JPH041537Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH041537Y2 JPH041537Y2 JP1985039163U JP3916385U JPH041537Y2 JP H041537 Y2 JPH041537 Y2 JP H041537Y2 JP 1985039163 U JP1985039163 U JP 1985039163U JP 3916385 U JP3916385 U JP 3916385U JP H041537 Y2 JPH041537 Y2 JP H041537Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laminated piezoelectric
- rotating member
- piezoelectric element
- casing
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、光学手段を用いる機器において、光
路を変化させる手段として用いられるミラーアク
チユエータに関するものである。
路を変化させる手段として用いられるミラーアク
チユエータに関するものである。
（従来技術とその問題点）
例えば、光デイスク装置においては、レーザ光
を記録媒体面上に集光し、その集光された光スポ
ツトをあらかじめ１〜2μmピツチで記録媒体面上
に形成された案内溝に対して正確に位置決めする
ためにトラツキング位置制御が行われる。この光
スポツトの位置を制御する手段として、レーザ光
の光路の途中に設けたミラーを回転させ光軸の角
度を変化させる方法がある。このためミラーアク
チユエータが必要である。従来のミラーアクチユ
エータでは、積層圧電素子と筐体を直接、接続し
ているため、積層圧電素子と筐体との熱膨張の差
から、（積層圧電素子は筐体に対して負の膨張）
筐体と積層圧電素子間に亀裂を生じるか、あるい
は剥離することがあつた。また積層圧電素子自体
が剥離破壊するなどの欠点があつた。
を記録媒体面上に集光し、その集光された光スポ
ツトをあらかじめ１〜2μmピツチで記録媒体面上
に形成された案内溝に対して正確に位置決めする
ためにトラツキング位置制御が行われる。この光
スポツトの位置を制御する手段として、レーザ光
の光路の途中に設けたミラーを回転させ光軸の角
度を変化させる方法がある。このためミラーアク
チユエータが必要である。従来のミラーアクチユ
エータでは、積層圧電素子と筐体を直接、接続し
ているため、積層圧電素子と筐体との熱膨張の差
から、（積層圧電素子は筐体に対して負の膨張）
筐体と積層圧電素子間に亀裂を生じるか、あるい
は剥離することがあつた。また積層圧電素子自体
が剥離破壊するなどの欠点があつた。
（考案の目的）
本考案の目的は、上記欠点をなくすため、筐体
と積層圧電素子の間に筐体と積層圧電素子の熱膨
張差を補正できる金属板を入れた、ミラーアクチ
ユエータを提供することにある。
と積層圧電素子の間に筐体と積層圧電素子の熱膨
張差を補正できる金属板を入れた、ミラーアクチ
ユエータを提供することにある。
（考案の構成）
本考案によれば、枠状の筐体と筐体のほぼ中央
でしかも一端が前記筐体より熱膨張の大きな金属
板を介して前記筐体に接続された柱状の積層圧電
素子と、前記積層圧電素子の他端と前記筐体とに
回転可能に接続された第一の回転部材および、前
記第一の回転部材と対向し、互いに回転軸が平行
な位置であつて前記積層圧電素子の他端と筐体と
に回転可能に接続された第二の回転部材とを含み
構成された第一の駆動手段と前記第一の駆動手段
と対向する位置に備えられた第二の駆動手段と前
記第一の駆動手段の第一の回転部材に一端が接続
され、かつ、前記第二の駆動手段の第一の回転部
材に他端が接続され、前記積層圧電素子の変位に
より回転するミラーとからなることを特徴とする
ミラーアクチユエータが得られる。
でしかも一端が前記筐体より熱膨張の大きな金属
板を介して前記筐体に接続された柱状の積層圧電
素子と、前記積層圧電素子の他端と前記筐体とに
回転可能に接続された第一の回転部材および、前
記第一の回転部材と対向し、互いに回転軸が平行
な位置であつて前記積層圧電素子の他端と筐体と
に回転可能に接続された第二の回転部材とを含み
構成された第一の駆動手段と前記第一の駆動手段
と対向する位置に備えられた第二の駆動手段と前
記第一の駆動手段の第一の回転部材に一端が接続
され、かつ、前記第二の駆動手段の第一の回転部
材に他端が接続され、前記積層圧電素子の変位に
より回転するミラーとからなることを特徴とする
ミラーアクチユエータが得られる。
（構成の詳細な説明）
以下、本考案の一実施例について詳細に説明す
る。
る。
第１図は、本考案によるミラーアクチユエータ
の分解図である。図においてａは回転ミラー部で
ある。１はミラーで支持担体２に固定されてい
る。支持担体２の両端面には四角柱の支持軸３お
よび３′が突起している。ｂおよびｃは一対のミ
ラー駆動部である。４および４′は枠状の筐体で
ほぼ中央に四角柱の積層圧電素子５および５′を
備えている。積層圧電素子５および５′の一端は、
熱膨張補正板６および６′を介して筐体４および
４′に接続されている。（例えば筐体４および４′
の熱膨張を０だと仮定すると、積層圧電素子は負
の熱膨張で熱膨張補正板６および６′は正の熱膨
張である。）積層圧電素子５および５′の他端上部
はヒンジ部７および７′を介して第一の回転部材
８および８′の一端に接続されている。第一の回
転部材８および８′の中心部には支持軸３および
３′を接続する軸受を備えている。第一の回転部
材８および８′の上端はヒンジ９および９′を介し
て筐体４および４′に接続されている。積層圧電
素子の他端下部はヒンジ１０および１０′を介し
て、第二の回転部材１１および１１′は、積層圧
電素子５および５′が伸縮の時に発生する曲げモ
ーメントを相殺し積層圧電素子の剥離破壊を防ぐ
ことができる。
の分解図である。図においてａは回転ミラー部で
ある。１はミラーで支持担体２に固定されてい
る。支持担体２の両端面には四角柱の支持軸３お
よび３′が突起している。ｂおよびｃは一対のミ
ラー駆動部である。４および４′は枠状の筐体で
ほぼ中央に四角柱の積層圧電素子５および５′を
備えている。積層圧電素子５および５′の一端は、
熱膨張補正板６および６′を介して筐体４および
４′に接続されている。（例えば筐体４および４′
の熱膨張を０だと仮定すると、積層圧電素子は負
の熱膨張で熱膨張補正板６および６′は正の熱膨
張である。）積層圧電素子５および５′の他端上部
はヒンジ部７および７′を介して第一の回転部材
８および８′の一端に接続されている。第一の回
転部材８および８′の中心部には支持軸３および
３′を接続する軸受を備えている。第一の回転部
材８および８′の上端はヒンジ９および９′を介し
て筐体４および４′に接続されている。積層圧電
素子の他端下部はヒンジ１０および１０′を介し
て、第二の回転部材１１および１１′は、積層圧
電素子５および５′が伸縮の時に発生する曲げモ
ーメントを相殺し積層圧電素子の剥離破壊を防ぐ
ことができる。
以上のことからわかるように駆動部ｂおよびｃ
は同一形状であり、ミラー回転部ａを両側からは
さむような形状でしかも対称位置で他の筐体（図
示せず）に固定することによりミラーアクチユエ
ータを構成している。
は同一形状であり、ミラー回転部ａを両側からは
さむような形状でしかも対称位置で他の筐体（図
示せず）に固定することによりミラーアクチユエ
ータを構成している。
次に動作について述べる。
積層圧電素子５および５′を駆動回路（図示せ
ず）により駆動させると第２図に示すベクトル図
のＸ方向に伸び始める。積層圧電素子５および
５′が伸び始めると、これに対応して第一の回転
部材８および８′と第二の回転部材１１および１
１′はヒンジ９および９′とヒンジ１２および１
２′を支点として第２図のＹ軸回りに回転する。
（第一の回転部材８および８′と第二の回転部材１
１および１１′は互いに逆回転）ミラー回転部ａ
も対応して回転する。
ず）により駆動させると第２図に示すベクトル図
のＸ方向に伸び始める。積層圧電素子５および
５′が伸び始めると、これに対応して第一の回転
部材８および８′と第二の回転部材１１および１
１′はヒンジ９および９′とヒンジ１２および１
２′を支点として第２図のＹ軸回りに回転する。
（第一の回転部材８および８′と第二の回転部材１
１および１１′は互いに逆回転）ミラー回転部ａ
も対応して回転する。
（考案の効果）
以上のように本考案によれば、筐体４および
４′と積層圧電素子５および５′の間に熱膨張補正
板を入れることにより、筐体４および４′と積層
圧電素子５および５′の熱膨張を常に一定にする
ことができるため、積層圧電素子５および５′と
筐体４および４′の間に、亀裂や剥離を生じるこ
とがなく、また積層圧電素子自体の剥離破壊を防
げるなどの効果がある。
４′と積層圧電素子５および５′の間に熱膨張補正
板を入れることにより、筐体４および４′と積層
圧電素子５および５′の熱膨張を常に一定にする
ことができるため、積層圧電素子５および５′と
筐体４および４′の間に、亀裂や剥離を生じるこ
とがなく、また積層圧電素子自体の剥離破壊を防
げるなどの効果がある。
第１図は本考案の一実施例を示す分解図、第２
図はベクトル図である。第１図においてａはミラ
ー回転部、ｂおよびｃは駆動部、１はミラー、２
は支持担体、３，３′は支持軸、４，４′は筐体、
５，５′は積層圧電素子、６，６′は熱膨張補正
板、７，７′はヒンジ、８，８′は第一の回転部
材、９，９′はヒンジ、１０，１０′はヒンジ、１
１，１１′は第二の回転部材、１２，１２′はヒン
ジをそれぞれ示す。
図はベクトル図である。第１図においてａはミラ
ー回転部、ｂおよびｃは駆動部、１はミラー、２
は支持担体、３，３′は支持軸、４，４′は筐体、
５，５′は積層圧電素子、６，６′は熱膨張補正
板、７，７′はヒンジ、８，８′は第一の回転部
材、９，９′はヒンジ、１０，１０′はヒンジ、１
１，１１′は第二の回転部材、１２，１２′はヒン
ジをそれぞれ示す。
Claims (1)
- 枠状の筐体と筐体のほぼ中央でしかも一端が前
記筐体より熱膨張の大きな金属板を介して前記筐
体に接続された柱状の積層圧電素子と、前記積層
圧電素子の他端と前記筐体とに回転可能に接続さ
れた第一の回転部材および、前記第一の回転部材
と対向し、互いに回転軸が平行な位置であつて前
記積層圧電素子の他端と筐体とに回転可能に接続
された第二の回転部材とを含み構成された第一の
駆動手段と前記第一の駆動手段と対向する位置に
備えられた第二の駆動手段と前記第一の駆動手段
の第一の回転部材に一端が接続され、かつ、前記
第二の駆動手段の第一の回転部材に他端が接続さ
れ、前記積層圧電素子の変位により回転するミラ
ーとからなることを特徴とするミラーアクチユエ
ータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985039163U JPH041537Y2 (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985039163U JPH041537Y2 (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61155816U JPS61155816U (ja) | 1986-09-27 |
| JPH041537Y2 true JPH041537Y2 (ja) | 1992-01-20 |
Family
ID=30546858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985039163U Expired JPH041537Y2 (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH041537Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6452879B1 (ja) * | 2018-04-26 | 2019-01-16 | 株式会社日立製作所 | 光偏向機、および、光偏向機制御装置 |
-
1985
- 1985-03-19 JP JP1985039163U patent/JPH041537Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61155816U (ja) | 1986-09-27 |
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