JPH09110588A - 単結晶銅の製造方法 - Google Patents
単結晶銅の製造方法Info
- Publication number
- JPH09110588A JPH09110588A JP29359195A JP29359195A JPH09110588A JP H09110588 A JPH09110588 A JP H09110588A JP 29359195 A JP29359195 A JP 29359195A JP 29359195 A JP29359195 A JP 29359195A JP H09110588 A JPH09110588 A JP H09110588A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- copper
- crucible
- melted
- crystal copper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 27
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 27
- 239000010949 copper Substances 0.000 title claims abstract description 27
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical class [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 claims description 10
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 8
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 7
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 claims description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000155 melt Substances 0.000 abstract description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000007770 graphite material Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910021397 glassy carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 238000010309 melting process Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
行なうことを必要とせずに、高純度銅の融解液から簡易
な手段で単結晶銅を製造する方法を提供すること。 【構成】 ビトロカーボン製るつぼ1内で4N以上の高
純度銅2を融解した後、1150℃以上の温度で10分
以上保持することによって、多結晶化の原因となる銅酸
化物を分解還元して単結晶化する。るつぼ底部に設けた
厚み1mm×幅10mmのスリット4から引き下げシャフト
5を用いて60mm/hの速度で引き抜き単結晶銅板を得
る。
Description
する方法に関し、更に詳しくは特定条件下で所定時間加
熱保持することによって簡易な手段で単結晶銅を製造す
ることを目的とするものである。
を製造する場合、通常、原料の表面に空気等によって酸
化物が発生することから、単結晶製造前に表面のエッチ
ング処理や、H2 、COガス等で還元処理することが必
要であった。
結晶を製造する方法においては、原料を融解すると上部
に浮遊するカラミを除去する必要があり、この場合、カ
ラミが容器に付着する危険があるので、通常カラミを含
まない融液だけを別容器に移して結晶成長させるように
するため、融解処理の手間がかかる他、成長炉自体も複
雑な形状のものとなっていた。
よる金属の単結晶体製造方法においては、特殊な装置を
用いることが多いことから、それに伴い製造コストが高
くつくという問題を有していた。そこで本発明は、従来
法に代って簡単な構造の装置を用いて単結晶体を製造で
きる新規な製造法を開発することを目的とするものであ
る。
を解決するために鋭意研究したところ、特殊素材のるつ
ぼを用いて特定条件下で融解処理することによって目的
とする単結晶銅を製造できることを見いだし本発明法を
提供することができた。
をるつぼ内で融解した後、1150℃以上の温度で少な
くとも10分以上保持することによって銅酸化物を分解
せしめて単結晶化することを特徴とする単結晶銅の製造
方法であり、上記るつぼがグラファイトあるいはビトロ
カーボン(日本カーボン社製ガラス質カーボン材の商品
名)などの特殊カーボン材からなるものを使用すること
を特徴とするものである。
(2インチ内径)の材質として、グラファイトあるいは
ビトロカーボン材等の特殊カーボン材を使用できるが、
これらのるつぼを用いることによってるつぼ表面の炭素
によって材料中の銅の酸化物を還元除去することができ
る。銅酸化物の存在は多結晶化の原因となっているた
め、これを分解還元することによって単結晶化を容易に
することができる。グラファイトまたはビトロカーボン
等の特殊カーボン材の使用により、上記高温保持の際に
銅酸化物が好都合に分解できることが判明した。
造する手段の一つは、該るつぼ底部に融解液を引き抜く
小孔を設け、引き下げシャフト内で水冷することによっ
て目的とする板状タイプの単結晶体を製造する引き抜き
法である。
ぼをブリッジマン炉中に設置して融解処理したものを、
温度降下させながら直筒状タイプの単結晶体を製造する
フリッジマン炉法である。
するが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではな
い。
用い、まず6N(99.9999%)高純度銅2をビト
ロカーボン材からなる2インチ内径のるつぼ1中に装入
し、中央ヒーター3で1150℃まで加温して高純度銅
を融解し、5時間保持した。
10mmのスリット4から引き下げシャフト5を用いて6
0mm/hの速度で引き抜いたところ、1mm×10mm幅×1
00mmLの単結晶銅板を得ることができた。図1中の6
は断熱材、7はグラファイト材8は上部ヒーター、11
は駆動シャフトである。
を用い、先ず6N高純度銅2の1kg量を2インチ内径で
あるビトロカーボン製るつぼ1に装入し、中央ヒーター
3によって融解し、1250℃で1時間保持した後、原
料上部を1130℃、原料下部を1083℃(融点)と
なるように調整して、30mm/minの速度でるつぼを下げ
ながら内部を固化したところ、直筒長50mmの銅の単結
晶インゴットを得ることができた。図2中の9は下部ヒ
ーター、10は水冷シャフト、12は温度センサーをそ
れぞれ表わす。
に示すと同様に6N高純度銅を加熱融解した後、一定温
度で保持することなく直ちにるつぼ底部から引き抜いた
ところ大きさ1mm×10mm幅×100mmLの銅板を得た
が、これらは単結晶体ではなく多結晶体のままであっ
た。
施例2に示すと同様に6N高純度銅を1250℃まで融
解した後、一定温度で保持することなく直ちに30mm/h
の引き下げ速度でるつぼを下げながら固化したところ直
筒長50mmの銅インゴットを得たが、該インゴットは多
結晶体であった。
ファイトるつぼやビトロカーボン材るつぼ等の特殊カー
ボン材るつぼを用いて、特定条件下で融解処理を行うこ
とにより、従来法で必要としていた原料の表面処理工程
や、カラミの分離工程の操作が不必要であるため、簡単
な製造法により銅の単結晶が製造できるというメリット
がある。
示す概略図である。
を示す概略図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 原料としての4N以上の高純度銅をるつ
ぼ内で融解した後、1150℃以上の温度で少なくとも
10分以上保持することによって銅酸化物を分解せしめ
て単結晶化することを特徴とする単結晶銅の製造方法。 - 【請求項2】 上記るつぼがグラファイトまたは特殊カ
ーボン材からなることを特徴とする請求1記載の単結晶
銅の製造方法。 - 【請求項3】 前記特殊カーボン材がビトロカーボンで
ある請求2記載の単結晶銅の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29359195A JP3719452B2 (ja) | 1995-10-17 | 1995-10-17 | 単結晶銅の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29359195A JP3719452B2 (ja) | 1995-10-17 | 1995-10-17 | 単結晶銅の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09110588A true JPH09110588A (ja) | 1997-04-28 |
| JP3719452B2 JP3719452B2 (ja) | 2005-11-24 |
Family
ID=17796709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29359195A Expired - Fee Related JP3719452B2 (ja) | 1995-10-17 | 1995-10-17 | 単結晶銅の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3719452B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5875006A (en) * | 1991-03-19 | 1999-02-23 | Hitachi, Ltd. | Method for projecting image obtained by using liquid crystal panels and display apparatus for realizing the same |
| CN115198357A (zh) * | 2022-07-19 | 2022-10-18 | 河南国玺超纯新材料股份有限公司 | 一种单晶铜的制备方法 |
-
1995
- 1995-10-17 JP JP29359195A patent/JP3719452B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5875006A (en) * | 1991-03-19 | 1999-02-23 | Hitachi, Ltd. | Method for projecting image obtained by using liquid crystal panels and display apparatus for realizing the same |
| CN115198357A (zh) * | 2022-07-19 | 2022-10-18 | 河南国玺超纯新材料股份有限公司 | 一种单晶铜的制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3719452B2 (ja) | 2005-11-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5211802A (en) | Method for producing silicon single crystal from polycrystalline rod formed by continous casting | |
| JP3733144B2 (ja) | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスるつぼおよびその製造方法 | |
| WO2024140015A1 (zh) | 一种直拉单晶成晶工艺及其应用 | |
| JPH09110588A (ja) | 単結晶銅の製造方法 | |
| CN104011271A (zh) | 制造单晶硅的方法 | |
| JP4601437B2 (ja) | 内表面が半結晶化した石英ガラスルツボとその製造方法 | |
| JP3307438B2 (ja) | セリウム賦活珪酸ガドリニウム単結晶の製造方法 | |
| JPH08337493A (ja) | 単結晶引上げ用高純度黒鉛部材およびその製造方法 | |
| CN103422159A (zh) | 一种直拉单晶生产过程中的除杂方法 | |
| CN201372205Y (zh) | 一种多晶硅料提纯设备 | |
| JPH09309791A (ja) | 半導体単結晶の製造方法 | |
| JPH04219398A (ja) | 単結晶シリコンの製造方法 | |
| JPS6230698A (ja) | 単結晶成長法 | |
| JPS5849516B2 (ja) | 不純物の少ないシリコン単結晶の製造方法 | |
| JPH11274537A (ja) | 大粒径多結晶シリコンの製造法 | |
| JPH02196082A (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
| JPH04224191A (ja) | 半導体原料多結晶の融解方法 | |
| JP2007031235A (ja) | 単結晶製造装置 | |
| JPH07172977A (ja) | 石英ガラス坩堝の製造方法 | |
| JP2809364B2 (ja) | 四ほう酸リチウム単結晶の製造方法 | |
| JPS60180989A (ja) | 化合物単結晶の製造方法 | |
| JPS62167213A (ja) | シリコン多結晶インゴツトの製造方法 | |
| JPH06305876A (ja) | 石英ボートの内面処理方法 | |
| JPH0596073U (ja) | 単結晶引き上げ用熱遮蔽体 | |
| JPH0778770A (ja) | 化合物半導体材料用多結晶の製造方法及び石英ボート |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040206 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20040318 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040827 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050125 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20050325 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050510 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20050704 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050830 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050831 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080916 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080916 Year of fee payment: 3 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080916 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090916 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |