JPH0414640A - 光情報記録媒体の基板の熱処理方法 - Google Patents
光情報記録媒体の基板の熱処理方法Info
- Publication number
- JPH0414640A JPH0414640A JP11907690A JP11907690A JPH0414640A JP H0414640 A JPH0414640 A JP H0414640A JP 11907690 A JP11907690 A JP 11907690A JP 11907690 A JP11907690 A JP 11907690A JP H0414640 A JPH0414640 A JP H0414640A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- information recording
- optical information
- recording medium
- substrate
- substrates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、光情報記録媒体の基板製造における熱処理方
法に係り、より詳細には、光情報記録媒体に生ずる反り
の問題を解決した光情報記録媒体の基板製造における熱
処理方法に関する。
法に係り、より詳細には、光情報記録媒体に生ずる反り
の問題を解決した光情報記録媒体の基板製造における熱
処理方法に関する。
[従来の技術]
従来基板に生ずる反りの矯正を試みた技術としては、特
開平1−93431号公報に記載された技術が知られて
いる。この技術は、複数枚のガラス基板を一定間隔をあ
けて平行に保持し、炉内にて同時に熱処理する方法にお
いて、前記ガラス基板の並びの中央に温度均一化のため
の金属板を挿入したものである。
開平1−93431号公報に記載された技術が知られて
いる。この技術は、複数枚のガラス基板を一定間隔をあ
けて平行に保持し、炉内にて同時に熱処理する方法にお
いて、前記ガラス基板の並びの中央に温度均一化のため
の金属板を挿入したものである。
しかしながら、前記従来技術において考慮されているの
は、ガラス基板についてのみであり、仮に基板の並びの
中央に金属板を挿入したとしても、各基板ごとに熱の到
達速度が異なるため、結局反りが生じることになる。ま
た、前記従来の技術においては、基板間の距離を規定し
ていないが、距離が近すぎると反りが生ずることになる
。
は、ガラス基板についてのみであり、仮に基板の並びの
中央に金属板を挿入したとしても、各基板ごとに熱の到
達速度が異なるため、結局反りが生じることになる。ま
た、前記従来の技術においては、基板間の距離を規定し
ていないが、距離が近すぎると反りが生ずることになる
。
このように、従来の技術の熱処理方法では、光情報記録
媒体の面反りをさけることはできないのである。光情報
記録媒体の面反りは、実使用に際し、光情報記録媒体の
機械的特性、ひいては記録再生信号特性に悪影響(例え
ば、トラッキングの多発など)を与えるので、なんらか
の方法を講じてこれを防止する必要がある。
媒体の面反りをさけることはできないのである。光情報
記録媒体の面反りは、実使用に際し、光情報記録媒体の
機械的特性、ひいては記録再生信号特性に悪影響(例え
ば、トラッキングの多発など)を与えるので、なんらか
の方法を講じてこれを防止する必要がある。
[発明が解決しようとする課題]
本発明は、複数枚の基板を同時に熱処理することにより
生ずる反りの問題を解決し、トラツキングエラーの少な
い安定した光情報記録媒体の基板を製造できる熱処理方
法を提供することにある。
生ずる反りの問題を解決し、トラツキングエラーの少な
い安定した光情報記録媒体の基板を製造できる熱処理方
法を提供することにある。
[課題を解決するための手段〕
本発明における、上記課題を解決するための光情報記録
媒体の基板の熱処理方法は、複数枚の光情報記録媒体の
基板を一定間隔をあけて平行に保持し、炉内にて同時に
熱処理する方法において、各基板間を9mm以上の距離
をあけて処理することを特徴とする。
媒体の基板の熱処理方法は、複数枚の光情報記録媒体の
基板を一定間隔をあけて平行に保持し、炉内にて同時に
熱処理する方法において、各基板間を9mm以上の距離
をあけて処理することを特徴とする。
なお、基板の材料としては、例えばポリカーボネート等
、光情報記録媒体用の透明合成樹脂が望ましい。
、光情報記録媒体用の透明合成樹脂が望ましい。
[作用コ
従来技術の熱処理方法における基板の反りの原因は、お
もに炉内の温度が不均一であるためと考えられていた。
もに炉内の温度が不均一であるためと考えられていた。
ところが、同時に多数の基板の熱処理を行なおうとする
と、炉内の温度を一定に保とうとしても、やはり反りは
生してしまうことになる。そこで本発明において、基板
の反りの原因を探究したところ、各基板内での温度差が
影響していることか判明した。この基板内での温度差は
、熱源を調節しても生ずるところから、基板及び基板の
保持部等によるものであると考えられる。そこで、基板
及基板の保持部等について調へたところ、従来全く考慮
されていなかった基板自体の輻射熱の影響が大きいこと
が判明した。この基板自体の輻射熱の影響を防ぐ方法を
様々な面から検討した結果、基板間の距離が反りに影響
を与えていることを解明した。基板間の距離について、
より具体的に多数の実験を重ねた結果、9mm以上にす
れば基板自体の輻射熱の影響を防ぐことができ、反りを
大幅に低減し売ることを付きとめ、本発明をなすにいた
)た。
と、炉内の温度を一定に保とうとしても、やはり反りは
生してしまうことになる。そこで本発明において、基板
の反りの原因を探究したところ、各基板内での温度差が
影響していることか判明した。この基板内での温度差は
、熱源を調節しても生ずるところから、基板及び基板の
保持部等によるものであると考えられる。そこで、基板
及基板の保持部等について調へたところ、従来全く考慮
されていなかった基板自体の輻射熱の影響が大きいこと
が判明した。この基板自体の輻射熱の影響を防ぐ方法を
様々な面から検討した結果、基板間の距離が反りに影響
を与えていることを解明した。基板間の距離について、
より具体的に多数の実験を重ねた結果、9mm以上にす
れば基板自体の輻射熱の影響を防ぐことができ、反りを
大幅に低減し売ることを付きとめ、本発明をなすにいた
)た。
上記のように、各基板の間の距離を9mm以上にするこ
とにより、基板による熱の輻射をさけることができ、従
来の装置を用いても、各基板における温度を均一に保つ
ことができる。
とにより、基板による熱の輻射をさけることができ、従
来の装置を用いても、各基板における温度を均一に保つ
ことができる。
【実施例1
本発明の熱処理方法に係わる実施例の縦断面図を第1図
に示す。
に示す。
第1図において、基板は垂直方向に立てた状態で同間隔
に溝のあるへトンを用いて基板中央部の穴を通して支持
されており、情報より熱風を送風されることにより、熱
が供給されている。
に溝のあるへトンを用いて基板中央部の穴を通して支持
されており、情報より熱風を送風されることにより、熱
が供給されている。
へトンの材質は、基板と同材でもステンレス他の金属で
あっても基板の重量により変形が起こらなければよく、
基板の枚数も何枚でもよい。
あっても基板の重量により変形が起こらなければよく、
基板の枚数も何枚でもよい。
また、中央の支持でなく、外周の支持(3点、4点、5
点、6点支持または連続しているもの)であってもよい
。
点、6点支持または連続しているもの)であってもよい
。
第1図において、基板間の距離を変化させて基板の反り
量を測定した結果を第2図に示す。
量を測定した結果を第2図に示す。
なお、基板にはポリカーボネートを用い、熱処理は11
0℃で行なった。また、熱処理前の基板の厚さは全て1
00μm±5μmとした。
0℃で行なった。また、熱処理前の基板の厚さは全て1
00μm±5μmとした。
第2図のようにアニールの間隔が狭い程基板が反ってい
ることがわかる。
ることがわかる。
なお、本測定結果では9mmピッチまで示していないが
、これ以後はピッチ間隔を変化させてもそり量は変化し
ない。
、これ以後はピッチ間隔を変化させてもそり量は変化し
ない。
また、熱@埋の温度を変えても9mm以下の間隔では絶
対値に変化が認められるが(温度か大きくなればそり量
も大きくなる)9mm以上では値の変化はない。図2と
同様の傾向を示す。
対値に変化が認められるが(温度か大きくなればそり量
も大きくなる)9mm以上では値の変化はない。図2と
同様の傾向を示す。
したかって、熱処理を複数枚で同時に行なう場合には、
基板間の距離を9mm以上の間隔に保つことが有効であ
る。
基板間の距離を9mm以上の間隔に保つことが有効であ
る。
[発明の効果]
以上のように本発明によれば、生産効率を落とさずに、
熱処理時に生ずる基板の反りを防ぐことができ、トラッ
キングの少ない安定した光情報記録媒体の基板を提供す
ることができる。
熱処理時に生ずる基板の反りを防ぐことができ、トラッ
キングの少ない安定した光情報記録媒体の基板を提供す
ることができる。
第1図は、本発明の一実施例(アニール方法)の構成を
示す縦断面図である。 第2図は、基板間距離を変化させた場合の熱処理後の反
り量を示すグラフである。 特許出願人 積水化学工業株式会社 代表者 廣 1) 馨
示す縦断面図である。 第2図は、基板間距離を変化させた場合の熱処理後の反
り量を示すグラフである。 特許出願人 積水化学工業株式会社 代表者 廣 1) 馨
Claims (1)
- (1)複数枚の透明合成樹脂製の光情報記録媒体の基板
を一定間隔をあけて平行に保持し、炉内にて同時に熱処
理する方法において、各基板間を9mm以上の距離をあ
けて処理することを特徴とする光情報記録媒体基板の熱
処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11907690A JPH0414640A (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 光情報記録媒体の基板の熱処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11907690A JPH0414640A (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 光情報記録媒体の基板の熱処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0414640A true JPH0414640A (ja) | 1992-01-20 |
Family
ID=14752288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11907690A Pending JPH0414640A (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 光情報記録媒体の基板の熱処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0414640A (ja) |
-
1990
- 1990-05-08 JP JP11907690A patent/JPH0414640A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5527393A (en) | Vapor-phase deposition apparatus and vapor-phase deposition method | |
| JPS63136532A (ja) | 半導体基板熱処理装置 | |
| WO2004090967A1 (ja) | 半導体ウェーハ用熱処理治具 | |
| JPH0414640A (ja) | 光情報記録媒体の基板の熱処理方法 | |
| US5711778A (en) | Method and apparatus for annealing glass sheets | |
| JPH04148549A (ja) | 半導体装置の評価方法 | |
| JPS6216516A (ja) | 半導体製造装置 | |
| US4249928A (en) | Gas hearth bed with grooved exit portion | |
| JP2011173781A (ja) | 結晶化ガラス板製造用トチ及び結晶化ガラス板の製造方法 | |
| JPS6073291A (ja) | アルミナ基板の製造方法 | |
| JPH0226664Y2 (ja) | ||
| CN109206003B (zh) | 防玻璃板翘曲的钢化方法 | |
| JPH0676278A (ja) | 磁気ディスク | |
| JPH0887779A (ja) | 光記録媒体のコーティング方法およびコーティング装置 | |
| JPH0193431A (ja) | ガラス基板の熱処理方法 | |
| JPH0479182A (ja) | 真空用ヒーター | |
| JPH05287367A (ja) | ハードディスク用基板の焼鈍装置 | |
| JPS58197719A (ja) | 基板の加熱構造および加熱方法 | |
| JP2007257758A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP3533072B2 (ja) | 熱処理炉用ハースロール | |
| JPS62139863A (ja) | スパツタ装置の基板マスク | |
| JPS6379765A (ja) | グリ−ンセラミツク成形体の焼結収縮を均一化する方法 | |
| JPS6251411A (ja) | 寸法安定性に優れたプラスチツク基板の製造法 | |
| JPH10297941A (ja) | ガラス板の徐冷方法 | |
| SU915297A1 (ru) | Способ обработки подложки из полиимидной пленки 1 |