JPH04151079A - バルブ - Google Patents
バルブInfo
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- JPH04151079A JPH04151079A JP27594490A JP27594490A JPH04151079A JP H04151079 A JPH04151079 A JP H04151079A JP 27594490 A JP27594490 A JP 27594490A JP 27594490 A JP27594490 A JP 27594490A JP H04151079 A JPH04151079 A JP H04151079A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve body
- valve
- supply
- exhaust
- pressure air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Self-Closing Valves And Venting Or Aerating Valves (AREA)
- Safety Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明バルブを以下の項目に従って詳細に説明産業上の
利用分野 発明の概要 従来技術[第5図] 発明が解決しようとする課題[第5図]課題を解決する
ための手段 実施例[第1図、第2図コ a、バルブ本体 す、圧力制御手段、流量制御 C,ストッパ G、使用例[第3図、′fS4図] a、微粉体噴射装置の概要[′fSB図]b、流量制御
システム[第4図] H1発明の効果 (A、産業上の利用分野) 本発明は新規なバルブに関する。詳しくは、ゴム弾性を
有する管状の弁体とその外側を囲むように位置した密閉
空間とを備え、上記密閉空間内に高圧空気を供給するこ
とにより弁体の管径を変化させて弁体を通過する流体の
流量を調節するようにしたバルブに関するものであり、
弁体を流れる流体の流量を増大させるときの弁体の動作
速度を速めることができると共に、弁体のゴム弾性が多
少劣化しても弁体の動作速度が低下することの無い新規
なバルブを提供しようとするものである。
利用分野 発明の概要 従来技術[第5図] 発明が解決しようとする課題[第5図]課題を解決する
ための手段 実施例[第1図、第2図コ a、バルブ本体 す、圧力制御手段、流量制御 C,ストッパ G、使用例[第3図、′fS4図] a、微粉体噴射装置の概要[′fSB図]b、流量制御
システム[第4図] H1発明の効果 (A、産業上の利用分野) 本発明は新規なバルブに関する。詳しくは、ゴム弾性を
有する管状の弁体とその外側を囲むように位置した密閉
空間とを備え、上記密閉空間内に高圧空気を供給するこ
とにより弁体の管径を変化させて弁体を通過する流体の
流量を調節するようにしたバルブに関するものであり、
弁体を流れる流体の流量を増大させるときの弁体の動作
速度を速めることができると共に、弁体のゴム弾性が多
少劣化しても弁体の動作速度が低下することの無い新規
なバルブを提供しようとするものである。
(B、発明の概要)
本発明バルブは、弁体を通過する流体の流量を増大する
ときは負圧発生機によって密閉空間内の空気を積極的に
排出して、それにより、弁体を流れる流体の流量を増大
させるときの弁体の動作速度を速めることができると共
に、弁体のゴム弾性が多少劣化しても弁体の動作速度が
低下することが無いようにしたものである。
ときは負圧発生機によって密閉空間内の空気を積極的に
排出して、それにより、弁体を流れる流体の流量を増大
させるときの弁体の動作速度を速めることができると共
に、弁体のゴム弾性が多少劣化しても弁体の動作速度が
低下することが無いようにしたものである。
(C,従来技術)[第5図コ
液体や気体等の流体あるいは粉体等の流れを制御したり
流量を調節したりするのに用いられるバルブにゴム弾性
を有する管状の弁体を高圧空気により圧潰してその流路
を閉塞方向へ変化させ、上記高圧空気の圧力を減じて弁
体の弾性により流路を開放方向へ変化さるようにしたも
のがある。
流量を調節したりするのに用いられるバルブにゴム弾性
を有する管状の弁体を高圧空気により圧潰してその流路
を閉塞方向へ変化させ、上記高圧空気の圧力を減じて弁
体の弾性により流路を開放方向へ変化さるようにしたも
のがある。
第5図はそのような弁体を備えた従来のバルブのm個a
を示すものがある。
を示すものがある。
同図において、bはハウジングであり、円筒状をした主
部Cと管継手d、dとから成る。
部Cと管継手d、dとから成る。
管継手d、dは管状部e、eとその外周面から突出した
フランジ部f、fとが一体に形成されて成り、該フラン
ジ部f、fが主部Cにその両端部を閉塞するように内嵌
され、これら管継手d、dの管状部e、eの互いに対向
する側の端部にゴム材料から成る管状をした弁体gの両
端部が外嵌固定されている。これにより、管状部e、6
と弁体gとにより流体が流れる流路りが形成され、また
、主部Cとフランジ部f、fとにより弁体gを外側から
囲繞する密閉空間iが形成される。そして、該密閉空間
iには図示しないニアコンプレッサから延びた高圧空気
供給パイプが接続される。
フランジ部f、fとが一体に形成されて成り、該フラン
ジ部f、fが主部Cにその両端部を閉塞するように内嵌
され、これら管継手d、dの管状部e、eの互いに対向
する側の端部にゴム材料から成る管状をした弁体gの両
端部が外嵌固定されている。これにより、管状部e、6
と弁体gとにより流体が流れる流路りが形成され、また
、主部Cとフランジ部f、fとにより弁体gを外側から
囲繞する密閉空間iが形成される。そして、該密閉空間
iには図示しないニアコンプレッサから延びた高圧空気
供給パイプが接続される。
しかして、密閉空間i内に高圧空気を供給して、該密閉
空間i内の圧力を高めると、弁体gの管径か狭められて
弁体gの流路りを流れる流体の流量が減少され、更に、
密閉空間i内に高圧空気を供給すると、第5図において
2点鎖線で示すように弁体gが変形されて流路りが閉塞
され流体の流れを止めることとなる。また、この状態か
ら密閉空間iへの高圧空気の供給を停止し、かつ、図示
しない排気口を開放すると、弁体gはそれ自体が有する
弾力と弁体g内を流れる流体の圧力によって流路りを開
くように変形され、これによって、流体が流路りを流れ
るようになる。
空間i内の圧力を高めると、弁体gの管径か狭められて
弁体gの流路りを流れる流体の流量が減少され、更に、
密閉空間i内に高圧空気を供給すると、第5図において
2点鎖線で示すように弁体gが変形されて流路りが閉塞
され流体の流れを止めることとなる。また、この状態か
ら密閉空間iへの高圧空気の供給を停止し、かつ、図示
しない排気口を開放すると、弁体gはそれ自体が有する
弾力と弁体g内を流れる流体の圧力によって流路りを開
くように変形され、これによって、流体が流路りを流れ
るようになる。
(D、発明が解決しようとする課題)[第5図]
従来のこの種のバルブaには動作速度、特に弁体gをそ
の流路りが開く方向へ変形させるとき、その動作速度が
遅く、また、そのことは経時的に顕著なものになフて来
るという問題があった。
の流路りが開く方向へ変形させるとき、その動作速度が
遅く、また、そのことは経時的に顕著なものになフて来
るという問題があった。
即ち、従来のバルブaにおいては、流路りを開放させる
ときは、密閉空間iへの高圧空気の供給を停止し、かつ
、密閉空間iを開放することによって弁体gをそのゴム
弾性による弾力で管径を拡大する方向へ変形させるよう
にしているので、密閉空間iに残留している高圧空気を
弁体gの弾力のみで排出しなければならず、このため、
全開状態に戻るまでに時間がかかって動作速度が遅くな
るという問題があった。また、弁体gの流路内に負圧が
かかっているときは向夏であった。
ときは、密閉空間iへの高圧空気の供給を停止し、かつ
、密閉空間iを開放することによって弁体gをそのゴム
弾性による弾力で管径を拡大する方向へ変形させるよう
にしているので、密閉空間iに残留している高圧空気を
弁体gの弾力のみで排出しなければならず、このため、
全開状態に戻るまでに時間がかかって動作速度が遅くな
るという問題があった。また、弁体gの流路内に負圧が
かかっているときは向夏であった。
しかも、弁体gのゴム弾性は経時的に劣化し、その上、
繰り返し変形させることによる局部的なストレスで伸び
や亀裂等が生じるとゴム弾性は著しく低下してしまうた
め、上記動作速度は時の経過と共に増々遅くなってしま
い、このことは、バルブの応答性を問われる装置にあっ
ては重大な問題となっていた。
繰り返し変形させることによる局部的なストレスで伸び
や亀裂等が生じるとゴム弾性は著しく低下してしまうた
め、上記動作速度は時の経過と共に増々遅くなってしま
い、このことは、バルブの応答性を問われる装置にあっ
ては重大な問題となっていた。
(E、課題を解決するための手段)
そこで、本発明バルブは、上記課題を解決するために、
ゴム弾性を有する材料により管状に形成された弁体の外
側を囲むように位置した密閉空間に正圧発生機と負圧発
生機とを接続し、弁体を通過する流体の流量を減少させ
るときは上記正圧発生機により密閉空間に高圧空気を供
給し、流体の流量を増大させるときは上記負圧発生機に
より密閉空間内の空気を排出するようにしたものである
。
ゴム弾性を有する材料により管状に形成された弁体の外
側を囲むように位置した密閉空間に正圧発生機と負圧発
生機とを接続し、弁体を通過する流体の流量を減少させ
るときは上記正圧発生機により密閉空間に高圧空気を供
給し、流体の流量を増大させるときは上記負圧発生機に
より密閉空間内の空気を排出するようにしたものである
。
従って、本発明バルブにあっては、流体の流量を減少さ
せるときは密閉空間内に高圧空気を供給して弁体をその
管径が狭まるように変形させ、また、流体の流量を増大
させるときは密閉空間内の高圧空気を負圧発生機により
積極的に排出して弁体を外側から吸引してその管径が拡
がる方向へ変形させるので、特に、流体の流量を増大さ
せるときに弁体の変形動作を速く行なうことができ、し
かも、管径を拡げる方向への変形は弁体のゴム弾性に頼
らずに行なうことができるため、弁体のゴム弾性が経時
的に劣化しても管径を拡げる動作の速度が低下する惧れ
は無い。
せるときは密閉空間内に高圧空気を供給して弁体をその
管径が狭まるように変形させ、また、流体の流量を増大
させるときは密閉空間内の高圧空気を負圧発生機により
積極的に排出して弁体を外側から吸引してその管径が拡
がる方向へ変形させるので、特に、流体の流量を増大さ
せるときに弁体の変形動作を速く行なうことができ、し
かも、管径を拡げる方向への変形は弁体のゴム弾性に頼
らずに行なうことができるため、弁体のゴム弾性が経時
的に劣化しても管径を拡げる動作の速度が低下する惧れ
は無い。
(F 実施例)[第1図、第2図]
以下に、本発明バルブの詳細を図示した実施例1に従っ
て説明する。
て説明する。
(a、バルブ本体)
バルブ!は円筒状をしたハウジングと該ハウジング内に
配置され管状をした弁体とから成る。
配置され管状をした弁体とから成る。
2はハウジングであり、円筒状をした主部3と、該主部
3の両端部に取着された管継手4.4′と該管継手4.
4′を主部3から離脱しないように押えるための押え部
材5.5′等からなる。
3の両端部に取着された管継手4.4′と該管継手4.
4′を主部3から離脱しないように押えるための押え部
材5.5′等からなる。
主部3は、その右端(第1図における右方へ向う方向を
右側とし、左方へ向う方向を左側とする。以下の説明に
おいて向きを示すときはこの方向によるものとする。)
に接合フランジ6が外方へ突出するように形成されてい
ると共に該接合フランジ6が形成された側の内周縁に環
状の切欠6aが形成され、また、主部3の左端面及び上
記切欠6aのそれぞれ左方又は右方を向いた面に螺穴7
.7、・・・又は8.8、・・・が形成され、更に、主
部3の周壁9の軸方向における略中央の位置にはネジ孔
9aが形成されている。
右側とし、左方へ向う方向を左側とする。以下の説明に
おいて向きを示すときはこの方向によるものとする。)
に接合フランジ6が外方へ突出するように形成されてい
ると共に該接合フランジ6が形成された側の内周縁に環
状の切欠6aが形成され、また、主部3の左端面及び上
記切欠6aのそれぞれ左方又は右方を向いた面に螺穴7
.7、・・・又は8.8、・・・が形成され、更に、主
部3の周壁9の軸方向における略中央の位置にはネジ孔
9aが形成されている。
管継手4.4′は主部3の直径の略半分の直径を有する
管状部10.10′と該管状部10.10′の外周面か
ら外方に突出した取付フランジ11.11′が一体に形
成されていて、該取付フランジ11.11′の外径は主
部3の内径と略同しか又は稍小さく形成されている。
管状部10.10′と該管状部10.10′の外周面か
ら外方に突出した取付フランジ11.11′が一体に形
成されていて、該取付フランジ11.11′の外径は主
部3の内径と略同しか又は稍小さく形成されている。
また、左側の管継手4はその管状部10が比較的長く、
その軸方向の中央から稍右側へ寄った位置に上記取付フ
ランジ11が形成され、右側の管継手4′はその管状部
10′の長さが左側の管継手4の管状部10の半分で、
その右端に上記取付フランジ11′が形成されている。
その軸方向の中央から稍右側へ寄った位置に上記取付フ
ランジ11が形成され、右側の管継手4′はその管状部
10′の長さが左側の管継手4の管状部10の半分で、
その右端に上記取付フランジ11′が形成されている。
12.12、・・・ 12’ 12’ ・・・は上
記取付フランジ11.11′の周縁寄りの部分にそれぞ
れ左方又は右方に開口するように形成された有底の螺穴
であり、該螺穴12.12、・・、12′ 12′ ・
・・は周方向に等間隔で配列されている。
記取付フランジ11.11′の周縁寄りの部分にそれぞ
れ左方又は右方に開口するように形成された有底の螺穴
であり、該螺穴12.12、・・、12′ 12′ ・
・・は周方向に等間隔で配列されている。
押え部材5.5′は主部3の外径と同じ大きさの外径を
有した円帯状に形成され、該押え部材5.5′のそれぞ
れの内側面(左側押え部材5にあっては右側面、右側押
え部材5′にあっては左側面)の外周縁には環状の切欠
13.13′が形成され、これによって、押え部材5.
5′の外周部に薄肉部14.14′が形成される。
有した円帯状に形成され、該押え部材5.5′のそれぞ
れの内側面(左側押え部材5にあっては右側面、右側押
え部材5′にあっては左側面)の外周縁には環状の切欠
13.13′が形成され、これによって、押え部材5.
5′の外周部に薄肉部14.14′が形成される。
また、左側押え部材5の中央孔15の内径は左側管継手
4の管状部10の外径より稍大きく形成され、右側押え
部材5′の中央孔15′の内径は右側管継手4′の管状
部10′の内径と略同じに形成されている。
4の管状部10の外径より稍大きく形成され、右側押え
部材5′の中央孔15′の内径は右側管継手4′の管状
部10′の内径と略同じに形成されている。
上記切欠13.13′は内側方向を向く面とハウジング
2の軸心に対して略45°の角度で傾斜して斜め外を向
く面13a、13’a(以下、「シール面」という。)
とによって形成されている。
2の軸心に対して略45°の角度で傾斜して斜め外を向
く面13a、13’a(以下、「シール面」という。)
とによって形成されている。
また、切欠13.13′の基部、即ち、薄肉部14.1
4′の内側とシール面13a、13′aとが交わる部分
の直径は主部3の内径と路間し大きさにされている。
4′の内側とシール面13a、13′aとが交わる部分
の直径は主部3の内径と路間し大きさにされている。
16.16、・・・、16” 16’ ・・・は押
え部材5.5′の薄肉部14.14′を除いた部分に周
方向に等間隔に配列されて形成されたネジ挿通孔であり
、該ネジ挿通孔16.16、・・ 16’ ts’、
・・・は前記管継手4.4′の取付フランジ11.11
′に形成された螺穴12.12、・・・、12= 1
2’、・・・に各別に対応されている。
え部材5.5′の薄肉部14.14′を除いた部分に周
方向に等間隔に配列されて形成されたネジ挿通孔であり
、該ネジ挿通孔16.16、・・ 16’ ts’、
・・・は前記管継手4.4′の取付フランジ11.11
′に形成された螺穴12.12、・・・、12= 1
2’、・・・に各別に対応されている。
17.17、・・・ 17” 17’ ・・・は押
え部材5.5′の薄肉部14.14′に周方向に等間隔
に配列されて網成されたネジ挿通孔であり、該ネジ挿通
孔17.17. 17′、17′、・・・は主部3の両端面に形成された
螺穴7.7、・・・、8.8、・・・に各別に対応され
ている。
え部材5.5′の薄肉部14.14′に周方向に等間隔
に配列されて網成されたネジ挿通孔であり、該ネジ挿通
孔17.17. 17′、17′、・・・は主部3の両端面に形成された
螺穴7.7、・・・、8.8、・・・に各別に対応され
ている。
そして、左側の管継手4にその左方(管状部10が取付
フランジ11から長く突出した側)から押え部材5をそ
のシール面13aが取付フランジ11側になるようにし
て嵌合し、取付フランジ11の螺穴12.12、・・・
と押え部材5のネジ挿通孔16.16、・・・とを位置
合わせした状態で左方からネジ18.18、・・・をネ
ジ挿通孔16.16、・・・に挿通して螺穴12.12
、・・・に螺合し、これによって管継手4と押え部材5
とが結合される。
フランジ11から長く突出した側)から押え部材5をそ
のシール面13aが取付フランジ11側になるようにし
て嵌合し、取付フランジ11の螺穴12.12、・・・
と押え部材5のネジ挿通孔16.16、・・・とを位置
合わせした状態で左方からネジ18.18、・・・をネ
ジ挿通孔16.16、・・・に挿通して螺穴12.12
、・・・に螺合し、これによって管継手4と押え部材5
とが結合される。
また、右側の管継手4′にその右方(取付フランジ11
′側)から押え部材5′をそのシール面13′aが取付
フランジ11′側になるようにして取付フランジ11′
に重ね合わせ、取付フランジ11′の螺穴12” 1
2’ ・・・と押え部材5′のネジ挿通孔16’
16’ ・・・とを位置合わせした状態で右方からネ
ジ18′18′ ・・・をネジ挿通孔16’ 16”
・・に挿通して螺穴12’ 12’ ・・・に螺合
し、これによって管継手4′と押え部材5′とが結合さ
れる。
′側)から押え部材5′をそのシール面13′aが取付
フランジ11′側になるようにして取付フランジ11′
に重ね合わせ、取付フランジ11′の螺穴12” 1
2’ ・・・と押え部材5′のネジ挿通孔16’
16’ ・・・とを位置合わせした状態で右方からネ
ジ18′18′ ・・・をネジ挿通孔16’ 16”
・・に挿通して螺穴12’ 12’ ・・・に螺合
し、これによって管継手4′と押え部材5′とが結合さ
れる。
このように結合された管継手4と押え部材5及び管継手
4′と押え部材5′は主部3の左方又は右方から管継手
4.4′の取付フランジ11.11′が主部3に内嵌さ
れるように挿入され、押え部材5.5′のネジ挿通孔1
7.17.17′、17′、・・・と主部3の螺穴7.
7、・・・、8.8、・・・とを位置合わせして、ネジ
19.19、・・・ 19’ 19’・をネジ挿通孔
17.17. 17′、17′、・・・に押通して螺穴7.7、・・・
8.8、・・・にそれぞれ螺合することにより主部3
の両端部にそれぞれ取着される。
4′と押え部材5′は主部3の左方又は右方から管継手
4.4′の取付フランジ11.11′が主部3に内嵌さ
れるように挿入され、押え部材5.5′のネジ挿通孔1
7.17.17′、17′、・・・と主部3の螺穴7.
7、・・・、8.8、・・・とを位置合わせして、ネジ
19.19、・・・ 19’ 19’・をネジ挿通孔
17.17. 17′、17′、・・・に押通して螺穴7.7、・・・
8.8、・・・にそれぞれ螺合することにより主部3
の両端部にそれぞれ取着される。
20.20はOリングであり、押え部材5.5′のシー
ル面13a、13’aと取付フランジ11.11′の押
え部材5.5′側を向いた面と主部3の内周面9bとに
より画成された環状の空間に各別に配置され、ネジ18
.18、・・・18′、18′ ・・・及び19.19
、・・19’ 19′ ・・・を締め付けることによ
り上記空間を形成する各面に密着され、それにより、主
部3の内周面9bと取付フランジ5.5′との間が気密
に保持される。
ル面13a、13’aと取付フランジ11.11′の押
え部材5.5′側を向いた面と主部3の内周面9bとに
より画成された環状の空間に各別に配置され、ネジ18
.18、・・・18′、18′ ・・・及び19.19
、・・19’ 19′ ・・・を締め付けることによ
り上記空間を形成する各面に密着され、それにより、主
部3の内周面9bと取付フランジ5.5′との間が気密
に保持される。
21はゴム弾性に冨む材料によりて管状に形成された弁
体であり、その両端部21a、21aが左側の管継手4
の管状部10のうち取付フランジ11から右側へ突出し
た部分と右側の管継手4′の管状部10’に各別に外嵌
され、かつ、接着剤により固着されている。
体であり、その両端部21a、21aが左側の管継手4
の管状部10のうち取付フランジ11から右側へ突出し
た部分と右側の管継手4′の管状部10’に各別に外嵌
され、かつ、接着剤により固着されている。
しかして、2つの管継手4.4′の管状部10と10′
は弁体21を介して互いに接続され、また、弁体21の
外側には該弁体21の外周面と主部3の内周面9bと取
付フランジ11.11′とにより筒状の密閉空間22が
形成される。
は弁体21を介して互いに接続され、また、弁体21の
外側には該弁体21の外周面と主部3の内周面9bと取
付フランジ11.11′とにより筒状の密閉空間22が
形成される。
尚、主部3の接合フランジ6は流体の流路を為す所要の
バイブ等とバルブ1とを連結するためのものである。
バイブ等とバルブ1とを連結するためのものである。
(b、圧力制御手段、流量制御)
23は高圧空気給排装置であり、高圧空気を吐出する送
気口23aと空気を吸引する吸気口23bとを備えてい
る。
気口23aと空気を吸引する吸気口23bとを備えてい
る。
24は給排気切替弁であり その給気口24aに上記高
圧空気給排装置23の送気口23aが、排気口24bに
高圧空気給排装置23の吸気口23bがそれぞれ接続さ
れている。
圧空気給排装置23の送気口23aが、排気口24bに
高圧空気給排装置23の吸気口23bがそれぞれ接続さ
れている。
25は通気パイプであり、その一端部のニップル25a
がハウジング2の主部3に形成されたネジ孔9aに螺着
され、他端は給排気切替弁24の通気口24cと接続さ
れている。
がハウジング2の主部3に形成されたネジ孔9aに螺着
され、他端は給排気切替弁24の通気口24cと接続さ
れている。
そこで、給排気切替弁24をその通気口24cと給気口
24aとが連通した状態にすると、高圧空気給排装置2
3から吐出される高圧空気が給排気切替弁24及び通気
パイプ25を経てバルブ1の密閉空間22内に供給され
て、密閉空間22内の圧力が高められる。その圧力によ
って弁体21は軸心へ向けて圧潰され、その中央部で管
径が狭められる。弁体21の管径が狭められると弁体2
1の中を流れる流体の流量が減少せしめられる。そして
、弁体21が、第1図に2点鎖線で示すように、その流
路が完全に圧潰されると流体の流量は零になる、即ち、
流体の流れは完全に止められる。
24aとが連通した状態にすると、高圧空気給排装置2
3から吐出される高圧空気が給排気切替弁24及び通気
パイプ25を経てバルブ1の密閉空間22内に供給され
て、密閉空間22内の圧力が高められる。その圧力によ
って弁体21は軸心へ向けて圧潰され、その中央部で管
径が狭められる。弁体21の管径が狭められると弁体2
1の中を流れる流体の流量が減少せしめられる。そして
、弁体21が、第1図に2点鎖線で示すように、その流
路が完全に圧潰されると流体の流量は零になる、即ち、
流体の流れは完全に止められる。
また、この状態から、給排気切替弁24を切り替えてそ
の通気口24cと排気口24bとを連通させると、密閉
空間22内の空気が通気パイプ25、給排気切替弁24
及び高圧空気給排装置23を経て積極的に排出されるの
で、密閉空間22内は瞬時に弁体21内の圧力と同じに
なり、これにより、弁体21の管壁が元の状態、即ち、
円筒状となり、流体の流量が増大される。
の通気口24cと排気口24bとを連通させると、密閉
空間22内の空気が通気パイプ25、給排気切替弁24
及び高圧空気給排装置23を経て積極的に排出されるの
で、密閉空間22内は瞬時に弁体21内の圧力と同じに
なり、これにより、弁体21の管壁が元の状態、即ち、
円筒状となり、流体の流量が増大される。
しかして、弁体21を流れる流体の流量を増大させると
きには、それまで弁体21を圧潰していた圧力を積極的
に排除するので、弁体21の復元動作は極めて速く、し
かも、それは弁体21のゴム弾性の劣化の如何に拘りな
く行なわれる。
きには、それまで弁体21を圧潰していた圧力を積極的
に排除するので、弁体21の復元動作は極めて速く、し
かも、それは弁体21のゴム弾性の劣化の如何に拘りな
く行なわれる。
尚、弁体21を流れる流体の流量を増大させるときに密
閉空間22内の高圧空気を積極的に排出して弁体21の
圧力と同じになるようにしたが、密閉空間22内が弁体
21内の圧力より稍負圧になるようにしても良い。
閉空間22内の高圧空気を積極的に排出して弁体21の
圧力と同じになるようにしたが、密閉空間22内が弁体
21内の圧力より稍負圧になるようにしても良い。
(c、ストッパ)
26.26、・・・はハウジング2の主部3の内周面9
bにその軸心に向けて突設されたストッパであり、各ス
トッパ26.26、・・・の各先端に外接する円の大き
さは、圧潰されていない状態の弁体21の外周面の直径
と略同じ大きさにされている。
bにその軸心に向けて突設されたストッパであり、各ス
トッパ26.26、・・・の各先端に外接する円の大き
さは、圧潰されていない状態の弁体21の外周面の直径
と略同じ大きさにされている。
従って、密閉空間22が稍負圧にされて弁体21の管壁
が反軸6側へ引っ張られても、それによる弁体21の管
径の拡がりはストッパ26.26、・・・に当接したと
ころで阻止されるので、弁体21が必要以上に太くなる
のが防止される。
が反軸6側へ引っ張られても、それによる弁体21の管
径の拡がりはストッパ26.26、・・・に当接したと
ころで阻止されるので、弁体21が必要以上に太くなる
のが防止される。
(G、使用例)[第3図、第4図]
第3図及び第4図は上記したバルブ1を微粉体噴射装置
における流量制御システムに用いた使用の一例である。
における流量制御システムに用いた使用の一例である。
(a 微粉体噴射装置の概要)[第3図]27は微粉体
噴射装置であり、所要のワーク、即ち、処理対象物に金
属や無機物等から成る微粉体を高圧空気の圧力を用いて
噴射することにより当該ワークに対する表面のエツチン
グや研摩あるいは穿孔等の処理を行なうものであり、微
粉体供給タンク28と、ワーク29に対する上記処理を
行なうための処理室30と、排風機31と、微粉体供給
タンク28へ高圧空気を供給するためのニアコンプレッ
サ32等からなる。
噴射装置であり、所要のワーク、即ち、処理対象物に金
属や無機物等から成る微粉体を高圧空気の圧力を用いて
噴射することにより当該ワークに対する表面のエツチン
グや研摩あるいは穿孔等の処理を行なうものであり、微
粉体供給タンク28と、ワーク29に対する上記処理を
行なうための処理室30と、排風機31と、微粉体供給
タンク28へ高圧空気を供給するためのニアコンプレッ
サ32等からなる。
微粉体供給タンク28の底部を除く部分33は微粉体3
4を貯留する貯留室になフており、該貯留室33内には
微粉体補給部35から微粉体34が随時補給される。そ
して、微粉体供給タンク28の底部には上面が貯留室3
3の底面に開口した高圧空気噴出凹部36が形成され、
該高圧空気噴出凹部36の上面は焼結フィルター37に
より閉塞されており、該焼結フィルター37の中心部か
ら吸引ノズル38の上端部が貯留室33内へ突出され、
該吸引ノズル38の下端は微粉体供給タンク28の底部
に形成された負圧発生室39に開口されている。40は
処理室30内に配置された噴射ノズル、41はニアコン
プレッサ32の高圧空気吐出口から延びた送風バイブで
あり、該送風バイブ41は途中から2本の分岐バイブ4
2及び43に分岐され、その一方の分岐バイブ42の先
端は高圧空気噴出凹部36と接続され、他方の分岐バイ
ブ43の先端は負圧発生室39の一端と接続されている
。44は負圧発生室39の他端と噴射ノズル40とを接
続している送給バイブ、45は貯留室33内の吸引ノズ
ル38の上方に配置されこれとの間に空間を形成するた
めの空間形成部材、46は処理室30の底部に配置され
た回収ホッパ47の底部と貯留室33との間に接続され
た還元バイブ、48は空間形成部材45の内部空間と排
風機31とを接続している排気バイブである。
4を貯留する貯留室になフており、該貯留室33内には
微粉体補給部35から微粉体34が随時補給される。そ
して、微粉体供給タンク28の底部には上面が貯留室3
3の底面に開口した高圧空気噴出凹部36が形成され、
該高圧空気噴出凹部36の上面は焼結フィルター37に
より閉塞されており、該焼結フィルター37の中心部か
ら吸引ノズル38の上端部が貯留室33内へ突出され、
該吸引ノズル38の下端は微粉体供給タンク28の底部
に形成された負圧発生室39に開口されている。40は
処理室30内に配置された噴射ノズル、41はニアコン
プレッサ32の高圧空気吐出口から延びた送風バイブで
あり、該送風バイブ41は途中から2本の分岐バイブ4
2及び43に分岐され、その一方の分岐バイブ42の先
端は高圧空気噴出凹部36と接続され、他方の分岐バイ
ブ43の先端は負圧発生室39の一端と接続されている
。44は負圧発生室39の他端と噴射ノズル40とを接
続している送給バイブ、45は貯留室33内の吸引ノズ
ル38の上方に配置されこれとの間に空間を形成するた
めの空間形成部材、46は処理室30の底部に配置され
た回収ホッパ47の底部と貯留室33との間に接続され
た還元バイブ、48は空間形成部材45の内部空間と排
風機31とを接続している排気バイブである。
ニアコンプレッサ32から吐出された高圧空気の一部は
高圧空気噴出凹部36に流入した後焼結フィルター37
を通して貯留室33内に噴入され、そのエアバイブレー
ション効果によって主として空間形成部材45下方の微
粉体34を攪拌し、また、ニアコンプレッサ32から吐
出された高圧空気の他の一部は負圧発生室39を高速で
流れ、その空気流によって吸引ノズル38に負圧が生じ
、この負圧により上記攪拌が為されている微粉体34が
吸引ノズル38に吸引されて負圧発生室39に取り出さ
れて行き、そこから高圧空気に乗って送給バイブ44内
を吹き抜けて噴射ノズル40からワーク29へ噴射され
る。そして、処理室30内に飛散した微粉体34は噴射
ノズル40から噴出される高圧空気と共に還元バイブ4
6を通って貯留室33内に戻され、その高圧空気は空間
形成部材45の上部に形成されたフィルター45aを通
して空間形成部材45の内部に流入した後排気バイブ4
8を経て排風機31に流入し、ここで、微粉体34の最
終的な分離が行なわれた後排ff1機31外へ排気され
る。
高圧空気噴出凹部36に流入した後焼結フィルター37
を通して貯留室33内に噴入され、そのエアバイブレー
ション効果によって主として空間形成部材45下方の微
粉体34を攪拌し、また、ニアコンプレッサ32から吐
出された高圧空気の他の一部は負圧発生室39を高速で
流れ、その空気流によって吸引ノズル38に負圧が生じ
、この負圧により上記攪拌が為されている微粉体34が
吸引ノズル38に吸引されて負圧発生室39に取り出さ
れて行き、そこから高圧空気に乗って送給バイブ44内
を吹き抜けて噴射ノズル40からワーク29へ噴射され
る。そして、処理室30内に飛散した微粉体34は噴射
ノズル40から噴出される高圧空気と共に還元バイブ4
6を通って貯留室33内に戻され、その高圧空気は空間
形成部材45の上部に形成されたフィルター45aを通
して空間形成部材45の内部に流入した後排気バイブ4
8を経て排風機31に流入し、ここで、微粉体34の最
終的な分離が行なわれた後排ff1機31外へ排気され
る。
(b、流量制御システム)[第4図コ
上記送風バイブ41や分岐バイブ42.43あるいは排
気バイブ48等高圧空気や微粉体が流れるバイブにはそ
の随所に本発明バルブ1.1、・・が介挿されており、
上記各種のバイブを流れる空気をバルブ1.1、・・・
の弁体21.21、・・・内部の流路の開度を調整する
ことにより制御するようになっており、これによりその
流量を調整し又はその流れを止める。
気バイブ48等高圧空気や微粉体が流れるバイブにはそ
の随所に本発明バルブ1.1、・・が介挿されており、
上記各種のバイブを流れる空気をバルブ1.1、・・・
の弁体21.21、・・・内部の流路の開度を調整する
ことにより制御するようになっており、これによりその
流量を調整し又はその流れを止める。
第4図はそのような制御を行なうための制御システムを
示すものである。
示すものである。
同図において24+ 、242.243は所謂三方弁型
給排気切替弁であり、それぞれ、給気口24a、、24
a2.24a、、排気口24b+ 24bz 2
4bs及び通気口24C+ 、24C2,24c3を有
し、また、各給排気切替弁24には移動弁体49が備え
られ、該移動弁体49の移動により、給気口24aと通
気口24cとが連通されたポジション(第1のポジショ
ン)と、排気口24bと通気口24cとが連通されたポ
ジション(第2のポジション)と、通気口24cがいず
れの口24a、24bとも連通されないポジション(第
3のポジション)とが各別に形成されるようになってい
る。
給排気切替弁であり、それぞれ、給気口24a、、24
a2.24a、、排気口24b+ 24bz 2
4bs及び通気口24C+ 、24C2,24c3を有
し、また、各給排気切替弁24には移動弁体49が備え
られ、該移動弁体49の移動により、給気口24aと通
気口24cとが連通されたポジション(第1のポジショ
ン)と、排気口24bと通気口24cとが連通されたポ
ジション(第2のポジション)と、通気口24cがいず
れの口24a、24bとも連通されないポジション(第
3のポジション)とが各別に形成されるようになってい
る。
また、給排気切替弁24+ 、242.243の上記移
動弁体49+ 、492.49sは図示しない電磁手段
により移動されるようになっている。
動弁体49+ 、492.49sは図示しない電磁手段
により移動されるようになっている。
そして、このような給排気切替弁243.242.24
3は1つの高圧空気給排装置23に並列に接続されてい
る。
3は1つの高圧空気給排装置23に並列に接続されてい
る。
即ち、高圧空気給排装置23の送気口23aには通気バ
イブ50が接続され、該通気バイブ50は途中で3つに
分岐されており、各分岐された通気バイブ501.50
a 、50sの各先端が給排気切替弁24+ 、242
.243の給気口24a、 、24a、 、24a、に
各別に接続されている。
イブ50が接続され、該通気バイブ50は途中で3つに
分岐されており、各分岐された通気バイブ501.50
a 、50sの各先端が給排気切替弁24+ 、242
.243の給気口24a、 、24a、 、24a、に
各別に接続されている。
また、高圧空気給排装置23の吸気口23bには通気パ
イプ51が接続され、該通気パイブ51は途中で3つに
分岐されており、各分岐された通気バイブ51. 51
2,513の各先端が給排気切替弁24+ 、242.
24sの排気口24bl 、24b2.24bsに各別
に接続されている。
イプ51が接続され、該通気パイブ51は途中で3つに
分岐されており、各分岐された通気バイブ51. 51
2,513の各先端が給排気切替弁24+ 、242.
24sの排気口24bl 、24b2.24bsに各別
に接続されている。
各給排気切替弁24 H,242,243の通気口24
c、、24c2.24c3は前述のように各通気バイブ
25.25.25を介してバルブ11.12% 13
の密閉空間22.22.22に接続されている。
c、、24c2.24c3は前述のように各通気バイブ
25.25.25を介してバルブ11.12% 13
の密閉空間22.22.22に接続されている。
しかして、給排気切替弁24の移動弁体49を所定のポ
ジションにすることにより、バルブ1の開閉動作を行な
うことができる。
ジションにすることにより、バルブ1の開閉動作を行な
うことができる。
第4図において、左側に示したバルブ1、は、これを閉
塞するために給排気切替弁24.の移動弁体491を第
1のポジションにしたものを示したものである。
塞するために給排気切替弁24.の移動弁体491を第
1のポジションにしたものを示したものである。
給排気切替弁241の移動弁体49、を第1のポジショ
ンにすると、給排気切替弁24□の通気口24c、と給
気口24a1とが連通されて、高圧空気給排装置23の
送気口23a−通気バイブ50、−給排気切替弁24.
の給気口24a1−通気口24c、−通気パイブ25−
密閉空間22□という流路が形成されて高圧空気がバル
ブ11の密閉空間221内に入って弁体211を圧潰し
てバルブ11を閉じることとなる。
ンにすると、給排気切替弁24□の通気口24c、と給
気口24a1とが連通されて、高圧空気給排装置23の
送気口23a−通気バイブ50、−給排気切替弁24.
の給気口24a1−通気口24c、−通気パイブ25−
密閉空間22□という流路が形成されて高圧空気がバル
ブ11の密閉空間221内に入って弁体211を圧潰し
てバルブ11を閉じることとなる。
また、第4図において、真中に示したバルブ12は、こ
れを開放するために給排気切替弁242の移動弁体49
2を第2のポジションにしたものを示すものである。
れを開放するために給排気切替弁242の移動弁体49
2を第2のポジションにしたものを示すものである。
給排気切替弁242の移動弁体49□を′!J2のポジ
ションにすると、給排気切替弁242の通気口24C2
と排気口24b2とが連通されて、バルブ12の密閉空
間22□−通気パイブ25−給排気切替弁242の通気
口24C2−排気口24b2−通気バイブ512−高圧
空気給排装置23の吸気口23bといつ流路が形成され
て高圧空気がバルブ12の密閉空間222から上記流路
を経て高圧空気給排装置23から外部へ排出され、バル
ブ12の密閉空間222内は弁体212内の圧力と同じ
か又は稍負圧状態にされてバルブ12が開放される。
ションにすると、給排気切替弁242の通気口24C2
と排気口24b2とが連通されて、バルブ12の密閉空
間22□−通気パイブ25−給排気切替弁242の通気
口24C2−排気口24b2−通気バイブ512−高圧
空気給排装置23の吸気口23bといつ流路が形成され
て高圧空気がバルブ12の密閉空間222から上記流路
を経て高圧空気給排装置23から外部へ排出され、バル
ブ12の密閉空間222内は弁体212内の圧力と同じ
か又は稍負圧状態にされてバルブ12が開放される。
第4図において右側に示したバルブ13にあっては、こ
こを流れる流体の流量を減少させた状態を維持するため
に給排気切替弁243の移動弁体493を第3のポジシ
ョンにしたものである。
こを流れる流体の流量を減少させた状態を維持するため
に給排気切替弁243の移動弁体493を第3のポジシ
ョンにしたものである。
給排気切替弁24.の移動弁体49.を第3のポジショ
ンにすると、給排気切替弁24.の給気口24a、、排
気口24b、及び通気口24C5が何れにも連通されず
、しかも、そこにおいて閉塞される。そこで、給排気切
替弁243の第3のポジションにする直前に第1のポジ
ションにしてバルブ13の密閉空間22.に適当な圧力
を加え、バルブ1.に流れる流体を所定の流量にした後
、給排気切替弁243を第3のポジションにすることに
より、バルブ1.の密閉空間223内は所定の圧力に維
持され、バルブ1.を流れる流体も所定の流量に維持さ
れることになる。
ンにすると、給排気切替弁24.の給気口24a、、排
気口24b、及び通気口24C5が何れにも連通されず
、しかも、そこにおいて閉塞される。そこで、給排気切
替弁243の第3のポジションにする直前に第1のポジ
ションにしてバルブ13の密閉空間22.に適当な圧力
を加え、バルブ1.に流れる流体を所定の流量にした後
、給排気切替弁243を第3のポジションにすることに
より、バルブ1.の密閉空間223内は所定の圧力に維
持され、バルブ1.を流れる流体も所定の流量に維持さ
れることになる。
また、給排気切替弁24.を第3のポジションにしたと
き、これに接続された通気バイブ50、.51.は共に
当該部分において閉塞されるので、高圧空気給排装置2
3に接続された通気バイブ50.51の端部が開放され
ることはなく、他の給排気切替弁241.242への送
風又は排風を行なうにあたり、支障を来すこともない。
き、これに接続された通気バイブ50、.51.は共に
当該部分において閉塞されるので、高圧空気給排装置2
3に接続された通気バイブ50.51の端部が開放され
ることはなく、他の給排気切替弁241.242への送
風又は排風を行なうにあたり、支障を来すこともない。
(H1発明の効果)
以上に記載したところから明らかなように、本発明バル
ブは、ゴム弾性を有する材料により管状に形成された弁
体と、該弁体の外側を囲んで密閉空間を形成するハウジ
ングとを備え、上記密閉空間内に正圧発生機により高圧
空気を供給することにより弁体の横断面積を変化させて
弁体を通過する流体の流量を調節するようにしたバルブ
であフて、密閉空間に負圧発生機を接続し、流体の流量
を増大させるとぎは上記負圧発生機により密閉空間内の
圧縮空気を排出するようにしたことを特徴とする。
ブは、ゴム弾性を有する材料により管状に形成された弁
体と、該弁体の外側を囲んで密閉空間を形成するハウジ
ングとを備え、上記密閉空間内に正圧発生機により高圧
空気を供給することにより弁体の横断面積を変化させて
弁体を通過する流体の流量を調節するようにしたバルブ
であフて、密閉空間に負圧発生機を接続し、流体の流量
を増大させるとぎは上記負圧発生機により密閉空間内の
圧縮空気を排出するようにしたことを特徴とする。
従って、本発明バルブにあっては、流体の流量を減少さ
せるときは密閉空間内に高圧空気を供給して弁体をその
管径が狭まるように変形させ、また、流体の流量を増大
させるときは密閉空間内の高圧空気を負圧発生機により
積極的に排出して弁体を外側から吸引してその管径が拡
がる方向へ変形させるので、特に、流体の流量を増大さ
せるときに弁体の変形動作を速く行なうことかてぎ、し
かも、管径を拡げる方向への変形は弁体のゴム弾性に頼
らずに行なうことができるため、弁体のゴム弾性が経時
的に劣化しても管径を拡げる動作の速度が低下する惧れ
は無い。
せるときは密閉空間内に高圧空気を供給して弁体をその
管径が狭まるように変形させ、また、流体の流量を増大
させるときは密閉空間内の高圧空気を負圧発生機により
積極的に排出して弁体を外側から吸引してその管径が拡
がる方向へ変形させるので、特に、流体の流量を増大さ
せるときに弁体の変形動作を速く行なうことかてぎ、し
かも、管径を拡げる方向への変形は弁体のゴム弾性に頼
らずに行なうことができるため、弁体のゴム弾性が経時
的に劣化しても管径を拡げる動作の速度が低下する惧れ
は無い。
尚、前記実施例においては、弁体の外周を囲んで配列さ
れた多数のストッパをハウジングに設け、密閉空間内を
減圧したときでも弁体の管壁が上記ストッパに当接して
その管径が必要以上に拡げられないようにしたが、この
ようにすることにより、全開状態における弁体の管径、
換言すれば流体の流量を常に一定に保持することかでき
るので、流量の制御をより安定に行なうことができる。
れた多数のストッパをハウジングに設け、密閉空間内を
減圧したときでも弁体の管壁が上記ストッパに当接して
その管径が必要以上に拡げられないようにしたが、この
ようにすることにより、全開状態における弁体の管径、
換言すれば流体の流量を常に一定に保持することかでき
るので、流量の制御をより安定に行なうことができる。
また、前記実施例においては密閉空間に対する高圧空気
の供給と排気を給排気切替弁を介して接続した1つの高
圧空気給排装置によって行なうようにしたか、給気と排
気は各別の手段によって行なうようにしても良い。
の供給と排気を給排気切替弁を介して接続した1つの高
圧空気給排装置によって行なうようにしたか、給気と排
気は各別の手段によって行なうようにしても良い。
更に、前記実施例において示した具体的な形状ないしは
構造は本発明バルブの実施に当っての具体化のほんの一
例を示したものにすぎず、これらによって本発明の技術
的範囲が限定的に解釈されてはならない。
構造は本発明バルブの実施に当っての具体化のほんの一
例を示したものにすぎず、これらによって本発明の技術
的範囲が限定的に解釈されてはならない。
第1図及び第2図は本発明バルブの実施の一例を示すも
ので、第1図は縦断面図、第2図は一部を切り欠いて示
す分解斜視図、第3図及び第4図は本発明バルブを微粉
体噴射装置におけるバルブ制御システムに使用した使用
例を示すもので、第3図は微粉体噴射装置全体を示す概
略側面図、第4図はバルブ制御システムを示す概念図、
第5図は従来のバルブの一例を示す縦断面図である。 符号の説明 1・・・バルブ、 2・・・ハウジング、21・・・
弁体、 22・・・密閉空間、23・・・正圧発生機、 23・・・負圧発生機 出 願 人 ソ ニー株式会社
ので、第1図は縦断面図、第2図は一部を切り欠いて示
す分解斜視図、第3図及び第4図は本発明バルブを微粉
体噴射装置におけるバルブ制御システムに使用した使用
例を示すもので、第3図は微粉体噴射装置全体を示す概
略側面図、第4図はバルブ制御システムを示す概念図、
第5図は従来のバルブの一例を示す縦断面図である。 符号の説明 1・・・バルブ、 2・・・ハウジング、21・・・
弁体、 22・・・密閉空間、23・・・正圧発生機、 23・・・負圧発生機 出 願 人 ソ ニー株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ゴム弾性を有する材料により管状に形成された弁体と、
該弁体の外側を囲んで密閉空間を形成するハウジングと
を備え、上記密閉空間内に正圧発生機により高圧空気を
供給することにより弁体の横断面積を変化させて弁体を
通過する流体の流量を調節するようにしたバルブであっ
て、 密閉空間に負圧発生機を接続し、 流体の流量を増大させるときは上記負圧発生機により密
閉空間内の圧縮空気を排出するようにした ことを特徴とするバルブ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27594490A JP2936691B2 (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27594490A JP2936691B2 (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | バルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04151079A true JPH04151079A (ja) | 1992-05-25 |
| JP2936691B2 JP2936691B2 (ja) | 1999-08-23 |
Family
ID=17562606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27594490A Expired - Fee Related JP2936691B2 (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2936691B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1696159A1 (de) * | 2005-02-25 | 2006-08-30 | Ako Armaturen & Separations GmbH | Quetschventil |
| JP2013037552A (ja) * | 2011-08-08 | 2013-02-21 | Tokyo Keiso Co Ltd | 流量制御装置および流量制御方法 |
| CN115451153A (zh) * | 2022-10-08 | 2022-12-09 | 中国船舶科学研究中心 | 一种船用低噪声柔性复合材料节流阀及应用系统 |
-
1990
- 1990-10-15 JP JP27594490A patent/JP2936691B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1696159A1 (de) * | 2005-02-25 | 2006-08-30 | Ako Armaturen & Separations GmbH | Quetschventil |
| JP2013037552A (ja) * | 2011-08-08 | 2013-02-21 | Tokyo Keiso Co Ltd | 流量制御装置および流量制御方法 |
| CN115451153A (zh) * | 2022-10-08 | 2022-12-09 | 中国船舶科学研究中心 | 一种船用低噪声柔性复合材料节流阀及应用系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2936691B2 (ja) | 1999-08-23 |
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