JPH04129011A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、薄膜磁性体、薄膜導体コイル及び非磁性絶縁
層を順次積層形成してなる薄膜磁気ヘッドに係り、特に
、高保磁力媒体に充分記録再生可能で且つ起磁力増加に
よる再生出力の低下が充分小さい薄膜磁気ヘッドに関す
る。

〔従来の技術〕

従来、フェライトコア等を用いたバルク型磁気ヘッドで
は記録の決定されるトレーリング側ギャップ近傍がリー
ディング側に対して急激に絞られた形状に加工したもの
が一般的であり、この場合は、ヘッド飽和時にトレーリ
ング側磁界勾配がなだらかとなり記録電流増加と共に再
生出力が急激に低下することが知られている。この対策
として、電気通信研究所研究実用化報告第２８巻第１０
号（１９７９）ｐｐ２２３７−２２３８に、リーディン
グ側を急激に絞った形状とすることによりヘッド飽和が
リーディング側で決定され、トレーリング側磁界勾配は
ほぼ一定に保たれ、再生出力の低下が大幅に低減される
ことが開示されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

これに対し薄膜磁気ヘッドの場合には、これまで保磁力
の小さい媒体に対しては磁気コアの厚さが比較的薄くて
も十分な記録再生ができていたために、一般には起磁力
増加による再生出力の低下現象はほとんど問題にならな
いものと考えられていた。これはヘッド飽和が磁気コア
先端近傍の段差部から先に起こるために、トレーリング
側磁界勾配は起磁力が増加してもほぼ一定に保たれてい
るからである。然るに、媒体の高記録密度化に伴い媒体
の高保磁力化が必要となり、高保磁力媒体に十分記録再
生するためには必然的にヘッドの磁気コアを厚くする必
要がある。こうなると、ヘッド飽和の始まる場所は磁気
コアの厚膜化と共に段差部から上部磁気コア先端のギャ
ップ対向部近傍に移動するため、記録の決定されるトレ
ーリング側磁界勾配が記録電流増加と共になだらかとな
り再生出力が低下するようになる。この現象は記録密度
が高くなるほど顕著になり、本来高記録密度での記録再
生性能に優れている薄膜磁気ヘッドの特長を阻害するこ
とになるが、これを積極的に対策しようとする試みは見
当らない。

本発明の目的は、上下磁気コアの形状を改善する観点か
ら検討し、高保磁力媒体に充分記録再生可能で、且つ、
起磁力増加による再生出力の低下が充分小さい薄膜磁気
ヘッドを提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明では、基板と、前記
基板上に薄膜磁性体によって形成される下部磁気コアと
、前記下部磁気コア上に順次形成される非磁性絶縁層及
び薄膜導体コイル、及び記録媒体に対向する側に磁気ギ
ャップをもち、反対側で前記下部磁気コアと磁気的に短
絡するように上部磁気コアが薄膜磁性体によって積層形
成される薄膜磁気ヘッドにおいて、前記上部磁気コア及
び前記下部磁気コアは共に先端近傍に段差部を設け、前
記下部磁気コア先端から前記下部磁気コア段差部の開始
位置までの距離が、前記上部磁気コア先端から前記上部
磁気コア先端段差部の開始位置までの距離より短い構成
としたものであり、これにより、前記薄膜導体コイルに
記録電流を流して前記薄膜磁気ヘッドを励磁したときに
前記下部磁気コア先端が前記上部磁気コア先端より先に
磁気飽和を引き起こすようになって、起磁力増加による
再生出力の低下が充分小さくなる。

また、本発明では、前記薄膜磁気ヘッドにおいて、前記
下部磁気コア先端が前記上部磁気コア先端より先に磁気
飽和を引き起こすことを前提として、高保磁力媒体に充
分記録再生可能となる構成としたものである。すなわち
、本発明では、前記下部磁気コア先端から前記下部磁気
コア段差部の終端位置までの距離が、前記上部磁気コア
先端から前記上部磁気コア先端段差部の開始位置までの
距離より長い構成としたものであり、前記下部磁気コア
先端の厚さが前記上部磁気コア先端の厚さの０．９倍以
上としたものであり、前記下部磁気コア先端段差部のテ
ーパ角度を３０°以上としたものであり、前記上部磁気
コア先端から前記上部磁気コア先端段差部の開始位置ま
での距離が１μｍ以上確保される構成としたものであり
、前記下部磁気コア段差部の高さが２μｍ以上確保され
る構成としたものであり、前気上部磁気コア及び前記下
部磁気コアは先端部分の幅が狭く、前記先端部より後方
の幅が広い形状からなり、前記下部磁気コアの幅の拡が
り開始位置が前記上部磁気コアの幅の拡がり開始位置よ
り前方にある構成としたものであり、前気上部磁気コア
先端段差部のテーパ角度を２０°以上５０°以下とした
ものである。

更に、本発明では、前記薄膜磁気ヘッドにおいて、Ｆｅ
系又はＣｏ系合金からなる磁気コアと、アルミナ等セラ
ミック材料からなる磁気ギャップ、ホトレジスト等有機
材料からなる非磁性絶縁層及びＣｕ等の金属導体からな
る励磁コイルによって構成するものであり、下部磁気コ
ア先端段差部を基板填込み加工、或いは、下部磁気コア
先端段差部をパターニングされた磁性膜及び非磁性絶縁
層の積層で形成するものである。

以上の各種手段により、本発明では、前記薄膜磁気ヘッ
ドにおいて、保磁力１ｋＯｅ以上の磁気ディスクに記録
再生可能で且つ起磁力増加による再生出力の低下量が出
力最大値の１０％以下としたことを特徴とする。

〔作用〕

上記技術手段は、記録の決定されるトレーリング側磁界
勾配の鈍化が起磁力増加による再生出力の低下を引き起
こすように作用する現象に着目して見出したものである
。薄膜ヘッドでは通常は上部磁気コア先端（上部ボール
）側が記録の決定されるトレーリング側となるように構
成される。磁気コアの厚さが比較的薄くても十分な記録
再生ができる薄膜磁気ヘッドの場合には、一般にヘッド
飽和が上部磁気コア段差部から先に起こるために、上部
ボールでは飽和が起こらずトレーリング側磁界勾配は起
磁力が増加してもほぼ一定に保たれる。

しかし、磁気コアが厚い薄膜磁気ヘッドの場合には、ヘ
ッド飽和の始まる場所は段差部から上部ボールのギャッ
プ対向部近傍に移動するため、上部ボールのギャップ対
向部近傍部での透磁率が記録電流増加と共に低下し、前
記上部ポール側から媒体の方向に放出される磁束の傾斜
角度が鈍化する。

この結果、ヘッド先端から所定の間隔をもつ媒体近傍に
おいて、前記上部ポール側の記録磁界勾配がなだらかと
なる。従って、記録電流増加と共に該トレーリング側の
磁界勾配が鈍化し、再生出力の低下を引き起こす。

一方、このような状況では、下部磁気コア先端（下部ボ
ール）の方は起磁力が増加してもしばらくは磁気飽和が
起こらず、下部ボール側の記録磁界勾配は比較的急峻の
ままほぼ一定に保たれている。従って、下部ボール側を
前記トレーリング側にできれば、このような手段でも起
磁力の増加による再生出力の低下を低減することができ
る。下部ボール側をトレーリング側とするためには、通
常のヘッド構成のまま磁気ディスクを逆回転させるか、
或いは、ヘッドの上部と下部を逆にした構成とする必要
がある。

これに対し、前記下部磁気コア側にもヘッド先端近傍に
段差を設け、前記下部ボール先端から前記下部磁気コア
段差部の開始位置までの距離が、前記上部ボール先端か
ら前記上部磁気コア先端段差部の開始位置までの距離よ
り短い構成とすれば。

前記薄膜導体コイルに記録電流を流して前記薄膜磁気ヘ
ッドを励磁したときに前記下部ボールが先に磁気飽和を
起こすようになる。従って、上部ボールの方は起磁力が
増加してもしばらくは磁気飽和が起こらず、該上部ポー
ル側の記録磁界勾配は比較的急峻のままほぼ一定に保た
れる。即ち、かかる構成とすることによって、トレーリ
ング側の記録磁界勾配が比較的急峻のままほぼ一定に保
たれ、起磁力増加による再生出力の低下が低減される。

このような構成の場合、通常の薄膜ヘッドと比較して、
上下ボールの磁気ギャップ対向部近傍における磁束の漏
れが若干増加しやすく、下部コアに段差部をもつ分、こ
こでの磁気飽和も考慮しなければならない。従って、先
に述べた各種の技術手段はいずれも上部ポール側の記録
磁界勾配が比較的急峻に保たれた状態で、ヘッド先端に
記録磁界を効率よく発生させる作用にもとづいて考案さ
れている。一般に、斜面部の膜厚は傾斜角が高くなれば
薄くなるため、前記磁気コア先端の傾斜角を過度に高く
すると、磁気コアの斜面部膜厚が薄くなって、ここで磁
気飽和が起こりやすくなり、ヘッド先端に発生する記録
磁界が減少する。一方、傾斜角を過度に低くすると、上
下磁気コアの間隔が狭まることになり、ヘッド先端に到
達する前に上下間を漏れていく磁束の量が増大し、やは
り、先端の記録磁界は減少する。

また、記録磁界減少の作用は、磁気コアの平面部面積に
より変動する。即ち、磁気コアの斜面部膜厚が薄くても
、斜面部面積が広くなっていれば、ここでの磁気飽和は
防止され、ヘッド先端の記録磁界も低減しない。一方、
斜面部傾斜角が低くても、斜面部の平面部面積が狭けれ
ば、ここからの磁束の漏れは少なくなり、記録磁界の減
少が防止される。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を述べる。

〈実施例１〉 第１図は本発明の第一の実施例である薄膜磁気ヘッド先
端部の断面図である。同図において、１及び２はＦｅ系
又はＣｏ系合金からなる、それぞれ上部磁気コアと下部
磁気コアである。また、３は上部磁気コアと下部磁気コ
アの間に充填されるホトレジスト等有機材料からなる非
磁性絶縁層であり、４は薄膜磁気ヘッドを励磁するため
の、Ｃｕ等の金属導体からなるコイルである。更に、薄
膜ヘッド先端の媒体対向部に設けられた、上部磁気コア
１及び下部磁気コア２の各先端部、即ち、上部ボール５
及び下部ボール６はアルミナ等セラミック材料からなる
非磁性絶縁層で形成された磁気ギャップ７を介して対向
している。本発明の薄膜磁気ヘッドは下部磁気コア２の
先端近傍に基板填込み加工か、或いは、パターニングさ
れた磁性膜及び非磁性絶縁層の積層で段差部を形成し、
上部ボール５の磁気ギャップ対向部８の長さＧｄｕに対
して、下部ボール６の磁気ギャップ対向部９の長さＧｄ
ｌが短くなるように構成する。

一方、第２図は従来の薄膜磁気ヘッド先端部の断面図で
ある。同図において、１１は上部磁気コアであり、１２
は下部磁気コアである。また、１３は上部磁気コアと下
部磁気コアの間に充填される非磁性層絶縁層であり、１
４は薄膜磁気ヘッドを励磁するための導体コイルである
。更に、薄膜ヘッド先端の媒体対向部に設けられた、上
部磁気コア１１及び下部磁気コア１２の各先端部、即ち
、上部ボール１５及び下部ポール１６は非磁性絶縁層か
らなる磁気ギャップ１７を介して、上部ポール１５の磁
気ギャップ対向部１８と下部ポール１６の磁気ギャップ
対向部１９で決まるギャップ深さＧｄをもって対向して
いる。

本発明からなる薄膜磁気ヘッドの従来の薄膜磁気ヘッド
に対する優位性は第３図によって明白に示される。同図
は本発明からなる薄膜磁気ヘッドと従来の薄膜磁気ヘッ
ドのトレーリング側記録磁界の勾配を比較したものであ
る。従来ヘッドでは磁界の最大値の増加と共に磁界勾配
は急速に低下するのに対し、本発明からなる薄膜ヘッド
では磁界勾配の低下の度合いが顕著に改善される。また
、これにより起磁力増加による再生出力の低下量が出力
最大値の１０％以下に軽減できる。

第４図は本発明からなる薄膜磁気ヘッドと従来の薄膜磁
気ヘッドについて、薄膜導体コイルに記録電流を流して
薄膜磁気ヘッドを励磁したときの、上下ポール先端での
磁束密度の分布とポール先端近傍における磁束分布を比
較したものである。同図より、従来の薄膜磁気ヘッドで
は、上部ボール先端の磁気ギャップ対向部近傍から先に
磁気飽和が起こっているのに対し、本発明からなる薄膜
磁気ヘッドでは、下部ボール先端の前記磁気ギャップ対
向部近傍から先に磁気飽和が起こっていることが分かる
。

第５図は上部ポール５の先端から上部磁気コア先端段差
部の開始位置までの距離、即ち、上部ポール５の磁気ギ
ャップ対向部８の長さＧｄｕと、下部ポール６の先端か
ら下部磁気コア段差部の開始位置までの距離、即ち、下
部ポール６の磁気ギャップ対向部９の長さＧｄｌとの差
、Ｇｄｕ−Ｇｄｌに対するトレーリング側記録磁界勾配
の変化を表している。同図より、Ｇｄｕ−Ｇｄｌは少な
くとも１μｍ以上確保されることにより本発明がより顕
著に効果を奏することがわかる。また、これにより起磁
力増加による再生出力の低下量が８力最大値の１０％以
下に軽減でき、保磁力１ｋｏｅ以上の磁気ディスクおい
ても充分に記録再生可能となる。

〈実施例２〉 次に第６図は、本発明の第二の実施例である薄膜磁気ヘ
ッド先端部の断面図である。同図において、２１及び２
２はＦｅ系又はＣＯ系合金からなる、それぞれ上部磁気
コアと下部磁気コアである。

また、２３は上部磁気コアと下部磁気コアの間に充填さ
れるホトレジスト等有機材料からなる非磁性絶縁層であ
り、２４は薄膜磁気ヘッドを励磁するための、Ｃｕ等の
金属導体からなるコイルである。更に、薄膜ヘッド先端
の媒体対向部に設けられた、上部磁気コア２１及び下部
磁気コア２２の各先端部、即ち、上部ボール２５及び下
部ポール２６はアルミナ等セラミック材料からなる非磁
性絶縁層で形成された磁気ギャップ２７を介して対向し
ている。本発明の薄膜磁気ヘッドは下部磁気コア２２の
先端近傍に基板填込み加工か、或いはパターニングされ
た磁性膜及び非磁性絶縁層の積層で段差部を形成し、上
部ボール２５の磁気ギャップ対向部２８の長さＧｄｕに
対して、下部ポール２６の磁気ギャップ対向部２９の長
さＧｄｌを短くすると共に、下部ポール２６の先端から
下部磁気コア段差部の終端位置までの距離りが、上部ボ
ール２５の先端から上部磁気コア先端段差部の開始位置
までの距離Ｇｄｕより長い構成とする。

第７図は下部ポール２６の先端から下部磁気コア段差部
の終端位置までの距離りに対する最大記録磁界とトレー
リング側記録磁界勾配の変化を表している。同図より、
Ｌは上部ポール２５の先端から上部磁気コア先端段差部
の開始位置までの距離Ｇｄｕより長くすることにより本
発明がより顕著に効果を奏することがわかる。また、こ
れにより起磁力増加による再生出力の低下量が出力最大
値の１０％以下に軽減でき、保磁力１ｋＯｅ以上の磁気
ディスクおいても充分に記録再生可能となる。

〈実施例３〉 次に第８図は、本発明の第三の実施例である薄膜磁気ヘ
ッド先端部の断面図である。同図において、３１及び３
２はＦｅ系又はＣｏ系合金からなる、それぞれ上部磁気
コアと下部磁気コアである。

また、３３は上部磁気コアと下部磁気コアの間に充填さ
れるホトレジスト等有機材料からなる非磁性絶縁層であ
り、３４は薄膜磁気ヘッドを励磁するための、Ｃｕ等の
金属導体からなるコイルである。更に、薄膜ヘッド先端
の媒体対向部に設けられた、上部磁気コア３１及び下部
磁気コア３２の各先端部、即ち、上部ボール３５及び下
部ボール３６はアルミナ等セラミック材料からなる非磁
性絶縁層で形成された磁気ギャップ３７を介して対向し
ている。本発明の薄膜磁気ヘッドは下部磁気コア３２の
先端近傍に基板填込み加工か、或いは、パターニングさ
れた磁性膜及び非磁性絶縁層の積層で段差部を形成し、
上部ボール３５の磁気ギャップ対向部３８の長さＧｄｕ
に対して、下部ボール３６の磁気ギャップ対向部３９の
長さＧｄｌを短くすると共に、下部ボール３６の厚さＰ
Ｌを上部ボール３５の厚さＰｕの０．９倍以上とする。

第９図は下部ボール３６の厚さＰｌに対する最大記録磁
界とトレーリング側記録磁界勾配の変化を表している。

同図より、下部ボール３６の厚さＰＬは上部ボール３５
の厚さＰｕの０，９倍以上とすることにより本発明がよ
り顕著に効果を奏することがわかる。また、これにより
起磁力増加による再生出力の低下量が出力最大値の１０
％以下に軽減でき、保磁力１ｋｏｅ以上の磁気ディスク
おいても充分に記録再生可能となる。

〈実施例４〉 次に第１０図は、本発明の第四の実施例である薄膜磁気
ヘッド先端部の断面図である。同図において、４１及び
４２はＦｅ系又はＣｏ系合金からなる、それぞれ上部磁
気コアと下部磁気コアである。また、４３は上部磁気コ
アと下部磁気コアの間に充填されるホトレジスト等有機
材料からなる非磁性絶縁層であり、４４は薄膜磁気ヘッ
ドを励磁するための、Ｃｕ等の金属導体からなるコイル
である。更に、薄膜ヘッド先端の媒体対向部に設けられ
た、上部磁気コア４１及び下部磁気コア４２の各先端部
、即ち、上部ボール４５及び下部ボール４２はアルミナ
等セラミック材料からなる非磁性絶縁層で形成された磁
気ギャップ４７を介して対向している。本発明の薄膜磁
気ヘッドは下部磁気コア４２の先端近傍に基板填込み加
工か、或いはパターニングされた磁性膜及び非磁性絶縁
層の積層で段差部を形成し、上部ボール４５の磁気ギャ
ップ対向部４８の長さＧｄｕに対して、下部ボール４６
の磁気ギャップ対向部４９の長さＧｄｌを短くすると共
に、下部磁気コア４２の先端段差部のテーバ角度θ１を
３０°以上とした構成とする。

第１１図は下部磁気コア４２の先端段差部のテーバ角度
θ１に対する最大記録磁界とトレーリング側記録磁界勾
配の変化を表している。同図より、テーバ角度θ１は３
０°以上とすることにより本発明がより顕著に効果を奏
することがわかる。また、これにより起磁力増加による
再生出力の低下量が出力最大値の１０％以下に軽減でき
、保磁力１ｋｏｅ以上の磁気ディスクおいても充分に記
録再生可能となる。

〈実施例５〉 次に第１２図は、本発明の第五の実施例である薄膜磁気
ヘッド先端部の断面図である。同図において、５１及び
５２はＦｅ系又はＣｏ系合金からなる、それぞれ上部磁
気コアと下部磁気コアである。また、５３は上部磁気コ
アと下部磁気コアの間に充填されるホトレジスト等有機
材料からなる非磁性絶縁層であり、５４は薄膜磁気ヘッ
ドを励磁するための、Ｃｕ等の金属導体からなるコイル
である。更に、薄膜ヘッド先端の媒体対向部に設けられ
た、上部磁気コア５１及び下部磁気コア５２の各先端部
、即ち、上部ボール５５及び下部ボール５６はアルミナ
等セラミック材料からなる非磁性絶縁層で形成された磁
気ギャップ５７を介して対向している。本発明の薄膜磁
気ヘッドは下部磁気コアＳ２の先端近傍に基板填込み加
工か、或いはパターニングされた磁性膜及び非磁性絶縁
層の積層で段差部を形成し、上部ボール５５の磁気ギャ
ップ対向部５８の長さＧｄｕに対して、下部ボール５６
の磁気ギャップ対向部５９の長さＧｄｌを短くすると共
に５上部ボール５５の先端から上部磁気コア先端段差部
の開始位置までの距離Ｇｄｕが１μｍ以上確保される構
成とする。

第１３図は前記上部ボール５５の先端から上部磁気コア
先端段差部の開始位置までの距離Ｇｄｕに対する最大記
録磁界とトレーリング側記録磁界勾配の変化を表してい
る。同図より、Ｇｄｕを１μｍ以上確保することにより
本発明がより顕著に効果を奏することがわかる。また、
これにより起磁力増加による再生出力の低下量が出力最
大値の１０％以下に軽減でき、保磁力１ｋＯｅ以上の磁
気ディスクおいても充分に記録再生可能となる。

〈実施例６〉 次に第１４図は、本発明の第六の実施例である薄膜磁気
ヘッド先端部の断面図である。同図において、６１及び
６２はＦｅ系又はＣｏ系合金からなる、それぞれ上部磁
気コアと下部磁気コアである。また、６３は上部磁気コ
アと下部磁気コアの間に充填されるホトレジスト等有機
材料からなる非磁性絶縁層であり、６４は薄膜磁気ヘッ
ドを励磁するための、Ｃｕ等の金属導体からなるコイル
である。更に、薄膜ヘッド先端の媒体対向部に設けられ
た、上部磁気コア６１及び下部磁気コア６２の各先端部
、即ち、上部ボール６５及び下部ボール６６はアルミナ
等セラミック材料からなる非磁性絶縁層で形成された磁
気ギャップ６７を介して対向している。本発明の薄膜磁
気ヘッドは下部磁気コア６２の先端近傍に基板堀込み加
工か、或いはパターニングされた磁性膜及び非磁性絶縁
層の積層で段差部を形成し、上部ボール６５の磁気ギャ
ップ対向部６８の長さＧｄｕに対して、下部ボール６６
の磁気ギャップ対向部６９の長さＧｄｌを短くすると共
に、下部磁気コア６２の段差部の高さＨｌが２μｍ以上
確保される構成とする。

第１５図は下部磁気コア６２の段差部の高さＨｌに対す
る最大記録磁界とトレーリング側記録磁界勾配の変化を
表している。同図より、下部磁気コア６２の段差部の高
さＨｌは２μｍ以上確保されることにより本発明がより
顕著に効果を奏することがわかる。また、これにより起
磁力増加による再生出力の低下量が出力最大値の１０％
以下に軽減でき、保磁力１ｋＯｅ以上の磁気ディスクお
いても充分に記録再生可能となる。

〈実施例７〉 次に第１６図は、本発明の第七の実施例である薄膜磁気
ヘッド先端部の断面図である。同図において、７１及び
７２はＦｅ系又はＣｏ系合金からなる、それぞれ上部磁
気コアと下部磁気コアである。また、７３は上部磁気コ
アと下部磁気コアの間に充填されるホトレジスト等有機
材料からなる非磁性絶縁層であり、７４は薄膜磁気ヘッ
ドを励磁するための、Ｃｕ等の金属導体からなるコイル
である。更に、薄膜ヘッド先端の媒体対向部に設けられ
た、上部磁気コア７１及び下部磁気コア７２の各先端部
、即ち、上部ボール７５及び下部ボール７６はアルミナ
等セラミック材料からなる非磁性絶縁層で形成された磁
気ギャップ７７を介して対向している。本発明の薄膜磁
気ヘッドは下部磁気コア７２の先端近傍に基板堀込み加
工か、或いはパターニングされた磁性膜及び非磁性絶縁
層の積層で段差部を形成し、上部ボール７５の磁気ギャ
ップ対向部７８の長さＧｄｕに対して、下部ボール７６
の磁気ギャップ対向部７９の長さＧｄｌを短くすると共
に、上部磁気コア７１及び下部磁気コア７２は先端部分
の幅が狭く、先端部より後方の幅が広い形状からなり、
下部ボール７６の先端から下部磁気コア７２の幅の拡が
り開始位置までの距離Ｐｈｉが、上部ボール７５の先端
から上部磁気コア７１の幅の拡がり開始位置までの距離
Ｐｈｕより短い構成とする。

第１７図は下部ボール７６の先端から下部磁気コア７２
の幅の拡がり開始位置までの距離Ｐｈｉに対する最大記
録磁界とトレーリング側記録磁界勾配の変化を表してい
る。同図より、下部ボール７６の先端から下部磁気コア
７２の幅の拡がり開始位置までの距離Ｐｈｉが、上部ボ
ール７５の先端から上部磁気コア７１の幅の拡がり開始
位置までの距離Ｐｈｕより短い構成とすることにより本
発明がより顕著に効果を奏することがわかる。また、こ
れにより起磁力増加による再生出力の低下量が出力最大
値の１０％以下に軽減でき、保磁力１ｋＯｅ以上の磁気
ディスクおいても充分に記録再生可能となる。

〈実施例８〉 次に第１８図は、本発明の第への実施例である薄膜磁気
ヘッド先端部の断面図である。同図において、８１及び
８２はＦｅ系又はＣＯ系合金からなる、それぞれ上部磁
気コアと下部磁気コアである。また、８３は上部磁気コ
アと下部磁気コアの間に充填されるホトレジスト等有機
材料からなる非磁性絶縁層であり、８４は薄膜磁気ヘッ
ドを励磁するための、Ｃｕ等の金属導体からなるコイル
である。更に、薄膜ヘッド先端の媒体対向部に設けられ
た、上部磁気コア８１及び下部磁気コア８２の各先端部
、即ち、上部ボール８５及び下部ボール８６はアルミナ
等セラミック材料からなる非磁性絶縁層で形成された磁
気ギャップ８７を介して対向している。本発明の薄膜磁
気ヘッドは下部磁気コア８２の先端近傍に基板填込み加
工か、或いはパターニングされた磁性膜及び非磁性絶縁
層の積層で段差部を形成し、上部ボール８５の磁気ギャ
ップ対向部８８の長さＧｄｕに対して、下部ボール８６
の磁気ギャップ対向部８９の長さＧｄｌを短くすると共
に、上部磁気コア８１の先端段差部のテーバ角度θ、を
２０”以上５０’以下とする。

第１９図は上部磁気コア８１の先端段差部のテーバ角度
θ１に対する最大記録磁界とトレーリング側記録磁界勾
配の変化を表している。同図より、上部磁気コア８１の
先端段差部のテーバ角度θ。

を２０°以上５０°以下とすることにより本発明がより
顕著に効果を奏することがわかる。また、これにより起
磁力増加による再生出力の低下量が出力最大値の１０％
以下に軽減でき、保磁力１ｋｏｅ以上の磁気ディスクお
いても充分に記録再生可能となる。

以上の各実施例において、磁気コアをＦｅ系又はＣＯ系
合金とし、磁気ギャップ形成用非磁性層をアルミナ等の
セラミックとし、上下磁気コア間に形成される非磁性絶
縁層をホトレジスト等の有機材料とし、導体コイルをＣ
ｕ等の金属で形成しているが、これらの各部材料は本発
明においては必ずしも限定されるものではない。

また、今後の高密度記録再生用として知られている、イ
ンダクテイブ型記録ヘッドと磁気抵抗効果型再生ヘッド
との複合化ヘッドにおいても、本発明の基本的な考え方
は充分適用可能である。

〔本発明の効果〕

本発明によれば、薄膜導体コイルに記録電流を流して薄
膜磁気ヘッドを励磁したときに下部ボール先端が前記上
部ボール先端より先に磁気飽和を引き起こすようになっ
て、上部ポール側の記録磁界勾配は比較的急峻のままほ
ぼ一定に保たれ、トレーリング側の記録磁界勾配が比較
的急峻のままほぼ一定に保たれ、起磁力増加による再生
出力の低下量が出力最大値の１０％以下に軽減できる。

また、本発明によれば、前記薄膜磁気ヘッドにおいて、
上部ポール側の記録磁界勾配が比較的急峻に保たれた状
態において、ヘッド先端に記録磁界を効率よく発生させ
得るため、保磁力１　ｋｏｅ以上の磁気ディスクおいて
も充分に記録再生可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の断面図、第２図は従来の薄膜
磁気ヘッドの媒体対向部近傍での断面図、第４図、第６
図、第８図、第１０図、第１２図。 第１４図、第１６図および第１８図は本発明の他の異な
る実施例の断面図、第３図、第５図、第７図、第９図、
第１１図、第１３図、第１５図、第１７図および、第１
９図は各実施例における記録磁界の説明図ある。 １．１１，２１，３１，４１，５１，６１，７１゜８１
・・・上部磁気コア、２，１２，２２，３２，４２゜５
２．６２，７２．８２・・・下部磁気コア、３，１３゜
２３．３３，４３，５３，６３，７３．８３・・・非磁
性絶縁層、４，１４，２４，３４，４４，５４゜６４，
７４，８４・・・導体コイル、５，１５．２５゜３５．
４５，５５，６５，７５，８５・・・上部ポール、６，
１６，２６，３６，４６，５６，６６゜７６．８６・・
・下部ボール、７．１？、２７，３７゜４７．５７，６
７．７７．８７・・・磁気ギャップ。 第 ！ 口 ／ 石にζｆしキ゛Ｖ・ノア・ 茅 圓 ／γ 磁気キャブ７゜ 第３ 石改界鼎人値Ｈｘ、Ａｔｐ−ｐ＜ 茅ｑ−ロ （ｂ） 本発Ｂ１１１つ一介「Ｊ 第５目 ／ ｑ−ルー　身ｄノ （仄１ 第６図 茅δａ ”Ｊｌｒｏ口 第１ＺＩｌｉＤ ｑＪ、、Ｌ−リ ク 第１Ｊの ｆｉｌ　（Ａ−） Ｈ１輛ノ 薯 ！乙口 第７７の Ｐｈｚ Ｆ／Ｌｔ ％Ｈｓ目 Ｉ岐（す ｚｏ　　３０　　＜ｔρ 転（・〕

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板と、前記基板上に薄膜磁性体によつて形成され
   る下部磁気コアと、前記下部磁気コア上に、順次、形成
   される非磁性絶縁層及び薄膜導体コイル、及び記録媒体
   に対向する側に磁気ギャップを設け、反対側で前記下部
   磁気コアと磁気的に短絡するように上部磁気コアが薄膜
   磁性体によつて積層形成される薄膜磁気ヘッドにおいて
   、 前記上部磁気コア及び前記下部磁気コアは共に先端近傍
   に段差部をもち、前記下部磁気コア先端から前記下部磁
   気コア段差部の開始位置までの距離が、前記上部磁気コ
   ア先端から前記上部磁気コア先端一段差部の開始位置ま
   での距離より短いことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 ２、基板と、前記基板上に薄膜磁性体によつて形成され
   る下部磁気コアと、前記下部磁気コア上に順次形成され
   る非磁性絶縁層及び薄膜導体コイル、及び記録媒体に対
   向する側に磁気ギャップを設け、反対側で前記下部磁気
   コアと磁気的に短絡するように上部磁気コアが薄膜磁性
   体によつて積層形成される薄膜磁気ヘッドにおいて、前
   記薄膜導体コイルに記録電流を流して前記薄膜磁気ヘッ
   ドを励磁したときに前記下部磁気コア先端が前記上部磁
   気コアの先端より先に磁気飽和を引き起こすことを特徴
   とする薄膜磁気ヘッド。 ３、請求項１において、前記上部磁気コア先端から前記
   上部磁気コア先端段差部の開始位置までの距離と、前記
   下部磁気コア先端から前記下部磁気コア段差部の開始位
   置までの距離との差が１μｍ以上確保される薄膜磁気ヘ
   ッド。 ４、請求項１において、前記下部磁気コア先端から前記
   下部磁気コア段差部の終端位置までの距離が、前記上部
   磁気コア先端から前記上部磁気コア先端段差部の開始位
   置までの距離より長いことを特徴とする薄膜磁気ヘッド
   。 ５、請求項１において、薄膜磁気ヘッドにおいて前記下
   部磁気コア先端の厚さが前記上部磁気コアの先端の厚さ
   の０．９倍以上としたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド
   。 ６、請求項１に記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下
   部磁気コア先端段差部のテーパ角度を３０゜以上とした
   薄膜磁気ヘッド。 ７、請求項１において、前記薄膜磁気ヘッドにおいて、
   前記上部磁気コア先端から前記上部磁気コア先端段差部
   の開始位置までの距離が１μｍ以上確保される薄膜磁気
   ヘッド。 ８、請求項１において、前記下部磁気コア段差部の高さ
   が２μｍ以上確保される薄膜磁気ヘッド。 ９、請求項１に記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、前気上
   部磁気コア及び前記下部磁気コアは先端部分の幅が狭く
   、前記先端部より後方の幅が広い形状からなり、前記下
   部磁気コアの幅の拡がり開始位置が前記上部磁気コアの
   幅の拡がり開始位置より前方にある薄膜磁気ヘッド。 １０、請求項１において、前気上部磁気コア先端段差部
   のテーパ角度を２０゜以上５０゜以下とした薄膜磁気ヘ
   ッド。 １１、請求項１において、Ｆｅ系又はＣｏ系合金からな
   る磁気コアと、アルミナ等セラミック材料からなる磁気
   ギャップ、ホトレジスト等有機材料からなる非磁性絶縁
   層及びＣｕ等の金属導体からなる励磁コイルによつて構
   成される薄膜磁気ヘッド。 １２、請求項１において、下部磁気コア先端段差部を基
   板堀込み加工で形成する薄膜磁気ヘッド。 １３、請求項１において、下部磁気コア先端段差部をパ
   ターニングされた磁性膜及び非磁性絶縁層の積層で形成
   する薄膜磁気ヘッド。 １４、請求項１において、保磁力１ｋＯｅ以上の磁気デ
   ィスクに記録再生可能で、且つ、起磁力増加による再生
   出力の低下量が出力最大値の１０％以下である薄膜磁気
   ヘッド。