JPH04129915A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、例えばディスク枚葉処理装置に好適な搬送
装置に関する。

デジタル化された音声情報や画像情報を大量に記録する
のにコンパクトディスク（以下、ＣＤと略称する）やレ
ーザーディスク（商品名）あるいはビデオディスクが広
く使用されるようになってぎた。

ＣＤ等は、ポリカーボネート等の透明な合成樹脂性基板
の表面にスパッタリングにより光反射率の高いアルミニ
ューム（八１）薄膜層が形成されて構成され、「１」か
ｒＯＪのデジタル情報に合わせて聞けられたピット（ｐ
ｉｔ）と称する小さな孔の有無を、レーザ光の反射波あ
るいは透過波の有無によりその記録情報を読み出し得る
ものである。

スパッタリングによる薄膜形成は比較的短時間で行われ
ることから、多数のディスクに連続的に成膜するために
、第４図に示す構成が採用されている。

第４図は連続スパッタリング装置の主要な機構のみを取
出して示した構成図で、まずベルトコンベア１で次々と
搬送されくるＣＤ等の基板２は、軸３ａを中心に×１方
向に回転しかつ上下（Ｙｌ）方向に移動可能な搬送機構
３の吸着パット２１に吸着され、スパッタ室４に搬送さ
れる。

スパッタ室４内での基板２は、前記搬送機構３と同様に
、軸４１ａを中心に×２方向に回転しかつ上下（Ｙ２）
方向に移動可能な搬送装置４１のテーブル４１ｂに載置
されて搬送され、順次スパッタ源４２により成膜が行わ
れる。

スパッタ成膜後の基板２は再び搬送装置４１に載置され
、搬送機構３を経て外部に取出される。

ところで、スパッタ室４内で基板２を搬送する搬送装置
４１は、軸４１ａを中心に回転する駆動源を有し、旋回
あるいは回転往復運動によって搬送するように構成され
ているので、第５図に示すように少なくとも半径Ｒを超
える広い面積の空間を必要とした。

搬送装置４１の小形化は、直ちにスパッタ室４のコンパ
クト化につながる。また、基板２の成膜過程では、スパ
ッタ室４内の吸排操作か行われるが、その機能向上のた
めコンダクタンスかてぎるだ（プ大きいことが望まれ、
また設置場所の省スペースにもつながるので、搬送装置
４１の小形化は従来からの課題であった。

（発明が解決しようとする課題） 従来の搬送装置は、基板等の搬送物を複数の円盤状のテ
ーブルに載せ、旋回搬送させるので、その搬送には大ぎ
な空間を必要とし、例えばスパッタリング装置内に装着
すると装置全体の形状が大となり、小形化への障害とな
っていた。

この発明は、簡単な構成により、小形化を実現した搬送
装置を提供することを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明による搬送装置は、固定された円板体と、この
円板体の外周面に接触しつつ回転する一対の第１の回転
体と、この第１の回転体の外周面に接触しつつ回転する
一対の第２の回転体と、この一対の第２の回転体に夫々
固定され互いに高さを異にして取付りられた受皿と、前
記第１の回転体及び第２の回転体の各回転軸を回転自在
に軸支して連結する支持アームと、この支持アームを駆
動することによって前記第１及び第２の回転体が前記円
板体を中心に回転駆動して前記受皿を往復動けしめる駆
動源とを具備することを特徴とする。

（作　用） この発明による搬送装置は、第１の回転体と第２の回転
体とが支持アームによって回転自在に連結され、かつこ
れ等が円板体を中心にして回転するので、第２の回転体
に固定して取イ」りられた受皿は、円板体をほぼ直線的
に横切って直線的な往復移動を行うので、その移動に伴
う軌跡は短くなり、搬送に伴う占有空間を小さくするこ
とができる。

（実施例） 以下、この発明による搬送装置の一実施例を第１図ない
し第３図を参照して詳細に説明する。

即ち、この実施例による搬送装置５は、まず、円板状の
カムであって固定された円板体５１を有し、この円板体
５１の外周面はこれに接触しつつ回転すｌす る一対の第１の回転体５２．５２’が対向して配置構成
されている。

次に、その第１の回転体５２．５２’の回転駆動力を受
りるように、この第１の回転体５２．５２’の外周面に
接触しつつ回転する一対の第２の回転体５３゜５３′が
構成され、この一対の第２の回転体５３゜５３′　の各
回転軸５３ａ、　５３ａ’には、夫々互いに高さを異に
した受皿５４．５４’が固定して取付（プられている。

更に、前記第１及び第２の各回転体５２．５２’５３、
５３’　は、夫々の各回転１１１］５２ａ、　５２ａ’
　、　５３ａ。

５３ａ′　が受持アーム５５によって夫々回転自在に連
結されている。

この支持アーム５５の中央部は、モータからなる駆動源
５６に固定され、矢印Ｘ方向への回転駆動力を受りると
すれば、この支持アーム５５に軸支された第１の回転体
５２．５２’は円板体５１の外周面に、また第２の回転
体５３．５３’　は第１の回転体５２゜５２′の外周面
に夫々接触しつつ矢印Ｘ方向に回転する。

この結果、第２の回転体５３．５３’の軸５３ａ。

５３ａ′に夫々固定された各受皿５４．５４’は、第２
図に示す状態から円板体５１を挟／ｖで互いに反対方向
く受皿５４はＸ方向、受皿５４′　はＸ′力方向に移動
し、第３図に示すように、前記受皿５４は前記円板体５
１を挟んで互いに反対方向に相対移動して基板（２）を
搬送する。

各受皿５４．　り４’　は一対の第２の回転体５３．５
３’に互いに取付り高さを異にして取イ」りられている
から、次に駆動源５６の回転方向を矢印Ｘとは反対方向
に回転させることににって、互いに衝突することなく相
対的に対向移動できる。

このように、駆動源５６によって、第１図及び第２図に
示す矢印Ｘ方向及びその逆方向に各回転体（５２〜５３
′）を反復往復運動させることによって、受皿５４は、
円板体５１を中心に交互に直線的に対向移動するので、
搬送に伴う往復移動軌跡は短くなり、装置の小形化が可
能となる。

この結果、搬送物の搬送移動に予め大きな空間を必要と
せず、小さな空間で行うことができ、例えばこれをスパ
ッタ室（４）内での基板搬送に適用した場合、内容積を
より小さくできるから、吸排気時間を短かくＪ−ること
かできる。

なお、上記実施例では、各回転体５２．５２’　、　５
３゜５３′　は円板カムであるとして説明したが、要す
るに、円板体５１を中心に各回転体５２．５２’　、　
５３゜５３′か駆動源５６の回転駆動力を受εプで回転
移動できれば良いので、円板体５１はしめ各回転体（５
２〜５３′）を例えば歯車で構成しても全く同様な機能
及び効果を１ｑることかできる。

また、駆動源５６も回転往復運動を行う機能を有すれば
よいので、回転モータに限らず、例えば直線往復運動を
回転往復運動に変換ざＵて往復動を行う、いわゆるビニ
オン及びラックの組合わせ機構で構成しても良い。

以上のように、この発明による搬送装置によれば、簡単
な構成によって、一対の受皿５４は互いに衝突すること
なく交差するように直線的に移動させ得るので、全体の
構成の移動空間での小形化が実現するものであり、スパ
ッタリング装置に限らρ ず、他の搬送機構例えば半導体ウェハーの処理装置等に
も適用して顕著４１効宋か得られる。

［発明の効果］ この発明による搬送装置は、基板等を載けだ一対の受皿
は互いに、交差して直線上を移動り−るにうに構成され
るので、全体は小形化され、搬送装置に広く適用できる
ものであり、実用上の効果大である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの搬送装置の装置実施例を示す側面図、第２
図は第１図に示ター装置の平面図、第３図は第１図に示
づ゛装置の搬送状態を示すものでＡＡ線断面図、第４図
は従来の搬送装置を適用した連続スパッタリング装置を
示す構成図、第５図は第４図に示す搬送装置の平面図で
ある。 １・・・ベルトコンベア、　２・・・基板、２１・・・
吸着パラ１〜、　　３・・・搬送機構、４・・・スパッ
タ室、　　　４１，５・・・搬送装置、４１ａ・・・軸
、　　　　　　４２・・・スパッタ源、５１・・・円板
体、　　　５２．５２’・・・第１の回転体、５３、５
３’・・・第２の回転体、 ５４゜ ５４′ ・・・受ｌ１１１． ５５・・・支１．．＋１アーム、 ５６・・・駆動源。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　固定された円板体と、この円板体の外周面に接触しつ
   つ回転する一対の第１の回転体と、この第１の回転体の
   外周面に接触しつつ回転する一対の第２の回転体と、こ
   の一対の第２の回転体に夫々固定され互いに高さを異に
   して取付けられた受皿と、前記第１の回転体及び第２の
   回転体の各回転軸を回転自在に軸支して連結する支持ア
   ームと、この支持アームを駆動することによって前記第
   １及び第２の回転体が前記円板体を中心に回転駆動して
   前記受皿を往復動せしめる駆動源とを具備することを特
   徴とした搬送装置。