JPH0811606B2 - 搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、例えばディスク枚葉処理装置に好適な搬
送装置に関する。

（従来の技術） デジタル化された音声情報や画像情報を大量に記録す
るのにコンパクトディスク（以下、CDと略称する）やレ
ーザーデイスク（商品名）あるいはビデオディスクが広
く使用されるようになってきた。

CD等は、ポリカーボネート等の透明な合成樹脂性基板
の表面にスパッタリングにより光反射率の高いアルミニ
ューム（Al）薄膜層が形成されて構成され、「１」か
「０」のデジタル情報に合わせて開けられたピット（pi
t）と称する小さな孔の有無を、レーザ光の反射波ある
いは透過波の有無によりその記録情報を読み出し得るも
のである。

スパッタリングにより薄膜形成は比較的短時間で行わ
れることから、多数のディスクに連続的に成膜するため
に、第４図に示す構成が採用されている。

第４図は連続スパッタリング装置の主要な機構のみを
取出して示した構成図で、まずベルトコンベア１で次々
と搬送されてくるCD等の基板２は、軸3aを中心に水平
（X1）方向に回転しかつ上下（Y1）方向に移動可能な搬
送機構３の吸着パット21に吸着され、スパッタ室４に搬
送される。

スパッタ室４内での基板２は、前記搬送機構３と同様
に、軸41aを中心に水平方向に回転しかつ上下方向に移
動可能な搬送装置41のテーブル41bに載置されて搬送さ
れ、順次スパッタ源42により成膜が行われる。

スパッタ成膜後の基板２は再び搬送装置41に載置さ
れ、搬送機構３を経て外部に取出される。

ところで、スパッタ室４内で基板２を搬送する搬送装
置41は、軸41aを中心に回転させる駆動源を有し、旋回
あるいは回転往復運動によって搬送するように構成され
ているので、第５図に示すように少なくとも半径Ｒを超
える広い面積の空間を必要とした。

搬送装置41の小形化は、直ちにスパッタ室４のコンパ
クト化につながる。また、基板２の成膜過程では、スパ
ッタ室４内の吸排気操作が必要とされるが、その機能向
上のためコンダクタンスができるだけ大きいことが望ま
れ、また設置場所の省スペースにもつながるので搬送装
置41の小形化は従来からの課題であった。

（発明が解決しようとする課題） 従来の搬送装置は、基板等の搬送物を複数の円盤状の
テーブルに載せ、旋回搬送させるので、その搬送には大
きな空間を必要とし、例えばスパッタリング装置内に装
着すると装置全体の形状が大となり、小形化への障害と
なっていた。

この発明は、簡単な構成により、小形化を実現した搬
送装置を提供することを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明による搬送装置は、対向配置され互いに逆方
向に往復回動する一対の回転体と、この回転体の回転軸
に夫々固定され互いに高さを異にして取付けられた受皿
とを具備することを特徴とする。

（作用） この発明による搬送装置は、対向配置されて、互いに
逆方向に往復回動する回転体に、高さを異にして受皿が
取付けられていたので、受皿が回動するとき互いに間隔
を置いて上下に重なり合う部分が多く占めるので、夫々
の回動に要する全体の平面面積は小さくなり、搬送に伴
う占有空間を小さくすることができる。

（実施例） 以下、この発明による搬送装置の一実施例を第１図な
いし第３図を参照して詳細に説明する。

即ち、この実施例による搬送装置５は、まず、歯車51
は一種の平歯車であってモータ等の駆動源52の回転軸52
aに固定して取付けられている。

歯車51には互いに対向する側の部分に歯51a,51bが形
成され、この両者の歯51a,51bの間の側面は平行に切り
落とされている。勿論、歯車51は円形状の平歯車であっ
て全周囲にわたって歯が形成されていても良い。

この歯車51の各歯51a,51bに噛合うように一対の回転
体53,53′が回転軸55,55′に平行になるように構成さ
れ、この回転体53,53′には互いに高さを異にしてかつ
平行移動可能な受皿54,54′が固定して取付けられてい
る。

また、各前記一対の回転体53,53′は、駆動源52の固
定部に固定された支持アーム56に回動自在に軸支されて
いる。

この実施例による搬送装置は、上記のように構成され
たので、第２図にも示すように、駆動源52が仮に矢印Ｘ
方向に回転したとすれば、この駆動源52によって歯車51
も夫々矢印Ｘ方向に回転するから、歯車51に連なる回転
体54,54′は受皿54,54′を伴って互いに反対方向（矢印
Ｘ方向）に回転移動する。

この結果、受皿54,54′は互いに平行を維持しつつ離
れるように移動し、第３図に示すように重なり合う部分
が無くなるまで移動させることができる。

第３図に示す状態を駆動源52をＸ方向に回転駆動させ
たときの最大値としたとき、駆動源52を逆方向に回転さ
せ、第２図に示した状態から矢印Ｘとは反対方向に回転
移動すれば、第３図での受皿54,54′の位置が平面的に
は互いに置き替わった状態とすることができる。

このように、駆動源52の回転制御により、矢印Ｘ方向
及びその逆方向に歯車51を反復往復運動させることによ
って、各受皿54,54′は、回転体53,53′の回転軸を中心
に扇状に回動移動するだけであるので、移動に伴う往復
道軌跡は短くなり、移動にともなって占める面積も、第
５図と比較して明らかなように大幅に縮小され、装置の
小形化が可能となる。

この結果、搬送物の搬送移動に際し大きな空間を必要
とせず、比較的小さな面積内で行うことができ、例えば
これをスパッタ室（４）内での基板搬送に適用した場
合、内容積をより小さくできるから吸排気時間を短くす
ることができる。

なお、上記実施例では、各回転体53,53′は歯車51に
よって駆動されるとして説明したが、要するに、各回転
体53,53′は駆動源52の回転駆動力を受けて往復回転移
動できれば良いので、駆動源52からの回転力伝達は歯車
機構に限らず例えばプーリの組合わせや、他の接触抵抗
を利用した回転伝達機構を採用しても同様な機能及び効
果を得ることができる。

また、駆動源52も回転往復運動を行う機能を有すれば
よいので、回転モータのほか例えば直線往復運動を回転
往復運動に変換動作させる、いわゆるピニオン及びラッ
クの組合わせ機構で構成しても良い。

以上のように、この発明による搬送装置によれば、簡
単な構成によって、一対の受皿54,54′は互いに衝突す
ることなく交互に交差して移動させるので、全体の構成
の移動面積での小形化が実現するものであり、スパッタ
リング装置に限らず、他の搬送機構例えば半導体ウェハ
ーの処理装置等にも適用して顕著な効果が得られる。

［発明の効果］ この発明による搬送装置は、基板等を載せた一対の受
皿は互いに異なる位置を回転軸として回動しかつ交差し
て移動するように構成されるので、全体は小形化され、
搬送装置に広く適用できるものであり、実用上の効果大
である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの搬送装置の一実施例を示す一部切り欠き側
面図、第２図は第１図に示す装置の平面図、第３図は第
１図に示す装置の搬送状態を示すもので受皿の間隔が最
大の状態のときの平面図、第４図は従来の搬送装置を適
用した連続スパッタリング装置を示す構成図、第５図は
第４図に示す搬送装置の平面図である。 １…ベルトコンベア、２…基板、21…吸着パット、３…
搬送機構、４…スパッタ室、41,5…搬送装置、41a…
軸、42…スパッタ源、51…歯車、52…駆動源53,53′…
回転体、54,54′…受皿。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】対向配置され互いに逆方向に往復回動する
   一対の回転体と、この回転体の回転軸に夫々固定され互
   いに高さを異にして取付けられた受皿とを具備すること
   を特徴とした搬送装置。