JPS6113115B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子顕微鏡等において、ターボ分子ポ
ンプを使用した排気系に関する。

電子顕微鏡等において試料の汚染等を少なくす
るためには鏡体内をクリーンバキユーム（オイル
フリー）にすることが必要である。その為には従
来一般に使用されている油拡散ポンプに代えて、
ターボ分子ポンプ（以下単に分子ポンプと称す）
を使用することが考えられる。

しかし乍ら斯かる分子ポンプにおいては原理的
に高速回転機構が必要なため、該回転機構から発
生する振動によつて電子顕微鏡の分解能が低下す
る虞れがあり、振動に対する十分な対策が必要と
なる。そのために分子ポンプを床に堅牢に固定す
ることが考えられる。この方法によれば、分子ポ
ンプを鏡体の直下に設置できる利点があるが、基
礎工事が必要となり、又鏡体の設置場所を変更す
るたびに基礎工事を行なわなければならず、取扱
いが非常に厄介となり、しかもコストアツプする
欠点を有している。又この欠点を防止するため分
子ポンプを鏡体からかなり離した位置に設置する
方法も考えられるが、必然的に長い排気管を使用
しなければならないため、排気抵抗が大きくな
り、排気時間が長くなる欠点を有している。

ところで、近時このような不都合を解決するた
めに、分子ポンプを架台に固定された主排気管に
ベローズによつて吊り下げるように支持すること
により分子ポンプの振動をベローズで減衰させる
ようになした装置が提案されている。この場合、
鏡体内を排気（真空）せしめた際背圧により分子
ポンプが上方に引張られてベローズが圧縮され、
実質的に分子ポンプを排気管に直接固定したこと
と同じ結果になり、分子ポンプの振動が鏡体に伝
達される可能性がある。

そこで本発明は斯様なポンプ背圧によるベロー
ズの圧縮を防止し、もつて分子ポンプの振動が鏡
体に伝達されるのを防止することを目的とするも
のである。

上記目的を達成するために、本発明は鏡体と、
該鏡体内に接続された排気管と、これら鏡体及び
排気管を保持するために除振装置を介して床上に
載置された架台と、前記排気管及びベローズを介
して鏡体を排気するための分子ポンプとを備え、
前記分子ポンプは前記ベローズにより実質的に架
台に吊り下げられて床側に対して非接触にされて
いると共に、前記鏡体内を真空にすることにより
前記ベローズが受ける圧縮力を打消すため、前記
架台側と前記分子ポンプ側との間に密閉型空気バ
ネを設けたことを特徴とする。

以下本発明を図面に基づき詳説する。

第１図は本発明の一実施例を示す断面図であ
り、１は透過型電子顕微鏡の鏡体である。該鏡体
１は架台２に取付けられている。該架台２は除振
装置３を備えた４本の支柱４ａ乃至４ｄ（４ｃ及
び４ｄは図示せず）によつて床５上に載置されて
いる。６は前記鏡体１の後方におかれ、且つ該鏡
体の各室に副排気管７ａ，７ｂ，７ｃを介して連
通された主排気管で、該主排気管６は前記架台２
に取付けられており、又該主排気管の下端６ａは
架台２の下面から突出している。８は分子ポンプ
で該分子ポンプはその吸入口９側が例えばステン
レス製のベローズ１０を介して前記主排気管６の
下端６ａに接続されている。この場合分子ポンプ
８の下端は床５から浮かされているつまり、分子
ポンプはベローズ１０を介して主排気管６に吊り
下げるようにして支持されている。又該分子ポン
プ８の排出口１１は図示しないがパイプを介して
油回転ポンプに接続されている。

１２ａ，１２ｂ及び１２ｃ（１２ｃは図示せ
ず）は取付板１３を介して前記主排気管６（架台
２でもよい）に固定されたシリンダーで、これら
のシリンダーは主排気管６を中心にして等間隔に
且つこの主排気管６と平行に配置されており、該
各シリンダー内には移動棒１４ａ，１４ｂ，１４
ｃを備えたピストン１５ａ，１５ｂ，１５ｃ（１
４ｃ，１５ｂ及び１５ｃは図示せず）が摺動可能
に挿入されている。前記各移動棒１４ａ……は各
各のシリンダー側壁を貫通し、その先端には押板
１５が取付けられている。該押板１５は環状に形
成されて前記ベローズ１０の外周におかれてお
り、又該押板の下方には受板１６が対向するよう
におかれている。該受板１６は前記ベローズ１０
のフランジ１７ａ部分に固定されている。更に該
押板１５と受板１６との間には内圧が例えば１
Kg/cm²に保たれた環状の密閉型空気バネ１８が介
在されている。

１９ａ及び１９ｂは前記シリンダー１２ａ内の
ピストン１５ａによつて仕切られる上室２０ａ及
び下室２０ｂに夫々接続されたパイプで、該両パ
イプの他端は切換弁２１を介してコンプレツサー
２２に接続されている。従つて切換弁２１を任意
に切換えることによりシリンダー１２ａ内の上室
２０ａ或いは下室２０ｂ内に圧搾空気を導入させ
ることができる。２３はパイプ１９ａに取付けた
圧力調整弁である。尚図示はしないが他の２つの
シリンダー１２ｂも１２ａと同様にコンプレツサ
ー２２に接続されたパイプが設けてある。

斯様な装置において、３個のシリンダー１２ａ
の上室２０ａ側にコンプレツサー２２より圧搾空
気を所定圧導入しておくことにより押板１５を下
方向に押圧しておけば、鏡体１内が排気されるこ
とによる分子ポンプ８が受ける背圧を打消すこと
ができるため、ベローズ１０は圧縮されることな
く略自由長の状態で使用することができる。

ここで図中２４及び２５は鏡体１内がリークさ
れて分子ポンプ８への背圧が解除されたとき、押
板１５の押圧力により下方に移動してベローズ１
０が伸びるのを防止するための針金で、一方の針
金２４はＵ字状に折り曲げた状態でベローズのフ
ランジ１７ａ部に固定され、他方の針金２５は一
方の針金２４内を通つた状態でベローズのフラン
ジ１７ｂ部に固定されている。該両針金は分子ポ
ンプ８が受ける背圧と押板１５の押圧力とがつり
合つているときには図示の如き互いに離れてお
り、又分子ポンプの受ける背圧がなくなつたとき
両者が掛止するように構成してある。

以上の如く本発明は環状の密閉型空気バネを介
して分子ポンプが受ける背圧を打消す構造となし
てあるため、ベローズは分子ポンプが受ける背圧
により圧縮されることなく略自由長の状態で使用
することができる。その結果、分子ポンプの振動
はベローズや密閉型空気バネで減衰させることが
できるため、分解能の低下を防止することができ
る。又第２図に示すように密閉型空気バネ１８の
押板１５及び受板１６との接触面の全面或いは一
部に多数の突出部２６……及び２７……を設ける
ことによりダンピング効果が増し、より一層強い
減衰作用を持たせることができ、実用性大なる効
果を有する。

尚前述の実施例では分子ポンプが受ける背圧を
打消す押圧力を発生する手段としてエアーシリン
ダー機構を用いたが、他のネジ機構等の如き既知
の手段を用いてもよい。

又透過型電子顕微鏡に実施した場合について述
べたが、走査型電子顕微鏡等にも同様に実施する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す構成略図、第
２図は本発明の他の実施例を示す断面図である。 １：鏡体、２：架台、３：除振装置、４ａ及び
４ｂ：支柱、５：床、６：主排気管、８：分子ポ
ンプ、１０：ベローズ、１２ａ及び１２ｂ：シリ
ンダー、１３：取付板、１４ａ及び１４ｂ：移動
棒、１５：押板、１６：受板、１７ａ及び１７
ｂ：フランジ、１８：密閉型空気バネ、１９ａ及
び１９ｂ：パイプ、２１：切換弁、２２：コンプ
レツサー、２４及び２５：針金。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 鏡体と、該鏡体内に接続された排気管と、こ
   れら鏡体及び排気管を保持するために除振装置を
   介して床上に載置された架台と、前記排気管及び
   ベローズを介して鏡体を排気するための分子ポン
   プとを備え、前記分子ポンプは前記ベローズによ
   り実質的に架台に吊り下げられて前記床側に対し
   て非接触にされていると共に、前記鏡体内を真空
   にすることにより前記ベローズが受ける圧縮力を
   打消すため、前記架台側と前記分子ポンプ側との
   間に密閉型空気バネを設けたことを特徴とする電
   子顕微鏡等における排気系。