JPH04133373A - ガスレーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明はエキシマレーザ、炭酸ガスレーザのようなガ
スレーザ装置に関し、さらに詳しくいうと、レーザガス
中で放電させる主電極を備えているガスレーザ装置に関
するものである。

［従来の技術］ 第２図は、例えば特開平１−１１７０７６号公報に示さ
れた従来のエキシマレーザ装置を示し、図において、（
１）は１対の主電極、（２）は絶縁体、（１３）はレー
ザ筐体、（１４）はガス循環器、（１５）は熱交換器、
（１６）はスイッチング素子、（１７）はコンデンサで
ある。

次に動作について説明する。不活性ガスとハロゲンガス
の混合ガスからなるレーザガス中で、対向する１対の主
電極（１）間に高電圧パルスを印加して放電を発生させ
る。この放電によりレーザガスが励起され、紙面と垂直
方向にレーザが発振する。

［発明が解決しようとする課題］ 以上のような従来のガスレーザ装置は、レーザガスを含
んだガス中での放電を利用しているため、レーザガスと
の反応、放電による発熱、または放電中のイオンによる
イオンボンバードなどによって、主電極（１）の放電ギ
ャップ面が著しく消耗し、主電極の形状が変化してしま
う、一方、所定の出力で、かつ均一なレーザ光を得るた
めには、均一な安定した放電が不可欠であり、主電極が
変形すれば必要なレーザ光が得られなくなる。

また、主電極（１）が−旦消耗すると、装置を解体して
主電極（１）を交換しなければならず、多大な時間と労
力を要するという問題点があった。

この発明は以上のような課題を解決するためになされた
もので、主電極の交換回数を減らして稼働率の向上によ
るランニングコストの低減を達成することができるガス
レーザ装置を得ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］ この発明の第一の発明に係るガスレーザ装置は、主電極
が放電ギャップ面を少なくとも２面有しており、かつ主
電極を移動させる手段を具備している。

また、第二の発明に係るガスレーザ装置は、放電ギャッ
プ面の背面に可動コンタクトを設けた主電極を備えてい
る。

［作　用］ この発明の第一の発明においては、主電極が放電ギャッ
プ面を少なくとも２面有していて、かつ主電極を筐体の
外部から操作、移動して電流導入端子に接続できるので
、主電極の消耗後にも装置を解体せずに放電ギャップ面
を交換することにより連続使用ができる。

また、第二の発明においては、筐体外部からの操作で放
電ギャップ面の交換とともに、所定の電気的接続が同時
に達成される。

［実施例］ 以下、この発明の一実施例を第１図について説明する。

図において、１対の主電極（１）はそれぞれ（ｌｌａ）
〜（１４ａ）、（１１ｂ）〜（１４ｂ）の複数個の放電
ギャップ面を持っている。（２）は絶縁体、（３）、（
４）は主電極に電流を供給する電流導入端子、り５）は
主電極を回転させる回転軸、（６）は主電極（１）と電
流導入端子（３）の接続部である可動コンタクトである
。同図では、２つの主電極が各々４つの放電ギャップ面
を待った場合を示している。また、可動コンタクト（６
）により主電極側は放電ギヤ・７１面で電流導入端子（
３）に接続した場合を示している６ 上記の構成により、主電極（１）は回転軸（５）を中心
として回転可能であり、また回転軸（５）と主電極（１
）は上下方向にも移動可能である。この移動はレーザ筐
体の外部から駆動可能である。従って、放電ギャップ（
Ｉｌａ）〜（１４ｍ）、（Ｉｌｂ）　〜（１４ｂ）を任
意に選択して放電ギャップを形成することができる。こ
の回転および上下の移動に際しては、主電極（１）と電
流導入端子（３）は、可動コンタクト（６）の部分で容
易に切り放しができ、かつ動作時には充分小さな接触抵
抗で接続される。

次に動作を説明する。２つの主電極（１）を上下に移動
し、かつ回転させて放電ギャップ面（ｌｌａ）〜（１４
ａ）のいづれか１箇所と、（１１ｂ）〜（１４ｂ）のい
づれか１箇所のギャップ面で放電ギャップを形成する０
次に、この状態でガスレーザ装置を動作させる１発振シ
ョット数が１千万ショット〜百億ショット程度になると
、放電ギャップ面が消耗してレーザ出力の低下、レーザ
光のサイズの変化、レーザ光の均一性の低下がおこる。

そこで再度主電極（１）を移動させ、まだ使用していな
い放電ギャップ面のいづれかによって放電ギャップを形
成する。

このようにして、消耗していない放電ギャップ面が無く
なるまで、順次に主電極（１）を移動させて使用する６ 第１図においては、放電ギャップ面が２つの主電極（１
）に各々４面つづあり、また可動コンタクト（６）にお
いては、主電ｆ！側は放電ギャップ面で接続する例につ
いて示したが、を極ギャップ面は２面以上の何面でもよ
く、また、可動コンタクトは、主電極に放電ギャップ面
とは別の独自の接続部材を設けても良い。

［発明の効果］ 以上のように、この発明の第一の発明によれば、主電極
に放電ギャップ面を複数面設け、主電極を移動できるよ
うにしたので、主電極の交換回数が減少し、装置の稼働
率が向上するとともに、ランニングコストを低減するこ
とができるという効果を有する。

また、第二の発明によれば、放電ギャップ面の交換と同
時に主電極の電気的接続が達成される効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の要部断面図、第２区は従
来のガスレーザ装置の断面図である。 （１）　　　・主電極、（２）・・絶縁体、（３）、（
４）電流導入端子、（５）・・回転軸、（６）・・可動
コンタクト、（ｌｌａ）〜（１４ａ）、（１１ｂ）〜（
１４ｂ）・・放電ギャップ面６ なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）レーザガス中で放電させる少なくとも１対の主電
   極を備えているガスレーザ装置において、少なくとも２
   面の放電ギャップ面が設けられている前記主電極と、前
   記主電極を移動して前記放電ギャップ面を交換する手段
   とを備えてなることを特徴とするガスレーザ装置。
2. （２）放電ギャップ面の背面に電流導入端子との着脱が
   筐体の外部からの操作で可能な可動コンタクトを有した
   主電極を備えた請求項（１）記載のガスレーザ装置。