JPH04136784A - ステージ機構 - Google Patents
ステージ機構Info
- Publication number
- JPH04136784A JPH04136784A JP25691890A JP25691890A JPH04136784A JP H04136784 A JPH04136784 A JP H04136784A JP 25691890 A JP25691890 A JP 25691890A JP 25691890 A JP25691890 A JP 25691890A JP H04136784 A JPH04136784 A JP H04136784A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- load
- base
- block
- upper stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、すべり軸受方式ｘｙステージの下段ステージ
の往復移動のヨーイング精度向上に関するものである。
の往復移動のヨーイング精度向上に関するものである。
高精度部品の検査装置には、顕微鏡等のセンサ及び被測
定物の位置決め用に高精度な位置決めステージが要求さ
れている。特にウェハ上に形成されたエレクトロニクス
デバイスの配列精度を測定する装置には例えばｌ ＯＯ
ｍ ｍあたり０．１μｍ〜０．５μｍ程度の真直案内精
度が必要である。
定物の位置決め用に高精度な位置決めステージが要求さ
れている。特にウェハ上に形成されたエレクトロニクス
デバイスの配列精度を測定する装置には例えばｌ ＯＯ
ｍ ｍあたり０．１μｍ〜０．５μｍ程度の真直案内精
度が必要である。
この真直案内精度を安価で小形なすべり軸受方式で実現
するため、すベリ軸受方式の真直案内誤差発生要因であ
る。上段ステージのテーブル移動に伴う軸受負荷の変動
を荷重補償機構を設けることによって無くシ、高い真直
案内精度を得ようとするものである。
するため、すベリ軸受方式の真直案内誤差発生要因であ
る。上段ステージのテーブル移動に伴う軸受負荷の変動
を荷重補償機構を設けることによって無くシ、高い真直
案内精度を得ようとするものである。
従来高い真直案内精度を満足するｘｙステージとしては
、軸受に静圧空気軸受を用いる方法や粗動ステージ上に
圧電素子で駆動する微動ステージを設け、平面ミラーを
基準にして、真直案内誤差を微動ステージで補正する方
法があるが、いずれも高価で装置が大がかりになるとい
う欠点があった。
、軸受に静圧空気軸受を用いる方法や粗動ステージ上に
圧電素子で駆動する微動ステージを設け、平面ミラーを
基準にして、真直案内誤差を微動ステージで補正する方
法があるが、いずれも高価で装置が大がかりになるとい
う欠点があった。
一方、他の方法として安価で小形なすべり軸受案内によ
るステージを使用する方法もあるが、こら見た負荷モー
メントが変わり、ヨーイングを発生してしまうという欠
点があった。
るステージを使用する方法もあるが、こら見た負荷モー
メントが変わり、ヨーイングを発生してしまうという欠
点があった。
本発明の目的は、これらの欠点を解決するため。
すべり軸受方式ｘＹステージの上段ステージのテーブル
移動に伴うヨーイング発生を防止し、高い真直案内精度
を有する安価で小形なＸＹステージを提供することにあ
る。
移動に伴うヨーイング発生を防止し、高い真直案内精度
を有する安価で小形なＸＹステージを提供することにあ
る。
本発明は、上記の目的を達成するため、すべり軸受方式
ＸＹステージの上段ステージのテーブル移動に伴って発
生する下段ステージ軸受面の負荷の変化を、荷重補償機
によって打消し、ヨーイングの発生を防止し、高い真直
案内精度を得るようにしたものである。
ＸＹステージの上段ステージのテーブル移動に伴って発
生する下段ステージ軸受面の負荷の変化を、荷重補償機
によって打消し、ヨーイングの発生を防止し、高い真直
案内精度を得るようにしたものである。
荷重補償機構としては、下段ステージのテーブル下面に
テーブル駆動ネジの両側に２両端にローラを設けた板バ
ネをバネの反力がテーブルの荷重を打消す方向に働くよ
う取付けである。ローラ転走面は、下面にテーパ面を持
つテーパブロックの上面が転走面になっている。テーパ
ブロックは。
テーブル駆動ネジの両側に２両端にローラを設けた板バ
ネをバネの反力がテーブルの荷重を打消す方向に働くよ
う取付けである。ローラ転走面は、下面にテーパ面を持
つテーパブロックの上面が転走面になっている。テーパ
ブロックは。
長手方向端面にテーパ面に平行なネジ穴を設け。
テーパ面がステージベースの傾斜面に接している。
テーパブロックのネジ穴にはベースに固定されたブラケ
ットに取付けられたモータで回転するおネジがはめられ
ている。モータはコントローラによって制御される。
ットに取付けられたモータで回転するおネジがはめられ
ている。モータはコントローラによって制御される。
今、上段ステージのテーブルを移動させる時。
テーパブロックにはまるおネジに係合されたモータをコ
ントローラで駆動することにより、テーパブロックも移
動させ、上段ステージのテーブル移動に伴って上段ステ
ージの重心が移動し、下段ステージ軸受面の負荷が変化
しようとしても、テーパブロックのローラ転走面を上下
方向に移動させて下段ステージ軸受面の負荷の変化を打
消し、六−プ１し 一；り駆動ネジに加わる抵抗を常に左右均等にしてヨー
イングの発生を防止し高い真直度を得るようにしたもの
である。
ントローラで駆動することにより、テーパブロックも移
動させ、上段ステージのテーブル移動に伴って上段ステ
ージの重心が移動し、下段ステージ軸受面の負荷が変化
しようとしても、テーパブロックのローラ転走面を上下
方向に移動させて下段ステージ軸受面の負荷の変化を打
消し、六−プ１し 一；り駆動ネジに加わる抵抗を常に左右均等にしてヨー
イングの発生を防止し高い真直度を得るようにしたもの
である。
以下２本発明の一実施例を第１回及第２回（第２図は上
段ステージ図示せず）により説明する。
段ステージ図示せず）により説明する。
第１図は上段ステージと下段ステージを分離した状態の
斜視図、第２図はテーパブロック部の断面図である。１
は下段ステージベース、２はテープ転走面、１０はテー
パ面、１１，１１’はテーパブロック、１２はめねじ、
１３はおねじ、１０はブラケット、１５，１５’はテー
パブロック駆動モータ、１６はテーパブロック移動方向
、１７は転走面移動方向、１８は上段ステージ、１９は
上段ス以下、この動作について説明する。今回示しなテ
ーブル駆動モータ２０が駆動され、上段ステージテーブ
ル１９が矢印２１の方向に移動すれば同時にコントロー
ラによってテーパブロック駆動モータ１５，１５’ が
駆動され、おねじ１３及びめねじによってテーパブロッ
ク１１は矢印１６の押込まれる方向に、テーパブロック
１１′は引き抜かれる方向に移動し、転走面９は矢印１
７の上方に転走面９′は１７の下方に移動し、板バネ７
がテーパブロック１１側ではより撓んでテーブル２を押
上げる方向の力が増加し、テーパブロック１１′側では
撓みがより少くなりテーブル２を押上げる方向の力が減
少する。このようにして上段ステージテーブル２０の移
動によって上段ステージ１９の重心が矢印２２の方向に
移動し、そのままだと摺動軸受４に加わる力が増加し摺
動軸受４′に加わる力が減少するところを、テーパブロ
ック９及び９′の移動によって増減分を相殺し、摺動軸
受４及び４′に加わる力を一定にする。
斜視図、第２図はテーパブロック部の断面図である。１
は下段ステージベース、２はテープ転走面、１０はテー
パ面、１１，１１’はテーパブロック、１２はめねじ、
１３はおねじ、１０はブラケット、１５，１５’はテー
パブロック駆動モータ、１６はテーパブロック移動方向
、１７は転走面移動方向、１８は上段ステージ、１９は
上段ス以下、この動作について説明する。今回示しなテ
ーブル駆動モータ２０が駆動され、上段ステージテーブ
ル１９が矢印２１の方向に移動すれば同時にコントロー
ラによってテーパブロック駆動モータ１５，１５’ が
駆動され、おねじ１３及びめねじによってテーパブロッ
ク１１は矢印１６の押込まれる方向に、テーパブロック
１１′は引き抜かれる方向に移動し、転走面９は矢印１
７の上方に転走面９′は１７の下方に移動し、板バネ７
がテーパブロック１１側ではより撓んでテーブル２を押
上げる方向の力が増加し、テーパブロック１１′側では
撓みがより少くなりテーブル２を押上げる方向の力が減
少する。このようにして上段ステージテーブル２０の移
動によって上段ステージ１９の重心が矢印２２の方向に
移動し、そのままだと摺動軸受４に加わる力が増加し摺
動軸受４′に加わる力が減少するところを、テーパブロ
ック９及び９′の移動によって増減分を相殺し、摺動軸
受４及び４′に加わる力を一定にする。
以上の如く本発明によれば上段テーブルが如何なる方向
に移動してもこれに応じて下段ステージに設けたテーパ
ブロックが出入し、摺動軸受の荷重の増減分を補償する
ためテーブル駆動ネジから見た左右の負荷モーメントが
釣り合い、ヨーイング発生の要因とならない。
に移動してもこれに応じて下段ステージに設けたテーパ
ブロックが出入し、摺動軸受の荷重の増減分を補償する
ためテーブル駆動ネジから見た左右の負荷モーメントが
釣り合い、ヨーイング発生の要因とならない。
なお１本実施例では、テーパブロックをテーブル駆動ネ
ジの左右に１本ずつ設けたがテーブルの荷重、及び板バ
ネの剛性によって左右いずれか１本でも良い。
ジの左右に１本ずつ設けたがテーブルの荷重、及び板バ
ネの剛性によって左右いずれか１本でも良い。
本発明によれば、安価で小形に構成できるすべり軸受を
用いながら、その欠点である摩擦の影響によるヨーイン
グの発生を防止できるため、安価。
用いながら、その欠点である摩擦の影響によるヨーイン
グの発生を防止できるため、安価。
小形な高精度ＸＹステージが実現できる。
第１図は本発明の一実施例の斜視図、第２図は本発明の
実施例で第１図のテーパブロック部の断面図である。 １：下段ステージベース、２：テーブル、３゜８：ロー
ラ、９．９’ ：転走面、１１．１１’ ：テーパ
ブロック、１２：めねし、１３：おねじ。 １５．１５’ ：テーパブロツク駆動モータ、１８：
上段ステージ、１９：上段ステージテーブル、２０：上
段ステージテーブル駆動モータ。
実施例で第１図のテーパブロック部の断面図である。 １：下段ステージベース、２：テーブル、３゜８：ロー
ラ、９．９’ ：転走面、１１．１１’ ：テーパ
ブロック、１２：めねし、１３：おねじ。 １５．１５’ ：テーパブロツク駆動モータ、１８：
上段ステージ、１９：上段ステージテーブル、２０：上
段ステージテーブル駆動モータ。
Claims (1)
- １、ベースと、互いに平行に前記ベース上に設けられた
２組の直線案内ブロックと、該２組の直線案内ブロック
に摺接する摺動軸受を有するテーブルと、該テーブルに
ナット部が固定され、ネジ部が回転自在に、かつ前記直
線案内ブロックの中央に、前記ベースに固定されたテー
ブル駆動ネジと、前記テーブルに一端が固定され、かつ
他端に転走部を有し、かつ該転走部と前記固定部との間
にあって前記テーブルの荷重が前記案内ブロックに及ぼ
す圧力を打消す方向に働くバネを有するテーブル荷重補
償機構と、該テーブル荷重補償機構の転走部に上面が接
し、かつ下面がテーパ面を有してベース面に接するテー
パブロックと、該テーパブロックをテーブル面上の荷重
の移動に伴ってベースから出入させるテーパブロック駆
動機構を具備するステージ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25691890A JPH04136784A (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | ステージ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25691890A JPH04136784A (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | ステージ機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04136784A true JPH04136784A (ja) | 1992-05-11 |
Family
ID=17299188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25691890A Pending JPH04136784A (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | ステージ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04136784A (ja) |
-
1990
- 1990-09-28 JP JP25691890A patent/JPH04136784A/ja active Pending
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