JPH04133445A - ウェハー枚数計数装置 - Google Patents
ウェハー枚数計数装置Info
- Publication number
- JPH04133445A JPH04133445A JP2255688A JP25568890A JPH04133445A JP H04133445 A JPH04133445 A JP H04133445A JP 2255688 A JP2255688 A JP 2255688A JP 25568890 A JP25568890 A JP 25568890A JP H04133445 A JPH04133445 A JP H04133445A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- wafers
- counting device
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェハー枚数計数装置に関し、特にウェハーカ
セットに収納された半導体ウェハーを計数する装置に関
する。
セットに収納された半導体ウェハーを計数する装置に関
する。
従来のウェハー枚数計数装置としては、次のようなもの
がある。
がある。
１、カセットローダ−にカセットを乗せ、カセットロー
ダ−ごと上下させることによってセンサーがウェハーの
有無を検知するものがある。
ダ−ごと上下させることによってセンサーがウェハーの
有無を検知するものがある。
２、カセットのスロット数分のセンサーを並べて各スロ
ットのウェハーの有無を一括して検知するものがある。
ットのウェハーの有無を一括して検知するものがある。
３、カセットからウェハーを１枚づつ取り出して他のカ
セットに移し、移した枚数をカウントするものがある。
セットに移し、移した枚数をカウントするものがある。
４、ロボットアームがウェハーカセットのスロットを検
索して計数するものがある。
索して計数するものがある。
５、上記の計数装置で使用するセンサーとして、透過型
フォトセンサーや、反射型フォトセンサー、マイクロス
イッチ、バキュームセンサー容量センサー等を使用する
ものがある。
フォトセンサーや、反射型フォトセンサー、マイクロス
イッチ、バキュームセンサー容量センサー等を使用する
ものがある。
前述した従来のウェハー枚数計数装置では、それぞれ次
のような欠点がある。
のような欠点がある。
１、カセットと動かして計数すると、計数時間がかかる
。
。
２、カセットのスロット分のセンサーを用意するものに
ついては、センサーの故障の率がセンサーが多い分だけ
高くなり、またセンサーの取付は場所に自由度がなくな
る。
ついては、センサーの故障の率がセンサーが多い分だけ
高くなり、またセンサーの取付は場所に自由度がなくな
る。
３、ウェハーカセットから移しかえる際に計数するので
は、時間がかかる。
は、時間がかかる。
４、ロボットアームで検索するのでは、時間がかかる。
５、ウェハー検知に前記センサーを用いた場合、ウェハ
ー計数をセンサーのセットされている場所で行なう必要
があり、搬送系に自由度がなくなる。
ー計数をセンサーのセットされている場所で行なう必要
があり、搬送系に自由度がなくなる。
本発明の目的は、前記欠点をいずれも解決し、簡単な構
成で、直ちに枚数が計数できるようにしたウェハー枚数
計数装置を提供することにある。
成で、直ちに枚数が計数できるようにしたウェハー枚数
計数装置を提供することにある。
本発明のウェハー枚数計数装置の構成は、ウェハーカセ
ットに収納された半導体ウェハーの画像を撮るテレビカ
メラと、前記画像データを前もって記録する画像記録手
段と、前記テレビカメラからの信号を前記画像記録ユニ
ットに記録された画像データと比較照合する手段と、前
記比較照合する手段で照合された画像データ毎に前もっ
て登録された前記ウェハーの枚数を出力する手段とを備
えている６ 〔実施例〕 次に本発明について図面を参照して説明する。
ットに収納された半導体ウェハーの画像を撮るテレビカ
メラと、前記画像データを前もって記録する画像記録手
段と、前記テレビカメラからの信号を前記画像記録ユニ
ットに記録された画像データと比較照合する手段と、前
記比較照合する手段で照合された画像データ毎に前もっ
て登録された前記ウェハーの枚数を出力する手段とを備
えている６ 〔実施例〕 次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の第１の実施例のウェハー枚数計数装置
を示すブロック図である。第１図において、本実施例の
ウェハー枚数計数装置は、ウェハーカセット５内の半導
体ウェハー６を写す１台のテレビカメラ１と、画像記録
ユニット２と、画像照合ユニット３と、枚数出カニニッ
ト４とを含み、構成される。ウェハー計数・ソト５に収
納された半導体ウェハー６の画像をテレビカメラ１で撮
り、画像記録ユニット２に記録された画像データと照合
させる。ここで、第２図に示すように、テレビカメラ画
像８は、多数の画像データフの１つとだけ一致し、○印
で示した該当画像データ７に対応する枚数を、枚数出カ
ニニット４に対して出力することによって、計数するこ
とができる。
を示すブロック図である。第１図において、本実施例の
ウェハー枚数計数装置は、ウェハーカセット５内の半導
体ウェハー６を写す１台のテレビカメラ１と、画像記録
ユニット２と、画像照合ユニット３と、枚数出カニニッ
ト４とを含み、構成される。ウェハー計数・ソト５に収
納された半導体ウェハー６の画像をテレビカメラ１で撮
り、画像記録ユニット２に記録された画像データと照合
させる。ここで、第２図に示すように、テレビカメラ画
像８は、多数の画像データフの１つとだけ一致し、○印
で示した該当画像データ７に対応する枚数を、枚数出カ
ニニット４に対して出力することによって、計数するこ
とができる。
第３図は本発明の第２の実施例のウェハー枚数計数装置
を示すブロック図である。第３図において、本実施例は
、ローダ−カセット９とアンローダ−カセット１０との
それぞれを、１台のテレビカメラ１で撮り、それぞれの
枚数を計数することができる。
を示すブロック図である。第３図において、本実施例は
、ローダ−カセット９とアンローダ−カセット１０との
それぞれを、１台のテレビカメラ１で撮り、それぞれの
枚数を計数することができる。
第４Ｕ！Ｊは本発明の第３の実施例のブロック図である
。第４図において、本実施例は、複数のテレビカメラを
切替機１１によって切り替えながらデータ処理すること
によって、複数のカセットのウェハー枚数を計数するこ
とができる。
。第４図において、本実施例は、複数のテレビカメラを
切替機１１によって切り替えながらデータ処理すること
によって、複数のカセットのウェハー枚数を計数するこ
とができる。
以上説明したように、本発明は、テレビカメラと、画像
記録ユニットと、画像照合ユニットと、照合データに対
応する枚数データを出力するユニットとを有するので、
ウェハー枚数を非接触で、−括で計数することができ、
またウェハー枚数“０”での画像データをバックグラン
ドとして半導体ウェハーのデータのみを抜き出す処理を
することによって感度を上げることができる効果がある
。
記録ユニットと、画像照合ユニットと、照合データに対
応する枚数データを出力するユニットとを有するので、
ウェハー枚数を非接触で、−括で計数することができ、
またウェハー枚数“０”での画像データをバックグラン
ドとして半導体ウェハーのデータのみを抜き出す処理を
することによって感度を上げることができる効果がある
。
第１図は本発明の第１の実施例のウェハー枚数計数装置
を示すブロック図、第２図°は第１図の動作な示す平面
図、第３図は本発明の第２の実施例のブロック図、第４
図は本発明の第３の実施例のブロック図である。 １・・・テレビカメラ、２・・・画像記録ユニット、３
・・・画像照合ユニット、４・・・枚数出カニニット。 ５・・・ウェハーカセット、６・・・半導体ウェハー７
・・・画像データ、８・・・テレビカメラ画像、９・・
・ローグーカセット、１０・・・アンローダ−カセット
、１・・・切替機。
を示すブロック図、第２図°は第１図の動作な示す平面
図、第３図は本発明の第２の実施例のブロック図、第４
図は本発明の第３の実施例のブロック図である。 １・・・テレビカメラ、２・・・画像記録ユニット、３
・・・画像照合ユニット、４・・・枚数出カニニット。 ５・・・ウェハーカセット、６・・・半導体ウェハー７
・・・画像データ、８・・・テレビカメラ画像、９・・
・ローグーカセット、１０・・・アンローダ−カセット
、１・・・切替機。
Claims (1)
- 半導体ウェハーをウェハーカセット内に収納した状態
で前記ウェハーの枚数を計数するウェハー枚数計数装置
において、テレビカメラと、このテレビカメラからの信
号を前もって記録しておく画像記録手段と、前記テレビ
カメラからの信号を前記画像記録手段で前もつて記録さ
れた画像データと比較照合する手段と、照合された画像
データ毎に前もって登録された枚数を出力する手段とを
備えたことを特徴とするウェハー枚数計数装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2255688A JPH04133445A (ja) | 1990-09-26 | 1990-09-26 | ウェハー枚数計数装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2255688A JPH04133445A (ja) | 1990-09-26 | 1990-09-26 | ウェハー枚数計数装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04133445A true JPH04133445A (ja) | 1992-05-07 |
Family
ID=17282247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2255688A Pending JPH04133445A (ja) | 1990-09-26 | 1990-09-26 | ウェハー枚数計数装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04133445A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5457312A (en) * | 1994-08-24 | 1995-10-10 | Ford Motor Company | Method and apparatus for counting flat sheets of specularly reflective material |
| US6452503B1 (en) * | 2001-03-15 | 2002-09-17 | Pri Automation, Inc. | Semiconductor wafer imaging system |
| KR101113232B1 (ko) * | 2009-06-10 | 2012-02-20 | (주)미래컴퍼니 | 포터블 웨이퍼 카운터 및 웨이퍼 카운팅 방법 |
| CN103387108A (zh) * | 2012-05-11 | 2013-11-13 | 株式会社大福 | 基板检测装置 |
| CN111687861A (zh) * | 2017-09-12 | 2020-09-22 | 长鑫存储技术有限公司 | 具有摄像侦测装置的机械手臂组件及半导体生产设备 |
-
1990
- 1990-09-26 JP JP2255688A patent/JPH04133445A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5457312A (en) * | 1994-08-24 | 1995-10-10 | Ford Motor Company | Method and apparatus for counting flat sheets of specularly reflective material |
| US6452503B1 (en) * | 2001-03-15 | 2002-09-17 | Pri Automation, Inc. | Semiconductor wafer imaging system |
| WO2002075689A1 (en) * | 2001-03-15 | 2002-09-26 | Pri Automation, Inc. | Semiconductor wafer imaging system |
| KR101113232B1 (ko) * | 2009-06-10 | 2012-02-20 | (주)미래컴퍼니 | 포터블 웨이퍼 카운터 및 웨이퍼 카운팅 방법 |
| CN103387108A (zh) * | 2012-05-11 | 2013-11-13 | 株式会社大福 | 基板检测装置 |
| CN111687861A (zh) * | 2017-09-12 | 2020-09-22 | 长鑫存储技术有限公司 | 具有摄像侦测装置的机械手臂组件及半导体生产设备 |
| CN111687861B (zh) * | 2017-09-12 | 2021-12-21 | 长鑫存储技术有限公司 | 具有摄像侦测装置的机械手臂组件及半导体生产设备 |
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