JPH04149554A - プリント基板の露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 プリント基板の露光方法に関し、 マスク用フィルムがプリント基板に対して位置ずれを生
じないようにしたプリント基板の露光方法を目的とし、 露光すべきプリント基板の片面、或いは両面に感光性レ
ジスト膜を被着し、該感光性レジスト膜を被着したプリ
ント基板上に、或いは該基板を挟んでマスク用フィルム
、および透明基板を順次積層し、上記プリント基板、マ
スク用フィルムおよび透明基板を基準ピンで固定した後
、 上記基準ピンで固定したプリント基板を、透明フィルム
で被覆して枠状部材で露光機の固定台上に固定し、 該固定台に設けた排気穴より、該固定台上に設置したプ
リント基板周辺部を排気することで、前記プリント基板
と露光用フィルムとを密着しながら露光する方法に於い
て、 前記透明フィルムと、プリント基板上に積層した透明基
板の表面と、枠状部材の表面とが同一平面となるような
平板状部材を、前記固定台に固定したプリント基板と枠
状部材の間に配置するとともに、前記固定台の対角線上
に排気穴を設けて構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明はプリント基板の露光方法に関する。

プリント基板の製造に於いては感光性レジスト膜を用い
て回路パターンメツキのレジスト膜等を形成するように
、ホトリソグラフィ工程を用いて必要なレジスト膜のパ
ターンを形成する工程が採られている。

〔従来の技術〕

従来、このようなプリント基板を露光する方法として第
２図（ａ）に示すように、所定の回路パターンの導体層
を形成した中間層基材をプリプレグを介して多層構造に
積層した多層プリント基板１の両面に感光性レジスト膜
（ドライフィルム）２をラミネートする。

次いで露光用マスクパターンを有するマスク用フィルム
３を多層プリント基板１の両面に設置し、このマスク用
フィルム３の上下にアクリル樹脂より成る透明基板４を
設置し、これら透明基板４、マスク用フィルム３、感光
性レジスト膜２をラミネートしたプリント基板１を基準
ピン５にて固定する。

次いでこれらマスク用フィルム３、透明基板４を積層し
た多層プリント基板１をポリエステル樹脂より成る透明
フィルム６で被覆しながら、ポリエステル樹脂の枠状部
材７を用いて上記マスク用フィルム３等を積層した多層
プリント基板１を押さえるようにして露光機の透明な固
定台８上に図示しないが嵌合部材等を用いて固定する。

そして固定台８０片隅に設けた排気穴９を介して排気ポ
ンプを用いて透明フィルム６で被覆された多層プリント
基板の周辺部を排気することで、前記マスク用フィルム
３と多層プリント基板１０間の空気を排気し、上記マス
ク用フィルムと多層プリンｌ−基板とを密着させる。

そして透明な固定台８の下部と、透明フィルム６の上部
より紫外線を照射して多層プリント基板１の両面に設け
た感光性レジスト膜２をマスク用フィルム３を介して所
定のパターンに露光している。

〔発明が解決しようとする課題〕

然し、上記した従来の方法では固定台８の片隅にのみ排
気穴９が設けられているので、上記多層プリント基板１
とマスク用フィルム３の間の空気は矢印Ａの方向に沿っ
て急激に流れるので、このマスク用フィルム３が移動し
て多層プリント基板１に対して位置ずれし、高精度に露
光ができない問題がある。

また上記マスク用フィルム３には、特別な排気用の開口
部が設けられていないために、上記多層プリント基板１
とマスク用フィルム３との間に有る空気は、マスク用フ
ィルムとプリント基板との間の狭い空間部に沿って急激
に排気されるのでマスク用フィルム３が移動し易（、多
層プリント基板１に対して位置ずれし、高精度に露光が
できない問題がある。

また上記多層プリント基板上をポリエステル製の透明フ
ィルム６で被覆して、それを枠状部材７で固定台８に押
さえて固定しているが、この枠状部材７で透明フィルム
６を押さえる際に透明フィルム６が多層プリント基板１
に密着するようになリ、多層プリント基板１と透明フィ
ルム６の間の空間容積が狭くなり、その空間部が急激に
排気されて透明フィルムに撓みを生じ、排気ポンプで排
気した際に皺が生じ、この皺によって露光が高精度に行
われない問題が生じる。

本発明は上記した問題点を除去し、多層プリント基板を
露光機の固定台に設置し、マスク用フィルムと多層プリ
ント基板を密着させるだめの排気時に、マスク用フィル
ムが多層プリント基板に対して位置ずれしないようにし
たプリント基板の露光方法の提供を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記した目的は、前記透明フィルムと、プリント基板上
に積層した透明基板の表面と、枠状部材の表面とが同一
平面となるような平板状部材を、前記固定台に固定した
プリント基板と枠状部材の間に配置するとともに、前記
固定台の対角線上に排気穴を設けた本発明の方法により
達成される。

また前記マスク用フィルムの中央部に真空排気時のマス
ク用フィルムの移動を防止する排気用の開口部を設けた
本発明の方法によって達成される。

〔作　用〕

本発明の方法は多層プリント基板を固定する露光機の固
定台の対角線状に排気穴を設ける。このようにすれば、
従来は該固定台の片隅にのみ排気穴が設けられ、これに
よって多層プリント基板とマスク用フィルムとの間の空
気が排気穴に向かって一方向のみ排気されていたのが、
本発明の方法によって二方向に向かって排気されるので
マスク用フィルムが象、激に一方向に向かって引っ張ら
れ無くなり、多層プリント基板に対して位置ずれを生じ
なくなる。

またマスク用フィルムの中央部で露光用パターンに影響
を及ぼさない位置に排気用の開口部を多数設けることで
、この排気用の開口部を通じて多層プリント基板とマス
ク用フィルムとの間の空気が排気され、従来のようにマ
スク用フィルムに沿って空気が排気され無いのでマスク
用フィルムがって空気が排気され無いのでマスク用フィ
ルムが移動せず、多層プリント基板に対して位置ずれを
生しない。

また透明フィルムの表面と枠状部材の表面とが同一表面
と成るようにゴム製の板状部材を、前記多層プリント基
板と枠状部材の間に配置することで、透明フィルムが撓
まなくなり、そのため排気の際に皺を生じなくなり、露
光が高精度に行われる。

〔実　施　例〕

以下、図面を用いて本発明の実施例につき詳細に説明す
る。

第１図ｆａ）は本発明の詳細な説明するための正面図、
第１図（ｂｌは本発明の詳細な説明するための平面図で
ある。

第１図（ａｌ、および第１図（ｂｌに示すように、本発
明の方法は多層プリント基板１を固定する露光機の固定
台８の対角線上に排気穴９を設ける。このようにすれば
、従来のように１個の排気穴の方向に向かって１方向の
急激な排気の気流が生じなくなり、透明フィルム６で被
覆された多層プリント基ｖｉｌの周辺部が均一な方向に
排気されるので、マスク用フィルム３が移動せず、多層
プリント基板に対して位置ずれしない。

また本発明の方法は上記マスク用フィルム３の露光パタ
ーンに影響を及ぼさない中央部の位置に多数の排気用の
開口部１１を形成する。このようにすると上記排気用の
開口部１１を通じてマスク用フィルム３と多層プリント
基板１の間の空気が排気され、従来のようにマスク用フ
ィルム３と多層プリント基板１の間に沿って排気されな
いので、マスク用フィルム３が移動せず、マスク用フィ
ルムが多層プリント基Ｆｉ１に対して位置ずれを生じな
い。

また本発明の方法は、枠状部材７と多層プリント基板１
との間にゴム製の板状部材１２を配置し、透明フィルム
６と枠状部材７の表面とが同一平面となるようにして透
明フィルム６が撓まないようにする。このようにすると
多層プリント基板１の周辺部を排気しても、この透明フ
ィルム６に皺を発生することが無くなり、露光が高精度
に行われるようになる。

また本実施例では固定台に排気穴を対角線上に２個設け
たが、他の対角線上に更に排気穴を２個設けても良い。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように本発明によれば、マスク
用フィルムと多層プリント基板とを回着させるための排
気工程で、多層プリント基板とマスク用フィルムとの間
に位置ずれを生じないために、高精度に露光が実施でき
る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａｌおよび第１図山）は本発明の詳細な説明す
る正面図および平面図、 第２図（ａｔおよび第２図（ｂ）は従来の方法を説明す
る正面図および平面図、 第３図は従来の方法に於ける不都合な状態図である。 図において、 １は多層プリント基板、２は感光性レジスト膜、３はマ
スク用フィルム、４は透明基板、５は基準ピン、６は透
明フィルム、７は枠状部材、８は固定台、９は排気穴、
１１は開口部、１２は板状部材を示す。 １１１ｂノ　　凶 ０発 明 者 村 石 正 子 内 神奈月口 埼市中原区上小日中１０１５番地 富士通株式会社 泉川崎市中原区上小田中１０１５番地 富士通株式会社

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）　露光すべきプリント基板（１）の片面、或いは
   両面に感光性レジスト膜（２）を被着し、該感光性レジ
   スト膜（２）を被着したプリント基板（１）上に、或い
   は該基板を挟んでマスク用フィルム（３）、および透明
   基板（４）を順次積層し、上記プリント基板（１）、マ
   スク用フィルム（３）および透明基板（４）を基準ピン
   （５）で固定した後、上記基準ピン（５）で固定したプ
   リント基板（１）を、透明フィルム（６）で被覆すると
   ともに枠状部材（７）で露光機の固定台（８）上に固定
   し、該固定台（８）に設けた排気穴（９）より、該固定
   台（８）上に設置したプリント基板（１）の周辺部を排
   気することで、前記プリント基板（１）とマスク用フィ
   ルム（３）とを密着しながら露光する方法に於いて、 前記透明フィルム（６）と、プリント基板（１）上に積
   層した透明基板（４）の表面と、枠状部材（７）の表面
   とが同一平面となるような板状部材（１２）を、前記固
   定台（８）に固定したプリント基板（１）と枠状部材（
   ７）の間に配置するとともに、前記固定台（８）の対角
   線上に排気穴（９）を設けたことを特徴とするプリント
   基板の露光方法。
2. （２）　前記マスク用フィルム（３）の中央部に真空排
   気時のマスク用フィルムの移動を防止する開口部（１１
   ）を設けたことを特徴とする請求項（１）記載のプリン
   ト基板の露光方法。