JPS6231674Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はクライオポンプを被排気系に接続する
ための装置に関する。

最近、高真空が要求される真空装置に油拡散ポ
ンプ等に比べて、よりクリーンな真空を得ること
のできるクライオポンプが使われ始めた。第１図
はこのようなクライオポンプを電子顕微鏡に接続
した例を示しており、１は電子顕微鏡鏡筒に連通
した被排気空間であり、２はフランジを示してい
る。このフランジ２にはクライオポンプのケース
３が一体的に取り付けられている。ケース３には
クライオポンプの駆動部４が金属性ベローズ５に
よつて吊り下げられている。駆動部４にはデイス
プレーサー６が取り付けられており、このデイス
プレーサー６の先端には第１、第２のコールドパ
ネル７，８が取り付けられている。駆動部４には
モータと外部から循環してくるガスの流通を制御
するための弁等が内蔵されている。又デイスプレ
ーサー６内には熱交換材を内蔵したピストンを有
しており、モータによつて弁の開閉とこのピスト
ンの運動を行つて前記ガスの断熱膨張を行わしめ
て第１、第２のコールドパネル７，８を冷却す
る。９はバツフルである。被排気空間１の真空度
が上昇して行くと駆動部４を吸い込む向きの力が
生じるが、この吸い込み力によつてベローズ５が
過度に圧縮されないようにするため錘り１０が駆
動部４に取り付けられている。又、被排気空間１
の真空度が低い場合には上記吸い込み力が生じな
いため駆動部等の全重量がベローズ５にかかる
が、このような場合に駆動部４を支持してベロー
ズ５に過大な重量がかかるのを防ぐため、支持枠
１１が前記ケース３に一体的に取り付けられてい
る。駆動部４の下部は細いワイヤー１２ａ，１２
ｂ，１２ｃ，１２ｄによつて前記支持枠１１につ
ながれており、これによりデイスプレーサー６の
歳差運動を抑えて、コールドパネル７がケース３
に接触しないようになつている。

上述した如き構成の従来装置においては、ピス
トンの運動に起因するデイスプレーサー６側から
のインパルス振動が、電子顕微鏡の鏡筒に伝わら
ないように駆動部４とケース３との接続部はベロ
ーズを用いているが、ベローズを用いてもこのイ
ンパルス振動のうち、低周波振動成分は抑えるこ
とはできるものの試料ステージや試料ホルダーの
固有周波数近傍の高周波振動成分の伝達を抑える
ことはできなかつた。そのため、鏡筒側にこの高
周波振動成分が伝達され、試料ステージや試料ホ
ルダーと共鳴してしまい、高分解能の像を得るこ
とはできなつた。

本考案はこのような従来の欠点を解決すべくな
されたもので、被排気系に取り付けられたクライ
オポンプのケースと、該ケースに吊り下げられた
ポンプ駆動部と、ポンプ駆動部に取り付けられ前
記ケース内に挿入されたデイスプレーサー及び冷
却パネルと、前記ケースと前記ポンプ駆動部とを
接続するためのベローズとを備えた装置におい
て、該ベローズを介してポンプ駆動部側からケー
ス側に至る高周波振動の伝達路中にゴム或いは合
成樹脂より成る環状部材を介在させたことを特徴
としている。

以下図面に基づき本考案の一実施例を詳述す
る。

第２図は、本考案の一実施例の要部を示すもの
で、図中３はケースであり、４は駆動部の一部で
ある。従来と異なりケース３と駆動部４側を接続
するベローズは、ケース３側に溶接されたベロー
ズ１３ａと駆動部４側に溶接されたベローズ１３
ｂに分けられており、ゴムより成る環状部材１４
が気密を保つように接着剤により両者に接着され
ている。このような構成においては、環状部材１
４の材質の密度はベローズの密度より格段に小さ
いため、デイスプレーサー６から発生する高周波
振動成分は、駆動部４からベローズ１３ｂを伝わ
つて来ると、環状部材１４によつて殆んど反射さ
れてしまうため、ケース３側に伝わることは無
い。

上述した説明より明らかなように、本考案に基
づく装置においては、デイスプレーサーからの高
周波振動が被排気系側に殆んど伝わらないため、
このような装置を電子顕微鏡等に用いた際に良質
の画像を観察することができる。

尚、上述した実施例においては環状部材１４の
材質としてゴムを用いたが、ゴムに限らず、高周
波振動を良好に反射できる密度の小さい材質で、
ガス放出量の小さい材質ならプラスチツク等の合
成樹脂を用いても良い。

更に又、上述した実施例においてはベローズを
分けて、分けたベローズの中間に環状部材を介在
させるようにしたが、ベローズとケースとの接続
部或いはベローズと駆動部との接続部に環状部材
を介在させるようにしても良い。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置を示すための図、第２図は本
考案の一実施例を示すための図である。 １……被排気空間、２……フランジ、３……ケ
ース、４……駆動部、５，１３ａ，１３ｂ……ベ
ローズ、６……デイスプレーサー、７，８……コ
ールドパネル、９……バツフル、１０……錘り、
１１……支持枠、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２
ｄ……ワイヤー、１４……環状部材。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被排気系に取り付けられたクライオポンプのケ
   ースと、該ケースに吊り下げられたポンプ駆動部
   と、ポンプ駆動部に取り付けられ前記ケース内に
   挿入されたデイスプレーサー及び冷却パネルと、
   前記ケースと前記ポンプ駆動部とを接続するため
   のベローズとを備えた装置において、該ベローズ
   を介してポンプ駆動部側からケース側に至る高周
   波振動の伝達路中にゴム或いは合成樹脂より成る
   環状部材を介在させたことを特徴とするクライオ
   ポンプの接続装置。