JPH0415521A - 計測機器の調整装置 - Google Patents
計測機器の調整装置Info
- Publication number
- JPH0415521A JPH0415521A JP11761290A JP11761290A JPH0415521A JP H0415521 A JPH0415521 A JP H0415521A JP 11761290 A JP11761290 A JP 11761290A JP 11761290 A JP11761290 A JP 11761290A JP H0415521 A JPH0415521 A JP H0415521A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sound wave
- detection means
- signal
- sound
- measuring instrument
- Prior art date
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- Pending
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- Indicating Measured Values (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は計測機器に係り、特にその調整を容易にする計
測機器の調整装置に関する。
測機器の調整装置に関する。
光や電気などの物理量あるいは化学量などを計測２表示
する計測機器では、測定対象からの物理量や化学量ある
いはその変化を検知し、検知された測定量に基づいて、
必要なデータ処理などを施し、結果をアナログ量あるい
はディジタル量として、メータ、記録計、数字表示器、
プリンタ、ブラウン管などの出力手段に出力する。その
出力の態様は、表示・記録など可視的手段に依っている
。
する計測機器では、測定対象からの物理量や化学量ある
いはその変化を検知し、検知された測定量に基づいて、
必要なデータ処理などを施し、結果をアナログ量あるい
はディジタル量として、メータ、記録計、数字表示器、
プリンタ、ブラウン管などの出力手段に出力する。その
出力の態様は、表示・記録など可視的手段に依っている
。
この種の装置として関連するものには、例えば松井他ｒ
Ｔ−５０００形日立高速膜厚測定装置による薄膜の膜厚
測定Ｊ ＴＨＥ ＨＩＴＡＣＨＩ ＳＣＩＥＮＴＩＦＩ
ＣＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴ Ｎ聞Ｓ立工＜１＞ １９８８
ｐ２７などがある。
Ｔ−５０００形日立高速膜厚測定装置による薄膜の膜厚
測定Ｊ ＴＨＥ ＨＩＴＡＣＨＩ ＳＣＩＥＮＴＩＦＩ
ＣＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴ Ｎ聞Ｓ立工＜１＞ １９８８
ｐ２７などがある。
近年、この種計測機器は、原理の高度化、コンピュータ
の内蔵や応用範囲の拡大による複雑化などにより、機器
自体も大形化しており、また複数のユニットより構成さ
れるものもある。計測計器が高度化、複雑化する程、よ
り必要度を増すのが、機器の調整である。例えば光学的
計測機器では、試料の配設状態や、光学系のアライメン
トなど、最適な感度で、Ｓ／Ｎ良く、精度良く計測する
ためには、測定に先立って様々なチューニングを必要と
する。試料の微小部分についての計測を行なうため顕微
鏡などを併用した計測機器では、フォーカシングや、試
料微動調整なども伴なう。このような調整は、一般に目
視に依って行なわれ、最終的には、計測機器から出力さ
れ表示される表示値をモニタし乍ら、最適微調整が行な
われる。
の内蔵や応用範囲の拡大による複雑化などにより、機器
自体も大形化しており、また複数のユニットより構成さ
れるものもある。計測計器が高度化、複雑化する程、よ
り必要度を増すのが、機器の調整である。例えば光学的
計測機器では、試料の配設状態や、光学系のアライメン
トなど、最適な感度で、Ｓ／Ｎ良く、精度良く計測する
ためには、測定に先立って様々なチューニングを必要と
する。試料の微小部分についての計測を行なうため顕微
鏡などを併用した計測機器では、フォーカシングや、試
料微動調整なども伴なう。このような調整は、一般に目
視に依って行なわれ、最終的には、計測機器から出力さ
れ表示される表示値をモニタし乍ら、最適微調整が行な
われる。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし乍ら、この様な従来装置では、機器自体が大形化
する程、調整し乍ら表示結果をモニタすることが困難に
なって来た。機器の結果表示部位と、調整部位とが、近
くに配設されているとは限らず、また、微妙な調整にお
いては、調整部位から目を離すことができないこともあ
る。前述の顕微鏡を用いた計測機器などにおいては、オ
ペレータは顕微鏡をのぞき乍ら調整する必要があり、同
時に計測機器の結果表示をモニタすることは困難である
。光学的計測機器の中には、暗室のような暗い所での作
業が必要な場合もあり、このような場合も調整と、計測
結果のモニタを同時に行なうには困難がある。
する程、調整し乍ら表示結果をモニタすることが困難に
なって来た。機器の結果表示部位と、調整部位とが、近
くに配設されているとは限らず、また、微妙な調整にお
いては、調整部位から目を離すことができないこともあ
る。前述の顕微鏡を用いた計測機器などにおいては、オ
ペレータは顕微鏡をのぞき乍ら調整する必要があり、同
時に計測機器の結果表示をモニタすることは困難である
。光学的計測機器の中には、暗室のような暗い所での作
業が必要な場合もあり、このような場合も調整と、計測
結果のモニタを同時に行なうには困難がある。
本発明の目的は上記したような従来技術での計測機器に
おける欠点を解決し、計測機器の調整を容易にすること
にある。
おける欠点を解決し、計測機器の調整を容易にすること
にある。
上記目的のために、本発明では、計測結果を可聴音に変
換して表現し、計測結果を調整中のオペレータに音波で
知らしめる。即ち、計測機器の検知手段からの信号量に
応じて、音波を発生する音波発生手段を備え、例えば発
生する音波の高低を検知手段からの信号量の大小に応じ
て変化させる。
換して表現し、計測結果を調整中のオペレータに音波で
知らしめる。即ち、計測機器の検知手段からの信号量に
応じて、音波を発生する音波発生手段を備え、例えば発
生する音波の高低を検知手段からの信号量の大小に応じ
て変化させる。
オペレータはこの音を聴き乍ら、調整作業を行ない、音
ができるだけ高くなるように調整することにより、計測
結果表示を見ることなく、容易に好適状態への調整を行
なうことができる。音波の発生方法は、必ずしも検知手
段からの信号量の大小に応じて音の高低（周波数）を変
える必要はなく、音の大きさや、間欠の周期などを変え
ても良く、またはそれらの組合せでも良い。音波発生の
目的は、オペレータの調整が良い方向へ調整されつつあ
るか、悪い方向へ調整されつつあるかを判断する目安で
あるから、検知手段からの信号量と音波の変化の関係は
相対的で良く、比例精度も必要としないので、簡便に構
成できる。正確な計測結果は、計測機器の結果表示を見
れば良い。また相対値で良い為に、例えば音が高くなり
過ぎた場合などオペレータの操作によって、音の周波数
などを、ある一定値にリセットするようにしておくと、
オペレータは常に快適な周波数範囲で調整作業を続ける
ことができる。更に音が煩わしく感じる場合には、音波
の発生を停止する操作手段を設けることにより、不快感
を解消することも可能である。
ができるだけ高くなるように調整することにより、計測
結果表示を見ることなく、容易に好適状態への調整を行
なうことができる。音波の発生方法は、必ずしも検知手
段からの信号量の大小に応じて音の高低（周波数）を変
える必要はなく、音の大きさや、間欠の周期などを変え
ても良く、またはそれらの組合せでも良い。音波発生の
目的は、オペレータの調整が良い方向へ調整されつつあ
るか、悪い方向へ調整されつつあるかを判断する目安で
あるから、検知手段からの信号量と音波の変化の関係は
相対的で良く、比例精度も必要としないので、簡便に構
成できる。正確な計測結果は、計測機器の結果表示を見
れば良い。また相対値で良い為に、例えば音が高くなり
過ぎた場合などオペレータの操作によって、音の周波数
などを、ある一定値にリセットするようにしておくと、
オペレータは常に快適な周波数範囲で調整作業を続ける
ことができる。更に音が煩わしく感じる場合には、音波
の発生を停止する操作手段を設けることにより、不快感
を解消することも可能である。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。第１
図は本発明の一実施例を示す機能系統図である。検知手
段５は、光量や電気量などの物理量あるいは化学量など
を検知する検知手段である。
図は本発明の一実施例を示す機能系統図である。検知手
段５は、光量や電気量などの物理量あるいは化学量など
を検知する検知手段である。
通常この検知手段の前には、例えば光源１分光器。
測定対象である試料、顕微鏡など計測機器を構成する要
素群が、計測目的に応じて配設されている。
素群が、計測目的に応じて配設されている。
本実施例では、計測機器の例として顕微分光光度計を示
している。光源１からの光束は顕微鏡２によって集光さ
れ、測定試料３の微小部分に照射される。測定試料３か
らの反射光は、再び顕微鏡を経て、分光器４の入射スリ
ット４１上に集光される。分光器４は、入射光を波長に
従って分光し、特定の波長の光が出射スリット４４を通
過して、光電子増倍管などの検知手段５にて検知される
。
している。光源１からの光束は顕微鏡２によって集光さ
れ、測定試料３の微小部分に照射される。測定試料３か
らの反射光は、再び顕微鏡を経て、分光器４の入射スリ
ット４１上に集光される。分光器４は、入射光を波長に
従って分光し、特定の波長の光が出射スリット４４を通
過して、光電子増倍管などの検知手段５にて検知される
。
駆動装置４５は、回折格子４３を回転させることにより
、出射スリット４４から検知手段５に到達する光の波長
を変化、即ち波長走査するために設けられている。波長
走査を停止している時は、その波長における測定試料の
分光反射率が、また波長走査すれば、分光反射スペクト
ルが計測結果として得られる。これら反射率やスペクト
ルの演算は、後述のディジタル計測機８によって行なわ
れる。検知手段５で検知した信号量は比例する電気信号
に変換されて、増幅器６で増幅され、Ａ／Ｄ変換器７で
ディジタル量に変換された後、ディジタル計算機８に取
り込まれる。ディジタル計算機８は、取り込んだ信号量
を、計測目的に応じてデータ処理し、例えば分光反射ス
ペクトルなどの計測結果として出力し、出力データは計
測結果表示器９に表示される。機器の調整時には、計測
結果表示器９は、最終計測結果である例えば分光スペク
トル形状などばかりでなく、例えばある波長における吸
光度や反射率、その時の検知手段５が検知している信号
量そのものの値などを、ディジタル的あるいはアナログ
的に、可視的に表示する。
、出射スリット４４から検知手段５に到達する光の波長
を変化、即ち波長走査するために設けられている。波長
走査を停止している時は、その波長における測定試料の
分光反射率が、また波長走査すれば、分光反射スペクト
ルが計測結果として得られる。これら反射率やスペクト
ルの演算は、後述のディジタル計測機８によって行なわ
れる。検知手段５で検知した信号量は比例する電気信号
に変換されて、増幅器６で増幅され、Ａ／Ｄ変換器７で
ディジタル量に変換された後、ディジタル計算機８に取
り込まれる。ディジタル計算機８は、取り込んだ信号量
を、計測目的に応じてデータ処理し、例えば分光反射ス
ペクトルなどの計測結果として出力し、出力データは計
測結果表示器９に表示される。機器の調整時には、計測
結果表示器９は、最終計測結果である例えば分光スペク
トル形状などばかりでなく、例えばある波長における吸
光度や反射率、その時の検知手段５が検知している信号
量そのものの値などを、ディジタル的あるいはアナログ
的に、可視的に表示する。
−力木発明では、機器の調整時には、ディジタル計算機
８は検知手段が検知した信号量に比例した電圧出力をＤ
／Ａ変換器１０を介して出力する。
８は検知手段が検知した信号量に比例した電圧出力をＤ
／Ａ変換器１０を介して出力する。
この出力信号は電圧−周波数変換器１１によって検知信
号に応じた周波数の信号に変換され、増幅器１２で増幅
され、スピーカ１３を駆動して音波を発生する。発生す
る音波の高低は、検知手段５が検知する信号量の大小に
対応しており、この為、計測機器のオペレータは、計測
結果表示器５を見ることなく、スピーカからの音の高低
を頼りとして、音が高くなるように機器を調整し、調整
作業に集中することが可能である。
号に応じた周波数の信号に変換され、増幅器１２で増幅
され、スピーカ１３を駆動して音波を発生する。発生す
る音波の高低は、検知手段５が検知する信号量の大小に
対応しており、この為、計測機器のオペレータは、計測
結果表示器５を見ることなく、スピーカからの音の高低
を頼りとして、音が高くなるように機器を調整し、調整
作業に集中することが可能である。
近年の計測機器は、ディジタル計算機を内蔵しているこ
とが多く、検知手段５からの信号量は、上述のようにデ
ィジタル計算機８を介して、音波発生手段１０，１１，
１２．１３などに伝えられるが、増幅器６からの出力信
号により、直接スピーカ１３を駆動することも可能であ
る。
とが多く、検知手段５からの信号量は、上述のようにデ
ィジタル計算機８を介して、音波発生手段１０，１１，
１２．１３などに伝えられるが、増幅器６からの出力信
号により、直接スピーカ１３を駆動することも可能であ
る。
以上のように、本発明によれば、計測機器の調整作業に
際して、計測結果の可視的表示手段を見ることなく、可
聴音波に基づいて調整作業を行なうことができるため、
調整作業に集中でき、調整効率の向上を図ることができ
る。また本発明の構成は、計測機器に通常備えられてい
る、操作ミスなどを音で知らせるスピーカなどの音波発
生手段を利用して、極めて簡便に構築することができる
。
際して、計測結果の可視的表示手段を見ることなく、可
聴音波に基づいて調整作業を行なうことができるため、
調整作業に集中でき、調整効率の向上を図ることができ
る。また本発明の構成は、計測機器に通常備えられてい
る、操作ミスなどを音で知らせるスピーカなどの音波発
生手段を利用して、極めて簡便に構築することができる
。
第１図は本発明の一実施例を示す機能構成図である。
１・・・光源、２・・・顕微鏡、３・・・測定試料、４
・・・分光器、５・・・検知手段、６・・・増幅器、７
・・・Ａ／Ｄ変換器、８・・・ディジタル計算機、９・
・・計測結果表示器、１０・・・Ｄ／Ａ変換器、１１・
・・電圧−周波数変換器、１２・・・増幅器、１３・・
・スピーカ、２１・・・レンズ、２２・・・ハーフミラ
−１２３・・・反射鏡、４１・・・入射スリット、４２
・・・凹面鏡、４３・・・回折格子、４４・・・出射ス
リット、４５・・・駆動装置。
・・・分光器、５・・・検知手段、６・・・増幅器、７
・・・Ａ／Ｄ変換器、８・・・ディジタル計算機、９・
・・計測結果表示器、１０・・・Ｄ／Ａ変換器、１１・
・・電圧−周波数変換器、１２・・・増幅器、１３・・
・スピーカ、２１・・・レンズ、２２・・・ハーフミラ
−１２３・・・反射鏡、４１・・・入射スリット、４２
・・・凹面鏡、４３・・・回折格子、４４・・・出射ス
リット、４５・・・駆動装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、光量や電気量などの物理量や、化学量を検知する検
知手段と、該検知手段からの信号に基づいてデータを表
示あるいは記録する出力手段とを有する計測機器におい
て、前記検知手段からの信号量に応じて音を発生する音
波発生手段を備え、該音波発生手段が発生する音波は、
その周波数、または大きさ、または間欠の周期など発生
音波の性質が、前記検知手段からの信号量に応じて変化
することを特徴とする計測機器の調整装置。 ２、請求項第１項において、計測機器のオペレータが操
作する操作器を備え、該操作器が操作される都度、前記
音波発生手段から発生される音波の性質を、ある周波数
、または大きさ、または間欠の周期など基準の状態にリ
セットすることを特徴とする計測機器の調整装置。 ３、請求項第１項において、前記音波発生手段の動作を
ＯＮ／ＯＦＦできることを特徴とする計測機器の調整装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11761290A JPH0415521A (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 | 計測機器の調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11761290A JPH0415521A (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 | 計測機器の調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0415521A true JPH0415521A (ja) | 1992-01-20 |
Family
ID=14716071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11761290A Pending JPH0415521A (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 | 計測機器の調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0415521A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110244067A1 (en) * | 2010-03-31 | 2011-10-06 | Ykk Corporation | Sizing Device |
| JP2019012007A (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-24 | 竹中エンジニアリング株式会社 | 検知装置 |
-
1990
- 1990-05-09 JP JP11761290A patent/JPH0415521A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110244067A1 (en) * | 2010-03-31 | 2011-10-06 | Ykk Corporation | Sizing Device |
| US8651848B2 (en) * | 2010-03-31 | 2014-02-18 | Ykk Corporation | Sizing device |
| JP2019012007A (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-24 | 竹中エンジニアリング株式会社 | 検知装置 |
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