ピエゾ素子31に高直流電
圧を印加するとともにピエゾ素子60に交流電圧を印加
すれば、ピエゾ積層体30が各ピエゾ素子31の伸長に
応じケーシングlOの中径部13の土壁を基準に下方へ
同軸的に伸長し、これに伴い中空円板23が回転軸2O
A及びボールベアリング24と共に同軸的にスプリング
25に抗し下方へ向けて変位し回転子50を振動子70
に圧接させる。一方、ピエゾ素子60が交流電圧に応答
して超音波振動を発生し振動子70から進行波を生じさ
せる。
このように回転子50が振動子70に圧接するとともに
振動子70が進行波を生じると、回転子50が振動子7
0からの進行波を受けて回転し、これに伴い回転軸2O
Aが中空円板23及びボールベアリング24と共に回転
子50に連動してこれと同一方向に回転する。かかる状
態において、ピエゾ積層体30への高直流電圧の印加及
びピエゾ素子60への交流電圧の印加が停止されると、
ピエゾ積層体30が各ピエゾ素子31の短縮に応じ上方
へ短縮し、これに伴い中空円板23がボールベアリング
24と共にスプリング25の付勢のもとに上方へ変位し
て回転子50を振動子70から上方へ向は解離させる。
振動子70が進行波を生じると、回転子50が振動子7
0からの進行波を受けて回転し、これに伴い回転軸2O
Aが中空円板23及びボールベアリング24と共に回転
子50に連動してこれと同一方向に回転する。かかる状
態において、ピエゾ積層体30への高直流電圧の印加及
びピエゾ素子60への交流電圧の印加が停止されると、
ピエゾ積層体30が各ピエゾ素子31の短縮に応じ上方
へ短縮し、これに伴い中空円板23がボールベアリング
24と共にスプリング25の付勢のもとに上方へ変位し
て回転子50を振動子70から上方へ向は解離させる。
また、振動子70の進行波がピエゾ素子60からの超音
波振動の消滅に伴い消滅する。かかる場合、回転子50
が上述のようにスプリング25の作用のもとに振動子7
゜から解離しているので、回転軸2OAは、外部から自
由に比較的小さな力でもって回転可能となる。
波振動の消滅に伴い消滅する。かかる場合、回転子50
が上述のようにスプリング25の作用のもとに振動子7
゜から解離しているので、回転軸2OAは、外部から自
由に比較的小さな力でもって回転可能となる。
以上説明したように、回転子50と振動子70との間の
選択的圧接をピエゾ積層体30への高直流電圧の選択的
印加によりスプリング25に抗して達成しつつ、ピエゾ
素子60からの超音波振動に伴う振動子70からの進行
波により回転子50を回転させるようにしたので、超音
波モータの回転に必要な回転子50と振動子70との圧
接状態が、比較的形状寸法の小さい軽量なピエゾ積層体
30の作動により実現され得る。その結果、超音波モー
タの小型化及び軽量化が達成され得る。かかる場合、回
転軸2OAの回転と共に回転する構成部材は、前記実施
例とは異なり中空円板23、ホールベアリング24及び
回転子50のみであって、ピエゾ積層体30は回転しな
い。従って、超音波モータとしての回転部材の慣性モー
メントが前記実施例の場合に比べて小さくなり、その結
果、超音波モータとしての回転に対する応答性が良くな
る。また、ピエゾ積層体30が、上述のごとく、回転し
ないので、各ピエゾ素子31〜31と外部接続導線との
間に必要なスリップリングが省略される。従って、各ピ
エゾ素子31〜31と外部接続導線との間の電気的接続
構造がより一層簡単になる。なお、その他の効果は前記
実施例と同様である。また、この変形例で採用したスプ
リング25は、省略して実施してもよい。
選択的圧接をピエゾ積層体30への高直流電圧の選択的
印加によりスプリング25に抗して達成しつつ、ピエゾ
素子60からの超音波振動に伴う振動子70からの進行
波により回転子50を回転させるようにしたので、超音
波モータの回転に必要な回転子50と振動子70との圧
接状態が、比較的形状寸法の小さい軽量なピエゾ積層体
30の作動により実現され得る。その結果、超音波モー
タの小型化及び軽量化が達成され得る。かかる場合、回
転軸2OAの回転と共に回転する構成部材は、前記実施
例とは異なり中空円板23、ホールベアリング24及び
回転子50のみであって、ピエゾ積層体30は回転しな
い。従って、超音波モータとしての回転部材の慣性モー
メントが前記実施例の場合に比べて小さくなり、その結
果、超音波モータとしての回転に対する応答性が良くな
る。また、ピエゾ積層体30が、上述のごとく、回転し
ないので、各ピエゾ素子31〜31と外部接続導線との
間に必要なスリップリングが省略される。従って、各ピ
エゾ素子31〜31と外部接続導線との間の電気的接続
構造がより一層簡単になる。なお、その他の効果は前記
実施例と同様である。また、この変形例で採用したスプ
リング25は、省略して実施してもよい。
第1図は本発明の一実施例を示す断面図、及び第2図は
前記実施例の変形例を示す断面図である。 符 号 の 説 明 lO・・・ケーシング、20.20A・・・回転軸、3
0・・・ピエゾ積層体、50・・・回転子、60・・・
ピエゾ素子、70・・・振動子。
前記実施例の変形例を示す断面図である。 符 号 の 説 明 lO・・・ケーシング、20.20A・・・回転軸、3
0・・・ピエゾ積層体、50・・・回転子、60・・・
ピエゾ素子、70・・・振動子。
Claims (1)
- 筒状ケーシングと、このケーシング内に同軸的に回転
可能に軸支した回転軸と、この回転軸に同軸的に遊嵌す
るように前記ケーシングの一軸方向端内壁に固着されて
交流入力に応じ超音波振動を生ずる環状第1圧電素子と
、前記回転軸に同軸的に遊嵌するように前記第1圧電素
子に固着されて同第1圧電素子の超音波振動に応じ進行
波を生ずる環状振動子と、前記ケーシング内に前記回転
軸と共に同軸的に回転するように組付けられて前記振動
子に対向する回転子と、この回転子に対し前記振動子と
は他側にて前記ケーシング内に前記回転軸に遊嵌するよ
うに組付けられて直流入力の印加により伸長し前記回転
子を前記振動子に圧接させてその進行波により回転させ
前記直流入力の非印加により短縮し前記回転子を前記振
動子から解離させて停止させる環状第2圧電素子とを備
えるようにした超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2115649A JPH0412679A (ja) | 1990-05-01 | 1990-05-01 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2115649A JPH0412679A (ja) | 1990-05-01 | 1990-05-01 | 超音波モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0412679A true JPH0412679A (ja) | 1992-01-17 |
Family
ID=14667869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2115649A Pending JPH0412679A (ja) | 1990-05-01 | 1990-05-01 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0412679A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1066362A (ja) * | 1996-06-11 | 1998-03-06 | Samsung Electron Co Ltd | 圧電形の加圧部材を備える振動波モータ |
| JP2007035739A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Murata Mfg Co Ltd | 回路基板および回路基板製造方法 |
| JP2020092192A (ja) * | 2018-12-06 | 2020-06-11 | 株式会社堀場エステック | ピエゾアクチュエータ、及び、流体制御弁 |
-
1990
- 1990-05-01 JP JP2115649A patent/JPH0412679A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1066362A (ja) * | 1996-06-11 | 1998-03-06 | Samsung Electron Co Ltd | 圧電形の加圧部材を備える振動波モータ |
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| CN111288199A (zh) * | 2018-12-06 | 2020-06-16 | 株式会社堀场Stec | 压电致动器和流体控制阀 |
| KR20200069226A (ko) * | 2018-12-06 | 2020-06-16 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 피에조 액츄에이터, 및 유체 제어 밸브 |
| CN111288199B (zh) * | 2018-12-06 | 2023-08-04 | 株式会社堀场Stec | 流体控制阀 |
| US11867308B2 (en) | 2018-12-06 | 2024-01-09 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Piezoelectric actuator and fluid control valve |
| TWI853855B (zh) * | 2018-12-06 | 2024-09-01 | 日商堀場Stec股份有限公司 | 流體控制閥 |
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