JPH04134100U - イオン照射装置におけるウインドウ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 イオン照射装置において、真空封止膜の取り
付け構造の簡素化と、交換時間の短縮化を図ること。 【構成】 封止膜７は、円筒ウインドウ１３の大気側端
部に接着剤で貼り付けられている。円筒ウインドウ１３
は、コンフラット・フランジ１２の内周部に挿入、嵌め
込まれ、この内周部にはＯリング１６を有する真空シ−
ル部が形成されている。封止膜が破れた場合、円筒ウイ
ンドウ１３を抜取り、封止膜が接着された予備の円筒ウ
インドウと交換する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、イオン照射装置において、イオンビ−ムの大気中への取り出し部に 設けられるウインドウ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

イオンビ−ムを照射装置本体内から大気中に取り出す場合、照射装置本体内は 真空状態にあるから、イオンビ−ムの取り出し部にはイオンビ−ムの通過、取り 出しに影響を与えないよう真空封止用の薄い膜を取り付けて照射装置本体内を大 気から隔離し真空に保っている。図２は、かかる封止膜の取付け部の断面図を示 し、ビ−ムライン・ダクト１のフランジ２にウインドウ３が取り付けられ、この ウインドウ３はイオンビ−ムが通る開口４を有する。フランジ２とウインドウ３ の真空シ−ル結合には、図示を省略するが、非対称エッジと銅ガスケットによる 周知のコンフラット・フランジ方式が採用されている。ウインドウ３の大気側端 部にＯリング５を有する真空シ−ル部６が形成され、この端部及び開口４を覆っ て封止膜７が配置される。膜７がＯリング５に密着してウインドウ３に取り付け られるように膜７の周辺部をウインドウ３の大気側端部に押えつける膜押え８が 設けられ、この膜押え８の鍔部９はウインドウ３に形成された段部、膜押え固定 部１０にボルト１１で固定される。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

このように、従来装置は、封止膜７をウインドウ３に取り付けるのに、膜押え ８を用い、この膜押えをボルト１１でウインドウ３に固定することにより、膜７ をウインドウ３に密着させて取り付け照射装置本体内の真空状態を保っている。 しかしながら、数ＭｅＶないし数１０ＭｅＶのイオンビ−ムを大気中に取り出す 場合、膜７の厚さは数μｍという極めてデリケ−トな薄いものであるため、破れ やすく、その度に膜７を交換しなければならないが、取り付け用のボルト１１の 数も多く、その締め付け方にも慎重さが要求され、膜交換に時間がかかり、交換 能率が悪いという欠点を有する。また別途要する膜押え８は、Ｏリングを充分に 押えつけて真空リ−クが生じないようにするため最低でも１ｍｍ程度の肉厚のも のを要するが、この厚さ分、イオンビ−ムが通過する空気層を要することになる 。

【０００４】 本考案は、かかる従来装置の問題点を解消するものであって、封止膜の取り付 け構造を簡単にして、その取外し、交換が容易に行えるようにすると共に、イオ ンビ−ムの被照射体をできるだけ膜に近付けることができるようにしたウインド ウ装置を提供することを目的とするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案は、イオン照射装置におけるウインドウ装置において、ビ−ムライン・ ダクトに結合され、その内周面の溝にＯリングを有するフランジと、前記フラン ジの内周面に嵌合する円筒ウインドウと、前記ウインドウの端面部に貼り付けら れた封止膜とを備えたことを特徴とする。

【０００６】

【作用】

円筒ウインドウに封止膜を接着剤で貼り付けておき、このウインドウをビ−ム ライン・ダクトに結合されたフランジの内周面に嵌め込むことによりウインドウ をフランジに取り付ける。ウインドウの外周部がフランジの内周面部に配置され たＯリングに密着し、ビ−ムライン・ダクト内したがって照射装置本体内は真空 状態に保たれる。円筒ウインドウは、貼り付けられた膜に真空圧と大気圧との差 圧が作用するから、フランジに保持される。膜が取り付けられた円筒ウインドウ を用意しておくことにより、簡単に交換でき、従来装置における膜押えのような 膜面より大気側に位置する部材がないから、その分、被照射体を膜に近付けて配 置できる。

【０００７】

【実施例】

図１は本考案の一実施例の断面図を示し、ビ−ムライン・ダクト１のフランジ ２にコンフラット・フランジ１２が結合され、このコンフラット・フランジ１２ の内周面に円筒ウインドウ１３が嵌合している。円筒ウインドウ１３の大気側の 端部に膜取り付け部１４が形成され、この取り付け部１４に封止膜７が接着剤を 用いて貼り付られている。この封止膜７は、厚さが７．５μｍ程度のものであっ て、樹脂製のものとしてはカプトン膜、金属によるものとしては、チタン箔、ア ルミニュウム箔、ベリリュウム箔、ハ−バ−フォイル等が用いられる。コンフラ ット・フランジ１２の内周部に形成された溝１５にＯリング１６が配置され、真 空シ−ル部を構成している。円筒ウインドウ１３の膜取り付け部１４の反対側に 鍔部１７が形成され、この鍔部はコンフラット・フランジ１２の段部１８に着座 し、大気圧の真空シ−ル部への到達距離を長くして、真空シ−ル作用を助長して いる。

【０００８】 円筒ウインドウ１３に予め封止膜７を接着剤で貼り付けておいてから、ウイン ドウをコンフラット・フランジ１２に挿入、嵌め込む。真空状態は、封止膜７と 円筒ウインドウ１３間は貼り付け用の接着剤によって、円筒ウインドウ１３とコ ンフラット・フランジ１２間はＯリング１６によって保たれる。円筒ウインドウ １３に貼り付られた封止膜７に真空圧と大気圧との差圧が作用するから、円筒ウ インドウ１３はコンフラット・フランジ１２に保持され、外れることはない。

【０００９】

【考案の効果】

封止膜を接着した予備の円筒ウインドウ１３を常時２、３個用意しておくこと により、膜が破れた場合には直ちに交換することができる。交換作業は、単に、 コンフラット・フランジから膜が破れた円筒ウインドウを抜取り、新しいものを フランジに挿入、嵌め込むだけであるから、従来技術のようにボルトの締め付け トルクを考慮しなければならない熟練を要するものと比べると極めて簡単であり 、殆ど時間もかからずに実施でき、交換時間が著しく短縮される。

【００１０】 また、構造にしても、封止膜を接着した円筒ウインドウを、内周部にＯリング による真空シ−ル部を有するコンフラット・フランジに嵌合させるものであるか ら、部品点数も少なく、非常にシンプルであり、各部材の加工も簡単であり、費 用も安価で済む。

【００１１】 そして、従来技術にあっては、封止膜より大気側に１ｍｍ程度ではあるが膜押 えの肉厚部分が存在するが、本考案では膜の面より大気側に位置する部材が存在 しないから、その分だけ、たとえ１ｍｍ以内とは言え被照射物を膜に近付けて配 置することが可能となり、イオンビ−ムの通過実効空気層を薄くすることができ る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例の断面図である。

【図２】従来例の断面図である。

【符号の説明】

1 ビ−ムライン・ダクト 7 真空封止膜 12 コンフラット・フランジ 13 円筒ウインドウ 14 膜取り付け部 15 溝 16 Ｏリング

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ビ−ムライン・ダクトに結合され、その
   内周面の溝にＯリングを有するフランジと、前記フラン
   ジの内周面に嵌合する円筒ウインドウと、前記ウインド
   ウの端面部に貼り付けられた封止膜とを備えたことを特
   徴とするイオン照射装置におけるウインドウ装置。