JPH04148099A - ジーグバーン型真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、真空機能を有する各種設備機器に適用するジ
ーグバーン型真空ポンプに関するものである。

（従来の技術） 従来のジーグバーン型真空ポンプを第２．３゜４図によ
り説明すると、第２，３図の（１）がロータ、　（ｌａ
）が同ロータ（１）の外周面に多段に設けた回転円板、
　（ｌｂ）が同各回転円板（１）の後記固定円板（２ａ
）対向面に設けたスパイラル状溝（第４図参照）、（２
）が上記ロータ（１）を取り囲むケーシング。

（２ａ）が同ケーシング（２）の内周面に多段に設けた
静止円板、　（２ｂ）が同各静止円板（２ａ）の回転円
板（１ａ）対向面に設けたスパイラル状溝（第４図参照
）で、同各静止円板（２ａ）と上記固定円板（１ａ）と
が狭い間隔を置いて対向している。また（３）が上記ロ
ータ（１）を回転可能に支持した主軸、　（１０）が上
記ケーシング（２）の下部に取付けたモータケーシング
、（４）が上記主軸（３）に取付けたモータ回転子、（
５）が上記モータケーシング（１０）に取付けたモータ
ステータ、（６）が上記主軸（３）の上部軸受、（７）
が上記主軸（３）の下部軸受、（８）が上記ケーシング
（２）の上部に設けた吸入口、（９）が上記ケーシング
（２）の下部に設けた排気口、　（１１）が上記モータ
ケ−シング（１０）の周りに設けた冷却ジャケット。

（１２）が同冷却ジャケット（１１）の冷却水供給口（
１３）が同冷却ジャケツ）　（１１）の冷却水排水口。

（１５）が上記モータケーシング（１０）の下部に取付
けた油タンク兼下部ケーシング、　（１６）が同下部ケ
ーシング（１５）の下部に取付けた合板、　（１４）が
上記油タンク兼下部ケーシング（１５）内の潤滑油で、
モータ回転子（４）とモータステータ（５）とにより主
軸（３）とロータ（１）と各回転円板（１ａ）とを回転
させて、大気圧状態の真空容器（図示せず）から吸入口
（８）を経て吸入したガスをガス粘性を利用して加速さ
せる。またこのガスを各静止円板（２ａ）の回転円板（
１ａ）対向面に設けたスパイラル状溝（２ｂ）により旋
回させながら排気口（９）を経て排気するようになって
いる。

なおこのジーグバーン型真空ポンプは、油回転ポンプの
ように油等の液体を使用しないので、ベーパが真空チャ
ンバーへ逆拡散して、真空の純度を落とすことがない。

（発明が解決しようとする課題） 前記第２．３．４図に示す従来のジーグバーン型真空ポ
ンプには９次の問題があった。即ち１回転円板（１ａ）
及び静止円板（２ａ）のうち、静止円板（２ａ）に、方
向の異なるスパイラル状溝（２ｂ）　（第４図参照）を
設けているが、このスパイラル状溝（２ｂ）の溝とラン
ド（１７）の幅とはその全域で等しくなっている。また
ねじれ角がその全域で一定になっており、流路面積が外
径側にゆくに従い大きくなって、内径側の流路面積が小
さくなる。そのため。

外向流を形成する段では、流速が大きくなり、流動抵抗
が大きくなって、排気能力が低下する。この排気能力の
低下には５回転円板（ｌａ）及び静止円板（２ａ）の段
数（枚数）増加で対処している。

本発明は前記の問題点に鑑み提案するものであり、その
目的とする処は、大きな排気能力を得られて１回転円板
及び静止円板の段数（枚数）を低減できるジーグバーン
型真空ポンプを提供しようとする点にある。

（課題を解決するための手段） 上記の目的を達成するために１本発明は、多段の回転円
板及び同各回転円板に狭い間隔を置いて対向した多段の
静止円板の少なくとも一方の対向面に設けたスパイラル
状溝により、ガスを旋回させながら排気するジーグバー
ン型真空ポンプにおいて、前記各回転円板及び前記各静
止円板のうち。

外向流を形成する少なくとも１組の回転円板及び静止円
板の対向面に、方向が異なり、外径側にゆくに従いねじ
れ角が大きく、しかも溝幅が等しいか、外径側にゆくに
従い小さくなるスパイラル状溝を設けている。

（作用） 本発明のジーグバーン型真空ポンプは前記のように構成
されており、モータ回転子とモータステータとにより主
軸とロータと各回転円板とを回転させて、大気圧状態の
真空容器から吸入口を経て吸入したガスをガス粘性を利
用して加速させ、またこのガスを各静止円板の回転円板
対向面に設けたスパイラル状溝により旋回させながら排
気口を経て排気するが、このとき、各回転円板及び各静
止円板のうち、外向流を形成する少なくとも１組の回転
円板及び静止円板の対向面に、方向が異なり、外径側に
ゆくに従いねじれ角が大きく、しかも溝幅が等しいか、
外径側にゆくに従い小さくなるスパイラル状溝を設けて
おり、外向流を形成する段では、流速が小さくなって、
流動抵抗が減少する。そのため、大きな排気能力を得ら
れて１回転円板及び静止円板の段数（枚数）低減が可能
になる。

（実施例） 次に本発明のジーグバーン型真空ポンプを第１図に示す
一実施例により説明すると１本ジーグバーン型真空ポン
プでも、第２，３図に示すようにロータ（１）の外周面
に複数枚の回転円板（ｌａ）を多段に設け、ケーシング
（２）の内周面に複数枚の固定円板（２ａ）を多段に設
けて、同各回転円板（１ａ）と同各固定円板（２ａ）と
を狭い間隔を置いて対向させている。そしてこれら回転
円板（ｌａ）及び静止円板（２ａ）のうち、外向流を形
成する少なくとも１組の回転円板（ｌａ）及び静止円板
（２ａ）の対向面に１次のスパイラル状溝（２ｃ）及び
ランド（１７ａ）、即ち、方向が異なり、外径側にゆく
に従いねじれ角が大きくしかも溝幅が等しいか、外径側
にゆくに従い小さくなるスパイラル状溝（２ｃ）及びラ
ンド（１７ａ）を設けている。なお前記従来のジーグバ
ーン型真空ポンプでは１回転円板（１ａ）及び固定円板
（２ａ）のうち固定円板（２ａ）に設けたスパイラル状
溝（２ｂ）の幅とランド（１７）の幅とをその全域で等
しくしている。

またねじれ角をその全域で一定にしており、流路面積が
外径側にゆくに従い大きくなって、内径側の流路面積が
小さくなっている。

次に前記第１図に示すジーグバーン型真空ポンプの作用
を具体的に説明する。モータ回転子（４）とモータステ
ータ（５）とにより主軸（３）とロータ（１）と各回転
円板（１ａ）とを回転させて、大気圧状態の真空容器か
ら吸入口（８）を経て吸入したガスをガス粘性を利用し
て加速させる。またこのガスを各静止円板（２ａ）の回
転円板（１ａ）対向面に設けたスパイラル状溝（２ｂ）
により旋回させながら排気口（９）を経て排気するとき
に、各回転円板（１ａ）及び各静止円板（２ａ）のうち
、外向流を形成する少なくとも１組の回転円板（ｌａ）
及び静止円板（２ａ）の対向面に、方向が異なり、外径
側にゆくに従いねじれ角が大きく、しかも溝幅が等しい
か、外径側にゆくに従い小さくなるスパイラル状溝（２
ｃ）及びランド（１７ａ）を設けており、外向流を形成
する段では。

流速が小さくなって、流動抵抗が減少し、大きな排気能
力が得られて１回転円板及び静止円板の段数（枚数）が
低減する。

（発明の効果） 本発明のジーグバーン型真空ポンプは前記のようにモー
タ回転子とモータステータとにより主軸とロータと各回
転円板とを回転させて、大気圧状態の真空容器から吸入
口を経て吸入したガスをガス粘性を利用して加速させ、
またこのガスを各静止円板の回転円板対向面に設けたス
パイラル状溝により旋回させながら排気口を経て排気す
るが。

このとき、各回転円板及び各静止円板のうち、外向流を
形成する少なくとも１組の回転円板及び静止円板の対向
面に、方向が異なり、外径側にゆくに従いねじれ角が大
きく、しかも溝幅が等しいか。

外径側にゆくに従い小さくなるスパイラル状溝を設けて
おり、外向流を形成する段では、流速を小さくできて、
流動抵抗を減少させるので、大きな排気能力を得られて
１回転円板及び静止円板の段数（枚数）を低減できる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係わるジーグバーン型真空ポンプの静
止円板の一実施例を示す平面図、第２図１よ従来のジー
グバーン型真空ポンプの一部を拡大して示す縦断側面図
、第３図はその全体を示す縦断側面図、第４図は同ジー
グバーン型真空ポンプの静止円板のを示す平面図である
。 （１）・・・ロータ、　（ｌａ）　　・・・回転円板、
（２）・・・ケーシング、　（２ａ）　　・・・静止円
板、　（２ｃ）　　・・・スパイラル状溝。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 多段の回転円板及び同各回転円板に狭い間隔を置いて対
   向した多段の静止円板の少なくとも一方の対向面に設け
   たスパイラル状溝により、ガスを旋回させながら排気す
   るジーグバーン型真空ポンプにおいて、前記各回転円板
   及び前記各静止円板のうち、外向流を形成する少なくと
   も１組の回転円板及び静止円板の対向面に、方向が異な
   り、外径側にゆくに従いねじれ角が大きく、しかも溝幅
   が等しいか、外径側にゆくに従い小さくなるスパイラル
   状溝を設けたことを特徴とするジーグバーン型真空ポン
   プ。