JPH041348Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH041348Y2 JPH041348Y2 JP1983097387U JP9738783U JPH041348Y2 JP H041348 Y2 JPH041348 Y2 JP H041348Y2 JP 1983097387 U JP1983097387 U JP 1983097387U JP 9738783 U JP9738783 U JP 9738783U JP H041348 Y2 JPH041348 Y2 JP H041348Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refrigerator unit
- bellows
- pump case
- stage cylinder
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Compressor (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はクライオポンプの防振装置に関する。
従来、この種のポンプは、高圧ヘリウムの断熱
膨脹によつて低温を発生させ、冷却されたクライ
オパネルに気体分子を凝縮あるいは吸着して排気
するものとして知られているが、該ポンプは、第
１図示のようにポンプケースａにモータｂやピス
トンｄを備えた冷凍機ユニツトｃを一体に取付け
て構成するを一般とするので、該冷凍機ユニツト
ｂの作動に伴う振動を生じ、これが真空槽その他
の真空装置ｅに伝わると装置の損傷或いは真空処
理の不良等の原因となつて好ましくない。こうし
た真空装置ｅに伝わる振動は、同図示のように金
属製のベローズｆを介してクライオポンプを取付
けして吸収することが可能であるが、ベローズｆ
が大形となり高価になるばかりでなく、ベローズ
ｆの分だけコンダクタンスを減少し、ポンプの排
気性能が低下する不都合を生ずる。
膨脹によつて低温を発生させ、冷却されたクライ
オパネルに気体分子を凝縮あるいは吸着して排気
するものとして知られているが、該ポンプは、第
１図示のようにポンプケースａにモータｂやピス
トンｄを備えた冷凍機ユニツトｃを一体に取付け
て構成するを一般とするので、該冷凍機ユニツト
ｂの作動に伴う振動を生じ、これが真空槽その他
の真空装置ｅに伝わると装置の損傷或いは真空処
理の不良等の原因となつて好ましくない。こうし
た真空装置ｅに伝わる振動は、同図示のように金
属製のベローズｆを介してクライオポンプを取付
けして吸収することが可能であるが、ベローズｆ
が大形となり高価になるばかりでなく、ベローズ
ｆの分だけコンダクタンスを減少し、ポンプの排
気性能が低下する不都合を生ずる。
また、ベローズの大形化とコンダクタンスの減
少の防止のために、クライオポンプのポンプケー
スに細径の挿通口を設け、該挿通口に冷凍機ユニ
ツトの第１段シリンダと第２段シリンダを挿通
し、該ポンプケースと該冷凍機ユニツトを、これ
らの第１段及び第２段シリンダを囲む細径のベロ
ースを介して一体に気密に取付け、該ベローズの
周囲を捲回して一本のコイルばねを設けるように
した防振装置も実開昭和57−158162号公報に於い
て公知である。クライオポンプは横向きに設置さ
れることがあり、このような場合、一本のコイル
ばねで冷凍機ユニツトを支えると、ばねの曲りで
ポンプケースに対して冷凍機ユニツトが傾き、ポ
ンプのコンダクタンスが変化して所期の排気性能
が得られなくなる。
少の防止のために、クライオポンプのポンプケー
スに細径の挿通口を設け、該挿通口に冷凍機ユニ
ツトの第１段シリンダと第２段シリンダを挿通
し、該ポンプケースと該冷凍機ユニツトを、これ
らの第１段及び第２段シリンダを囲む細径のベロ
ースを介して一体に気密に取付け、該ベローズの
周囲を捲回して一本のコイルばねを設けるように
した防振装置も実開昭和57−158162号公報に於い
て公知である。クライオポンプは横向きに設置さ
れることがあり、このような場合、一本のコイル
ばねで冷凍機ユニツトを支えると、ばねの曲りで
ポンプケースに対して冷凍機ユニツトが傾き、ポ
ンプのコンダクタンスが変化して所期の排気性能
が得られなくなる。
本考案は、冷凍機ユニツトを所定の方向に向け
て設置できるベローズとばねを組合わせたクライ
オポンプの防振装置を提供することを目的とした
もので、クライオポンプケース１に細径の挿通口
３を設け、該挿通口３に冷凍機ユニツト２の第１
段シリンダ５と第２段シリンダ８を挿通し、該ポ
ンプケース１と該冷凍機ユニツト２を、該第１段
シリンダ５を囲む細径のベローズ４を介して一体
に気密に取付けするようにしたものに於いて、該
ポンプケース１と冷凍機ユニツト２の間に、該ベ
ローズ４の外方に位置させて、複数本の強弱２種
のコイルばね１２を介在させて成る。
て設置できるベローズとばねを組合わせたクライ
オポンプの防振装置を提供することを目的とした
もので、クライオポンプケース１に細径の挿通口
３を設け、該挿通口３に冷凍機ユニツト２の第１
段シリンダ５と第２段シリンダ８を挿通し、該ポ
ンプケース１と該冷凍機ユニツト２を、該第１段
シリンダ５を囲む細径のベローズ４を介して一体
に気密に取付けするようにしたものに於いて、該
ポンプケース１と冷凍機ユニツト２の間に、該ベ
ローズ４の外方に位置させて、複数本の強弱２種
のコイルばね１２を介在させて成る。
本考案の実施例を図面第２図に基づき説明する
と、クライオポンプのポンプケース１の底部１ａ
は冷凍機ユニツト２の第１段シリンダ５に取付け
たシールド６に対して比較的狭い間隔７を存して
沿うように形成され、該底部１ａに該第１段シリ
ンダ５を挿通し得る程度の細径の挿通口３を設
け、そこに第１段シリンダ５とこれより更に延び
る第２段シリンダ８とが挿通される。９は該第２
段シリンダ８に取付けた凝縮パネル、１０はシー
ルド６の前方の開口部に設けたバツフルである。
と、クライオポンプのポンプケース１の底部１ａ
は冷凍機ユニツト２の第１段シリンダ５に取付け
たシールド６に対して比較的狭い間隔７を存して
沿うように形成され、該底部１ａに該第１段シリ
ンダ５を挿通し得る程度の細径の挿通口３を設
け、そこに第１段シリンダ５とこれより更に延び
る第２段シリンダ８とが挿通される。９は該第２
段シリンダ８に取付けた凝縮パネル、１０はシー
ルド６の前方の開口部に設けたバツフルである。
ベローズ４はステンレス製とすることが好まし
く、その一端側を挿通口３の周縁に取付けすると
共にその他端側を冷凍機ユニツト２の本体１１の
前面に取付け、該ベローズ４で第１段シリンダ５
の周囲を囲繞するようにした。該ベローズ４は冷
凍機ユニツト２の振動を遮断する作用を営むが、
該ベローズ４をポンプの入口に設けずに第２図示
のようにポンプケース１と冷凍機ユニツト２の間
に設けると、コンダクタンスの減少によるポンプ
排気性能の低下が防げて有利である。
く、その一端側を挿通口３の周縁に取付けすると
共にその他端側を冷凍機ユニツト２の本体１１の
前面に取付け、該ベローズ４で第１段シリンダ５
の周囲を囲繞するようにした。該ベローズ４は冷
凍機ユニツト２の振動を遮断する作用を営むが、
該ベローズ４をポンプの入口に設けずに第２図示
のようにポンプケース１と冷凍機ユニツト２の間
に設けると、コンダクタンスの減少によるポンプ
排気性能の低下が防げて有利である。
クライオポンプ内の圧力が変動すると、該ベロ
ーズ４が伸縮し、その伸縮が大きいとポンプを床
に固定する必要があるが、第２図示のようにポン
プケース１と冷凍機ユニツト２の本体１１の間に
コイルばね１２を介在させることにより前記伸縮
を抑制することが出来ると共にベローズ４の荷重
負担が少なくなつて柔軟な細径のベローズ４を使
用でき、ポンプを床に固定する必要がなくなる。
この場合、該ばね１２はポンプの圧力変動に伴う
ベローズ４の伸縮量を許容値内に収めるようなば
ね定数のものが選択される。
ーズ４が伸縮し、その伸縮が大きいとポンプを床
に固定する必要があるが、第２図示のようにポン
プケース１と冷凍機ユニツト２の本体１１の間に
コイルばね１２を介在させることにより前記伸縮
を抑制することが出来ると共にベローズ４の荷重
負担が少なくなつて柔軟な細径のベローズ４を使
用でき、ポンプを床に固定する必要がなくなる。
この場合、該ばね１２はポンプの圧力変動に伴う
ベローズ４の伸縮量を許容値内に収めるようなば
ね定数のものが選択される。
クライオポンプは横向きに設置される場合があ
り、このような場合、一本のコイルばね１２では
ポンプケース１に対して冷凍機ユニツト２が傾
き、ポンプ内のコンダクタンスが不均一になる不
都合が生じ、また、同じ強さのコイルばね１２を
複数本使用しても同様の結果になる。そこで、本
考案では、該コイルばね１２として複数本の強弱
２種のばねを使用し、例えば第２図示のようにポ
ンプを横向きに設ける場合、下側に強いばね１２
ａを設けると共に上側に弱いばね１２ｂを設ける
ことにより、冷凍機ユニツト２が所定の略水平を
維持して取付けできるようにした。
り、このような場合、一本のコイルばね１２では
ポンプケース１に対して冷凍機ユニツト２が傾
き、ポンプ内のコンダクタンスが不均一になる不
都合が生じ、また、同じ強さのコイルばね１２を
複数本使用しても同様の結果になる。そこで、本
考案では、該コイルばね１２として複数本の強弱
２種のばねを使用し、例えば第２図示のようにポ
ンプを横向きに設ける場合、下側に強いばね１２
ａを設けると共に上側に弱いばね１２ｂを設ける
ことにより、冷凍機ユニツト２が所定の略水平を
維持して取付けできるようにした。
該コイルバネ１２に強弱２種のばねを使用し、
クライオポンプを縦置きする場合には支障がな
く、冷凍機ユニツト２に荷重分布がアンバランス
であつてもポンプケース１に対して傾かずに取付
け得る。
クライオポンプを縦置きする場合には支障がな
く、冷凍機ユニツト２に荷重分布がアンバランス
であつてもポンプケース１に対して傾かずに取付
け得る。
以上のように、本考案では、クライオポンプの
ポンプケース１と冷凍機ユニツト２をベローズ４
とコイルばね１２で接続する形式の防振装置に於
いて、該コイルばね１２に複数本の強弱２種のば
ねを使用したので、冷凍機ユニツト２をばねだけ
でポンプケースに対して所定の方向に向けて設置
することができクライオポンプの横向き設置を排
気性能を損なわずに行なえて好都合である等の効
果がある。
ポンプケース１と冷凍機ユニツト２をベローズ４
とコイルばね１２で接続する形式の防振装置に於
いて、該コイルばね１２に複数本の強弱２種のば
ねを使用したので、冷凍機ユニツト２をばねだけ
でポンプケースに対して所定の方向に向けて設置
することができクライオポンプの横向き設置を排
気性能を損なわずに行なえて好都合である等の効
果がある。
第１図は従来例の截断側面図、第２図は本考案
の実施例の一部截断側面図である。 １……ポンプケース、２……冷凍機ユニツト、
３……挿通口、４……ベローズ、５……第１段シ
リンダ、８……第２段シリンダ、１２……コイル
ばね、１２ａ……強いばね、１２ｂ……弱いば
ね。
の実施例の一部截断側面図である。 １……ポンプケース、２……冷凍機ユニツト、
３……挿通口、４……ベローズ、５……第１段シ
リンダ、８……第２段シリンダ、１２……コイル
ばね、１２ａ……強いばね、１２ｂ……弱いば
ね。
Claims (1)
- クライオポンプのポンプケース１に細径の挿通
口３を設け、該挿通口３に冷凍機ユニツト２の第
１段シリンダ５と第２段シリンダ８を挿通し、該
ポンプケース１と該冷凍機ユニツト２を、該第１
段シリンダ５を囲む細径のベローズ４を介して一
体に気密に取付けするようにしたものに於いて、
該ポンプケース１と冷凍機ユニツト２の間に、該
ベローズ４の外方に位置させて、複数本の強弱２
種のコイルばね１２を介在させて成るクライオポ
ンプの防振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9738783U JPS606890U (ja) | 1983-06-25 | 1983-06-25 | クライオポンプの防振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9738783U JPS606890U (ja) | 1983-06-25 | 1983-06-25 | クライオポンプの防振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS606890U JPS606890U (ja) | 1985-01-18 |
| JPH041348Y2 true JPH041348Y2 (ja) | 1992-01-17 |
Family
ID=30231675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9738783U Granted JPS606890U (ja) | 1983-06-25 | 1983-06-25 | クライオポンプの防振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS606890U (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4363217A (en) * | 1981-01-29 | 1982-12-14 | Venuti Guy S | Vibration damping apparatus |
-
1983
- 1983-06-25 JP JP9738783U patent/JPS606890U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS606890U (ja) | 1985-01-18 |
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