JPH04132695A - アルミナ系高融点酸化物単結晶の製造方法 - Google Patents
アルミナ系高融点酸化物単結晶の製造方法Info
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- JPH04132695A JPH04132695A JP25393190A JP25393190A JPH04132695A JP H04132695 A JPH04132695 A JP H04132695A JP 25393190 A JP25393190 A JP 25393190A JP 25393190 A JP25393190 A JP 25393190A JP H04132695 A JPH04132695 A JP H04132695A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、融液からザファイヤ等高品質なアルミナ系高
融点酸化物単結晶を育成する製造方法に関するものであ
る。
融点酸化物単結晶を育成する製造方法に関するものであ
る。
［従来の技術および課題］
融液からサファイヤ等アルミナ系高融点酸化物単結晶を
育成する方法としては、ベルヌーイ法、チョクラルスキ
法、バクダサロフ法、熱交換法、ＥＦＧ法等が知られて
いる。大型アルミナ系高融点酸化物単結晶を育成する方
法としては、チョクラルスキ法、バクダサロフ法、熱交
換法、Ｅ、ＦＧ法によるルツボを用いた方法があり、量
産化されている。しかしながらルツボを用いるとチョク
ラルスキ法やＥＦＧ法においては結晶中に気泡が入りや
すく、高品質化することができない。この気泡を除去す
る方法としては、結晶成長速度を遅くしたり、原材料の
前処理として粉末原料を溶融固化させることが行なわれ
ている。しかしながら結晶成長速度を遅くすることは量
産性において不利であり、原材料粉末を溶融固化させる
ことは原料単価を引上げる要因となり、高品質なアルミ
ナ系高融点酸化物単結晶を低価格で供給することはでき
ない。
育成する方法としては、ベルヌーイ法、チョクラルスキ
法、バクダサロフ法、熱交換法、ＥＦＧ法等が知られて
いる。大型アルミナ系高融点酸化物単結晶を育成する方
法としては、チョクラルスキ法、バクダサロフ法、熱交
換法、Ｅ、ＦＧ法によるルツボを用いた方法があり、量
産化されている。しかしながらルツボを用いるとチョク
ラルスキ法やＥＦＧ法においては結晶中に気泡が入りや
すく、高品質化することができない。この気泡を除去す
る方法としては、結晶成長速度を遅くしたり、原材料の
前処理として粉末原料を溶融固化させることが行なわれ
ている。しかしながら結晶成長速度を遅くすることは量
産性において不利であり、原材料粉末を溶融固化させる
ことは原料単価を引上げる要因となり、高品質なアルミ
ナ系高融点酸化物単結晶を低価格で供給することはでき
ない。
本発明はこの点を鑑みて、気泡のない大型で高品質な単
結晶を低価格で供給することを目的とする。
結晶を低価格で供給することを目的とする。
［課題を解決するための手段コ
アルミナ系高融点酸化物単結晶をルツボを用いて育成す
る方法において、気泡の発生する原因が高温でアルミナ
（／Ｖ２０：ｉ）が分解して生成する酸素原子（０）お
よび酸素分子（０２）が融液中に過飽和に存在し、それ
が析出することによることを見出した。そのため本発明
は融液中に過飽和に存在する酸素原子および酸素分子の
除去方法としては還元性ガスを用いるものであり、水素
および一酸化炭素が有効である。
る方法において、気泡の発生する原因が高温でアルミナ
（／Ｖ２０：ｉ）が分解して生成する酸素原子（０）お
よび酸素分子（０２）が融液中に過飽和に存在し、それ
が析出することによることを見出した。そのため本発明
は融液中に過飽和に存在する酸素原子および酸素分子の
除去方法としては還元性ガスを用いるものであり、水素
および一酸化炭素が有効である。
還元性ガスはルツボとの反応性があるが、不活性ガスに
より希釈することで防止でき、容量比が１／１００未満
であると融液中に過飽和に存在するＯおよびｏ２を除去
することができないので、１／１００以上必要である。
より希釈することで防止でき、容量比が１／１００未満
であると融液中に過飽和に存在するＯおよびｏ２を除去
することができないので、１／１００以上必要である。
還元性ガスにより融液中に過飽和に存在するＯおよび０
２を化学反応により除去するため、希釈ガスを用いた場
合においては、引き上げる結晶およびルツボに仕込んだ
原材料に依存する。
２を化学反応により除去するため、希釈ガスを用いた場
合においては、引き上げる結晶およびルツボに仕込んだ
原材料に依存する。
［実施例１］
原料として純度９９９９％のアルミナを使用し、ルツボ
としてモリブデンを採用した。チョクラルスキ法により
溶融し、育成雰囲気としては静２０ｖｏ１％Ｈ２とし、
育成条件としては引上げ方位＜００１＞ 、回転数３Ｏ
ｒｐｍ 、引上げ速度４ｍｍ／ｈｒで、仕込み重量の約
７５％の単結晶を得た。得られた結晶は、直径約２５〜
２０悶φで、長さが直胴部で約１００Ｍである。結晶の
色は無色透明であり、気泡は観察されなかった。
としてモリブデンを採用した。チョクラルスキ法により
溶融し、育成雰囲気としては静２０ｖｏ１％Ｈ２とし、
育成条件としては引上げ方位＜００１＞ 、回転数３Ｏ
ｒｐｍ 、引上げ速度４ｍｍ／ｈｒで、仕込み重量の約
７５％の単結晶を得た。得られた結晶は、直径約２５〜
２０悶φで、長さが直胴部で約１００Ｍである。結晶の
色は無色透明であり、気泡は観察されなかった。
［実施例２］
原料として純度９９．９９％のアルミナを使用し、ルツ
ボとしてモリブデンを採用した。チョクラルスキ法によ
り溶融し、育成雰囲気としてはＡｒ−１０ｖｏ１％Ｈ２
とし、育成条件としては引上げ方位＜００１＞ 、回転
数３Ｏｒｐｍ 、引上げ速度４ｍ／ｈｒで、仕込み重量
の約１５％の単結晶を得た。得られた結晶は、直径約２
５〜２０摩φで、長さが直胴部で約１００＃である。結
晶の色は無色透明であり、気泡は観察されなかった。
ボとしてモリブデンを採用した。チョクラルスキ法によ
り溶融し、育成雰囲気としてはＡｒ−１０ｖｏ１％Ｈ２
とし、育成条件としては引上げ方位＜００１＞ 、回転
数３Ｏｒｐｍ 、引上げ速度４ｍ／ｈｒで、仕込み重量
の約１５％の単結晶を得た。得られた結晶は、直径約２
５〜２０摩φで、長さが直胴部で約１００＃である。結
晶の色は無色透明であり、気泡は観察されなかった。
［実施例３］
原料として純度９９．９９％のアルミナを使用し、ルツ
ボとしてモリブデンを採用した。チョクラルスキ法によ
り溶融し、育成雰囲気としては酵５ｖｏｌＸＣＯとし、
育成条件としては引上げ方位＜００１＞ 、回転数３Ｏ
ｒｐｍ 、引上げ速度４ｍ＋／ｈｒで、仕込み重量の約
７５％の単結晶を得た。得られた結晶は、直径的２５〜
２０ｍｍφで、長さが直胴部で約ｉ ００Ｍである。結
晶の色は無色透明であり、気泡は観察されなかった。
ボとしてモリブデンを採用した。チョクラルスキ法によ
り溶融し、育成雰囲気としては酵５ｖｏｌＸＣＯとし、
育成条件としては引上げ方位＜００１＞ 、回転数３Ｏ
ｒｐｍ 、引上げ速度４ｍ＋／ｈｒで、仕込み重量の約
７５％の単結晶を得た。得られた結晶は、直径的２５〜
２０ｍｍφで、長さが直胴部で約ｉ ００Ｍである。結
晶の色は無色透明であり、気泡は観察されなかった。
［発明の効果］
本発明により、アルミナ系高融点酸化物単結晶をルツボ
を用いて育成する方法において、気泡の発生する原因で
ある融液中の過飽和な酸素原子および酸素分子を水素お
よび一酸化炭素等還元性ガスにより除去し、高品質なア
ルミナ系高融点酸化物大型単結晶を低価格において製造
する方法を確立することができた。
を用いて育成する方法において、気泡の発生する原因で
ある融液中の過飽和な酸素原子および酸素分子を水素お
よび一酸化炭素等還元性ガスにより除去し、高品質なア
ルミナ系高融点酸化物大型単結晶を低価格において製造
する方法を確立することができた。
Claims (3)
- （１）融液成長法によるアルミナ系高融点酸化物単結晶
の育成方法において、還元性ガス雰囲気内にて行なうこ
とを特徴としたアルミナ系高融点酸化物単結晶の製造方
法。 - （２）還元性ガス雰囲気として水素ガスを含有し、水素
混合比が少なくとも容量比で、１／１００以上である請
求項（１）記載のアルミナ系高融点酸化物単結晶の製造
方法。 - （３）還元性ガス雰囲気として一酸化炭素ガスを含有し
、一酸化炭素混合比が少なくとも容量比で、１／１００
以上である請求項（１）記載のアルミナ系高融点酸化物
単結晶の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25393190A JP2962795B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | アルミナ系高融点酸化物単結晶の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25393190A JP2962795B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | アルミナ系高融点酸化物単結晶の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04132695A true JPH04132695A (ja) | 1992-05-06 |
| JP2962795B2 JP2962795B2 (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=17258011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25393190A Expired - Fee Related JP2962795B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | アルミナ系高融点酸化物単結晶の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2962795B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06199597A (ja) * | 1992-10-15 | 1994-07-19 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | 酸化アルミニウム単結晶の製造方法 |
| US6788026B2 (en) | 2001-08-30 | 2004-09-07 | Yamaha Corporation | Battery charger, including an amplifier for audio signals, for portable audio devices |
| JP2007197230A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 酸化アルミニウム単結晶の製造方法及びこの方法を用いて得られる酸化アルミニウム単結晶 |
| JP2011195423A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-06 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | サファイア単結晶の製造方法 |
| JP2013095611A (ja) * | 2011-10-28 | 2013-05-20 | Sumco Corp | サファイア単結晶の製造方法 |
| CN103194791A (zh) * | 2013-04-24 | 2013-07-10 | 哈尔滨工业大学 | 大尺寸板状蓝宝石单晶体的水平定向区熔结晶制备方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4844429B2 (ja) * | 2007-02-26 | 2011-12-28 | 日立化成工業株式会社 | サファイア単結晶の製造方法 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP25393190A patent/JP2962795B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
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| JPH06199597A (ja) * | 1992-10-15 | 1994-07-19 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | 酸化アルミニウム単結晶の製造方法 |
| US6788026B2 (en) | 2001-08-30 | 2004-09-07 | Yamaha Corporation | Battery charger, including an amplifier for audio signals, for portable audio devices |
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| JP2011195423A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-06 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | サファイア単結晶の製造方法 |
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| CN103194791A (zh) * | 2013-04-24 | 2013-07-10 | 哈尔滨工业大学 | 大尺寸板状蓝宝石单晶体的水平定向区熔结晶制备方法 |
| CN103194791B (zh) * | 2013-04-24 | 2016-05-04 | 哈尔滨工业大学 | 大尺寸板状蓝宝石单晶体的水平定向区熔结晶制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2962795B2 (ja) | 1999-10-12 |
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